一種反射膜層的製作方法
2023-06-21 21:04:26 1
專利名稱：一種反射膜層的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種膜層，特別是涉及一種複合的反射膜層。
背景技術：
在光學零件表面鍍制反射膜層，經常會採用鍍制工藝相對簡單的金屬膜層，如金膜、銀膜和鋁膜等。但金屬膜層較軟，當膜層表面受到沾染時不利於清潔。傳統的方法是在鍍制金屬膜層後再在其表面沉積一層保護膜層，但為了保證反射膜層的反射效率膜層很薄，不耐擦拭。如美國專利5036767 「用於雷射引爆裝置的窗口」中涉及到的反射膜層。但該膜層僅能用於可見至近紅外波段範圍，且未充分考慮保護膜層的硬度及其光學性能。
發明內容本實用新型的目的在於提供一種複合的反射膜層，解決傳統金屬反射膜層不耐擦拭的問題，並可實現在較寬的光譜範圍內膜層反射曲線的調製。本實用新型是這樣實現的一種反射膜層，包括過渡膜層，金屬反射膜層和保護膜層，其中通過過渡膜層將金屬反射膜層沉積於基底表面，再在金屬反射膜層上沉積保護膜層。如上所述的一種金屬反射膜層，其中過渡膜層的材料為鉻。如上所述的一種金屬反射膜層，其中以真空蒸發的方式沉積過渡膜層和金屬反射膜層。如上所述的一種金屬反射膜層，其中保護膜層的材料為克氏硬度不小於 1000Kg/mm2，並且為在可見及紅外波段均透光的材料。如上所述的一種金屬反射膜層，其中以離子束濺射或離子束反應濺射的方式沉積保護膜層。如上所述的一種金屬反射膜層，其中所述過渡膜層的厚度為30nm 500nm。如上所述的一種金屬反射膜層，其中所述金屬反射膜層的厚度為20nm 2000nm。如上所述的一種金屬反射膜層，其中所述保護膜層的厚度為20nm lOOOnm。本實用新型的有益效果是本實用新型採用沉積過渡層的方法，使金屬反射膜層能夠牢固的附著於基底表面。在其上鍍制的硬質保護膜層採用離子束濺射的方法沉積，而且因膜層厚度較大，故可以實現更好的保護效果並耐擦拭。另外，通過沉積不同厚度的硬質膜層，可實現從可見至長波紅外範圍內反射膜層的反射光譜範圍的調節。
圖1是本實用新型的一種反射膜層的剖面示意圖；圖中1.基底，2.過渡膜層，3.金屬反射膜層，4.保護膜層。
具體實施方式
以下結合附圖對本實用新型的一種反射膜層進行介紹圖1中的基底1是金屬、光學鏡片材料等加工的、帶有光學應用表面的零件，其作用是反射膜層的支撐結構，反射膜層是在基底表面沉積的。在充分清潔待鍍膜的基底表面後，將其放置入真空蒸發沉積裝置內沉積過渡膜層 2。過渡膜層2的膜層材料為鉻，過渡膜層的厚度為30nm 500nm。該沉積過程為本領域技術人員的公知常識。對於金屬基底，可以不沉積過渡膜層2 ；但對於光學鏡片材料基底，則需要沉積過渡膜層2，增加反射膜層與基底1間的結合強度。在充分清潔待鍍膜的基底表面或沉積過渡膜層後，將其放置入真空蒸發沉積裝置內沉積金屬反射層3。金屬反射膜層3的厚度為20nm 2000nm。上述過程為本領域技術人員的公知常識。待沉積金屬反射膜層3完畢的零件取出後，不擦拭其表面，直接放置入離子束濺射鍍膜機中進行保護膜層4的沉積。沉積參數為，束流50 700mA ；束壓300 2000V。 保護膜層4的厚度為20nm lOOOnm。保護膜層4的材料為克氏硬度不小於1000Kg/mm2， 並且為在可見及紅外波段均透光的材料。上述的金屬指金、銀和鋁。上述的基底表面指在金屬、各種光學鏡片材料上加工的、需鍍制膜層的光學應用表面。過渡膜層是用於保證金屬反射層牢固附著與基底表面的。金屬反射層是用於反射光線的，為基底表面附著的一薄層金屬。保護膜層是用於保護金屬反射層的，同時還可通過調節其沉積厚度而達到不同的光學效果。
權利要求1.一種反射膜層，包括過渡膜層O)，金屬反射膜層(3)和保護膜層G)，其特徵在於 通過過渡膜層( 將金屬反射膜層C3)沉積於基底(1)表面，再在金屬反射膜層C3)上沉積保護膜層(4)。
2.根據權利要求1所述的一種反射膜層，其特徵在於過渡膜層O)的材料為鉻。
3.根據權利要求1所述的一種反射膜層，其特徵在於以真空蒸發的方式沉積過渡膜層(2)和金屬反射膜層(3)。
4.根據權利要求1所述的一種反射膜層，其特徵在於所述保護膜層的材料為克氏硬度不小於1000Kg/mm2，並且為在可見及紅外波段均透光的材料。
5.根據權利要求1所述的一種反射膜層，其特徵在於以離子束濺射或離子束反應濺射的方式沉積保護膜層G)。
6.根據權利要求1所述的一種反射膜層，其特徵在於所述過渡膜層O)的厚度為 30nm 500nmo
7.根據權利要求1所述的一種反射膜層，其特徵在於所述金屬反射膜層(3)的厚度為 20nm 2000nm。
8.根據權利要求1所述的一種金屬反射膜層，其特徵在於所述保護膜層的厚度為 20nm lOOOnm。
專利摘要本實用新型屬於鍍膜技術領域，具體涉及一種反射膜層，目的是解決傳統金屬反射膜層不耐擦拭的問題，並可實現在較寬的光譜範圍內膜層反射曲線的調製。該反射膜層包含真空蒸發沉積的過渡膜層和金屬反射膜層，以及離子束濺射沉積的硬質保護膜層。本實用新型實現了更好的保護效果並耐擦拭。另外，通過沉積不同厚度的硬質膜層，可實現從可見至長波紅外範圍內反射膜層的反射光譜範圍的調節。
文檔編號G02B1/10GK202003044SQ201120050160
公開日2011年10月5日 申請日期2011年2月28日 優先權日2011年2月28日
發明者劉丹丹, 季一勤, 莊克文, 趙志宏 申請人:中國航天科工集團第三研究院第八三五八研究所