安全氣體源鋼瓶的製作方法

2023-05-28 04:08:31

安全氣體源鋼瓶的製作方法
【專利摘要】本實用新型涉及安全氣體源鋼瓶，鋼瓶的瓶體呈方形結構，鋼瓶外形長度為25mm～160mm，寬度為25mm～160mm，高度為25mm～500mm，瓶體上設有氣體閥門接口，氣體閥門接口上安裝氣體閥門，瓶體內放置有吸附劑。將鋼瓶設計為與氣櫃倉相同的方形結構，實現在同樣大小空間的情況下，增加鋼瓶的有效體積，從而增加鋼瓶的儲氣和供氣量，達到優化安全氣體源和氣櫃使用效率的目的。易於製造，鋼瓶使用效率高，特別適合對空間利用率要求高的大規模集成電路生產場合，由於鋼瓶儲氣量增加而減少鋼瓶置換頻率，使劇毒氣體和超高壓帶來的安全隱患也大大減少。
【專利說明】安全氣體源鋼瓶
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種安全氣體源鋼瓶。
【背景技術】
[0002]大規模集成電路製造的最主要工藝中，像離子注入和化學沉積，需要使用大量的像砷烷(AsH3)，磷烷(PH3)和三氟化硼(BF3)的氣體材料。由於其劇毒性質和獨特的使用方法，必須採用安全的負壓包裝技術，也就是安全氣體源SDS? (Safe Delivery Source),安全氣體源是一個以吸附劑為核心的氣體鋼瓶。與一般的高壓氣體鋼瓶相比，其特點是在保持儲氣量不變的情況下，能將鋼瓶壓力維持在一個大氣壓以下，也就是負壓水平。這樣在鋼瓶的使用中即使操作有誤或出現意外，都不會有毒氣外漏，達到了生產車間的安全需要。此技術由美國ATMI (Advanced Technology Materials Inc.)公司開發，由於其安全性，被半導體行業廣泛地採納，應用於離子注入工藝過程。但是目前的產品存在以下缺點:鋼瓶的使用效率不高。由於離子注入機臺是超高壓設備，含有劇毒氣體的安全氣體源鋼瓶必須內置於機臺內部的特定氣櫃中。由於供氣的氣櫃和鋼瓶倉位都是方形的，而鋼瓶是圓形的，鋼瓶四周都會留下許多空間，得不到充分利用。對於昂貴的機臺和無塵車間來說，這都是很大的浪費。加之由於較小的鋼瓶儲氣量而造成的頻繁的鋼瓶置換，劇毒氣體和超高壓帶來的安全隱患也大大增加。因此，通過鋼瓶形狀改變來更有效地增加儲氣量對離子注入生產不但可以節約成本，也大大地改善了生產車間的安全性。

【發明內容】

[0003]本實用新型的目的是克服現有技術存在的不足，提供一種安全氣體源鋼瓶。
[0004]本實用新型的目的通過以下技術方案來實現:
[0005]安全氣體源鋼瓶，特點是:所述鋼瓶的瓶體呈方形結構，鋼瓶外形長度為25mm?160mm,寬度為25mm?160臟，高度為25mm?500臟，瓶體上設有氣體閥門接口，氣體閥門接口上安裝氣體閥門，瓶體內放置有吸附劑。
[0006]進一步地，上述的安全氣體源鋼瓶，所述瓶體的材質為碳鋼或不鏽鋼或鋁合金或
鶴金屬。
[0007]更進一步地，上述的安全氣體源鋼瓶，所述氣體閥門上套置有保護帽。
[0008]更進一步地，上述的安全氣體源鋼瓶，所述方形為正方形或長方形。
[0009]本實用新型技術方案的實質性特點和進步主要體現在:
[0010]將鋼瓶設計為與氣櫃倉相同的方形結構，實現在同樣大小空間的情況下，增加鋼瓶的有效體積，從而增加鋼瓶的儲氣和供氣量，達到優化安全氣體源和氣櫃使用效率的目的。易於製造，鋼瓶使用效率高，特別適合對空間利用率要求高的大規模集成電路生產場合，由於鋼瓶儲氣量增加而減少鋼瓶置換頻率，使劇毒氣體和超高壓帶來的安全隱患也大大減少。【專利附圖】

【附圖說明】
[0011]下面結合附圖對本實用新型技術方案作進一步說明:
[0012]圖1:本實用新型的構造示意圖；
[0013]圖2:瓶體的截面不意圖。
【具體實施方式】
[0014]如圖1、圖2所示，安全氣體源鋼瓶，鋼瓶的瓶體I呈方形結構，可以是正方形，或是長方形，鋼瓶外形長度為25mm~160mm,寬度為25mm~160mm,高度為25mm~500mm,瓶體上設有氣體閥門接口，氣體閥門接口上安裝氣體閥門2，瓶體內放置有吸附劑，氣體閥門2上套置有保護帽。
[0015]瓶體I的材質為碳鋼或不鏽鋼或鋁合金或鎢金屬，瓶體I可以用熱煅法製成，也可以用熱拉法製成，也可以用焊接法製成。
[0016]鋼瓶的最大工作壓力為5個大氣壓，最大測試壓力為20個大氣壓，最大爆裂壓力為140個大氣壓，最大真空壓力為1X1(T5 mmHgo
[0017]在不需要對氣櫃進行任何改動的情況下，鋼瓶採用方形結構，使鋼瓶體積和儲氣量增加近30%，也就是將等單位氣櫃空間供氣量增加近30%。
[0018]圓形鋼瓶只能佔據小於80%的氣櫃空間，而方形鋼瓶可以利用氣櫃95%以上的空間。
[0019]實施例1:
[0020]傳統的直徑約為105mm、高為336mm的2.4L圓形鋼瓶，SS304不鏽鋼的正方形鋼瓶。對鋼瓶進行砷烷充氣直到鋼瓶壓力平衡在650mmHg (25°C室溫)。充完氣後，用真空將鋼瓶抽至於20mmHg以測試其供氣量。方形鋼瓶與圓形鋼瓶的比較數據如下:
[0021]
【權利要求】
1.安全氣體源鋼瓶，其特徵在於:所述鋼瓶的瓶體呈方形結構，鋼瓶外形長度為25mm?160mm,寬度為25mm?160mm,高度為25mm?500mm,瓶體上設有氣體閥門接口，氣體閥門接口上安裝氣體閥門，瓶體內放置有吸附劑。
2.根據權利要求1所述的安全氣體源鋼瓶，其特徵在於:所述瓶體的材質為碳鋼或不鏽鋼或鋁合金或鎢金屬。
3.根據權利要求1所述的安全氣體源鋼瓶，其特徵在於:所述氣體閥門上套置有保護帽。
4.根據權利要求1所述的安全氣體源鋼瓶，其特徵在於:所述方形為正方形或長方形。
【文檔編號】F17C13/04GK203615054SQ201320733047
【公開日】2014年5月28日 申請日期:2013年11月19日 優先權日:2013年11月19日
【發明者】王陸平, 許從應, 李英輝, 馬瀟, 朱顏, 王仕華, 王智 申請人:蘇州丹百利電子材料有限公司