用於真空腔體的載具的製作方法

2023-05-19 00:09:56

專利名稱：用於真空腔體的載具的製作方法
技術領域：
本實用新型提供一種用於真空腔體的載具，特別涉及一種可避免鍍膜時基板因熱處理過程發生破片的真空腔體的載具，並且該載具有可提高產品質量、延長設備使用壽命以及達到改善勞動環境的優點。
背景技術：
隨著電子產品的演進，半導體科技已廣泛地應用於製造內存、中央處理器(computer processing unit, CPU)、液晶顯不設備(liquid crystal display, LCD)、發光二極體(light emitting diode, LED)、雷射二極體以及其他裝置或晶片組。而許多半導體的重要製程中，例如物理氣相沉積(physical vapor deposition, PVD)化學氣相沉積(chemical vapor deposition,CVD),通常在一真空環境下進行。一般真空腔體內部材料採用鋁、不鏽鋼以及鈦等金屬材料，然而在電漿轟擊過程中容易於腔體產生高熱，並使處理中的試片中心與邊緣有溫差產生熱應力，熱應力常常會致使內部金屬材料變形，使得處理中的試片因此破裂。因此選擇一可耐高熱、耐高抗折性以及耐高熱衝擊能作為真空腔體的材料便為目前真空腔體最重要的議題之一。

實用新型內容本實用新型的主要目的在於提供一種用於真空腔體的載具，藉由該載具可使鍍膜用的基板避免在熱處理過程中發生破片，並可提高產品質量、延長設備使用壽命以及改善勞動環境。本實用新型提供一種用於真空腔體的載具，包含有:一陶瓷玻璃板；一第一板材，具有一第一頭端及一第一尾端；一第二板材，具有一第二頭端及一第二尾端；一第三板材，具有一第五頭端及一第五尾端；一第四板材，具有一第六頭端及一第六尾端；多根長肋，設置於該第三板材與該第四板材的上方並垂直於該第三板材與該第四板材，連結該第三板材與該第四板材；其中該第一板材、該第二板材、該第三板材與該第四板材互相結合組成一個四邊形支架，四邊形支架上放置該陶瓷玻璃板，構成該真空腔體的載具。該第一板材、該第二板材、該第三板材與該第四板材互相結合所組成的四邊形支架的四個角落由多根楔進行定位組合。本實用新型提供的用於真空腔體的載具還包含:一第一感應板材，位於該第三板材的下方，與該第三板材一起組成四邊形支架；一第二感應板材，位於該第四板材的下方，與該第四板材一起組成四邊形支架。該第三板材設置於該第一感應板材的上方，具有一第三頭端及一第三尾端。該第四板材設置於該第二感應板材的上方，具有一第四頭端及一第四尾端。本實用新型具有的優點在於:藉助本實用新型提供的用於真空腔體的載具，可於後續鍍膜製程時達到耐高溫的目的；本實用新型提供的用於真空腔體的載具具有高強度、高耐熱與高化學及物理穩定性；藉助本實用新型提供的用於真空腔體的載具，可使鍍膜用的基板避免因熱處理過程中而發生破片，並可提高產品質量，延長設備使用壽命，達到改善勞動環境的目的。

圖1為本實用新型提供的用於真空腔體的載具的結構分解示意圖；圖2為本實用新型提供的用於真空腔體的載具的結構結合示意圖；圖3為本實用新型提供的用於真空腔體的載具的結構分解圖。圖中10-用於真空腔體的載具；11-陶瓷玻璃板；12-第一板材；12a_ 第一頭端；12b_ 第一尾端；12c-第一孔洞；13-第二板材；13a_ 第二頭端；13b_ 第二尾端；13c_ 第二孔洞；14-第一感應板材；14a-第五頭端；14b-第五尾端；15-第二感應板材；15a_第六頭端；15b_第六尾端；16-第二板材；16a-第三頭端；16b-第三尾端；16c-第三孔洞；17-第四板材；17a_第四頭端；17b_第四尾端；17c_第四孔洞；18-長肋；19-楔。
