液晶滴下裝置和液晶滴下的監視方法

2023-05-08 21:25:31 2

專利名稱：液晶滴下裝置和液晶滴下的監視方法
技術領域：
本發明涉及液晶滴下裝置和液晶滴下的監視方法，特別涉及具有對滴下到基板的液晶進行拍攝的功能的液晶滴下裝置和液晶滴下的監視方法。
背景技術：
在液晶顯示面板的製造方法中，存在分別進行使2個基板相互貼合的工序和封入液晶的工序的方法，以及能同時進行這2個工序的方法。作為後一方法提出了液晶滴下法。在液晶滴下法中，對相互貼合的2個基板中的任一方基板配置密封材料。在任一方基板的密封材料的內側所對應的區域滴下液晶。在真空中使這2個基板相互貼合。然後，在大氣壓下調整2個基板彼此的間隔之後，使密封材料固化。在使2個基板貼合而得到的貼合基板上形成有多個液晶顯示單元。然後，將貼合基板分斷為包括多個液晶顯示單元的多個面板來製造液晶顯示面板。在液晶滴下法中，液晶是在使基板彼此貼合之前從液晶滴下注射器的噴嘴使規定量的液晶滴下到基板上，然後一邊使基板貼合一邊封入液晶。因此，當液晶的滴下量較少時，會產生液晶顯示單元含有氣泡、單元厚度變薄等缺陷。另外，反之液晶的滴下量較多時， 會產生液晶從液晶顯示單元洩漏、單元厚度變厚等缺陷。因此，在滴下液晶的裝置中，為了不製造液晶封入量不合格的液晶顯示單元，以往採用如下對策定期更換噴嘴，或者操作人員通過視覺識別來檢測滴下到基板上的液晶的狀態來進行噴嘴的更換等。然而，在定期更換的方法中，存在即使是正常的噴嘴也要更換的情況，成本會變高。在操作人員視覺識別的方法中，無法避免看漏等失誤。為了消除這種問題，申請人提出了專利文獻1(國際公開W02006/075462號公報) 所示的液晶顯示面板的製造裝置。在專利文獻1中，為了早期發現液晶滴下注射器的異常， 對滴下的基板的表面上的液晶進行拍攝，解析通過拍攝得到的圖像，由此檢測液晶滴下注射器的異常。具體地說，將拍攝到的液晶的滴下面積與基準值面積進行比較，根據比較結果來檢測液晶滴下注射器有無異常。現有技術文獻專利文獻專利文獻1 國際公開W02006/075462號公報

發明內容
發明要解決的問題在專利文獻1中，從液晶滴下注射器定期地滴下液晶，每當滴下液晶時都進行拍攝，將拍攝圖像所指出的基板上的「滴下的1個液晶所佔的面積」與滴下了適量的液晶的情況下的基準值面積進行比較。然後，根據比較結果檢測是否滴下了適量的液晶，根據檢測結果檢測液晶滴下注射器的異常。這樣，在專利文獻1的方法中，能根據每一次滴下從噴嘴噴出的液晶的滴(以下也稱為液滴)的量來檢測液晶滴下注射器的異常，但是難以根據從噴嘴噴出液晶的狀況來進行異常檢測。例如當噴嘴的噴出口部分地堵塞時，在從噴嘴噴出的時刻，本來應該是1個的液滴發生破裂，其結果是，在所滴下的基板表面存在多個液滴。在這種情況下，在基板表面的液滴的拍攝圖像中會含有2個以上的液滴的圖像，用專利文獻1的方法難以進行正確的異常判斷。另外，例如當噴嘴的噴出口完全堵塞時，有時液晶不會滴下(以下稱為未噴出)。 在這種情況下，在拍攝圖像中不含有液滴的圖像，因此在專利文獻1的方法中，難以檢測液滴破裂或者噴出空白的異常。用於解決問題的方案本發明的目的在於提供能正確地檢測用於液晶滴下的噴出部的異常的液晶滴下裝置和液晶滴下的監視方法。為了實現上述目的，根據發明的某個方面的液晶滴下裝置具備液晶噴出部，其用於將液晶噴出並滴下到基板上；移動機構，其用於按照指示移動的信號使液晶噴出部移動； 以及液晶拍攝部，其追隨液晶噴出部的移動而移動，輸出拍攝到的圖像數據，液晶拍攝部設於能與液晶噴出部的液晶噴出動作並行地拍攝從液晶噴出部噴出的液晶的位置，上述液晶滴下裝置具備拍攝切換部，其相對於液晶噴出部切換液晶拍攝部的拍攝位置，以便拍攝隨著移動機構的移動而從液晶噴出部噴出並滴下到基板上的液晶；圖像處理部，其解析液晶拍攝部輸出的圖像數據；以及解析輸出部，其輸出按照圖像處理部的解析結果的信息。