一種真空及氣體模擬環境測試腔的製作方法
2023-07-12 18:33:46 2
一種真空及氣體模擬環境測試腔的製作方法
【專利摘要】本實用新型提供了一種結構簡單、密封效果好的真空及氣體模擬環境測試腔,包括腔體,位於腔體上方的腔體蓋,所述腔體蓋的中間設有觀察窗;所述腔體外部固定有接線柱和氣壓表,所述腔體內部固定有探針座,所述探針座與接線柱相連;所述腔體下方設有腔體支柱,所述腔體的底部設有風扇。本實用新型的一種真空及氣體模擬環境測試腔,設計觀察窗,能觀測器件隨環境變化自身變化的狀況,可以及時發現問題,並作切斷,安全性高。在腔體與腔體蓋結合面上增加了一圈凹槽,放置密封墊,讓腔體與腔體蓋緊密接觸,密封度高。腔體內放有探針座,除可對成品器件測量外,還可對未封裝器件進行測量。腔體配有氣壓表,可實時觀測腔體內壓強。
【專利說明】一種真空及氣體模擬環境測試腔
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種測試腔,尤其是一種真空及氣體模擬環境測試腔。
【背景技術】
[0002]真空及氣體模擬環境測試腔模擬在真空環境及特殊氣體環境下測量多路半導體電子元器件、新材料等的電流、電壓等特性,用來表徵器件及材料的多模環境參量下的電學特性。現有的測試腔結構複雜,密封效果不好,使用不方便。
實用新型內容
[0003]本實用新型提供了一種結構簡單、密封效果好的真空及氣體模擬環境測試腔。
[0004]實現本實用新型目的的一種真空及氣體模擬環境測試腔,包括腔體,位於腔體上方的腔體蓋,所述腔體蓋的中間設有觀察窗;所述腔體外部固定有接線柱和氣壓表,所述腔體內部固定有探針座,所述探針座與接線柱相連;所述腔體下方設有腔體支柱,所述腔體的底部設有風扇。
[0005]所述腔體蓋通過緊固螺絲固定在腔體上。
[0006]所述腔體上方與腔體蓋的接觸面設有凹槽,所述凹槽內設有密封墊,密封墊與腔體蓋之間塗有乳膠。
[0007]所述腔體蓋上方設有把手。
[0008]本實用新型的一種真空及氣體模擬環境測試腔的有益效果如下:
[0009]1、本實用新型的一種真空及氣體模擬環境測試腔,設計觀察窗,能觀測器件隨環境變化自身變化的狀況,可以及時發現問題,並作切斷,安全性高。
[0010]2、在腔體與腔體蓋結合面上增加了一圈凹槽,放置密封墊,讓腔體與腔體蓋緊密接觸,密封度高。
[0011]3、腔體內放有探針座,除可對成品器件測量外,還可對未封裝器件進行測量。
[0012]4、腔體配有氣壓表,可實時觀測腔體內壓強。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0013]圖1為本實用新型的一種真空及氣體模擬環境測試腔的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0014]如圖1所示,本實用新型的一種真空及氣體模擬環境測試腔,包括腔體1,位於腔體I上方的腔體蓋2,所述腔體蓋2的中間設有觀察窗4 ;所述腔體I外部固定有接線柱6和氣壓表7,所述腔體I內部固定有探針座,所述探針座與接線柱6相連;所述腔體I下方設有腔體支柱9,所述腔體I的底部設有風扇8。所述腔體蓋2通過緊固螺絲3固定在腔體I上。
[0015]所述腔體I上方與腔體蓋2的接觸面設有凹槽,所述凹槽內設有密封墊,密封墊與腔體蓋2之間塗有乳膠。
[0016]所述腔體蓋2上方設有把手5。
[0017]本實用新型的一種真空及氣體模擬環境測試腔的有益效果如下:
[0018]腔體為主體,觀察窗在腔體蓋的中心部位,和腔體蓋的接觸面光滑,連接緊密,並使用密封膠黏劑進行密封,從觀察窗可看到器件和探針的連接情況。接線柱和氣壓表一樣,鑲在腔體的側面,我們克服了線纜和腔體間密封性不好的困難,將接線柱通過特製線纜連接到腔體內部,使用密封膠黏劑進行密封,實現無縫隙內外通電。氣壓表以同樣的方法連接至腔體內,測量腔體內部氣壓。探針座在腔體內部與接線柱線纜連接。在腔體與腔體蓋結合面設計了一圈凹槽,放置密封膠墊並塗上乳膠,保證密封度,同時緊固螺絲增加腔體蓋與腔體之間的接觸程度,密封性更好。風扇在腔體的底部,測量一些發熱器件時,起到散熱的功能。腔體支柱用來支撐整個腔體。
[0019]上面所述的實施例僅僅是對本實用新型的優選實施方式進行描述,並非對本實用新型的範圍進行限定,在不脫離本實用新型設計精神前提下,本領域普通工程技術人員對本實用新型技術方案做出的各種變形和改進,均應落入本實用新型的權利要求書確定的保護範圍內。
【權利要求】
1.一種真空及氣體模擬環境測試腔,其特徵在於:包括腔體,位於腔體上方的腔體蓋,所述腔體蓋的中間設有觀察窗;所述腔體外部固定有接線柱和氣壓表,所述腔體內部固定有探針座,所述探針座與接線柱相連;所述腔體下方設有腔體支柱,所述腔體的底部設有風扇。
2.根據權利要求1所述的一種真空及氣體模擬環境測試腔,其特徵在於:所述腔體蓋通過緊固螺絲固定在腔體上。
3.根據權利要求2所述的一種真空及氣體模擬環境測試腔,其特徵在於:所述腔體上方與腔體蓋的接觸面設有凹槽,所述凹槽內設有密封墊,密封墊與腔體蓋之間塗有乳膠。
4.根據權利要求1?3任一所述的一種真空及氣體模擬環境測試腔,其特徵在於:所述腔體蓋上方設有把手。
【文檔編號】G01R31/00GK203535129SQ201320564682
【公開日】2014年4月9日 申請日期:2013年9月12日 優先權日:2013年9月12日
【發明者】潘慶彬 申請人:和創聯合科技(北京)有限公司