晶片管腳的開路短路測試裝置及測試方法
2023-11-30 05:00:06 1
晶片管腳的開路短路測試裝置及測試方法
【專利摘要】本發明提供一種晶片管腳的開路短路測試裝置及測試方法，該測試裝置包括至少一塊測試板卡，每一塊測試板卡上設有主控晶片組以及接收主控晶片組輸出的控制信號的管腳測量單元陣列，管腳測量單元陣列包括多個管腳測量單元，其中，測試板卡上還設有通道切換開關陣列，通道切換開關陣列包括多個通道切換開關單元，測試板卡上還設有通道接口，通道接口包括多條測試通道，每一個通道切換開關單元可切換二條以上的測試通道進行測試，每一個通道切換開關單元切換一個管腳測量單元的測試通道。該測試方法為應用上述的方法對晶片的管腳進行測試的方法。本發明能快速地對晶片的管腳進行測試，並且測試裝置的體積小，測試成本低。
【專利說明】晶片管腳的開路短路測試裝置及測試方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及晶片測試領域，具體地，是一種用於對晶片管腳的開路短路測試的裝置以及應用這種測試裝置進行測試的方法。
【背景技術】
[0002]現有的電子設備集成大量的電子晶片，每一塊晶片通常具有多根管腳(pin)。晶片封裝到印刷電路板後，通過管腳實現與印刷電路板上的線路電連接，因此管腳的電氣性能好壞對晶片的工作有很大的影響。通常，晶片生產完畢後，需要對晶片的每一根管腳進行檢測，以判斷管腳的電氣性能好壞。最為常見的檢測就是檢測每一根管腳的開路短路情況，通常稱為開路短路測試(Open-Short Test)。
[0003]開路短路測試也稱為連續性測試(Continuity Test)或接觸測試(ContactTest)，用以確認在被測晶片測試時所有的信號管腳都與測試系統相應的通道在電氣性能上完成了連接，並且沒有信號管腳與其他信號管腳、電源或地發生短路。開路短路測試能快速檢測出被測晶片的是否存在電性物理缺陷，如管腳短路、打線缺失、管腳的靜電損壞以及製造缺陷等，儘早剔除壞的晶片，降低測試成本。
[0004]對晶片管腳的開路短路測試通常使用測試裝置完成，現在的測試裝置基本都是通過管腳測量單元(PMU)或管腳電氣板卡(PE card)對晶片進行開路短路測試。
[0005]對管腳進行開路短路測試的原理是測試對每一根管腳的直流電源(VDD)或接地電源(VSS)的保護二極體的電壓或電流，通過比對測試值確定晶片的管腳是否存在開路或短路的現象。目前開路短路測試一般有兩種方法，一種方法是利用管腳測量單元灌入電流測電壓的直流串行、靜態測試法。另一種方法是用功能測試的方法，用動態負載加載10L、Ι0Η電流，通過比較電壓檢測管腳是否存在開路或短路的現象。
[0006]基於管腳測量單元對晶片的管腳進行開路短路測試時，首先將晶片的所有管腳，包括電源管腳和接地管腳在內的所有管腳的電平拉低至「地」，即所有的管腳電平均為0。接著，將需要測試的管腳(DUT管腳)連接一個管腳測量單元，如圖1所示，管腳測量單元10與測試管腳11電連接，且測試管腳11通過一個保護二極體D1連接至直流電源VCC，通過另一個保護二極體D2連接至接地電源VSS。
[0007]此時，管腳測量單元10驅動電流沿著偏置方向經過測試管腳11的保護二極體D2，該電流是負向的電流，電流的大小在100微安到500微安之間。另外，管腳測量單元10還驅動電流沿著偏置方向經過測試管腳11的保護二極體D1，如圖2所示，該電流為正向的電流。當電流流經二極體D1、D2時，會在二極體D1、D2的PN結上引起大約0.65伏的壓降，只要檢測連接點A的電壓就可以知道測試管腳11是否存在開路或短路的情況。應用管腳測量單元10對管腳的開路短路情況進行測試，能直接顯示測試值，有利於測試分析。
