電極梳、微機械構件和用於電極梳或微機械構件的製造方法

2023-10-04 03:36:49 2

專利名稱：電極梳、微機械構件和用於電極梳或微機械構件的製造方法
技術領域：
本發明涉及一種用於電極梳的製造方法和一種用於微機械構件的製造方法。
背景技術：
具有靜電式驅動裝置的微鏡通常用於例如在條形碼掃描儀中和在投影系統中使 光束偏轉，或者用於轉換光數據連接。為了調節微鏡，可以使微鏡以它的固有頻率置身于振 動中。這稱為微鏡的諧振運行方式。對於諧振運行方式，大多使用具有兩個設置在一個平 面中的電極結構的靜電式驅動裝置。微鏡的諧振運行方式在能量耦合輸入比較小的情況下允許微鏡的高偏轉，但是只 有藉助具有與微鏡的固有頻率相同的頻率的類似正弦的振動才能實現。以其固有頻率振動 的微鏡的反射束非常快地掃描圖像中心，而相對緩慢地掃描圖像的邊緣，這可能導致在信 號分析處理中的問題。此外，藉助諧振運行方式在兩個空間方向上調節微鏡，尤其為了允許 逐行投影，是很難執行的並且與差的圖像解析度聯繫在一起。尤其由於李薩如圖形，藉助諧 振運行方式建立的圖像在觀察者看來通常是不清晰的。為了解決這個問題，在視頻圖像的逐行投影中通常使用這樣一種微鏡，該微鏡在 至少一個空間方向上可藉助準靜態的運行方式調節。在此，靜電式驅動裝置通常具有兩個 相互平行地錯置的、上下疊置的電極梳，即所謂的OOP電極梳(Out-Of-Plane)。作為OOP 電極梳的替代，靜電式驅動裝置也可以具有相互傾斜地布置的電極梳，其通常稱為AVC電 極梳(Angular Vertical Combs)。在兩個AVC電極梳的情況下，定子電極梳從它的安裝平 面中轉動出來，使得即便在這些電極梳之間沒有施加電壓時該定子電極梳的電極指也伸入 到致動器電極梳的電極指中間空間中。這兩個電極梳相互間的傾斜布置例如通過機械的影 響、優選在這兩個電極梳的封裝時實現，或者通過一個變形步驟實現。

發明內容
本發明提出一種具有權利要求1的特徵的電極梳，一種具有權利要求3的特徵的 微機械構件，一種具有權利要求8的特徵的微機械構件，一種具有權利要求9的特徵的用於 製造電極梳的製造方法，一種具有權利要求11的特徵的用於製造微機械構件的製造方法， 和一種具有權利要求12的特徵的用於製造微機械構件的製造方法。本發明能夠實現一種微機械構件，它使兩個相互平行地錯置的電極梳(00P電極 梳)的專門優點與兩個相互傾斜地布置的電極梳(AVC電極梳)的專門優點相互結合。在該電極梳的一種優選擴展構型中，該電極梳具有多於兩個具有不同的傾斜角的 子單元。在這種情況下，可定義至少一個電極指的、具有第三中心縱軸線的至少一個第三電 極指子單元，該第三中心縱軸線相對於第一中心縱軸線及相對於第二中心縱軸線分別以不 等於0°且不等於180°的彎折角傾斜。與00P電極梳或AVC電極梳相比，這改善了與另一個電極梳共同作用的電極梳的優點。當兩個根據本發明的電極梳共同作用時，也得到該優點。作為補充，根據本發明的微機械構件還可以包括至少一個第三致動器電極梳和至 少一個第三定子電極梳，其中，在每個附加致動器電極梳與配屬的附加定子電極梳之間可 施加電壓。這兩個電極梳(在它們之間可施加電壓)在此可以在沒有施加電壓的情況下相 對於彼此以至少一個第三傾斜角設置，其中，該第三傾斜角可以不等於第一傾斜角且不等 於第二傾斜角。在一種優選實施方式中，該微機械構件包括調節元件，通過所述第一致動器電極 梳相對於所述第一定子電極梳的調節和/或所述第二致動器電極梳相對於所述第二定子 電極梳的調節可調節該調節元件。