一種用於晶體生長的冷卻裝置製造方法
2023-09-22 21:26:55 3
一種用於晶體生長的冷卻裝置製造方法
【專利摘要】一種用於晶體生長的冷卻裝置，包括制冷機、蓄水箱、水泵、浮球水位開關、溫度計、消防泵、可調節流量閥、單向閥、流量計、鍍鋅管，其中，蓄水箱設有觀察口、補水管道以及隔板，補水管道上安裝有浮球水位開關；蓄水箱一側通過冷卻管道與制冷機想通，另一側放置水泵，水泵通過鍍鋅管與待冷卻的晶體生長設備想通；待降溫的晶體生長設備再通過鍍鋅管與蓄水箱想通，鍍鋅管上安裝有溫度計、消防泵、可調節流量閥、單向閥、流量計。本實用新型提供的一種用於晶體生長的冷卻裝置，不管氣候變化還是周圍溫度環境的變化都可以提供一個恆溫恆量的冷卻水，通過簡單的操作就能輕鬆管理整個系統。
【專利說明】—種用於晶體生長的冷卻裝置
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種冷卻系統裝置，特別是一種用於晶體生長的冷卻裝置。
技術背景
[0002]冷卻系統裝置是工業領域中常用的一種設備，它性能的好與壞直接關係到設備能否正常運轉，甚至直接影響了產品的質量，特別是在晶體生長過程中，冷卻系統裝置尤為重要。目前市場上的用於晶體生長的冷卻系統裝置，不能提供一個恆溫恆流量的冷卻水，常常因為氣候變化或者周圍溫度環境的變化，冷卻水的溫度也隨之改變，這就容易造成晶體質量的下降。
實用新型內容
[0003]為了解決上述問題，本實用新型提供的一種用於晶體生長的冷卻裝置，包括制冷機、蓄水箱、水泵、浮球水位開關、溫度計、消防泵、可調節流量閥、單向閥、流量計、鍍鋅管，其中，蓄水箱設有觀察口、補水管道以及隔板，補水管道上安裝有浮球水位開關；蓄水箱一側通過冷卻管道與制冷機想通，另一側放置水泵，水泵通過鍍鋅管與待冷卻的晶體生長設備想通；待降溫的晶體生長設備再通過鍍鋅管與蓄水箱想通，鍍鋅管上安裝有溫度計、消防泵、可調節流量閥、單向閥、流量計。
[0004]上述隔板的作用為避免回流的熱水直接被水泵抽送進待冷卻的晶體生長設備中。
[0005]優選地,上述鍍鋅管為90mm鍍鋅管。
[0006]本實用新型提供的一種用於晶體生長的冷卻裝置，不管氣候變化還是周圍溫度環境的變化都可以提供一個恆溫恆量的冷卻水，通過簡單的操作就能輕鬆管理整個系統。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0007]圖1為本實用新型的結構示意圖；
[0008]圖1中，I為制冷機,2補水管道,3為觀察口，4為浮球水位開關,5為隔板,6為冷卻管道，7為蓄水箱,8為水泵,9為待冷卻的晶體生長設備，10為溫度計，11為消防泵，12為可調節流量閥，13為單向閥，14為流量計，15為90mm鍍鋅管，16為蓄水箱I區，17為蓄水箱II區，18為蓄水箱III區。
【具體實施方式】
[0009]下面將結合附圖作進一步說明。
[0010]如圖1所示，本實用新型提供的一種用於晶體生長的冷卻裝置，包括制冷機1、蓄水箱7、水泵8、浮球水位開關4、溫度計10、消防泵11、可調節流量閥12、單向閥13、流量計14、90mm鍍鋅管15，其中，蓄水箱7設有觀察口 3、補水管道2以及隔板5，補水管道2上安裝有浮球水位開關4，隔板5將蓄水箱7分為蓄水箱I區16、蓄水箱II區17、蓄水箱III區18 ;蓄水箱7的I區16通過冷卻管道6與制冷機I想通，蓄水箱的III區18放置水泵8，水泵8通過90mm鍍鋅管15與待冷卻的晶體生長設備9想通；待降溫的晶體生長設備9再通過90mm鍍鋅管15連接溫度計10，之後90_鍍鋅管15分兩路依次將消防泵11、可調節流量閥12、單向閥13串通在一起，然後兩路90mm鍍鋅管15合併之後連接上流量計14，最後流量計14通過90mm鍍鋅管15與蓄水箱7的I區16想通。
[0011]本實用新型的工作原理為:水通過補水管道2流進蓄水箱7的I區，此時制冷機I開始工作，將流進I區的水進行冷卻，當水量達到一定程度之後，在浮球水位開關4的作用下，停止進水，同時，蓄水箱7的I區16冷卻的水會繞過隔板5流進蓄水箱II區17、蓄水箱III區18，蓄水箱III區18的水泵將冷卻的水通過90_鍍鋅管15流進待冷卻的晶體生長設備9，冷卻之後的熱水通過90_鍍鋅管15回流進蓄水箱7的I區16再重新冷卻，可以通過設置在90mm鍍鋅管15上的溫度計10、可調節流量閥12、流量計14來管理水溫、水量。
【權利要求】
1.一種用於晶體生長的冷卻裝置，其特徵在於:所述冷卻裝置包括制冷機、蓄水箱、水泵、浮球水位開關、溫度計、消防泵、可調節流量閥、單向閥、流量計、鍍鋅管，其中，蓄水箱設有觀察口、補水管道以及隔板，補水管道上安裝有浮球水位開關；蓄水箱一側通過冷卻管道與制冷機想通，另一側放置水泵，水泵通過鍍鋅管與待冷卻的晶體生長設備想通；待降溫的晶體生長設備再通過鍍鋅管與蓄水箱想通，鍍鋅管上安裝有溫度計、消防泵、可調節流量閥、單向閥、流量計。
2.如權利要求1所述的一種用於晶體生長的冷卻裝置，其特徵在於:所述鍍鋅管為90mm鍍鋅管。
【文檔編號】C30B35/00GK203683729SQ201420033383
【公開日】2014年7月2日 申請日期:2014年1月20日 優先權日:2014年1月20日
【發明者】陸文勝, 陳基平, 姜利飛 申請人:福建科彤光電技術有限公司