顯微鏡和重影消除方法

2023-12-09 21:32:16 1

專利名稱：顯微鏡和重影消除方法
技術領域：
本發明涉及顯微鏡和重影消除方法。
背景技術：
在現有技術中，已經公開了電動式顯微鏡，其中，根據物鏡的切換自動調節聚光透鏡、視場光闌、孔徑光闌、用於載物臺的物鏡的光軸方向驅動機構、濾波器、關於光源的調光電源等(例如，見日本未審查專利申請公開第11-133311號)。

發明內容
然而，為了實現關於在日本未審查專利申請公開第11-133311號中所描述的顯微鏡的自動聚焦功能，已經考慮到將使用獲取待被觀察的散焦位置的相差光學系統的自動聚焦設備安裝至顯微鏡。在這種情況下，光束分支元件設置在用於將透過樣本的光在攝像元件上成像的成像光學系統的光軸上，使得透過樣本的光的一部分光被導向至相差光學系統。通過本發明的發明人進行的關於使用相差光學系統的自動聚焦設備的深入研究的結果，發現通過光束分支元件所引起的重影影響通過成像光學系統和相差光學系統所成像的圖像。本發明將解決以上問題，並且期望提供具有使用相差光學系統的自動聚焦功能的顯微鏡，並且提供關於顯微鏡的重影消除方法，其中消除光束分支元件所引起的重影。根據本發明的實施方式，提供了一種顯微鏡，包括第一成像光學系統，對透過設置在載物臺上的樣本的樣本透過光進行攝像；以及第二成像光學系統，對從第一成像光學系統分支出的樣本透過光的一部分進行攝像。這裡，第二成像光學系統可以包括光束分支元件，從該第一成像光學系統分支出樣本透過光的一部分，並且具有預定閾值以上的厚度； 攝像元件，對所分支出的樣本透過光的相差圖像進行攝像；一個或多個光學元件，在攝像元件上對所分支出的樣本透過光的相差圖像進行成像；以及濾波器，遮擋在該攝像元件上聚焦的所分支出的樣本透過光的一部分。可以在第一成像光學系統中對光束分支元件所反射的樣本透過光進行攝像，並且可以在第二成像光學系統中對透過光束分支元件的樣本透過光的相差圖像進行攝像。可以在第一成像光學系統中對透過光束分支元件的樣本透過光進行攝像，並且可以在第二成像光學系統中對光束分支元件所反射的樣本透過光的相差圖像進行攝像。濾波器可以為設置有通孔組的光闌，其中，該通孔組用於允許成為相差圖像的光通量組經過，並且光束分支元件的厚度可以具有比根據通孔的直徑、通孔組的通孔的中心間距離和樣本透過光在濾波器的位置處的光通量直徑所計算的特徵值更大的值。光束分支元件的厚度可以具有比根據下面不等式1所計算的特徵值更大的值，不等式1被表示為[不等式1]
權利要求
1.一種顯微鏡，包括第一成像光學系統，對透過設置在載物臺上的樣本的樣本透過光進行攝像；以及第二成像光學系統，對所述樣本透過光的從所述第一成像光學系統分支出的一部分進行攝像，其中，所述第二成像光學系統包括光束分支元件，從所述第一成像光學系統分支出所述樣本透過光的一部分，並且具有預定閾值以上的厚度；攝像元件，對所述分支出的樣本透過光的相差圖像進行攝像；一個或多個光學元件，將所述分支出的樣本透過光的相差圖像成像在所述攝像元件上；以及濾波器，遮擋在所述攝像元件上成像的所述分支出的樣本透過光的一部分。
2.根據權利要求1所述的顯微鏡，其中，在所述第一成像光學系統中對所述光束分支元件所反射的所述樣本透過光進行攝像，並且在所述第二成像光學系統中對透過所述光束分支元件的所述樣本透過光的所述相差圖像進行攝像。
3.根據權利要求1所述的顯微鏡，其中，在所述第一成像光學系統中對透過所述光束分支元件的所述樣本透過光進行攝像，並且在所述第二成像光學系統中對所述光束分支元件所反射的所述樣本透過光的相差圖像進行攝像。
4.根據權利要求2所述的顯微鏡，其中，所述濾波器為設置有通孔組的光闌，其中，所述通孔組用於使成為所述相差圖像的光通量組經過，並且所述光束分支元件的厚度具有比根據所述通孔的直徑、所述通孔組的所述通孔的中心間距離和所述樣本透過光在所述濾波器位置處的光通量直徑所計算的特徵值更大的值。
5.根據權利要求4所述的顯微鏡，其中，所述光束分支元件的厚度具有比根據以下不等式1所計算的特徵值更大的值，所述不等式1表示為
6.一種重影消除方法，包括通過具有預定閾值以上的厚度的光束分支元件分支出透過設置在載物臺上的樣本的樣本透過光的一部分；以及通過設置在用於對所述分支出的樣本透過光的像差圖像進行攝像的攝像元件和所述光束分支元件之間的濾波器來遮擋所述光束分支元件所分支出的所述樣本透過光的一部分中的由相應的光束分支元件所引起的重影光。
全文摘要
本發明公開了顯微鏡和重影消除方法。該顯微鏡包括第一成像光學系統，對透過設置在載物臺上的樣本的樣本透過光進行攝像；以及第二成像光學系統，對從該第一成像光學系統分支出的樣本透過光的一部分進行攝像。這裡，該第二成像光學系統包括光束分支元件，從該第一成像光學系統分支樣本透過光的一部分，並具有預定閾值以上的厚度；攝像元件，對所分支出的樣本透過光的相差圖像進行攝像；一個或多個光學元件，在該攝像元件上對所分支出的樣本透過光的相差圖像進行成像；以及濾波器，遮擋在該攝像元件上成像的所分支的樣本透過光的一部分。
文檔編號G02B21/00GK102375227SQ201110227638
公開日2012年3月14日 申請日期2011年8月9日 優先權日2010年8月16日
發明者山本隆司, 田部典宏 申請人:索尼公司