[0008]基於PE板卡對管腳進行測試的方法通常稱為功能測試方法，測試時首先將所有的電源管腳接地，即讓所有電源管腳的直流電源VDD以及接地電壓VSS的電平為0。然後，將測試管腳連接至PE板卡，如圖3與圖4所示。PE板卡15的動態電流負載單元將在參考電壓VREF下為前端偏置的保護二極體D3、D4分別提供+400微安與-400微安的電流，將測試管腳12的輸出電平與預先的設定值VOH、VOL進行比較，如測試管腳12的輸出電平在預先的設定值VOH、VOL之間，則表示測試管腳12不存在開路或短路的情況，否則，表示測試管腳12存在開路或短路的情況。
[0009]功能測試方法對晶片的管腳進行開短路測試的優點是速度快，相對於直流串行/靜態法，運行測試向量要快得多。然而，其不利之處在於數據寄存器所能顯示的結果信息有限，當測試管腳12存在開路或短路的情況時，通常無法直接判斷失效的具體管腳及其原因。
[0010]由於被測試的晶片具有多根管腳，常見的晶片有256根管腳，由於現有的測試裝置需要同時對256根管腳進行測試，而對每一根管腳進行測試均需要一個管腳測量單元或者PE板卡，這導致現有的測試裝置體積大，管腳測量單元的數量過多，且測試成本較高，無法實現晶片的低成本測試。
【發明內容】
[0011]本發明的主要目的是提供一種測試成本低的晶片管腳開路短路測試裝置。
[0012]本發明的另一目的是提供一種應用上述測試裝置對晶片管腳進行測試的測試方法。
[0013]為了實現上述的主要目的，本發明提供的晶片管腳開路短路測試裝置包括至少一塊測試板卡，每一塊測試板卡上設有主控晶片組以及接收主控晶片組輸出的控制信號的管腳測量單元陣列，管腳測量單元陣列包括多個管腳測量單元，其中，測試板卡上還設有通道切換開關陣列，通道切換開關陣列包括多個通道切換開關單元，測試板卡上還設有通道接口，通道接口包括多條測試通道，每一個通道切換開關單元可切換二條以上的測試通道進行測試，且每一個通道切換開關單元切換一個管腳測量單元的測試通道。
[0014]由上述方案可見，測試板卡上設置通道切換開關單元可以同時連接多條測試通道，並且可以在多條測試通道之間進行切換，每次測試選擇其中一條測試通道對一根管腳進行測試。這樣，通過分時切換通道切換開關單元所選擇的測試通道，即可以使用一個管腳測量單元對多條測試通道連接的多個管腳進行測試。可見，測試裝置可以減少測試板卡上設置的管腳測量單元的數量，降低晶片的測試成本。
[0015]一個優選的方案是，測試板卡上還設有數模轉換單元，根據控制晶片組輸出的控制信號向管腳測量單元輸出電壓信號，測試板卡上還設有模數轉換單元，接收管腳測量單元輸出的電壓信號並轉換為數位訊號後輸出至主控晶片組。
[0016]由此可見，主控晶片組通過模數轉換單元以及數模轉換單元實現與管腳測量單元之間的信號轉換，便於對管腳測量單元的控制。
[0017]進一步的方案是，主控晶片組包括第一晶片及第二晶片，第一晶片向管腳測量單元和通道切換開關單元輸出控制信號，第二晶片向數模轉換單元輸出控制信號並接收模數轉換單元返回的信號。
[0018]可見，主控晶片組有兩塊晶片組成，分別控制管腳測量單元以及數模轉換器以及模數轉換單元，可以避免使用一塊晶片作為主控制器而導致測試板卡的主控制器體積過大，且使用的管腳過多，可以降低測試板卡的生產成本。[0019]更進一步的方案是，測試板卡的數量為二塊以上，每一塊測試板卡還通過板卡總線接口與測試裝置進行信息交換。
[0020]由此可見，測試裝置設置多塊測試板卡，實現對測試板卡的擴展，且多塊測試板卡通過板卡總線接口與控制器進行通信，確保測試裝置對每一塊測試板卡的控制。另外，測試裝置可以靈活地增減測試板卡的數量，滿足不同管腳數量的晶片的測試要求。
[0021]為實現上述的另一目的，本發明提供的晶片管腳的開路短路測試方法包括將晶片的管腳與晶片管腳開路短路測試裝置的測試通道連接，測試裝置的測試板卡具有多個通道切換開關單元，每一通道切換開關單元可連接二條以上的測試通道，測試板卡的主控晶片組控制多個管腳測量單元通過通道切換開關單元向一部分測試通道加載測試信號，主控晶片組讀取管腳測量單元的測試結果信號，主控晶片組控制通道切換開關單元切換測試的測試通道，並向另一部分測試通道加載測試信號，主控晶片組讀取管腳測量單元的測試結果信號。