優選拍攝切換部根據指示移動的信號來檢測液晶噴出部的移動方向，根據檢測出的移動方向切換液晶拍攝部的拍攝位置。優選液晶拍攝部包括多個拍攝裝置，所述多個拍攝裝置分別設於沿著液晶噴出部能夠移動的方向的多個位置，拍攝切換部通過選擇多個拍攝裝置中的液晶噴出部的移動的後續位置的拍攝裝置來切換拍攝位置。優選圖像處理部根據圖像數據來檢測滴下到基板上的位置的液晶的狀態。優選解析輸出部包括比率檢測部，所述比率檢測部檢測液晶的狀態被檢測為異常的次數相對於液晶滴下的次數的比率。優選圖像處理部具有形狀檢測部，所述形狀檢測部根據圖像數據來檢測基板上的滴下位置的液晶的形狀。優選形狀檢測部具有異形檢測部，所述異形檢測部根據圖像數據來檢測滴下位置的液晶是否為大致圓形形狀。優選形狀檢測部具有分割檢測部，所述分割檢測部根據圖像數據來檢測滴下位置的液晶是否被分割為多個滴。優選圖像處理部根據圖像數據來檢測滴下位置的液晶的有無。為了實現上述目的，按照該發明的其它方面，適用於從液晶噴出部將液晶噴出並滴下到基板時的液晶滴下的監視方法具備以下的步驟。監視方法具備如下步驟使液晶噴出部一邊按照規定的軌道移動，一邊將液晶噴出並滴下到基板上；使液晶拍攝部追隨液晶噴出部的移動而移動，與液晶噴出部的液晶噴出動作並行地拍攝從液晶噴出部噴出的液晶，輸出拍攝的圖像數據；相對於液晶噴出部切換液晶拍攝部的拍攝位置，以便拍攝從移動的液晶噴出部噴出並滴下到基板上的液晶；以及解析圖像數據，輸出按照解析結果的信息。優選上述液晶噴出部具有液晶的噴出口，噴出口可自由裝卸地設於液晶噴出部。發明效果根據本發明，相對於液晶噴出部切換液晶拍攝部的拍攝位置，以便拍攝從移動的液晶噴出部噴出並滴下到基板上的液晶，並且拍攝滴下的液晶，輸出按照通過拍攝得到的圖像數據的解析結果的信息，由此能迅速地提示用於正確地檢測液晶滴下用的液晶噴出部的異常的信息。與液晶的滴下並行進行拍攝，輸出其圖像數據的解析結果，由此，操作人員基於解析結果能隨液晶的滴下大致實時地確定液晶的滴下動作是否存在缺陷。


圖1是實施方式的液晶滴下裝置的概觀圖。圖2是從上方向觀察圖1的液晶滴下裝置的圖。圖3是說明實施方式的液晶滴下時的分注器的移動方向的圖。圖4A是說明實施方式的液晶的噴出動作的圖。圖4B是說明實施方式的液晶的噴出動作的圖。圖5是示出實施方式的分注器的概略側面和相關電路的圖。圖6是說明實施方式的液晶滴下時的拍攝的圖。圖7是實施方式的液晶滴下裝置的主要部分的功能構成圖。圖8是實施方式的液晶顯示面板的製造工序的概略流程圖。圖9是說明實施方式的液晶顯示面板的分斷的圖。圖10是實施方式的液晶滴下時的流程圖。
具體實施例方式下面參照

本發明的液晶滴下裝置的實施方式。此外，在各圖中對相同的構成要素附加相同的附圖標記，不重複詳細的說明。如圖1和圖2所示，本實施方式的液晶滴下裝置10具備架臺110 ；設置在架臺 110上的基板工作檯9;分注器Di (i = 1,2,3,…)，其具備作為與基板工作檯9的表面相對的液晶的噴出口的噴嘴70;安裝有分注器Di (i = 1，2，3，…)的引導棒11;以及安裝有引導棒11的柱狀物41。在此，引導棒11上安裝有例如4個分注器D1、D2、D3和D4，但是分注器的個數不限於此。基板工作檯9形成為平板狀，彩色濾光片(Color Filter)的玻璃基板(以下稱為 CF基板)8被搬入而載置於基板工作檯9。在CF基板8上，設有用於使CF基板8與後來貼合的TFT(Thin Film Transistor 薄膜電晶體)基板保持間隔的隔離物。基板工作檯9固定並保持所載置的CF基板8。在CF基板8的表面上，從與該表面相對設置的分注器Dl D4的噴嘴70滴下必要量的液晶(液狀物質)。基板工作檯9假定為由正交的2個的X軸和Y軸規定的XY 二維的坐標平面。在此，將X軸延伸的方向稱為X方向，將Y軸延伸的方向稱為Y方向。
