單晶爐副爐室垂直度調節裝置的製作方法

2023-06-01 07:57:31

專利名稱：單晶爐副爐室垂直度調節裝置的製作方法
技術領域：
本發明涉及工業單晶爐，進一步是指該類單晶爐的副爐室垂直度調節裝置。
背景技術：
近幾年來，隨著半導體ic產業及太陽能光伏產業的快速發展，促進了用於 生產單晶矽棒的軟軸提拉式單晶爐的生產與銷售。目前國內最常用的80型單晶 爐，由主、副爐室系統、坩堝傳動系統、籽晶傳動系統、底座及立柱等輔助系 統、真空系統和電氣控制系統組成。設備工作時，副爐室底部落在插板閥(或 翻板闊)上，該閥打開，副爐室與主室相通，在真空環境中提拉單晶，並將拉 出的單晶棒存放在副爐室內腔中。當需要取出拉好的單晶棒時，則關閉插板閥 (或翻板閥)，副室內腔為大氣環境，升起並旋轉副爐室，將單晶棒取出。在設 備生產過程中，副爐室底部與插板閥或翻板閥的連接應結合緊密，避免漏氣。 因此，副爐室升降的垂直度顯得非常重要。目前，由於大部分的單晶爐的副室 都採用浮動式升降結構，副爐室安裝後，出現副爐室的上端偏離副爐室升降臂 而其下端靠近副爐室升降臂的情況，即副爐室偏離垂直狀態；因此，副爐室下 降過程中與插板閥(或翻板閥)法蘭密封不好的現象比較常見。在現有結構下， 調節副爐室的過程非常麻煩，影響了設備安裝生產，也不利於設備的售後。

發明內容
本發明要解決的技術問題是，針對現有技術存在的缺陷，提出一種單晶爐 副爐室垂直度調節裝置，它應用於生產單晶矽棒的軟軸提拉型單晶爐上，能使 副爐室下降至插板閥上後與插板閥或翻板閥法蘭保持良好的密封。
本發明的技術方案是，所述單晶爐副爐室垂直度調節裝置包括副爐室升降 臂，該副爐室升降臂的上前端和下前端分別同固定在副爐室一側的上連接塊和
3下連接塊對應連接，其結構特點是，所述上前端上固定安裝有上固定塊，拉緊 螺釘穿過該上固定塊中的水平通孔且其前端旋入所述上連接塊的相應螺孔中； 下前端上固定安裝有下固定塊，頂出螺釘裝在該下固定塊的水平螺孔中且其前 端從該螺孔中旋出後頂在所述卜連接塊上。 以下對本發明做出進一步說明。
參見圖1，本發明所述單晶爐副爐室垂直度調節裝置包括副爐室升降臂7，
該副爐室升降臂7的上前端和下前端分別同固定在副爐室1 一側的上連接塊2 和下連接塊10對應連接，其結構特點是，所述上前端上固定安裝有上固定塊5， 拉緊螺釘6穿過該上固定塊5中的水平通孔且其前端旋入所述上連接塊2的相 應螺孔中；下前端上固定安裝有下固定塊9，頂出螺釘8裝在該下固定塊9的 水平螺孔中且其前端從該螺孔中旋出後頂在所述下連接塊10上。
本發明的設計原理是(參見圖1)，所述拉緊螺釘6與上固定塊5配合，上 固定塊5屮間的所述通孔是光孔(非螺孔)，拉緊螺釘6穿過光孔並旋入副爐室 的上連接塊2的螺孔內，順時針旋轉拉緊螺釘6，則副爐室l的上端向副爐室 升降臂7方向偏轉(靠近)；所述頂出螺釘8與下固定塊9配合，下固定塊9 中間是螺孔，頂出螺釘8通過下固定塊9的螺孔旋出，頂在副爐室的下連接塊 10上，順時針旋轉頂出螺釘8，則副爐室的下端偏離(遠離)副爐室升降臂7 方向。當頂出螺釘8與拉緊螺釘6調節到適當的位置時，則使副爐室l垂直置 於插板閥(或翻板閥)的法蘭面，副爐室1下降後將會與插板閥(或翻板閥) 結合緊密，避免漏氣。
由以上可知，本發明為一種單晶爐副爐室垂直度度調節裝置，它結構簡單、 零件少、便於加工裝配，調節簡便、省時省力、效果顯著、性能穩定，可提高單晶爐生產調節速度、降低勞動強度、節約操作時間。


