外延爐廢氣淨化器的製作方法

2023-12-03 03:05:41 1

本發明涉及一種廢氣處理裝置，尤其是一種對沉積的工藝廢氣進行淨化處理的外延爐廢氣淨化器。

背景技術：

在沉積工藝尾氣中含有多種有毒廢氣，這些有毒氣體必須經過嚴格的處理達到排放標準後才能排入大氣中。這些廢氣中有的能與水反應，生成sio2和hcl氣體等，而hcl等氣體和廢氣中的其他成份可以被水有效吸收，因此，目前，美國、俄羅斯、日本等國大多採用水吸收型尾氣處理系統，採用水柱淋洗尾氣和多孔填料吸收，但是在生產過程中外延爐的尾氣排放量並不是始終一致，大部分的尾氣是在一次外延沉積結束後在短期內排出，在大部分的時間內尾氣排放量不是很大，而且外延爐對廢氣量和負壓要求比較高，有的要求達到500pa，但國外的進口設備負壓最高也只能達到400pa，有的用離心設備抽風，但體積較大，受各種條件限制，仍無法滿足要求，現有的外延爐尾氣淨化器不能實時檢測外延爐的尾氣排放量、根據外延爐尾氣排放量控制電機轉速，而浪費能源。

技術實現要素：

本發明要解決的技術問題時：為了克服現有廢氣淨化器進氣口負壓達不到、以及不能實時檢測外延爐的尾氣排放量、根據外延爐尾氣排放量控制電機轉速，而浪費能源的技術問題，本發明提供了一種外延爐廢氣淨化器，它可提高設備自生的負壓、根據廢氣的排放量控制電機的轉速，以達到節能的效果。

本發明解決其技術問題所採用的技術方案是：一種外延爐廢氣淨化器，具有殼體，殼體下方設置有密閉的水箱，殼體內設置有橫隔板和縱隔板，將殼體內腔分隔成初次洗滌室、二次洗滌室和填料室，二次洗滌室設在初次洗滌室上方，橫隔板中心開有通氣口，橫隔板與殼體間工作時形成水封，初次洗滌室底部和填料室底部與水箱間工作時形成水封，殼體頂端裝有進氣口，進氣口通過進氣管道與初次洗滌室下部相通，初次洗滌室內裝有大流量噴嘴噴淋裝置，二次洗滌室內裝有多個細霧高速噴嘴噴淋裝置，填料室的上部設置有填料室橫隔板，填料室橫隔板上有孔，填料室橫隔板下方的填料室內充填有填料，填料室的頂端裝有排洩錐噴嘴噴淋裝置，排洩錐噴嘴噴淋裝置下方設置有文丘裡管，文丘裡管底部與填料室橫隔板固定連接，填料室橫隔板在對應於文丘裡管的管口處還開設有與文丘裡管的管口相配的孔，水箱頂端裝有向水箱補水的補水口、水箱的底部裝有排汙口和排淨口，初次洗滌室下部裝有通向殼體外地溢流管道，溢流管道的溢流口高於初次洗滌室的底面，殼體外裝有循環泵組，循環泵組的進水口通入水箱液面下、出水口通過水管與大流量噴嘴噴淋裝置、細霧高速噴嘴噴淋裝置及排洩錐噴嘴噴淋裝置相連，所述的填料室至少有兩個，填料室分別通過一個通氣管道與二次洗滌室相通，通氣管道的進口位於二次洗滌室上部，出口正對填料室的排洩錐噴嘴噴淋裝置，填料室外部裝有排氣管道，排氣管道下端接入各填料室下部。

本發明還設有實時檢測進氣口的負壓情況的負壓檢測裝置、pid控制器和控制循環泵組電機轉速的變頻器，進氣口處安裝負壓檢測裝置，負壓檢測裝置接入pid控制器的輸入端，變頻器接入pid控制器的輸出端，負壓檢測裝置對進氣口的負壓情況進行實時檢測，並不斷的將檢測的數據傳入到pid控制器中，pid控制器對檢測數據與工藝設定數據進行比較計算並結合變頻器來控制循環泵組的電機的轉速，實現對循環泵組的pid控制。這樣一方面可以保證外延爐尾氣排放口的負壓滿足工藝要求；另一方面，在外延沉積過程中外延爐的尾氣排放量比較少的情況下，控制循環泵組的電機低速運轉，達到節能的效果。