柱狀物41以門型在X方向上跨基板工作檯9安裝在架臺110上。柱狀物41由架臺110的內部所具備的馬達等柱狀物驅動部111驅動，能沿著在Y方向上延伸的軸自由移動。分注器Dl D4通過與移動機構對應的移動部43分別獨立地安裝於引導棒11，所述引導棒11在X方向上延伸地安裝於柱狀物41的側面。移動部43能利用內置於引導棒 11的馬達機構沿著滑動棒11自由移動。其結果是，安裝於移動部43的分注器Dl D4能在滑動棒11上在X方向上滑動移動。因此，柱狀物41在Y方向上移動，並且移動部43在 X方向上移動，由此分注器Dl D4能在CF基板8上在X方向和Y方向上自由移動。在此，如圖3所示，在保持於基板工作檯9的CF基板8上，假定行進的分注器Di 為10列。在圖3中，通過將上述柱狀物41在Y方向上的移動和分注器Dl D4在X方向上的移動組合來使分注器Dl D4移動，並且在CF基板8上的例如4個滴下區域N中以等間隔滴下液晶P。在CF基板8上決定的滴下區域N的個數不限於圖3的4個，一般為多個即可。在圖3中，對於各分注器Dl D4，使該分注器在滑動棒11中向X方向移動，由此均等分配CF基板8的滴下區域N的各2列。對分注器Dl分配第1列和第2列，對分注器 D2分配第3列和第4列，對分注器D3分配第5列和第6列，對分注器D4分配第7列和第8 列。作為最後的2列的第9列和第10列成為沒有被均等分配的剩下的列。在分配後使柱狀物41在Y方向上往返移動。由此，分注器D4—邊按圖3的箭頭的軌道移動一邊滴下液晶。其它分注器Dl D3也一邊按同樣的軌道移動一邊對分配的列滴下液晶。當往返移動完成時，對通過滑動棒11移動的分注器D3和D4分別分配作為剩下的滴下區域第9列和第10列。分配之後，柱狀物41在Y方向上移動，由此利用分注器D3和 D4將液晶滴下到剩下的第9列和第10列。在向該第9列和第10列滴下時，其它分注器Dl 和D2中止液晶的滴下，或者被分配未圖示的其它滴下區域N(尚未滴下液晶的區域或者上述噴出空白存在的區域)來進行液晶的滴下。如上所述，一邊使分注器Dl D4在X方向和Y方向上移動，一邊在位於各滴下區域N的時刻從分注器Di的噴嘴70噴出規定量的液晶，由此對CF基板8上的區域N滴下液
曰
曰曰°在此，參照圖4說明從分注器Di的噴嘴70噴出規定量的液晶的機構。分注器Di的噴嘴70利用中空的液晶供給管23與存儲液晶的液晶供給裝置22連接。在液晶供給管23的一端可自由裝卸地安裝有噴嘴70，另一端連通到液晶供給裝置22 的液晶罐內。對液晶供給管23的液晶的供給基本通過利用氣體對液晶供給裝置22的液晶罐內加壓來實現。利用氣體加壓的液晶罐內的液晶面上升，用液晶充滿液晶供給管23的內部。在未滴下液晶的狀態下，液晶到達噴嘴70的噴出口附近，但是利用表面張力處於不從噴出口滴下的狀態。為了從噴嘴70的未圖示的噴出口進行規定量的液晶的滴下，在液晶供給管23的中途連接有氣缸24和在氣缸24內移動的活塞25。活塞25連接著控制器26。控制器26是步進電機。步進電機的軸連接著活塞25。當控制器26的步進電機被提供指示信號39時，
7相應地在規定方向上轉動規定角度，然後，在相反方向上轉動規定角度。與該轉動連動，活塞25從圖4B的位置移動到在氣缸24內液晶蓄積的後退的位置(圖4A)。然後，活塞25從圖4A的位置移動到將蓄積在氣缸24內的液晶經過液晶供給管23向噴嘴70側擠出的位置 (圖4B)。由此，蓄積在氣缸24中的規定量的液晶從液晶供給管23被擠出，從噴嘴70的噴出口滴下。這樣，按指示信號39用控制器26控制活塞25的移動量，由此能對液晶滴下區域 N滴下規定量的要滴下的液晶。圖5示出分注器Di的外圍電路。圖6示出分注器Di的構成。圖5示意性地示出從箭頭VI方向觀察圖6的分注器Di的狀態。