一種半導體角槽定向儀的製作方法

2023-07-12 00:29:16 1

專利名稱：一種半導體角槽定向儀的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種半導體檢測設備，特別是涉及一種半導體角槽定向儀。
背景技術：
半導體單晶矽，生產過程中為圓柱形存在，傳統工藝為用定向儀定向後切削一個邊作為參考邊，從而對圓柱體端面進行定向和後續加工，但是由於半導體單晶矽尺寸較大， 近對一個邊的切削定向對半導體單晶矽的浪費也是非常嚴重的，有3%-6%的材料將被切除並不能使用，目前採用的工藝為切削一個90°深3-5_的直角槽對晶棒的端面進行定向。從而節約了材料，角槽的切削量不足1%。本專利設備就是對角槽進行定向，對半導體單晶矽通過角槽對其他晶向進行定向的新型檢測設備。
實用新型內容本實用新型的目的是為解決上述現有技術存在的缺陷和不足，而提供一種對半導體單晶矽晶棒的角槽進行定向和檢測，並能夠檢測出角槽的晶向位置是否符合生產要求的半導體角槽定向儀。採用的技術方案是一種半導體角槽定向儀，包括機臺，機臺上固定有X射線發生器。機臺上位於X射線發生器的兩側分別固定有測角儀，測角儀內裝設有渦輪蝸杆副，渦輪蝸杆副的蝸杆一端連接手輪，蝸杆的另一端裝設有編碼器，渦輪與一主軸相連接，主軸的上部穿出測角儀的殼體外，其穿出端固定一託板，託板上裝設有定位塊，定位塊通過手輪搖動絲槓使定位塊與被測晶體的角槽重合，託板上安裝旋轉託盤及滑板，旋轉託盤上設置有顯示面板，滑板上裝設有晶棒夾緊夾具，晶棒夾緊夾具上裝設有手搖絲槓。本實用新型能夠檢測出角槽的晶向位置是否符合生產要求，並且以角槽為基準可以檢測其他晶向的角度。從而提高產品合格率，及工作效率。

圖I是本實用新型的結構示意圖。
具體實施方式
一種半導體角槽定向儀，包括機臺1，機臺I上固定有X射線發生器8。機臺I上位於X射線發生器8的兩側分別固定有測角儀14，測角儀14內安裝有渦輪蝸杆副2，渦輪蝸杆副2的蝸杆一端連接手輪3，蝸杆的另一端安裝有編碼器15，渦輪與一主軸相連接，主軸的上部穿出測角儀14的殼體外，其穿出端固定一託板13，託板13上安裝有定位塊5，定位塊5通過手輪搖動絲槓4使定位塊與被測晶體11的角槽重合，託板13上安裝旋轉託盤6及滑板7，旋轉託盤6上設置有顯示面板9，滑板7上裝設有晶棒夾緊夾具12，晶棒夾緊夾具12上安裝有手搖絲槓10，晶棒夾緊夾具可以通過手搖絲槓10前後移動，從而以角槽為基準對半導體單晶矽進行定向，通過顯示面板9顯示出讀數。
權利要求1.一種半導體角槽定向儀，包括機臺，機臺上固定有X射線發生器，其特徵在於所述的機臺上位於X射線發生器的兩側分別固定有測角儀，測角儀內裝設有渦輪蝸杆副，渦輪蝸杆副的蝸杆一端連接手輪，蝸杆的另一端裝設有編碼器，渦輪與一主軸相連接，主軸的上部穿出測角儀的殼體外，其穿出端固定一託板，託板上裝設有定位塊，託板上裝設有旋轉託盤及滑板，旋轉託盤上設置有顯示面板，滑板上裝設有晶棒夾緊夾具，晶棒夾緊夾具上裝設有手搖絲槓。
專利摘要一種半導體角槽定向儀，包括機臺，機臺上固定有X射線發生器。機臺上位於X射線發生器的兩側分別固定有測角儀，測角儀內裝設有渦輪蝸杆副，渦輪蝸杆副的蝸杆一端連接手輪，蝸杆的另一端裝設有編碼器，渦輪與一主軸相連接，主軸的上部穿出測角儀的殼體外，其穿出端固定一託板，託板上裝設有定位塊，定位塊通過手輪搖動絲槓使定位塊與被測晶體的角槽重合，託板上安裝旋轉託盤及滑板，旋轉託盤上設置有顯示面板。本實用新型能夠檢測出角槽的晶向位置是否符合生產要求，並且以角槽為基準可以檢測其他晶向的角度。從而提高產品合格率，及工作效率。
文檔編號G01N23/207GK202661416SQ201220322110
公開日2013年1月9日 申請日期2012年7月5日 優先權日2012年7月5日
發明者甄偉, 趙松彬 申請人:丹東新東方晶體儀器有限公司