[0022]由上述方案可見，測試板卡的管腳測量單元通過通道切換開關單元每次對一部分測試通道連接的管腳進行測試，並且通過通道切換開關單元切換不同的通道後，對另一部分的測試通道連接的管腳進行測試，通過多次測試完成對所有管腳的測試。這樣，測試板卡上設置的管腳測量單元的數量較少，降低晶片的測試成本。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0023]圖1是基於管腳測量單元對晶片管腳進行開路短路測試時第一狀態的結構框圖。
[0024]圖2是基於管腳測量單元對晶片管腳進行開路短路測試時第二狀態的結構框圖。
[0025]圖3是基於PE板卡對晶片管腳進行開路短路測試時第一狀態的結構框圖。
[0026]圖4是基於PE板卡對晶片管腳進行開路短路測試時第二狀態的結構框圖。
[0027]圖5是本發明晶片管腳開路短路測試裝置實施例中一塊測試板卡的結構框圖。
[0028]圖6是本發明晶片管腳開路短路測試裝置實施例與晶片管腳連接的示意圖。
[0029]圖7是應用本發明晶片管腳開路短路測試裝置實施例對晶片管腳進行測試時調試窗口視圖。
[0030]圖8是應用本發明晶片管腳開路短路測試裝置實施例對晶片管腳進行測試時測試窗口視圖。
[0031]以下結合附圖及實施例對本發明作進一步說明。
【具體實施方式】
[0032]本發明的晶片管腳開路短路測試裝置用於測試晶片管腳的開路短路情況，晶片管腳開路短路測試方法是應用該測試裝置對晶片的管腳開路與短路情況進行測試。
[0033]本發明的晶片管腳開路短路測試裝置是基於AWT1K測試機實現的，測試裝置具有一個控制器，且測試裝置上設置八條插槽，每一條插槽內可以安裝一塊測試板卡。優選地，控制器賦予每一塊測試板卡唯一的標識號，通過標識號來標識每一塊測試板卡。
[0034]參見圖5，每一塊測試板卡通過板卡總線接口 20與測試裝置的控制器電連接並進行通信。測試板卡上設有主控晶片組、電壓轉換晶片21、模數轉換單元22、數模轉換單元23、電壓轉換晶片24、通道接口 28以及管腳測量單元陣列30、通道切換開關陣列40。管腳測量單元陣列30包括有八個管腳測量單元31、32...38，通道切換開關陣列40包括八個通道切換開關單元41、42...48。
[0035]主控晶片組包括兩塊主控晶片，分別是主控晶片25與主控晶片26，其中主控晶片25為FPGA晶片EP2C5，主控晶片26為CPLD晶片ΕΡΜ570，主控晶片25主要用於控制管腳測量單元陣列30內每一個管腳測量單元的31、32…38使能、量程、測試模式等功能，測試完成後還直接讀取每一個管腳測量單元的31、32…38的測試結果。此外，主控晶片25還能同時向通道切換開關陣列40中的每一個通道切換開關單元41、42…48輸出控制信號，控制每一個通道切換開關單元41、42…48進行通道的切換。
[0036]當然，板卡總線接口 20通過電壓轉換晶片21對與主控晶片25、主控晶片26互相通信的信號電平進行轉換，確保板卡總線接口 20能夠與主控晶片25、主控晶片26進行信號的正常傳遞。
[0037]主控晶片26主要用於作為模數轉換單元22以及數模轉換單元23的工作的控制晶片，向數模轉換單元23輸出控制信號並接收模數轉換單元22返回的信號。
[0038]數模轉換單元23為每一個管腳測量單元31、32...38提供驅動電壓和比較電壓，其接收主控晶片26輸出的控制信號，並將數位訊號轉換成模擬信號輸出至每一個管腳測量單元 31、32...38。
[0039]模數轉換單元22是八通道的模數轉換晶片，接收八個管腳測量單元31、32…38輸出的模擬電壓信號，並將模擬電壓信號轉換成數位訊號後輸出至主控晶片26，模數轉換單元22通過八路測試通道對八個管腳測量單元的輸出電壓/電流進行同步測試。