因此存在如下可能性第一和第二電極梳副的單獨轉矩 疊加成一個總轉矩。這對於這樣的移動角是有利的，在該移動角中兩個單獨轉矩本身不具 有關於移動角恆定的變化曲線，但是允許相加得到幾乎恆定的總轉矩。同樣可行的是，這兩 個電極梳副相互分開地被控制。如果以這樣的移動角調節調節力矩，在該移動角中第一或 第二電極梳副具有恆定的單獨轉矩，則有針對性地僅控制該電極梳副。在此，對兩個電極梳 副的共同控制和分開控制在可能的移動角的整個範圍中可簡單地執行。例如，該調節元件是微鏡板或微型鑷子。因此，該微機械構件具有很多應用可能 性。優選地，該調節元件可在準靜態的運行中調節。在這種情況下，調節元件的調節出 的偏移角在有限的移動角範圍中與施加的電壓的平方成比例。該範圍之外的非線性可以通 過對兩個電極梳副的組合控制來平衡。在一種優選的實施方式中，該第一致動器電極梳在它的初始位置中相對於所述第 一定子電極梳平行地、錯置地設置。因此，該第一電極梳副對於小的傾斜角是優化的。優選 地，在這種情況下，該第一致動器電極梳和第一定子電極梳可以用於調節小的偏移角，而不 必使用相互傾斜地設置的電極梳。因此，由第二定子電極梳和第二致動器電極梳組成的電 極梳副專門設計用於在大移動角時的高轉矩。第二致動器電極梳和第二定子電極梳尤其用 於調節大的偏移角，而不使用第一致動器電極梳和第一定子電極梳。不同的致動器電極梳和定子電極梳並排地沿著調節元件的旋轉軸線定位或者交 錯地繞調節元件的旋轉軸線徑向地定位。在以上段落中描述的優點也在相應的製造方法中得到保證。與僅具有平行錯置的 電極梳的靜電式驅動裝置相比，由於各個定子電極梳和致動器電極梳相互間的不同布置， 允許由更薄的層製造電極梳的梳形結構。這實現了更細密的間隙，因此實現了電極數量的 減少。具有至少兩個OOP電極梳的微機械構件也具有以下優點第一間距和第二間距 可這樣地選擇，使得對於可調節的調節元件的增大的移動角範圍保證了有利的轉矩變化曲 線。例如，可以通過有針對性地控制第一 OOP電極梳和/或第二 OOP電極梳在寬移動角範 圍上實現幾乎恆定的轉矩。定子電極梳和致動器電極梳由於使用層很薄可以藉助標準方法由單一的標準襯 底製造。在此可以消除昂貴的專用晶片、例如S0I的使用。


下面根據附圖闡述本發明的其它特徵和優點。附圖示出圖1A和1B示出兩個用於說明兩個傳統的OOP電極梳的工作原理的示意圖；圖2示出用於說明在圖1A和1B的這些OOP電極梳中位移角與轉矩之間的關係的 坐標系；圖3A和3B示出兩個用於說明兩個傳統的AVC電極梳的工作原理的示意圖；圖4示出用於說明在圖3A和3B的這些AVC電極梳中位移角與轉矩之間的關係的 坐標系；圖5A和5B示出微機械構件的一種實施方式的示意圖；圖6示出用於說明在圖5A和5B的實施方式中位移角與總轉矩之間的關係的坐標 系；和圖7A和7B示出電極梳的一種實施方式的示意圖。
具體實施例方式在以下段落中描述的微機械構件和電極梳的實施方式例如可應用在汽車領域的 平視顯示器(Head-Up-Display)、消費品領域的微型投影儀、表面掃描儀中或者可作為轉換 鏡應用在光網絡中。圖1A和1B示出兩個用於說明兩個傳統的OOP電極梳的工作原理的示意圖。這兩個所示的電極梳10和12構造為致動器電極梳10和定子電極梳12。該定子 電極梳12固定地在(未繪出的)殼體中固定。與之相對地，致動器電極梳10這樣地設置 在該殼體中，使得它能夠繞旋轉軸線14旋轉。