參照圖5和圖6，本實施方式的分注器Di — 體地具備與用於通過噴出來滴下液晶的液晶噴出部對應的液晶滴下注射器2(以下單稱為注射器2)、與拍攝裝置對應的CCD (Charge Coupled Device 電荷耦合器件)照相機4A和 4B以及照明裝置3A和3B。作為液晶拍攝部的CXD照相機4A和4B安裝於注射器2，配置在能與來自注射器2的液晶的噴出動作並行進行拍攝的位置。在注射器2的下方(CF基板8的表面方向)的端部形成有噴嘴70。噴嘴70與要配置的CF基板8相對配置。在注射器2的下方形成有用於配置CF基板8的基板工作檯9。在注射器2的側方隔著注射器2相對配置有CXD照相機4A和照明裝置3A的組與 CXD照相機4B和照明裝置3B的組。CXD照相機4A和4B垂直向下拍攝，由此拍攝在CF基板8的表面滴下的液晶的圖像。照明裝置3A和3B形成為照亮拍攝的區域的光源，包括例如 LED (Light Emitting Diode 發光二極體)。在本實施方式中，CXD照相機4A和4B以及照明裝置3A和3B安裝於液晶滴下注射器2。CXD照相機4A和照明裝置3A形成為能調整與注射器2的間隔。CXD照相機4B和照明裝置3B也同樣。CXD照相機4A和4B以及照明裝置3A和3B形成為與注射器2 —體地移動。CXD照相機4A和4B —邊追隨注射器2移動的軌道一邊拍攝緊前液晶滴下的位置。在本實施方式中，照明裝置3A和3B以及CXD照相機4A和4B安裝為配置在緊前滴下液晶而成的液晶6b的正上方，使得能在從噴嘴70滴下液晶6a時，並行即實時地拍攝作為緊前滴下的液滴的液晶6b。照明裝置3A和3B配置於照亮液晶6b的位置，使得用於拍攝的足夠的反射光射入CXD照相機4A和4B。按分注器Di的移動方向，在CXD照相機4A和照明裝置3A的組以及CXD照相機4B 和照明裝置3B的組中，選擇性地對一方提供指示信號35。由此，按分注器Di的移動方向， 一個組被能動化，另一個組停止動作(非能動化)。CCD照相機4B和照明裝置3B的組在向與圖6的Y方向對應的箭頭32朝向的方向移動時被能動化。CCD照相機4A和照明裝置3A 的組在向與圖6的Y軸延伸的方向對應的箭頭32朝向的方向相反方向移動時被能動化。這樣，CXD照相機4A和照明裝置3A的組以及CXD照相機4B和照明裝置3B的組相對於分注器Di的注射器2前進的方向配置在後側，形成為能拍攝在滴下的液晶6a的相鄰的液晶滴下區域N的內側滴下的液晶6b。參照圖5，CXD照相機4A和4B電連接到具有圖像處理功能的計算機5。計算機5 具備CPU (Central Processing Unit 中央處理器)51 ；用於保存程序、數據的存儲器53 ； 用於輸入操作人員的指示等從外部提供的信息的輸入部54 ；用於輸入由CCD照相機4A或者4B拍攝的圖像數據37的輸入I/F (Interface 接口)52 ；以及輸出部55。輸出部55包括通過向外部輸出圖像數據的解析結果等信息來進行報告的LED、顯示器等顯示部、聲音輸出部或者列印部等。計算機5與異常檢測部和報告部對應。計算機5將輸入的圖像數據37暫時保存於存儲器53，按存儲器5的規定程序對保存的圖像數據37進行圖像處理。按圖像處理的結果檢測滴下的液晶的形狀的異常，通過輸出部陽報告基於檢測結果的信息。與注射器2對應的分注器Di電連接到與計算機相當的定位控制器1。定位控制器 1具有移動信號生成部10A、照相機切換部IOB和噴出信號生成部10C。這些部分用程序或者電路實現。移動信號生成部IOA根據用如圖3的箭頭所示的XY坐標面的坐標位置指示的規定的移動圖案的數據，生成用於使分注器Di移動的指示信號。生成的指示信號包括為了使分注器Di沿著引導棒11移動而提供給移動部43的指示信號36 (指出移動方向和移動量)和對與用於使引導棒11自身移動的移動機構對應的柱狀物驅動部111提供的指示信號38 (指出移動方向和移動量)。通過輸出指示信號36和38，能使與注射器2對應的分注器Di移動到按規定的移動圖案的要滴下的位置。