[0040]電壓轉換晶片24用於將主控晶片26的控制信號的電平轉換為數模轉換單元23及模數轉換單元22所能接受的電平，如改變主控晶片26輸出的電平信號的幅值等。
[0041]管腳測量單元陣列30的每一個管腳測量單元均為Ε737晶片，由於管腳測量單元陣列30上設置八個管腳測量單元31、32...38，因此每一塊測試板卡上設置八塊Ε737晶片。並且，管腳測量單元均具有恆流測壓(FVMI)和以及恆壓測流(FMV)兩種工作模式，其量程有±40暈安、1暈安、100微安以及10微安4個量程。
[0042]通道切換開關陣列40中的每一個通道切換開關單元41、42…48均為四選一的通道切換開關晶片，因此每一塊測試板卡上設有八塊通道切換開關晶片。每一個通道切換開關單元41、42...48均向一個管腳測量單元31、32…38電連接。
[0043]通道接口 28內設有三十二條測試通道，三十二條測試通道被劃分成四組，每一組測試通道包括四條相鄰的測試通道，且每一組測試通道分別連接至一個通道切換開關單元。這樣，每一個管腳測量單元實際上通過一個通道切換開關單元與四條測試通道連接。測試時，每一個通道切換開關單元選通一條測試通道，測試板卡可以同時對八條測試通道上的管腳進行測試。一次測試完畢後，主控晶片25輸出控制信號，每一個通道切換開關單元切換所選通的測試通道，對另外八條測試通道上管腳進行測試。這樣，只需四次就可以把三十二個測試通道上的管腳測試完畢。
[0044]由於一臺測試裝置上安裝有八塊測試板卡，且八塊測試板卡可以同時進行測試，每一塊測試板卡的八個管腳測量單元通過八個通道切換開關單元同時向八條測試通道加載測試信號對管腳進行測試，因此，測試裝置實際上可以同時向六十四條測試通道的管腳進行測試。可見，只需測試四次測試就可以把一個不多於256根管腳的晶片測試完畢。[0045]使用測試裝置對晶片進行測試時，首先將晶片放置在測試裝置上，且將晶片的每一根管腳連接至一條測試通道，如圖6所示。由於測試裝置上設有256條測試通道，因此，不多於256根管腳的晶片的每一根管腳均能連接至一條測試通道。
[0046]連接時，將晶片相鄰的四根管腳作為一組，分別連接到測試板卡上四個連續的測試通道上。測試時，將其中三根管腳接地，對另一個需要測試的管腳進行恆流測壓或者恆壓測流的測試，這樣可以避免相鄰管腳之間的有短路情況而測試不到的情況發生。
[0047]然後，開啟測試裝置，測試裝置上顯示調試窗口，如圖7所示。測試裝置共有八個插槽，每個插槽裡安裝一塊測試板卡，且每一塊測試板卡都有唯一的標識號，通過「SelectSlot」選項選擇所需工作的插槽。通過「Read ID」選項可以知道相應插槽有沒有安裝測試板卡。
[0048]並且，通過「DAC7716 SET」選項可以直接設置每一個管腳測量單元的驅動輸入電壓和高低比較電平。「Realy Control Set」選項共有四組選項，分別是0x11111111、0x22222222、0x44444444、0x88888888，用於切換通道切換開關單元所選擇的四組通道，並輪流和管腳測量單元進行連接，這可以通過「REL_CNT」選項進行設置。
[0049]「PPMU Test」選項主要用於對管腳測量單元的工作參數進行設置，通過「Mode」選項的設置可以選擇管腳測量單元的工作模式，包括高阻態(HIZ)、恆流測壓(FIMV)以及恆壓測流(FVMI)三種工作模式。「Current Scale」選項是對管腳測量單元的量程進行選擇，包括±40暈安、1暈安、100微安以及10微安四個量程的選擇。「Force Voltage/ForceCurrent」選項用於設置管腳測量單元的驅動輸出電壓、電流,而「Relay Group」選項則是選擇本次測試的測試通道組。