藉助(未示出的)控制裝置和接觸元件16 可以在這兩個電極梳10和12之間施加電壓U。在圖1A中，在這兩個電極梳10和12之間沒有施加電壓U。因此，該致動器電極梳 10在圖1A中位於它的初始位置中。致動器電極梳10在它的該初始位置中相對於定子電極 梳12平行地、錯置地布置。因此，這兩個電極梳10和12可以稱為平面外式電極梳(00P電 極梳)或00P驅動梳形副。兩個電極梳10和12相互間的傾斜角為0°或180°。位於其初始位置中的致動器電極梳10的中心縱向軸線10a相對於定子電極梳12 的中心縱向軸線12a平行地、錯置地延伸。該致動器電極梳10的頂面10b和底面10c也平 行於該定子電極梳12的頂面12b和底面12c定向。該致動器電極梳10的電極指在它的初 始位置中位於定子電極梳12的電極指中間空間之外。優選地，這兩個電極梳10和12在它 們的整個尺寸上相互間具有恆定的間距。在圖1B中，在這兩個電極梳10和12之間施加不為零的電壓U。由於施加了電壓 U，在該致動器電極梳10上產生向著定子電極梳12的方向的轉矩M。該致動器電極梳10從 它的在圖1A中所示的初始位置以位移角a旋轉。在圖1B中，致動器電極梳10的頂面10b相對於它的(虛線地再現的)初始位置以 位移角a傾斜。電極梳10和12的縱軸線10a和12a也相互以位移角a傾斜。該致動器 電極梳10的電極指在所示的位移角a下伸入到定子電極梳12的電極指中間空間中。致 動器電極梳10的電極指的伸入到定子電極梳12的電極指中間空間中的面積通常稱為重疊 面積。
在位移角a很小時，重疊面積的數值隨著位移角a的增加而上升。該重疊面積 的數值幾乎與位移角a成比例地增加，直到達到臨界角a0。因此，作用在致動器電極梳 10上的轉矩幾乎恆定。如果位移角a等於臨界角aO，則致動器電極梳10的電極指在它的外端部完全地 插入到定子電極梳12的電極指中間空間中。如果位移角a大於臨界角a 0，則該致動器電 極梳10的電極指的外端部從定子電極梳12的電極指中間空間伸出。因此，從臨界角a 0 起，重疊面積的增量隨著位移角a的增加而下降。這與作用在致動器電極梳10上的轉矩 的下降相關聯。圖2示出用於說明在圖1A和1B的OOP電極梳中位移角與轉矩之間的關係的坐標 系。該坐標系的橫坐標對應於以上已經定義的位移角a的值域。該坐標系的縱坐標表示 相應的、作用在致動器電極梳上的轉矩M。當位移角a在0°與臨界角a 0之間時，轉矩M恆定地具有比較高的值。因此，在 位移角a的在0°與臨界角aO之間的值域內部，轉矩M的變化曲線是穩定的。然而從臨 界角a 0起，施加在致動器電極梳上的轉矩M顯著地下降。臨界角a 0通過這兩個電極梳10和12的長度和高度定義。如果這兩個電極梳10 和12具有比較大的高度，則允許臨界角a 0上升。然而，與具有小高度的電極梳10和12相 比，具有大高度的電極梳10和12更難製造，尤其更難藉助具有開槽過程的製造方法製造。當位移角a在0°與臨界角a 0之間時，具有長電極指的電極梳10和12的構造 使轉矩M增加。然而，具有長電極指的電極梳10和12具有比較小的臨界角aO。因此，綜上所述可以確定，00P電極梳10和12僅適合於以比較小的位移角a移 動調節元件。如果位移角a超過臨界角a 0，則調節元件的運動明顯變緩慢或者進入靜止 狀態。圖3A和3B示出兩個用於說明兩個傳統的AVC電極梳的工作原理的示意圖。示出了致動器電極梳20和定子電極梳22。