照相機切換部IOB與切換拍攝部的拍攝切換部對應。具體地說，輸入移動信號生成部IOA生成的信號，對輸入的信號進行解析，根據解析結果檢測分注器Di的移動方向，按檢測出的移動方向，對於分注器Di，為了使CCD照相機4A和照明裝置3A的組和CCD照相機4B和照明裝置:3B的組中的任一個能動化，僅對要能動化的組輸出指示拍攝和照明的點亮的指示信號35。指示信號35的輸出定時與定位控制器1從柱狀物驅動部111和移動部 43輸入已完成按指示信號38和36的移動的意思的檢測信號的定時(即檢測出注射器2被配置在要滴下的位置的定時)同步。由此能相對於注射器2切換液晶拍攝部(CCD照相機 4A、4B)的拍攝位置，以隨著移動機構的移動來拍攝滴下到CF基板8上的液晶。噴出信號生成部IOC將指示信號39輸出到控制器沈。指示信號39的輸出定時與定位控制器1從柱狀物驅動部111和移動部43輸入已完成按指示信號38和36的移動的意思的檢測信號的定時(即檢測出注射器2被配置在要滴下的位置的定時)同步。圖7示出了本實施方式的計算機5的功能構成。參照圖7，計算機5具備與輸入 I/F52對應的圖像輸入部100、與CPU51對應的圖像處理部101、發生率檢測部105、發生率判斷部106、與輸出部55對應的報告部107以及與存儲器53對應的存儲部108。圖7的各部中的一部分或者全部利用存儲器53的程序、數據或者電路實現。圖像處理部101根據圖像輸入部100所輸入的圖像數據37進行圖像處理，由此檢測滴下的液滴的異常。具體地說，包括檢測液滴的破裂的分割檢測部102、檢測噴出空白的空噴檢測部103和異形檢測部104。分割檢測部102檢測液滴是否破裂(例如參照圖6的液晶6c)。具體地說，根據拍攝了緊前滴下的液滴的圖像數據37所指出的灰度級水平，在圖像內將灰度級水平的變化較大的部分檢測為輪廓。根據輪廓檢測的結果，在檢測出2個以上封閉的單獨分離的輪廓區域的情況下，判斷為液滴破裂了。或者，將大致圓形的正常液滴(例如參照圖6的液晶6b)的圖像數據作為標準的圖案數據預先保存到存儲部108。將拍攝的圖像數據37與從存儲部108讀出的標準圖案數據核對(圖案匹配)，根據比較結果在圖像數據37中檢測出2個以上標準圖案(大致圓形狀)的情況下，判斷為液滴破裂了。空噴檢測部103對拍攝的圖像數據37進行基於上述灰度級水平的輪廓檢測，在未檢測出輪廓的情況下檢測為從噴嘴70的噴出空白。異形檢測部104檢測雖然液滴未破裂但是否是上述大致圓形狀(例如參照圖6的液晶6d)。具體地說，根據拍攝了緊前滴下的液滴的圖像數據37所指出的灰度級水平，在圖像內將灰度級水平的變化較大的部分檢測為輪廓。根據輪廓檢測的結果，在判斷為凸凹的輪廓的情況下，判斷為液滴不是大致圓形狀，即為異形。此外，液滴的異常不限於上述分割、噴出空白、異形等，也可以根據其它形狀的檢測來辨別異常。另外，用於識別形狀的圖像數據的處理方法不限於上述處理過程。當利用分割檢測部102、空噴檢測部103和異形檢測部104中的任一個檢測出液滴形狀的異常時，圖像處理部101輸出異常檢測信號。發生率檢測部105對應於比率檢測部，比率檢測部對液晶的狀態被檢測為異常的次數相對於液晶的滴下的總次數的比率進行檢測。具體地說，對在規定期間內輸入異常檢測信號的次數進行計數，根據計數值檢測異常的發生率。例如，在每次滴下時進行1次拍攝即每次滴下時輸入1個圖像數據的情況下，能通過異常發生率=(在規定期間內輸入異常檢測信號的次數)/(在規定期間內輸入圖像數據37的次數)來算出。此外，該規定期間也可以是操作人員操作輸入部M來可變地指定的期間，或者也可以是從對1個CF基板8的液晶滴下開始起到結束為止的期間。在此，假定在規定期間內輸入圖像數據37的次數按CF 基板8的尺寸預先決定。也可以通過異常發生率=(在規定尺寸的區域內的液晶滴下中輸入了異常檢測信號的次數)/(在規定尺寸的區域內的液晶滴下中輸入圖像數據37的次數)來算出。該規定尺寸也可以按CF基板8的尺寸預先決定，或者也可以是操作人員能操作輸入部討來