[0050]以上設置完畢後，每一個管腳測量單元通過一個通道切換開關單元向一條測試通道的管腳加載測試信號，如加載電流或加載電壓，測試裝置就可以進行數據的讀取。「ADCMeasure Result」選項中有八路ADC測試值顯示，分別是ADC0至ADC7，通過「Single Read/Continue Read」選項的設置可以進行ADC的單路讀取或者八路ADC的連續讀取。「FunctionTest 」選項中的「 IVMIN/IVMAX」主要用於設置高低比較電平、電流，通過「P/F R11 」選項可以讀取測試結果。「H/L Rlt」選項則是顯示高低電平、電流的比較結果。並且，調試窗口右下角的空白欄還能顯示測試板卡即時的調試信息，供調試參考。
[0051]每一個管腳測量單元對一條測試通道的管腳進行測試完畢後，主控晶片25讀取相應的測試結果後，控制通道切換開關單元切換選通的通道，對另外八條測試通道上的管腳進行測試。經過三次的切換後，每一個通道切換開關單元可以對其連接的四條測試通道的管腳測試完畢。這樣，測試裝置使用的管腳測量單元數量較少，減小其體積，也降低測試裝置的生產成本。
[0052]此外，測試裝置可以通過主控晶片25直接讀取管腳測量單元的測試結果，這就無需設置繁瑣的功能測試裝置也能快速的完成測試，實現簡便、高效、智能、低成本的管腳開路短路測試。測試裝置測試時的測試窗口如圖8所示，測試結果在測試窗口上顯示。
[0053]應用測試裝置對晶片的電源管腳進行時，選擇恆壓測流的模式，測試數字管腳時選擇恆流測壓的模式。對電源管腳的測試過程如下:
首先，將管腳測量單元的相應通道設置為恆壓測流模式，即設置M0DESEL=1，HIZ=1。然後，設置數模轉換單元的輸出電壓，作為管腳測量單元的電壓輸入。接著，延時一定時間後，啟動單個模數轉換單元的轉換工作。如果有多路信號需要轉換，模數轉換單元工作在連讀模式，測量管腳測量單元輸出端的電壓，讀寄存器的值，並轉換成電流值。最後，將測試所得的電流值與理論值比對，判斷管腳是否存在開路或者短路的情況。測試完成後，將電源管腳都接地。
[0054]對數字管腳進行測試時，需要分多次對數據管腳進行測試，這是因為數字管腳的數量較多。通常，將數字管腳分為多組，每次對一組數字管腳進行測試。並且，對每一組數字管腳測試均需要向數字管腳加載負電流以及正電流，進行兩次測試。
[0055]對第一組數字管腳加載負電流測試時，將其他管腳接地，將測量到的值與理論值進行比對。首先，設置「REL_CNT」選項為0x11111111，使第一組八個測試通道分別接到八個管腳測量單元連接並進行測試。然後，將管腳測量單元相應通道設置為恆流測壓的模式(M0DESEL=1), HIZ=1。接著，設置數模轉換單元的輸出電壓，作為管腳測量單元的驅動電壓、高低比較電平的輸入，驅動電壓與高低比較電平均為負電壓。延時一定時間後，設置模數轉換單元，啟動八個模數轉換單元並連續測量，測量結束後連讀九次讀寄存器的數值，將八個模數轉換單元的結果讀出來然後轉換成電壓值。最後，將測量到的電壓值與理論值進行比對，判斷管腳是否存在開路或短路的情況，或者主控晶片25直接讀取每一個管腳測量單元的輸出結果，判斷是否有管腳存在開路或短路的情況。測試完成後，將該組的八個數字管腳都接地。
[0056]對第二、三、四組的數字管腳供負電流測量電壓的方法與第一組數字管腳的測試方法一致，不同的是設置「REL_CNT」選項分別設置為0x22222222、0x44444444、0x88888888。
[0057]對第一組數字管腳加載正電流測量電壓時，其他管腳接地，將測量到的值與理論值比對，其測試方法與向第一組數字管腳加載負電流測量電壓時基本一致，不同的是管腳測量單元輸出的驅動電壓、比較高低電平為正電壓。
[0058]對第二、三、四組的數字管腳供正電流測量電壓的方法與第一組數字管腳的測試方法一致，不同的是設置「REL_CNT」選項分別設置為0x22222222、0x44444444、0x88888888。
[0059]由於測試裝置上的八塊測試板卡能夠同時工作，一塊不多於256根管腳的晶片能夠在最多四次的測試操作後測試完畢，且測試裝置所設置的管腳測量單元的數量大大減小，測試裝置的體積小，降低晶片的測試成本。