定子電極梳22固定地固定，而當借肋 接觸元件26在這些電極梳20和22之間施加電壓U時，致動器電極梳20能夠繞旋轉軸線 24向著定子電極梳22的方向旋轉。在圖3A中，在這兩個電極梳20和22之間沒有施加電壓U。因此，該致動器電極梳 20位於它的初始位置中，在該初始位置中該致動器電極梳20以傾斜角0相對於定子電極 梳22傾斜地定向。這些電極梳20和22的電極指的中心縱向軸線20a和22a夾住傾斜角 3。該致動器電極梳20的頂面20b和底面20c相對於該定子電極梳22的頂面22b和底面 22c也以傾斜角0傾斜地定向。因此，這兩個電極梳20和22可以稱為AVC電極梳20和 22 (Angular Vertical Combs)。在施加的電壓U等於零時，致動器電極梳20的電極指在其內端部處已經伸入到定 子電極梳22的電極指中間空間。然而，以上定義的重疊面積的增量隨著從該位置出來的位 移角變化比較小。在圖3B中示出在這些電極梳20和22之間施加不為零的電壓U之後圖3A的電極 梳。由於施加了電壓U，致動器電極梳20受到向著定子電極梳22的方向的轉矩M。因此， 該電極梳20以位移角Y相對於它的在圖3A中示出的初始位置移動。通過致動器電極梳 20繞旋轉軸線24在轉矩M的方向上的轉動，重疊面積的數值增大。然而，重疊面積的增量直到臨界角Y0具有比較小的值。圖4示出用於說明在圖3A和3B的AVC電極梳中位移角與轉矩之間的關係的坐標系。該坐標系的橫坐標是位移角Y的值域。該坐標系的縱坐標表示相應的、作用在致動器 電極梳上的轉矩M。當位移角、在0°與臨界角Y0之間時，轉矩M比較小，但是隨著位移角、的上 升而增加。轉矩M的上升一直保持，直到在這兩個電極梳之間在電極指的整個長度上達到 重疊。從臨界角Y0起，當位移角、上升時，轉矩M保持不變。對於在臨界角Y0與最大可 能的位移角、之間的位移角Y，轉矩M具有比較大的數值。不穩定區域30在臨界角Y0 下方，在該不穩定區域中轉矩M隨著位移角Y的增加而劇烈上升。根據圖4的坐標系允許闡述兩個AVC電極梳的缺點。對於不穩定區域30內部的位 移角Y，由於轉矩M的劇烈上升通常導致致動器電極梳的吸入行為(Pull-In-Verhalten)。 因此，當位移角、在不穩定區域30內時，致動器電極梳的位置是不穩定的且幾乎不能準靜 態地控制。不穩定區域30的寬度隨著電極梳的電極指的增加而上升。然而，只有電極梳的比 較長的電極指保證從臨界角Y 0起有足夠的最大轉矩M。然而，與OOP電極梳相比，AVC電極梳具有以下優點對於在臨界角Y0與最大可 能的位移角Y之間的較大的位移角Y，轉矩M具有足夠高的值。因此，AVC電極梳尤其適 合於以大的位移角Y移動調節元件。圖5A和5B示出微機械構件的一種實施方式的示意圖；所示的實施方式具有由導電材料構成的位移部件50。該位移部件50包括鏡板52、 兩個沿相反方向從該鏡板52伸出的肋元件54和八個從這些肋元件54側向地伸出的電極 梳56和58。這些電極梳56和58的電極指相互平行地在垂直於這兩個肋元件54的縱向的 方向上延伸。在此，每個肋元件54在每側各具有兩個電極梳56和58。這些電極梳56和58 這樣地由位移部件50的材料形成，使得它們位於一個具有鏡板52和肋元件54的平面中。 該位移部件50例如由導電層蝕刻出來。鏡板52直接地或以萬向節方式藉助肋元件54懸掛。四個電極梳56設置在肋元 件54的面相鏡板52的一側。電極梳56的各三個電極指具有長度L1。四個同樣配設有三 個電極指的電極梳58安置在肋元件54的背離鏡板52的一側。