遠距光譜儀的連接結構的製作方法

2023-05-29 16:15:51 2

專利名稱：遠距光譜儀的連接結構的製作方法
技術領域：
本發明是關於一種遠距光譜儀的連接技術，特別是關於一種能夠將安裝於反應室 內的通用串行總線(universal serial bus, USB)接口的光譜儀連接到光學模塊控制器的 遠距光譜儀的連接結構，以將光譜儀產生的數據穩定地傳輸至光學模塊控制器。
背景技術：
一般來說，當多個光譜儀應用於需要大尺寸設備的製程(如液晶顯示器生產線) 中所使用的單個EPD控制器時，為了減少連接反應室觀察埠(chamber view port)至EPD 控制器的光纖的長度，光譜儀安裝於反應室觀察埠附近。然而，光譜儀是通過RS-232或者USB接口方法傳輸數據。特別地，由於USB接口 方法使用有效長度約為5米的電纜，當與EPD控制器間隔10至15米的光譜儀連接至一般 USB電纜時，當從安裝在反應室觀察埠的光譜儀傳輸數據時可能發生通信錯誤。為了解決數據通信錯誤，USB信號應被放大使得數據可在沒有噪聲的情況下傳輸 到遠距離。但是，由於公知技術中尚未揭示此類技術特徵，因此提供本發明以解決上述問 題。

發明內容
技術問題為解決上述及/或其它問題，本發明的一方面提供一種遠距光譜儀的連接結構， 其能夠通過USB伺服器將EPD控制器連接至以USB接口形式安裝於反應室內的遠距光譜 儀，以克服由USB電纜的有效長度產生的限制並且將光譜儀產生的數據穩定地傳輸至EPD 控制器。技術方案本發明的上述和/或其它方面可以藉由提供如下遠距光譜儀的連接結構來實現， 該遠距光譜儀的連接結構包括鄰近設置於大尺寸製造設備內的反應室觀察埠安裝且連 接至單個EPD控制器的多個光譜儀，其特徵在於此多個光譜儀分別連接至設置於多個通道 的多個USB設備伺服器(USB device servers，UDQ，設置於各通道的各UDS連接至單個交 換集線器(switching hub)，並且交換集線器連接至EPD控制器。此外，為了通過具有獨立IP位址的TCP/IP通信將光譜儀的數據傳輸至EPD控制 器，UDS可藉由USB電纜連接至光譜儀以及藉由UTP(LAN)電纜連接至交換集線器，並且交 換集線器可藉由UTP(LAN)電纜連接至EPD控制器。進一步地，EPD控制器可包括USB 2LAN轉換器，或者PCI Express Giga LAN。有益效果根據本發明，遠距光譜儀的連接結構能夠通過USB伺服器將EPD控制器連接至以 USB接口形式安裝在反應室中的遠距光譜儀，以克服由USB電纜的有效長度產生的限制並 且將光譜儀產生的數據穩定地傳輸至EPD控制器，藉此提高對製程反應室發射的等離子發射的監測效率。


為讓本發明的上述和其它目的、特徵和優點能更明顯易懂，下文特舉較佳實施例， 並配合所附圖式詳細說明如下。圖1是根據本發明實施例的遠距光譜儀的連接結構的方塊圖。「主要元件符號說明」10:EPD 控制器20 :USB 電纜30 :UTP(LAN)電纜40:交換集線器Bl 光譜儀CHl CHn :USB設備伺服器
具體實施例方式將參照附圖詳細描述本發明的示範性實施例，其範例繪示於附圖中。圖1是根據本發明實施例的遠距光譜儀的連接結構的方塊圖。參照圖1，根據本發明實施例的遠距光譜儀的連接結構配置為將鄰近設置於大尺 寸製造設備內的反應室觀察埠的多個光譜儀Bi、B2、…、連接至單個EPD控制器10， 藉此在沒有損耗的情況下傳輸多個光譜儀Bi、B2、-,Bn的數據至EPD控制器10。為此，多個光譜儀Β1、Β2、...、&ι與多個UDS CHI、CH2、...、CHn是1 1匹配，並 且分別藉由USB電纜20連接。同時，分別連接至光譜儀Bi、B2、...、&ι的各自通道的UDS CHl、CH2、...、CHn，通 過UTP (LAN)電纜30連接至單個交換集線器40，而交換集線器40連接至包括USB 2 LAN轉 換器或者PCI Express Giga LAN的EPD控制器10。結果，UDS CH1、CH2、…、CHn通過USB電纜20接收從光譜儀Bi、B2、...、&ι傳輸 的數據，然後通過UTP (LAN)電纜30傳輸數據至交換集線器40。因此，交換集線器40能夠 根據選擇性交換操作，通過UTP (LAN)電纜30迅速地傳輸EPD控制器10所接收到的數據。這時，具有各自獨立IP位址的UDS，通過TCP/IP通信與光譜儀Bi、B2、…、&ι進
行通信。當光譜儀B1、B2、-,Bn的數據通過TCP/IP通信傳輸至交換集線器40後，可以根 據交換集線器40的交換操作，在沒有損耗的情況下快速地傳輸EPD控制器10所需的光譜 儀B1、B2、…、&ι的數據。上述描述是關於本發明的示範性實施例，意圖是示意性的，且不應解釋為限制本 發明。本發明的許多替換、潤飾及變化是本領域技術人員顯而易見的。
權利要求
1.一種遠距光譜儀的連接結構，包括鄰近設置於大尺寸製造設備內的反應室觀察端 口並連接至單個EPD控制器的多個光譜儀，其特徵在於所述多個光譜儀分別連接至設置於 多個通道的多個USB設備伺服器(USD)，設置於各所述通道的各所述USB設備伺服器(USD) 連接至單個交換集線器，並且所述交換集線器連接至所述EPD控制器。
2.如權利要求1所述的遠距光譜儀的連接結構，其中，為了通過具有獨立IP位址的 TCP/IP通信傳輸所述光譜儀的數據至所述EPD控制器，所述USB設備伺服器藉由USB電纜連接至所述光譜儀，並藉由UTP(LAN)電纜連接至所 述交換集線器，並且所述交換集線器藉由UTP(LAN)電纜連接至所述EPD控制器。
3.如權利要求2所述的遠距光譜儀的連接結構，其中，所述EPD控制器包括USB2LAN 轉換器或者 PCI Express Giga LAN。
全文摘要
一種遠距光譜儀的連接結構，該遠距光譜儀的連接結構可通過USB伺服器將EPD控制器連接至以USB接口形式安裝於反應室中的遠距光譜儀，以克服由USB電纜的有效長度產生的限制，並且將光譜儀產生的數據穩定地傳輸至EPD控制器，藉此提高製程反應室發射的等離子發射的監測效率。
文檔編號H04B10/00GK102067482SQ200880129902
公開日2011年5月18日 申請日期2008年9月8日 優先權日2008年6月20日
發明者尹碩敏, 李東錫, 李淳鍾, 禹奉周, 金學權 申請人:塞米西斯科株式會社