具體實施方式
以下結合附圖和具體實施例對本實用新型作進一步說明，以使本領域的技術人員可以更好的理解本實用新型並能予以實施，但所舉實施例不作為對本實用新型的限定。如圖1所示，其為本實用新型提供的一種用於真空腔體的載具10的結構分解示意圖，其主要包含:一陶瓷玻璃板11 ;一第一板材12 ;—第二板材13 第一感應板材14 ;一第二感應板材15 ;—第三板材16 ;—第四板材17 ;多根長肋18 ;以及多根楔19。其中，該陶瓷玻璃板11的設置為本實用新型的特徵之一。該陶瓷玻璃板11提供一承載試件的平臺。該陶瓷玻璃板11可承受的最大溫度變化介於500°c至700°C ;該陶瓷玻璃板的長度介於50公分至150公分之間；且該陶瓷玻璃板的寬度介於30公分至140公分之間。在本實用新型中，該陶瓷玻璃板11使用可承受的最大溫度變化介於500°C至700°C之間的耐熱陶瓷玻璃板。需注意的是，為了使本實用新型的用於真空腔體的載具10可順利乘載第五代面板(長寬分別為140公分與120公分)，因此該陶瓷玻璃板11的長度最大為150公分、寬度最大為120公分，需注意的是，該陶瓷玻璃板11的長寬不限定於此，亦可配合工件的基板大小作調整。如圖2所示，並繼續配合圖1的圖示內容。圖2所示為本實用新型提供的一種用於真空腔體的載具10的結構結合示意圖。需注意的是，該第一板材12、該第二板材13、該第三板材16與該第四板材17互相結合組成一個四邊形支架，其上放置該陶瓷玻璃板11以構成該真空腔體的載具10。在圖2中，不容易看到該多根長肋18與該多根楔19的位置，但在圖1中，可以很清楚地看出，該多根長肋18大致平行地架設在四個板材所組成的四邊形支架之上，用以協助該陶瓷玻璃板11以構成該真空腔體的載具10。而該多根楔19位於四個板材所組成的四邊形支架的四個角落上，用以固定該第一板材12、該第二板材13、該第三板材16與該第四板材17，以形成四邊形支架。藉助上述的具有真空腔體的載具的組成方式，該結構有助於後續鍍膜製程時達到耐高溫的功能，並且具有高強度、高耐熱與高化學及物理穩定性；以及可使鍍膜用的基板避免因熱處理過程中發生破片，並可提高產品質量、延長設備使用壽命以及改善勞動環境。在本實用新型中，用於真空腔體的載具10還包含了該第一感應板材14與該第二感應板材15。該第一感應板材14位於該第三板材16的下方,與該第三板材16—起組成四邊形支架。同樣的，該第二感應板材15位於該第四板材17的下方,與該第四板材17—起組成四邊形支架。如圖3所示，並繼續圖1的圖示內容。該第一板材12，與該陶瓷玻璃板11平行，具有一第一頭端12a及一第一尾端12b,其中該第一頭端12a與該第一尾端12b包含多個第一孔洞12c。該第二板材13，與該陶瓷玻璃板11平行且位於該第一板材12的對側，具有一第二頭端13a及一第二尾端13b，其中該第二頭端13a與該第二尾端13b包含多個第二孔洞13c。該第三板材16,設置於該第一感應板材14的上方,具有一第三頭端16a及一第三尾端16b，且該第三頭端16a與該第三尾端16b包含多個第三孔洞16c。該第四板材17，設置於該第二感應板材15的上方，具有一第四頭端17a及一第四尾端17b，且該第四頭端17a與該第四尾端17b包含多個第四孔洞17c。其中，該第一頭端12a連結於該第三頭端16a以構成第一個角落的固定,該第一尾端12b連結於該第四頭端17a以構成第二個角落的固定，該第二頭端13a連結於該第三尾端16b以構成第三個角落的固定，該第二尾端13b連結於該第四尾端17b以構成第四個角落的固定。