電極梳58的電極指的長度 L2明顯小於電極梳56的電極指的長度L1。顯然，本實施方式並不固定電極梳56和58的電極指的確定數目。同樣可以在位 移部件50上構造其它的調節元件(例如微型鑷子的有源元件)來代替鏡板52。為這些電極梳56和58各配置一個定子電極梳60或62。四個定子電極梳60中的 每一個配屬於一個電極梳56。相應地，在每個電極梳58上設置四個定子電極梳62中的一 個。借肋(未示出的)接觸元件和控制裝置可以在該位移部件50的電極梳56和58 中的至少一個與這些定子電極梳60和/或62中的至少一個之間施加電壓U。在此，控制裝 置這樣地設計，使得至少每一個定子電極梳60或62的控制可以與其它的定子電極梳60和 62分開地進行。在圖5A中，在該位移部件50的這些電極梳56和58中的一個與這些定子電極梳60或62中的一個之間沒有施加電壓U。該位移部件50因此位於它的初始位置中。在位移部件50的初始位置中，每個定子電極梳60被固定在相對於配屬的電極梳 56傾斜的位置中。可藉助電極梳56和60的電極指(或頂面)的中心縱軸線定義的傾斜角 3不等於0°或180°。因此，這兩個電極梳56和60可以稱為AVC電極梳。與此相比，每個定子電極梳62相對於配屬的電極梳58平行地、錯置地固定。因此， 兩個共同作用的電極梳58和62之間的傾斜角等於0°或180°。這些電極梳58和62的 電極指的中心縱軸線相互平行地間隔延伸。因此，兩個相鄰地設置的電極梳58和62可以 稱為OOP電極梳。圖5B示出在該位移部件50的這些電極梳58和62中的至少一個與至少一個定子 電極梳60和62之間施加不為零的電壓U之後的微機械構件。由於施加了電壓U，該位移部 件50繞沿著兩個肋元件54的中心縱軸線的軸線以位移角a轉動。以這種方式可以將微 鏡52帶到期望的位置中。顯然，所述的實施方式可以改變，其方式是AVC電極梳58和62設置在肋元件54 的背離鏡板52的端部上，而OOP電極梳56和60設置在肋元件54的與鏡板52相鄰的端部 上。同樣，代替OOP電極梳56和60，其它的AVC電極梳也可以以不同的傾斜角相對於彼此 設置。附加地，電極指的長度和/或旋轉軸線在致動器電極梳56和58上的位置可以變化。顯然，也可以實現根據圖5A和5B闡述的微機械構件的實施方式，該實施方式具有 至少兩個00P電極梳，其中，這兩個電極梳(在它們之間可施加電壓)的中心縱軸線在沒有 施加電壓的情況下相互間具有至少兩個不同的間距。圖6示出用於說明在圖5A和5B的實施方式中位移角與總轉矩之間的關係的坐標 系。該坐標系的橫坐標是位移角a的值域。該坐標系的縱坐標對應於作用在位移部件上 的總轉矩M。該總轉矩M由各個電極梳的單獨轉矩的相加的疊加得到。因此，該總轉矩M包括 由圖2和4已知的AVC電極梳(虛線)和00P電極梳(點線)的轉矩。當位移角a在角度範圍70內時，總轉矩M可以通過組合地控制AVC電極梳和00P 電極梳保持恆定。因此，通過共同地控制各種不同的電極梳可以在該角度範圍70中可靠地 通過準靜態的運行調節該鏡板，在該角度範圍70中00P電極梳和AVC電極梳的單獨轉矩不 具有恆定的變化曲線。在位移角a低於角度範圍70時，AVC電極梳的轉矩隨著位移角a的上升而增加。 在位移角a低於角度範圍70時，總轉矩M可以由OOP電極梳的單獨轉矩產生。相反，對於 高於角度範圍70的較大位移角a，AVC電極梳的作用是恆定的，而00P電極梳的作用可忽 略。