[0060]當然，上述實施例僅是本發明較佳的實施方式，實際應用時，還可以有更多的改變，例如，通道切換開關單元可以選用八選一的開關晶片或者二選一的開關晶片；或者，對晶片的管腳測試時不同管腳測試先後順序根據實際情況調節；又或者，主控晶片組僅包括一塊主控晶片，或者由三塊或更多的主控晶片構成，這樣的改變也能實現本發明的目的。
[0061]最後需要強調的是，本發明不限於上述實施方式，如測試裝置上測試板卡數量的改變、每一塊測試板卡上管腳測量單元數量的改變、主控晶片等選用的晶片型號的改變等變化也應該包括在本發明權利要求的保護範圍內。
【權利要求】
1.晶片管腳的開路短路測試裝置，包括至少一塊測試板卡，每一塊所述測試板卡上設有主控晶片組以及接收所述主控晶片組輸出的控制信號的管腳測量單元陣列，所述管腳測量單元陣列包括多個管腳測量單元；其特徵在於:所述測試板卡上還設有通道切換開關陣列，所述通道切換開關陣列包括多個通道切換開關單元； 所述測試板卡上還設有通道接口，所述通道接口包括多條測試通道，每一個所述通道切換開關單元可切換二條以上的所述測試通道進行測試，且每一個所述通道切換開關單元切換一個所述管腳測量單元的測試通道。
2.根據權利要求1所述的晶片管腳的開路短路測試裝置，其特徵在於:所述測試板卡上還設有數模轉換單元，根據所述控制晶片組輸出的控制信號向所述管腳測量單元輸出電壓信號；所述測試板卡上還設有模數轉換單元，接收所述管腳測量單元輸出的電壓信號並轉換為數位訊號後輸出至所述主控晶片組。
3.根據權利要求2所述的晶片管腳的開路短路測試裝置，其特徵在於:所述主控晶片組包括第一晶片及第二晶片，所述第一晶片向所述管腳測量單元和所述通道切換開關單元輸出控制信號，所述第二晶片向所述數模轉換單元輸出控制信號並接收所述模數轉換單元返回的信號。
4.根據權利要求3所述的晶片管腳的開路短路測試裝置，其特徵在於:所述測試板卡上設有第一電壓轉換晶片，將所述主控晶片組的控制信號的電平轉換為所述數模轉換單元及所述模數轉換單元所能接受的電平。
5.根據權利要求1至4任一項所述的晶片管腳的開路短路測試裝置，其特徵在於:所述測試板卡上設有第二電壓轉換晶片，向所述主控晶片組提供控制信號電平。
6.根據權利要求1至4任一項所述的晶片管腳的開路短路測試裝置，其特徵在於:所述測試板卡的數量為二塊以上，每一塊所述測試板卡通過板卡總線接口與測試裝置進行信息交換。
7.根據權利要求1至4任一項所述的晶片管腳的開路短路測試裝置，其特徵在於:所述通道切換開關單元為四選一通道切換開關晶片，每一所述通道切換開關單元與四條所述測試通道連接。
8.晶片管腳的開路短路測試方法，其特徵在於:將晶片的管腳與晶片管腳開路短路測試裝置的測試通道連接，所述測試裝置的測試板卡具有多個通道切換開關單元，每一所述通道切換開關單元可連接二條以上的所述測試通道；所述測試板卡的主控晶片組控制多個管腳測量單元通過所述通道切換開關單元向一部分所述測試通道加載測試信號，所述主控晶片組讀取所述管腳測量單元的測試結果信號;所述主控晶片組控制所述通道切換開關單元切換測試的所述測試通道，並向另一部分所述測試通道加載測試信號，所述主控晶片組讀取所述管腳測量單元的測試結果信號。
9.根據權利要求8所述的晶片管腳的開路短路測試方法，其特徵在於:多個所述管腳測量單元通過多個所述通道切換開關單元同時向一部分所述測試通道加載測試信號。
10.根據權利要求8或9所述的晶片管腳的開路短路測試方法，其特徵在於:所述測試裝置具有多塊所述測試板卡，多塊所述測試板卡的多個所述管腳測量單元通過多個所述通道切換開關 單元同時向一部分所述測試通道加載測試信號。
【文檔編號】G01R31/02GK103698654SQ201310743949
【公開日】2014年4月2日 申請日期:2013年12月28日 優先權日:2013年12月28日
【發明者】楊明漢, 劉元才, 譚偉星 申請人:珠海全志科技股份有限公司