需注意的是，固定的方式即是利用該多個楔19連結該多個頭尾端的該多個孔洞。舉例來說，該第一頭端12a的該多個第一孔洞12c與該第三頭端16a的該多個第三孔洞16c藉助該多個楔19連結固定。該第一感應板材14,具有一第五頭端14a及一第五尾端14b,其中該第五頭端14a連結於該第一頭端12a，該第五尾端14b連結於該第二頭端13a。該第二感應板材15也具有一第六頭端15a及一第六尾端15b，其中該第六頭端15a連結於該第一尾端12b，該第六尾端15b連結於該第二尾端13b。多根長肋18,設置於該第三板材16與該第四板材17的上方並垂直於該第三板材16與該第四板材17，用以連結該第三板材與該第四板材。本實用新型中包含多根楔19，用以與該多個第一孔洞12c、第二孔洞13c、第三孔洞16c與第四孔洞17c作定位組合，使所有構件得以緊密結合，以形成本實用新型所提出的用於真空腔體的載具。綜上所述，本實用新型提出的一種用於真空腔體的載具具有以下優點:藉助本實用新型提供的用於真空腔體的載具，可於後續鍍膜製程時達到耐高溫的目的；本實用新型提供的用於真空腔體的載具具有高強度、高耐熱與高化學及物理穩定性；藉助本實用新型提供的用於真空腔體的載具，可使鍍膜用的基板避免因熱處理過程中而發生破片，並可提高產品質量、延長設備使用壽命以及達到改善勞動環境的目的。以上所述實施例僅是為充分說明本實用新型而所舉的較佳的實施例，本實用新型的保護範圍不限於此。本技術領域的技術人員在本實用新型礎上所作的等同替代或變換，均在本實用新型的保護範圍之內。本實用新型的保護範圍以權利要求書為準。
權利要求1.一種用於真空腔體的載具，其特徵在於，包含有: 一陶瓷玻璃板； 一第一板材，具有一第一頭端及一第一尾端； 一第二板材，具有一第二頭端及一第二尾端； 一第三板材,具有一第五頭端及一第五尾端； 一第四板材，具有一第六頭端及一第六尾端； 多根長肋，設置於該第三板材與該第四板材的上方並垂直於該第三板材與該第四板材，連結該第三板材與該第四板材； 其中該第一板材、該第二板材、該第三板材與該第四板材互相結合組成一個四邊形支架，四邊形支架上放置該陶瓷玻璃板，構成該真空腔體的載具。
2.根據權利要求1所述的用於真空腔體的載具，其特徵在於，該第一板材、該第二板材、該第三板材與該第四板材互相結合所組成的四邊形支架的四個角落由多根楔進行定位組合。
3.根據權利要求1所述的用於真空腔體的載具，其特徵在於，還包含: 一第一感應板材，位於該第三板材的下方，與該第三板材一起組成四邊形支架； 一第二感應板材，位於該第四板材的下方，與該第四板材一起組成四邊形支架。
4.根據權利要求3所述的用於真空腔體的載具，其特徵在於，該第三板材設置於該第一感應板材的上方，具有一第三頭端及一第三尾端。
5.根據權利要求3所述的用於真空腔體的載具，其特徵在於，該第四板材設置於該第二感應板材的上方，具有一第四頭端及一第四尾端。
專利摘要本實用新型提供一種用於真空腔體的載具，其主要包含有一陶瓷玻璃板；一第一板材；一第二板材；一第三板材；一第四板材；一第一感應板材；一第二感應板材；多根長肋以及多根楔。藉由本實用新型提供的用於真空腔體的載具，可避免鍍膜時採用的基板因熱處理過程而發生破片，並可提高產品質量，延長設備使用壽命，達到改善勞動環境的目的。
文檔編號C23C16/458GK202913054SQ20122057964
公開日2013年5月1日 申請日期2012年11月6日 優先權日2012年9月13日
發明者郭勳聰, 洪婉玲, 蔡俊毅 申請人:鉅永真空科技股份有限公司