在位移角a高於角度範圍70時，總轉矩M可以由AVC電極梳的單獨轉矩產生。因此，有利的是，該鏡板以低於角度範圍70的小位移角a調節，其方式是僅控制 00P電極梳。相應地以高於角度範圍70的位移角a調節鏡板，其方式是僅控制AVC電極 梳。因此，與僅使用一種電極梳類型相比，即與僅使用00P電極梳或僅使用AVC電極梳相比， 可以在更大的位移角範圍中實現恆定的總轉矩M。因此，微機械構件的上述實施方式允許藉助對00P電極梳和AVC電極梳的共同控 制或者藉助對00P電極梳或AVC電極梳的專門控制實現期望的位移角a的可靠調節。不 但對於小位移角a而且對於大位移角a，可以以這種方式實現總轉矩M的優化變化曲線。
圖7A和7B示出電極梳的一種實施方式的示意圖。示出了具有頂面80b的致動器電極梳80和定子電極梳82。定子電極梳82固定地固定在(未繪出的)微機械構件中，而致動器電極梳80可以通過藉助於接觸電極86施加 的電壓而繞旋轉軸線84在定子電極梳82的方向上轉動。該致動器電極梳80的電極指筆直地指向一個方向。因此，對於致動器電極梳80的電極指可定義一個中心縱軸線80a。而定子電極梳82的電極指具有一個彎折部。因此， 對於定子電極梳82的每個電極指可定義兩個子單元88和90，它們具有不同的中心縱軸線 88a和90a。這些中心縱軸線88a和90a以彎折角5相互傾斜地設置。由這兩個電極梳80和82構成的電極梳副可以稱為OOP電極梳和AVC電極梳的組合。這兩個電極梳80和82的運行在此提供了 OOP電極梳和AVC電極梳的組合的優點。在圖7A中，在致動器電極梳80與定子電極梳82之間沒有施加電壓U並且該致動器電極梳80位於它的初始位置中。圖7B示出在施加不等於零的電壓之後的兩個電極梳80和82。通過所產生的轉矩 M，該致動器電極梳80從它的初始位置以位移角a向著定子電極梳82的方向移動。通過 定子電極梳82的電極指的具有適當選擇的彎折角8的造型，在相互調節這兩個電極梳80 和82時，對於位移角a的期望範圍實現重疊面積的大增量，由此實現有利的轉矩M。尤其 地，在適當選擇的彎折角8下，對於位移角a的中間角度範圍可以保證恆定的轉矩M。定子電極梳82的上述形狀也可轉用到致動器電極梳80上。這樣構造的定子電極 梳82和/或相應的致動器電極梳80的優點在於，電極梳80和82沿著調節元件的旋轉軸 線所需的空間更小。這抵償了在製造電極梳80和82時的較大耗費。
權利要求
用於微機械構件的電極梳(82)，具有至少一個電極指，對於所述至少一個電極指可定義具有第一中心縱軸線(88a，90a)的第一電極指子單元(88，90)和具有第二中心縱軸線(88a，90a)的第二電極指子單元(88，90)，其中，所述第二中心縱軸線(88a，90a)相對於所述第一中心縱軸線(88a，90a)以不等於0°且不等於180°的彎折角(δ)傾斜。
2.微機械構件，具有根據權利要求1的電極梳(82)；和第二電極梳(80)，其中，所述電極梳(82)和所述第二電極梳(80)被這樣地構造，使 得在所述電極梳(82)與所述第二電極梳(80)之間可施加電壓(U)，通過在這兩個電極梳 (80，82)之間施加電壓(U)可調節這兩個電極梳(80，82)中的至少一個電極梳。