變更
發生率判斷部106讀出預先保存於存儲部108的、與上述規定期間對應的基準發生率的數據109，將讀出的數據109所指出的基準發生率和發生率檢測部105檢測出的異常發生率進行比較，對報告部107輸出基於比較結果的信息。例如，當判斷為(基準發生率> 檢測出的異常發生率)時，對報告部107輸出「無異常」的意思的輸出信號，當判斷為(基準發生率<檢測出的異常發生率)時，對報告部107輸出「有異常」的意思的輸出信號。報告部107根據從發生率判斷部106提供的信號來進行LED的點亮控制、對顯示器的消息顯示、聲音輸出、列印輸出。由此，能對操作人員告知液滴的異常發生較頻繁、懷疑是噴嘴70的磨耗等。在上述液滴的形狀的異常檢測中，只要在從分注器Di輸入的圖像數據37中含有該分注器Di的識別信息即可。換句話說，能針對分注器Di將液滴形狀的異常檢測結果附加指定分注器Di的識別信息來進行報告。由此，操作人員能迅速地確定異常的分注器Di。參照圖5和圖6說明液晶的滴下動作。以下的液晶滴下動作的說明能共同應用於分注器Di。首先，根據從定位控制器1提供的指示信號36和38，驅動分注器Di的移動部43 和引導棒驅動部所對應的柱狀物驅動部111。引導棒11隨著該驅動向與圖6的Y軸延伸的
10方向對應的箭頭32的方向移動。其結果是，分注器Di的注射器2移動，噴嘴70的噴出口將液晶6a配置在要滴下液晶的下一處的液晶滴下位置的正上方。然後，根據從定位控制器1提供的指示信號39，控制器沈如圖4A和圖4B說明的那樣使活塞25的位置移動。由此，從注射器2的噴嘴70滴下液晶6a。隨該滴下實時地， 按從定位控制器1提供的指示信號35利用CXD照相機4B和照明裝置:3B拍攝液晶6b。也就是說，如箭頭34所示利用照明裝置:3B照亮在緊前的位置已經滴下到玻璃基板8的液晶 6b，並且利用在如箭頭33所示的拍攝方向上安裝的CCD照相機4B進行拍攝(參照圖6)。然後，利用指示信號38使柱狀物110移動，使連接到滑動棒11的分注器Di移動到要滴下液晶的下一處的位置，在移動後的位置，與上述同樣，進行液晶6a的滴下和實時地拍攝在緊前的位置滴下的液晶6b。這樣，一邊使引導棒11移動一邊對連接到引導棒11的分注器Di重複液晶6a的滴下和液晶6b的拍攝，由此如圖3所示對分配給分注器Di的往路的列完成液晶的滴下。然後，為了對返路的列進行液晶滴下，移動信號生成部IOA生成並輸出指示信號 36和38。分注器Di利用指示信號36移動，配置在分配的下一處的列。另外，柱狀物110 利用指示信號38開始向與圖6的箭頭32方向相反的方向移動。一邊在返路上移動一邊進行上述液晶的滴下和拍攝。注射器2的移動方向為與往路的移動方向相反的方向，由此，拍攝用的CCD照相機和照明裝置的組利用指示信號35從在往路上被能動化的CCD照相機4B 和照明裝置3B的組切換為CXD照相機4A和照明裝置3A的組。由此，CXD照相機4A和照明裝置3A的組被能動化，進行拍攝。在上述液晶滴下的過程中，使分注器Di的在X方向上的位置固定，一邊使引導棒 11在Y方向上(沿著列)移動一邊滴下液晶，但是也可以如下那樣，一邊使分注器Di在X 方向上(沿著行)移動一邊滴下。具體地說，也可以一邊使分注器Di向圖6的箭頭31示出的(X方向)移動一邊斷續地重複滴下和實時的拍攝，一旦對1行完成液晶的滴下和拍攝， 使引導棒11向箭頭32示出的Y方向移動1行。由此將分注器Di配置於下一行。在配置後，重複分注器Di的液晶6a的滴下和沿著箭頭31示出的引導棒11的移動，由此能在下一行滴下液晶。重複這種過程，由此如圖3那樣完成CF基板8上的液晶的滴下和拍攝。