小流量純氣體的識別和流量測量系統的製作方法

2023-12-11 04:35:47 1

專利名稱：小流量純氣體的識別和流量測量系統的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及小流量(0-300ml/min)純氣體的流量測量設備。
背景技術：
半導體集成的小流量傳感器具有體積小，耗電省的特點，用於小流量的純氣體流量測定。目前對於傳感器特性的使用還停留在傳統階段，即根據傳感器輸出信號與通過的氣體流量的相應關係，對於不同性質的氣體，如常用的氮氣、氬氣、氫氣、氦氣等，需要通過查閱不同的表或進行不同的計算得到氣體流量，顯然這種方式費時費力，不符合當前的信息化社會。

發明內容
本實用新型需要解決的技術問題在於提供一種小流量純氣體的識別和流量測量系統，能夠對傳感器特性阻抗進行自動檢測。
本實用新型的技術方案如下包括電源、半導體流量傳感器和電參數信號檢測裝置，電參數信號檢測裝置與傳感器串聯，用於接收傳感器輸出的電信號，其特徵在於還包括與檢測裝置輸出端連接的單片機系統，該單片機內設置有用於電參數的分析處理軟體，通過該軟體將分析結果以數位訊號輸出，同時也通過D/A轉換將所述數位訊號以模擬量輸出。
本實用新型的有益效果是，由於採用了單片微機技術，通過對傳感器特性阻抗進行檢測，判別區分出幾種常見的氮氣、氬氣、氫氣、氦氣等氣體，再根據不同的氣體的特性，分別進行不同的放大和非線性處理，達到換用不同性質的氣體都能正確的輸出與流量對應的信號的目的，從而實現了小流量檢測領域自動化測量零的突破。


圖1為本實用新型的系統原理框圖。
具體實施方式
以下結合附圖和具體實施例對本實用新型作詳細說明。
如圖，本實用新型包括電源、半導體流量傳感器、電參數信號檢測裝置、單片機系統，不同性質的氣體從傳感器中流過，傳感器的特性阻抗則會有相應的改變，電參數信號檢測裝置接收到傳感器的輸出信號，並將其輸送到單片機系統中，單片機首先將模擬量通過A/D轉換變為數字量，然後通過內部軟體對所得數字量進行放大、氣體性質判別，非線性校正，即該軟體包括電參數放大處理模塊、氣體性質判別模塊和非線性校正模塊，由於不同性質氣體的傳感器特性阻抗不同，進入單片機的模擬量也不同，因而經過軟體處理後所得到的相應數字量也必然不同，最後所得數字量信號通過數碼顯示輸出，同時再通過D/A轉換以模擬量流量信號輸出，從而便於與後續接收模擬量的其他設備適配連接。
權利要求1.一種小流量純氣體的識別和流量測量系統，包括電源、半導體流量傳感器和電參數信號檢測裝置，電參數信號檢測裝置與傳感器串聯，用於接收傳感器輸出的電信號，其特徵在於還包括與檢測裝置輸出端連接的單片機系統，該單片機內設置有用於電參數的分析處理軟體，通過該軟體將分析結果以數位訊號輸出，同時也通過D/A轉換將所述數位訊號以模擬量輸出。
2.如權利要求1所述的小流量純氣體的識別和流量測量系統，其特徵在於，所述軟體包括電參數放大處理模塊、氣體性質判別模塊和非線性校正模塊。
專利摘要本實用新型公開了一種小流量純氣體的識別和流量測量系統，包括電源、半導體流量傳感器和電參數信號檢測裝置，其特徵在於還包括與檢測裝置輸出端連接的單片機系統，該單片機內設置有用於電參數的分析處理軟體。其有益效果是，由於採用了單片微機技術，實現了小流量檢測領域自動化測量零的突破。
文檔編號G01N27/416GK2738249SQ200420107659
公開日2005年11月2日 申請日期2004年11月2日 優先權日2004年11月2日
發明者徐民海 申請人:上海科創色譜儀器有限公司