圖1是本發明所述單晶爐副爐室垂直度調節裝置的一種實施例結構示意 圖。在圖中
l一副爐室， 2—上連接塊， 3—緊固螺釘，
4一安裝螺釘， 5—上固定塊， 6—拉緊螺釘，
7—副爐室升降臂， 8—頂出螺釘， 9一下固定塊， IO—下連接塊。
具體實施例方式
如圖l所示，本發明所述單晶爐副爐室垂直度調節裝置包括副爐室升降臂 7，該副爐室升降臂7的上前端和下前端分別同固定在副爐室1 一側的上連接塊 2和下連接塊10對應連接，其結構特點是，所述上前端上固定安裝有上固定塊 5，拉緊螺釘6穿過該上固定塊5中的水平通孔且其前端旋入所述上連接塊2 的相應螺孔中；下前端上固定安裝有下固定塊9，頂出螺釘8裝在該下固定塊9 的水平螺孔中且其前端從該螺孔中旋出後頂在所述下連接塊10上。
實際安裝時，在將副爐室1與副爐室升降臂7連接之前，先將副爐室l完 全落在插板閥(或翻板閥)上，副爐室法蘭與插板閥(或翻板閥)法蘭貼緊、 豎直。然後用緊固螺釘3將副爐室1與副爐室升降臂7固定；再按圖1所示， 將上固定塊5、下固定塊9相應安裝到副爐室升降臂7上，用安裝螺釘(內六 角螺釘)4固定好；再將拉緊螺釘6和頂出螺釘8分別套(裝)在上固定塊5、 下固定塊9上，接電運行副爐室升降臂7，看副爐室1是否垂直於插板閥(或 翻板閥)法蘭。合爐時，如果不能完全蓋合，則調節單晶爐副爐室垂直度調節裝置的頂出螺釘8和拉緊螺釘6。當副爐室1上端偏離副爐室升降臂7 (下端相 應偏向副室升降臂)，則順時針旋轉頂出螺釘8和拉緊螺釘6;當副爐室1下端
偏離副爐室升降臂(上端相應偏向副爐室升降臂)，則逆時針旋轉頂出螺釘8
和拉緊螺釘6;反覆調節，直到將副爐室l至調垂直為止。
權利要求
1、一種單晶爐副爐室垂直度調節裝置，包括副爐室升降臂(7)，該副爐室升降臂(7)的上前端和下前端分別同固定在副爐室(1)一側的上連接塊(2)和下連接塊(10)對應連接，其特徵是，所述上前端上固定安裝有上固定塊(5)，拉緊螺釘(6)穿過該上固定塊(5)中的水平通孔且其前端旋入所述上連接塊(2)的相應螺孔中；所述下前端上固定安裝有下固定塊(9)，頂出螺釘(8)裝在該下固定塊(9)的水平螺孔中且其前端從該螺孔中旋出後頂在所述下連接塊(10)上。
全文摘要
一種單晶爐副爐室垂直度調節裝置，包括副爐室升降臂(7)，該副爐室升降臂(7)的上前端和下前端分別同固定在副爐室(1)一側的上連接塊(2)和下連接塊(10)對應連接，其特徵是，所述上前端上固定安裝有上固定塊(5)，拉緊螺釘(6)穿過該上固定塊(5)中的水平通孔且其前端旋入所述上連接塊(2)的相應螺孔中；下前端上固定安裝有下固定塊(9)，頂出螺釘(8)裝在該下固定塊(9)的水平螺孔中且其前端從該螺孔中旋出後頂在所述下連接塊(10)上。它結構簡單、零件少、便於加工裝配，且調節簡便、省時省力、效果顯著、性能穩定，可提高單晶爐生產調節速度、降低勞動強度、節約操作時間。
文檔編號C30B15/20GK101469445SQ20071030341
公開日2009年7月1日 申請日期2007年12月25日 優先權日2007年12月25日
發明者周健伊, 易臻希, 程遠貴, 超 蔣 申請人:中國電子科技集團公司第四十八研究所