然後，參照圖8的流程圖說明本實施方式的液晶滴下的裝置和使用該監視方法的液晶顯示面板的製造方法的概略工序。首先，在步驟S3中，將CF基板8搬入基板工作檯9的表面上。此時，CF基板8的裡面與基板工作檯9的表面相接。然後，在步驟S5中，將隔離物配置在CF基板8的表面上，塗敷密封材料。在下一個步驟S7中，按上述過程利用液晶滴下裝置10將液晶滴下到CF基板8上的密封部的內部。在下一個步驟S9中，將TFT基板搬入塗敷有密封材料的CF基板8上，在步驟Sll 中使CF基板8和TFT基板貼合，由此得到貼合基板。然後，在步驟S13中，對貼合基板以規定時間照射紫外光，由此使密封材料固化。 在步驟S15中，密封固化後的貼合基板被從基板工作檯9搬出。密封固化後，貼合基板被貼附偏光板等，分斷為多個面板。對分斷得到的各面板進行驅動電路的連接等。由此製造液晶顯示面板。例如，在本實施方式中，利用本實施方式的
11液晶滴下裝置10對1個CF基板8滴下液晶，由此，CF基板8如圖9那樣被分斷為用粗框包圍的4個面板，製造4個液晶顯示面板。下面參照圖10詳細說明本實施方式的液晶滴下處理(步驟S7)，由此說明本實施方式的液晶滴下的監視方法。假定CF基板8被搬入液晶滴下裝置10內，載置於基板工作檯9上。首先，在步驟S21中，定位控制器1的移動信號生成部IOA生成並輸出指示信號36 和38。柱狀物41按指示信號38向Y方向移動，並且分注器Di按指示信號36沿著滑動棒 11向X方向滑動移動。由此，分注器Di被配置在圖2和圖3示出的要進行液晶滴下的位置的正上方。然後，在步驟S23中，從噴出信號生成部IOC對與配置在要進行液晶滴下的位置的正上方的分注器Di對應的控制器沈提供指示信號39。控制器沈響應指示信號39被驅動，活塞25移動，隨之，液晶從注射器2的噴嘴70的噴出口噴出，滴下到CF基板8的表面。隨上述液晶的滴下實時地在步驟S 25中進行拍攝。也就是說，利用照相機切換部 IOB決定分注器Di的CXD照相機4A和照明裝置3A的組與CXD照相機4B和照明裝置3A的組中要能動化的組，僅對決定的組輸出指示拍攝和照明的指示信號35。在此，如上所述，照相機切換部IOB按此時移動信號生成部IOA輸出的指示信號36和38所指出的移動方向決定要能動化的組。在此，假定如圖6所示CXD照相機4B和照明裝置;3B的組被能動化。CXD 照相機4B如圖6那樣拍攝緊前滴下的CF基板8上的液晶6b，由此輸出圖像數據37。圖像數據37通過輸入I/F52提供給計算機5。在計算機5中，利用圖像輸入部100對圖像數據37進行噪聲除去等，提供給圖像處理部101。在圖像處理部101中，執行基於圖像數據37的圖像處理(步驟S27 ^)。圖像數據37含有對應的分注器Di的識別信息，因此通過圖像處理檢測出的液滴的異常的有無與該分注器Di的識別信息一起通過報告部107輸出。因此，操作人員能通過基於隨液滴實時地拍攝的圖像數據的異常檢測，迅速地確定具有異常的噴嘴70的分注器Di，更換噴嘴 70。關於異常檢測，具體地說，在步驟S27中，分割檢測部102按前述過程處理圖像數據37，檢測有無液滴的破裂(參照圖6的液晶6c)。另外，在步驟S28中，空噴檢測部103 檢測在圖像數據37中有無液晶的圖像。另外，在步驟S29中，異形檢測部104按前述過程處理圖像數據，檢測液滴是否是與大致圓形形狀不同的形狀(參照圖的液晶6d)。在此，假定液滴的形狀為與大致圓形形狀(圖6的液晶6b)對應的正常形狀和異常(噴出空白、圖6的液晶6c和液晶6d中的任一種)中的任一種相應。分割檢測部102、空噴檢測部103和異形檢測部104的檢測信號被提供給發生率檢測部105。發生率檢測部105按每個分注器Di內置有計數器，當輸入來自分割檢測部102、 空噴檢測部103和異形檢測部104的分注器Di的異常檢測信號時，對應的計數器的計數值增加1。