傳送手臂的製作方法

2023-08-01 01:08:56 2

專利名稱：傳送手臂的製作方法
技術領域：
傳送手臂所屬駄領域本實用新型涉及半導體設備上用於傳送、運載晶片的手臂裝置，尤其能安 全傳軀載帶魏曲變型的晶片的機械傳送手臂。 背景駄目前，半導體設備的傳送機器人上安裝的傳送手臂有用真空吸附式的，但 製品在製作過程中有時會發生翹曲，翹曲有時為上，有時向下，不固定。這時， 普通的傳送手臂在傳送過程中，由於製品的翹曲，手臂不能完全吸住製品，制 品會造成位置偏移造成不良品，甚至會發生掉片，造成不必要的損失。 實用新型內容為了克服現有機器人上的傳送手臂不能傳送有翹曲變型的晶片的不足，本 實用新型提供一種新型的傳送手臂，這種手臂不僅可以傳送標準的晶圓，也可 以緊緊的吸附住帶鄉曲變型的晶片，使之在傳送過程中不會發生偏移和掉片。本實用新型解決其技術問題所採用的技術方案是一種傳送手臂，在傳送手臂本體上設有吸盤，在傳送手臂本體內部設有與 吸盤相通的真空通道。所述傳送手臂本體為雙叉形結構。戶脫吸盤在傳送手臂本體上均布，與其傳送的晶片相對應。 本實用新型的有益效果是-1、 本實用新型在手臂與晶片真空吸附處安,軟的微型吸盤，吸盤的最上 表面要保持在一個平面上，且與手臂的基面保持平行。2、 無論機器人傳送的晶片是不是有翹曲變型，本實用新型都可以安^載 傳送，不掉片，結構簡單。


圖1是本實用新型結構示意圖。圖中，1、傳送手臂本體；2、真空通道；3、吸盤。具敝施力式
以下結合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。如圖1所示，本實用新型傳送手臂，在傳送手臂本體1上設有吸盤3，在傳 送手臂本體1內部設有與吸盤3相通的真空通道2，傳送手臂本體1為雙叉形結 構，吸盤3在傳送手臂本體1上均布，與所傳送的晶片相對應。本實用新型吸 盤的材料可以為矽橡膠。當為沒有變形的標準晶片裝載傳送時，晶片底面和吸盤3完全吸附上，和 普通傳送手臂相同；當帶有翹曲變型的晶片裝載時，由於重力的作用，吸盤3 會隨著晶片翹曲變型的方向發生變型，使吸盤的上圈完全和變型的晶片重合。 當真空通過傳送手臂內部的真空通道2開啟後，由於變型的吸盤3和變型晶片 完^^寸閉形成負壓就會和傳送手臂本體1牢牢吸附在一起，即使在急速運行中 也不會掉下，當運行到指定位置後，真空閥關閉，卸載晶片。
權利要求1、一種傳送手臂，其特徵在於在傳送手臂本體上設有吸盤，在傳送手臂本體內部設有與吸盤相通的真空通道。
2、 按照權利要求1所述的傳送手臂，其特徵在於傳送手臂本體為雙叉形 結構。
3、 按照權利要求1戶脫的傳送手臂，其特徵在於吸盤在傳送手臂本體上 均布，與其傳送的晶片相對應。
專利摘要本實用新型涉及半導體設備上用於傳送、運載晶片的手臂裝置，尤其能安全傳送運載帶有翹曲變型的晶片的機械傳送手臂，在傳送手臂本體上設有吸盤，在傳送手臂本體內部設有與吸盤相通的真空通道。本實用新型可以解決現有機器人上的傳送手臂不能傳送有翹曲變型的晶片等問題，這種手臂不僅可以傳送標準的晶圓，也可以緊緊的吸附住帶有翹曲變型的晶片，使之在傳送過程中不會發生偏移和掉片。
文檔編號B25J15/06GK201102246SQ20072001594
公開日2008年8月20日 申請日期2007年11月16日 優先權日2007年11月16日
發明者王紹勇 申請人:瀋陽芯源微電子設備有限公司