本發明的有益效果是：至少兩個排洩錐噴淋裝置同時工作，可提高設備的自生負壓，最大可達到800pa，安裝負壓檢測裝置可對外延爐廢氣排放量實時檢測，根據尾氣排放量控制電機轉速，在尾氣排放比較少的情況下，控制循環泵組低速運轉，以達到節能的效果。

附圖說明

下面結合附圖和實施例對本發明進一步說明。

圖1是本發明的結構示意圖。

圖2是圖1的側視圖。

圖中：1、殼體，2、水箱，3、橫隔板，4、縱隔板，5、初次洗滌室，6、二次洗滌室，7、填料室，8、進氣口，9、進氣管道，10、通氣管道，11、大流量噴嘴噴淋裝置，12、細霧高速噴嘴噴淋裝置，13、填料，14、排洩錐噴嘴噴淋裝置，15、排氣管，15-1、排氣口，16、文丘裡管，17、補水口，18、排汙口，19、排淨口，20、溢流管道，21、循環泵組，22、水管，23、填料室橫隔板，34、負壓檢測裝置，35、pid控制器，36、變頻器。

具體實施方式

如圖1、2所示，一種外延爐廢氣淨化器的最佳實施例，具有殼體1，殼體1下方設置有密閉的水箱2，殼體1內設置有橫隔板3和縱隔板4，將殼體內腔分隔成初次洗滌室5、二次洗滌室6和填料室7，二次洗滌室6設在初次洗滌室5上方，橫隔板3中心開有通氣口，橫隔板3與殼體1間工作時形成水封，初次洗滌室5底部和填料室7底部與水箱2間工作時形成水封，殼體1頂端裝有進氣口8，進氣口8通過進氣管道9與初次洗滌室5下部相通，初次洗滌室5內裝有大流量噴嘴噴淋裝置11，二次洗滌室6內裝有多個細霧高速噴嘴噴淋裝置12，填料室7的上部設置有填料室橫隔板23，填料室橫隔板23上有孔，填料室橫隔板23下方的填料室7內充填有填料13，填料室7的頂端裝有排洩錐噴嘴噴淋裝置14，排洩錐噴嘴噴淋裝置14下方設置有文丘裡管16，文丘裡管16底部與填料室橫隔板23固定連接，填料室橫隔板23在對應於文丘裡管16的管口處還開設有與文丘裡管16的管口相配的孔，水箱2頂端裝有向水箱2補水的補水口17、水箱2的底部裝有排汙口18和排淨口19，初次洗滌室5下部裝有通向殼體1外的溢流管道20，溢流管道20的溢流口高於初次洗滌室5的底面，殼體1外裝有循環泵組21，循環泵組21的進水口通入水箱2液面下、出水口通過水管22與大流量噴嘴噴淋裝置11、細霧高速噴嘴噴淋裝置12及排洩錐噴嘴噴淋裝置14相連，所述的填料室7至少有兩個，填料室7分別通過一個通氣管道10與二次洗滌室6相通，通氣管道10的進口位於二次洗滌室6上部，出口正對填料室7的排洩錐噴嘴噴淋裝置14，填料室7外部裝有排氣管道15，排氣管道15下端接入各填料室7下部，排氣管道15的上端為排氣口15-1。

如圖1所示，所述的進氣口8處安裝負壓檢測裝置34，負壓檢測裝置34接入pid控制器35的輸入端，變頻器36接入pid控制器35的輸出端，負壓檢測裝置34可對排氣口15-1的負壓實時檢測，根據尾氣排放量控制電機轉速，實現對循環泵組21的控制。