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自動清洗機的製作方法

2023-06-27 15:18:01 1

專利名稱:自動清洗機的製作方法
技術領域:
本實用新型涉及一種自動清洗機,更具體是涉及一種用於清洗光碟生產線
中Mask工件的自動清洗機。
背景技術:
目前絕大部分廠家清洗光碟生產線中Mask工件都是用人工清洗的。人工清 洗的Mask不僅耗費時間長,而且清洗後的Mask工件還不夠乾淨,達不到預想 的效果;特別是酸鹼液在沒有科學配比的前提下,往往過多地浪費原料,造成 原材料的浪費;同時人工清洗容易把Mask損傷工件,這樣容易直接造成產品質 量上的缺陷。 發明內容
本實用新型的目的在於克服現有技術存在的缺陷,提供一種用於清洗光碟 生產線中Mask工件的自動清洗才幾。
為達到上述目的,本實用新型採取了如下技術方案
自動清洗機,包括機架、清洗箱、HCL箱、NA0H箱及電器控制部分;清洗 箱、HCL箱及NAOH箱設於機架內,HCL箱與NAOH箱相互獨立,設於相鄰位置, 且高度齊平;清洗箱設於機架內的位置則高於HCL箱及NAOH箱;電器控制部分 則設於清洗箱與HCL箱及NA0H箱之間。
作為上述技術方案的改進,所述的電器控制部分依次由用於自動清洗流程 的控制的可編程控制器、用於顯示自動清洗機的清洗信息的觸控螢幕、用於抽取 液體的離心泵、用於回收液體的氣動閥及用於切換壓縮氣體以帶動氣動閥工作 的電^f茲閥構成。
作為上述技術方案的更進一步的改進,在機架的頂部設有控制面板。
與現有衝支術相比,本實用新型具有如下優點
1、 本實用新型只需設定好相應的程序,機器即可自動對Mask工件進行清 洗,清洗過程簡單,快速,清洗效杲良好且不容易損傷Mask工件的表面;
2、 本實用新型可直接設定好科學的酸鹼液配比,從而達到節省原材料的目 的,避免造成不必要的浪費;
3、 本實用新型操作簡便,清洗速度較之現有技術快了許多。

圖1為本實用新型的結構示意圖; 圖2為本實用新型的清洗箱的結構示意圖; 圖3為本實用新型的HCL箱與NAOH箱的結構示意圖。
具體實施方式

以下結合說明書附圖來對本實用新型作進一步的描述,但本實用新型所要 求保護的範圍並不局限於實施方式所描述之範圍。
圖1為本實用新型的結構示意圖;圖2為本實用新型的清洗箱的結構示意 圖;圖3為本實用新型的HCL箱與NA0H箱的結構示意圖。
如圖卜3所示自動清洗機,包括機架5、清洗箱2、 HCL箱3、 NAOH箱4 及電器控制部分;清洗箱、HCL箱及NAOH箱設於機架內,HCL箱與NAOH箱相互 獨立,設於相鄰位置,且高度齊平;清洗箱設於機架內的位置則高於HCL箱及 NAOH箱;電器控制部分則設於清洗箱與HCL箱及NAOH箱之間。
上述的清洗箱主要用於清洗和放置Mask工件。當NAOH液體清洗結束後,清 洗箱內NAOH液體會通過管道自動回收到NAOH箱。而當HCL液體清洗結束後,清 洗箱內HCL液體會通過管道自動回收到HCL箱。
HCL箱與NAOH箱兩個箱體則分別用於儲存HCL液體和NAOH液體,兩個箱體
是獨立分開的,互不幹涉。
作為上述技術方案的改進,所述的電器控制部分依次由用於自動清洗流程 的控制的可編程控制器、用於顯示自動清洗機的清洗信息的觸控螢幕、用於抽取 液體的離心泵、用於回收液體的氣動閥及用於切換壓縮氣體以帶動氣動閥工作 的電》茲閥構成。
作為上述技術方案的更進一步的改進,在機架的頂部設有控制面板。
本實用新型的清洗流程如下
1、 清洗機先將NAOH箱的NAOH液體通過離心泵抽到清洗箱內和Mask 工件反應約一個小時;
2、 NAOH液體通過氣動閥回收到NAOH箱後,注入清水到清洗箱內清洗 Mask工件約1.5分鐘;
3、 清洗機將HCL箱的HCL液體通過離心泵抽到清洗箱內和Mask工件反 應約5分鐘;
4、 HCL液體通過氣動閥回收到HCL箱後,注入清水到清洗箱內清洗Mask 工件約1.5分鐘;
5、 清洗結束。
與現有技術相比,本實用新型具有如下優點
1、 本實用新型只需設定好相應的程序,機器即可自動對Mask工件進行清 洗,清洗過程簡單,快速,清洗效果良好且不容易損傷Mask工件的表面;
2、 本實用新型可直接設定好科學的酸鹼液配比,從而達到節省原材料的目 的,避免造成不必要的浪費;
3、 本實用新型操作簡便,清洗速度較之現有技術快了許多。
權利要求1、自動清洗機,其特徵在於包括機架、清洗箱、HCL箱、NAOH箱及電器控制部分;清洗箱、HCL箱及NAOH箱設於機架內,HCL箱與NAOH箱相互獨立,設於相鄰位置,且高度齊平;清洗箱設於機架內的位置則高於HCL箱及NAOH箱;電器控制部分則設於清洗箱與HCL箱及NAOH箱之間;所述的電器控制部分依次由用於自動清洗流程的控制的可編程控制器、用於顯示自動清洗機的清洗信息的觸控螢幕、用於抽取液體的離心泵、用於回收液體的氣動閥及用於切換壓縮氣體以帶動氣動閥工作的電磁閥構成。
1、 自動清洗機,其特徵在於包括機架、清洗箱、HCL箱、NAOH箱及電器控 制部分;清洗箱、HCL箱及NAOH箱設於機架內,HCL箱與NAOH箱相互獨立,設 於相鄰位置,且高度齊平;清洗箱設於機架內的位置則高於HCL箱及NAOH箱; 電器控制部分則設於清洗箱與HCL箱及NAOH箱之間;所述的電器控制部分依次 由用於自動清洗流程的控制的可編程控制器、用於顯示自動清洗機的清洗信息 的觸控螢幕、用於抽取液體的離心泵、用於回收液體的氣動閥及用於切換壓縮氣 體以帶動氣動閥工作的電》茲閥構成。
2、 根據權利要求1所述的自動清洗機,其特徵在於在機架的頂部設有控制 面板。
專利摘要本實用新型公開了一種用於清洗光碟生產線中Mask工件的自動清洗機。本實用新型包括機架、清洗箱、HCL箱、NAOH箱及電器控制部分;清洗箱、HCL箱及NAOH箱設於機架內,HCL箱與NAOH箱相互獨立,設於相鄰位置,且高度齊平;清洗箱設於機架內的位置則高於HCL箱及NAOH箱;電器控制部分則設於清洗箱與HCL箱及NAOH箱之間。本實用新型具有如下優點1.可自動對Mask工件進行清洗,清洗過程簡單,快速,清洗效果良好且不容易損傷Mask工件的表面;操作簡便,清洗速度較之現有技術快了許多;2.可直接設定好科學的酸鹼液配比,從而達到節省原材料的目的。
文檔編號B08B3/08GK201008856SQ20062006502
公開日2008年1月23日 申請日期2006年9月28日 優先權日2006年9月28日
發明者黃端權 申請人:黃端權

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