表面聲波器件、表面聲波振蕩器以及電子設備的製作方法

2023-11-07 02:06:22

表面聲波器件、表面聲波振蕩器以及電子設備的製作方法
【專利摘要】本發明提供表面聲波器件、表面聲波振蕩器以及電子設備，它們能夠實現良好的頻率溫度特性。表面聲波器件的特徵在於，具有石英基板(30)和激勵出阻帶上端模式的表面聲波的IDT(12)，石英基板(30)的歐拉角為
【專利說明】表面聲波器件、表面聲波振蕩器以及電子設備
[0001] 本申請是申請日為2011年08月24日，申請號為201110246685. 4,發明名稱為"表 面聲波器件、表面聲波振蕩器以及電子設備"的發明專利申請的分案申請。

【技術領域】
[0002] 本發明涉及表面聲波器件、搭載有該表面聲波器件的表面聲波振蕩器以及電子設 備，尤其涉及頻率溫度特性良好的表面聲波器件、搭載有該表面聲波器件的表面聲波振蕩 器以及電子設備。

【背景技術】
[0003] 在表面聲波（SAW :surface acoustic wave)器件（例如SAW諧振器）中，SAW的 阻帶（stopband)、石英基板的切角以及IDT (interdigital transducer :叉指換能器）的形 成方式等對頻率溫度特性的變化影響很大。
[0004] 例如，在專利文獻1中，公開了 SAW的阻帶的上端模式和下端模式各自的進行激勵 的結構以及阻帶的上端模式和下端模式各自的駐波分布等。
[0005] 另外，在專利文獻2?5中記載了如下情況：SAW的阻帶上端模式的頻率溫度特性 優於阻帶下端模式。並且，在專利文獻2、3中記載了如下情況：在利用了瑞利波的SAW裝置 中，為了獲得良好的頻率溫度特性，對石英基板的切角進行調整，並且將電極的基準化膜厚 (H/X)增厚到〇. 1左右。
[0006] 並且，在專利文獻4中記載了如下情況：在利用了瑞利波的SAW裝置中，對石英基 板的切角進行調整，並且使電極的基準化膜厚（H/X)加厚0.045以上。
[0007] 此外，在專利文獻5中記載了如下情況：通過採用旋轉Y切X傳播的石英基板並利 用阻帶上端的諧振，由此，與利用阻帶下端的諧振的情況相比，頻率溫度特性提高。
[0008] 此外，在專利文獻6以及非專利文獻1中記載了如下情況：在使用ST切石英基 板的SAW器件中，在構成IDT的電極指之間以及構成反射器的導體帶（strip)之間設有槽 (Groove)。另外在非專利文獻1中，記載了頻率溫度特性隨槽的深度而變化的情況。
[0009] 另外，在專利文獻7中，記載了在採用LST切石英基板的SAW器件中用於使表示頻 率溫度特性的曲線成為三次曲線的結構，並且還記載了如下情況：在使用瑞利波的SAW器 件中，未發現具有由三次曲線表示的溫度特性的切角的基板。
[0010] 【專利文獻1】日本特開平11 一 214958號公報
[0011] 【專利文獻2】日本特開2006 - 148622號公報
[0012] 【專利文獻3】日本特開2007 - 208871號公報
[0013] 【專利文獻4】日本特開2007 - 267033號公報
[0014] 【專利文獻5】日本特開2002 - 100959號公報
[0015] 【專利文獻6】日本特開昭57 - 5418號公報
[0016] 【專利文獻7】日本特許第3851336號公報
[0017] 【非專利文獻1】夕少一7°形SAW共振器?製造條件t特性（電子通信學會技術研 宄報告麗82 - 59(1982))
[0018] 如上所述，用於改善頻率溫度特性的要素有很多，尤其在利用了瑞利波的SAW器 件中，認為增加構成IDT的電極的膜厚是改善頻率溫度特性的要因之一。但是，本申請的發 明人在實驗中發現，當增加了電極的膜厚時，老化特性及耐溫度衝擊特性等耐環境特性發 生劣化。另外，在以改善頻率溫度特性為主要目的的情況下，如前所述必需增加電極膜厚， 與此相伴，無法避免老化特性及耐溫度衝擊特性等的劣化。這對於Q值也是適用的，因此很 難在不增加電極膜厚的情況下實現高Q化。


【發明內容】

[0019] 因此，在本申請發明中，提供表面聲波器件、表面聲波振蕩器以及電子設備時的課 題在於實現良好的頻率溫度特性。
[0020] 本發明正是為了解決上述課題中的至少一部分而完成的，可作為以下方式或應用 例來實現。
[0021] [應用例1] 一種表面聲波器件，其特徵在於，具有IDT，該IDT被設置在以下三種 石英基板中的任意一者的主面上，激勵出阻帶上端模式的表面聲波，所述三種石英基板是：

【權利要求】
1. 一種表面聲波器件，其特徵在於，該表面聲波器件包含： 以下三種石英基板中的任意一者：第1石英基板，其歐拉角為（一W°S(pS6°，
及 叉指換能器，其由設置在所述石英基板的主面上的多個電極指構成，激勵出阻帶上端 模式的表面聲波， 俯視時，在所述石英基板的位於所述電極指之間的部分處設有電極指間槽， 在設所述表面聲波的波長為A，所述叉指換能器的線佔有率為n，所述電極指間槽的 深度為G時，滿足如下關係： 0.Ol入彡G彡0. 094入
在設所述電極指的膜厚為H時，滿足如下關係： 0 <H彡 0? 035 入。
2. 根據權利要求1所述的表面聲波器件，其特徵在於， 該表面聲波器件包含一對反射器，所述一對反射器被配置為，在俯視時在所述表面聲 波的傳播方向上夾著所述叉指換能器，對所述表面聲波進行反射。
3. 根據權利要求2所述的表面聲波器件，其特徵在於， 在設所述叉指換能器的阻帶上端模式的頻率為ft2,所述反射器的阻帶下端模式的頻 率為frl，所述反射器的阻帶上端模式的頻率為fr2時，滿足如下關係： frl<ft2 <fr2〇
4. 根據權利要求2或3所述的表面聲波器件，其特徵在於， 俯視時，在所述石英基板的位於構成所述反射器的導體帶之間的部分處，設有導體帶 間槽，所述導體帶間槽的深度比所述電極指間槽的深度淺。
5. 根據權利要求1-3中任意一項所述的表面聲波器件，其特徵在於， 電極指是由鋁或以鋁為主體的合金構成的。
6. 根據權利要求1-3中任意一項所述的表面聲波器件，其特徵在於， 滿足如下關係：
7. 根據權利要求1-3中任意一項所述的表面聲波器件，其特徵在於， 滿足如下關係： 0.02入彡G彡0.04入。
8. -種表面聲波振蕩器，其特徵在於，該表面聲波振蕩器具有權利要求1至3中任意一 項所述的表面聲波器件。
9. 一種電子設備，其特徵在於，該電子設備具有權利要求1至3中任意一項所述的表面 聲波器件。
【文檔編號】H03H9/02GK104506159SQ201410616565
【公開日】2015年4月8日 申請日期:2011年8月24日 優先權日:2010年8月26日
【發明者】大脅卓彌, 山中國人 申請人:精工愛普生株式會社