3.微機械構件，具有第一定子電極梳(62)和第一致動器電極梳(58)，它們被這樣地構造，使得在所述第一 定子電極梳(62)與所述第一致動器電極梳(58)之間可施加電壓(U)，其中，所述第一致動 器電極梳(58)在它的初始位置中以相對於所述第一定子電極梳(62)的第一傾斜角設置， 通過在所述第一定子電極梳(62)與所述第一致動器電極梳(58)之間施加電壓(U)可從所 述第一致動器電極梳的初始位置調節所述第一致動器電極梳(58)；及第二定子電極梳(60)和第二致動器電極梳(56)，它們被這樣地構造，使得在所述第二 定子電極梳(60)與所述第二致動器電極梳(56)之間可施加電壓(U)，其中，所述第二致動 器電極梳(56)在它的初始位置中以相對於所述第二定子電極梳(60)的、不同於所述第一 傾斜角的第二傾斜角(β)設置，通過在所述第二定子電極梳(60)與所述第二致動器電極 梳(56)之間施加電壓(U)可從所述第二致動器電極梳(56)的初始位置調節所述第二致動 器電極梳(56)。
4.根據權利要求3的微機械構件，其中，所述微機械構件包括調節元件(52)，通過所述 第一致動器電極梳(58)相對於所述第一定子電極梳(62)的調節和/或所述第二致動器電 極梳(56)相對於所述第二定子電極梳(60)的調節可調節該調節元件。
5.根據權利要求4的微機械構件，其中，所述調節元件(52)是微鏡(52)或微型鑷子。
6.根據權利要求4或5的微機械構件，其中，所述調節元件(52)可在準靜態的運行中 調節。
7.根據權利要求3至6之一的微機械構件，其中，所述第一致動器電極梳(58)在它的 初始位置中相對於所述第一定子電極梳(62)平行地、錯置地設置。
8.微機械構件，具有第一定子電極梳和第一致動器電極梳，它們被這樣地構造，使得在所述第一定子電極 梳與所述第一致動器電極梳之間可施加電壓，其中，通過在所述第一定子電極梳與所述第 一致動器電極梳之間施加電壓可從所述第一致動器電極梳的初始位置調節所述第一致動 器電極梳，對於在它的初始位置中的所述第一致動器電極梳可定義第一致動器中心縱軸 線，對於所述第一定子電極梳可定義第一定子中心縱軸線，所述第一致動器中心縱軸線平 行於所述第一定子中心縱軸線並且具有相對於所述第一定子中心縱軸線的第一間距；及第二定子電極梳和第二致動器電極梳，它們被這樣地構造，使得在所述第二定子電極 梳與所述第二致動器電極梳之間可施加電壓，其中，通過在所述第二定子電極梳與所述第二致動器電極梳之間施加電壓可從所述第二致動器電極梳的初始位置調節所述第二致動 器電極梳，對於在它的初始位置中的所述第二致動器電極梳可定義第二致動器中心縱軸 線，對於所述第二定子電極梳可定義第二定子中心縱軸線，所述第二致動器中心縱軸線平 行於所述第二定子中心縱軸線並且具有相對於所述第二定子中心縱軸線的、與所述第一間 距不同的第二間距。
9.用於電極梳(82)的製造方法，包括以下步驟這樣地形成所述電極梳(82)的至少一個電極指，使得可定義具有第一中心縱軸線 (88a,90a)的第一電極指子單元(88，90)和具有第二中心縱軸線(88a，90a)的第二電極指 子單元(88，90)，其中，所述第二中心縱軸線(88a，90a)相對於所述第一中心縱軸線(88a， 90a)以不等於0°且不等於180°的彎折角(δ)傾斜。
10.用於微機械構件的製造方法，包括以下步驟根據權利要求9製造電極梳(82)；製造第二電極梳(80)；和這樣地構造和布置所述電極梳(82)和所述第二電極梳(80)，使得在所述電極梳(82) 與所述第二電極梳(80)之間可施加電壓(U)，通過施加電壓(U)可調節這兩個電極梳(80， 82)中的至少一個電極梳。
11.用於微機械構件的製造方法，該微機械構件具有第一定子電極梳(62)和第一致動器電極梳(58)，它們被這樣地構 造，使得在所述第一定子電極梳(62)與所述第一致動器電極梳(58)之間可施加電壓(U)， 其中，通過在所述第一定子電極梳(62)與所述第一致動器電極梳(58)之間施加電壓(U) 可從所述第一致動器電極梳(58)的初始位置調節所述第一致動器電極梳(58)；第二定子 電極梳(60)和第二致動器電極梳(56)，它們被這樣地構造，使得在所述第二定子電極梳 (60)與所述第二致動器電極梳(56)之間可施加電壓(U)，其中，通過在所述第二定子電極 梳(60)與所述第二致動器電極梳(56)之間施加電壓(U)可從所述第二致動器電極梳(56) 的初始位置調節所述第二致動器電極梳(56)，該製造方法包括以下步驟在所述第一致動器電極梳(58)的初始位置中以相對於所述第一定子電極梳(62)的第 一傾斜角布置所述第一致動器電極梳(58)；和在所述第二致動器電極梳(56)的初始位置中以相對於所述第二定製電極梳(60)的、 不同於所述第一傾斜角的第二傾斜角(β)布置所述第二致動器電極梳(56)。
12.用於微機械構件的製造方法，該微機械構件具有第一定子電極梳和第一致動器電極梳，它們被這樣地構造，使得在 所述第一定子電極梳與所述第一致動器電極梳之間可施加電壓，其中，通過在所述第一定 子電極梳與所述第一致動器電極梳之間施加電壓可從所述第一致動器電極梳的初始位置 中調節所述第一致動器電極梳，對於在它的初始位置中的所述第一致動器電極梳可定義第 一致動器中心縱軸線，對於所述第一定子電極梳可定義第一定子中心縱軸線；第二定子電 極梳和第二致動器電極梳，它們被這樣地構造，使得在所述第二定子電極梳與所述第二致 動器電極梳之間可施加電壓，其中，通過在所述第二定子電極梳與所述第二致動器電極梳 之間施加電壓可從所述第二致動器電極梳的初始位置調節所述第二致動器電極梳，對於在它的初始位置中的所述第二致動器電極梳可定義第二致動器中心縱軸線，對於所述第二定 子電極梳可定義第二定子中心縱軸線， 該製造方法包括以下步驟在所述第一致動器電極梳的初始位置中這樣地布置所述第一致動器電極梳和所述第 一定子電極梳，使得所述第一致動器中心縱軸線平行於所述第一定子中心縱軸線並且具有 相對於所述第一定子中心縱軸線的第一間距；和在所述第二致動器電極梳的初始位置中這樣地布置所述第二致動器電極梳和所述第 二定子電極梳，使得所述第二致動器中心縱軸線平行於所述第二定子中心縱軸線並且具有 相對於所述第二定子中心縱軸線的、不同於所述第一間距的第二間距。
全文摘要
本發明涉及一種用於微機械構件的電極梳(82)，該電極梳具有至少一個電極指，對於所述至少一個電極指可定義具有第一中心縱軸線(88a，90a)的第一電極指子單元(88，90)和具有第二中心縱軸線(88a，90a)的第二電極指子單元(88，90)，其中，所述第二中心縱軸線(88a，90a)相對於所述第一中心縱軸線(88a，90a)以不等於0°且不等於180°的彎折角(δ)傾斜，本發明還涉及設有這種電極梳(82)的微機械構件。本發明同樣涉及微機械構件。本發明此外涉及用於電極梳(82)的製造方法和用於微機械構件的製造方法。
文檔編號H02N1/00GK101990737SQ200880128512
公開日2011年3月23日 申請日期2008年12月4日 優先權日2008年4月8日
發明者J·弗裡茨, J·穆霍, S·平特, T·皮爾克 申請人:羅伯特·博世有限公司