然後，當移動信號生成部IOA檢測為已經生成完要按在如圖3的箭頭所示的XY坐標面的坐標位置指示的規定移動圖案數據生成的指示信號38和36時，即，在對1個CF基板8滴下液晶結束的情況下(在步驟S30中為是)，處理轉移到後述的步驟S31和S33。在沒有檢測為液晶滴下結束的期間(在步驟S30中為否)，處理返回步驟S21，以後的處理同樣重複。在步驟S31中，發生率檢測部105用與分注器Di對應的計數器的計數值(異常檢測信號的輸入次數)對分注器Di算出前述異常發生率=(在規定期間內輸入了異常檢測信號的次數)/(在規定期間內輸入圖像數據37的次數)。在算出結束後，使計數的值為0。在步驟S32中，發生率判斷部106讀出預先保存於存儲部108的與上述規定期間對應的基準發生率的數據109，判斷(基準發生率>檢測出的異常發生率)的條件是否成立。當判斷為成立時，對報告部107輸出「無異常」的意思的輸出信號，當判斷為(基準發生率<檢測出的異常發生率)時，對報告部107輸出「有異常」的意思的輸出信號。由此， 用於檢測從分注器Di的噴嘴70滴下的液晶的狀態的一系列處理結束。在有異常的報告內容中，含有對應的分注器Di的識別信息。由此，操作人員能迅速並且正確地確定有異常要更換的噴嘴70是哪個分注器Di。並且，能將確定的分注器Di 的噴嘴70更換為正常的噴嘴。在本實施方式中，為了檢測噴嘴70的異常而進行圖像處理的解析的圖像數據37 是通過拍攝滴下到CF基板8上的狀態的液晶而取得的。因此，能不受噴出的瞬間的液晶的形狀、噴出(滴下)速度的左右而可靠地取得用於解析的圖像數據37。(其它實施方式)上述圖像數據37也可以是運動圖像，也可以是靜止圖像。一般在隨著移動機構的液晶的滴下間隔較短的情況下，希望是運動圖像，以可靠地捕捉液晶的圖像。在上述實施方式中，如圖5和圖6所示，分注器Di在注射器2的側壁安裝有2組 CCD照相機和照明裝置的組，按分注器Di的移動的方向僅使任一組能動化，由此切換拍攝液晶的照相機，但是照相機切換的方法不限於此。例如，僅在1個注射器2的側壁安裝有CCD照相機和照明裝置的組，使其能沿著注射器2的側壁滑動。並且，按分注器Di的移動的方向使CCD照相機和照明裝置的組的位置沿著注射器2的側壁滑動移動。由此，CCD照相機和照明裝置的組相對於分注器Di的注射器2行進的方向配置在後側，能拍攝在滴下的液晶6a的緊前滴下的液晶6b。發生率檢測部105也可以按異常的種類，即針對液滴破裂、噴出空白和異形分別獨立地對檢測信號進行計數，獨立地算出異常發生率，根據算出結果獨立地判斷並報告發生率。關於分注器Di，也可以檢測噴嘴70的更換頻度(在某個固定期間內更換的次數)，當更換頻度超過規定值時，判斷為分注器Di的噴嘴70以外的部件有存在異常的可能性，從報告部107報告該意思。在檢測出異常的情況下，也可以通過報告部107將按對應的圖像數據37的圖像顯示於畫面，對操作人員視覺地報告分注器Di的識別信息以及滴下的液晶的異常(形狀、空白)。如上所述，本次公開的上述實施方式在所有方面均為舉例說明，而不是限定的。本發明的技術範圍由權利要求劃定，還包括與權利要求的記載均等的含義和範圍內的全部變更。附圖標記說明10液晶滴下裝置，2液晶滴下注射器，3A JB照明裝置，4A、4B CCD照相機，8CF基板，IOA移動信號生成部，IOB照相機切換部，IOC噴出信號生成部，11滑動棒，22液晶供給裝置，24注射器，25活塞，26控制器，41柱狀物，43移動部，70噴嘴，101圖像處理部，102分割檢測部，103空噴檢測部，104異形檢測部，105發生率檢測部，106發生率判斷部，107報告部，111柱狀物驅動部，Di、Dl、D2、D3、D4分注器。
權利要求
1.一種液晶滴下裝置(10)，具備液晶噴出部(2)，其用於將液晶噴出並滴下到基板(8)上； 移動機構(43，111)，其用於按照指示移動的信號使上述液晶噴出部移動；以及液晶拍攝部(4A，4B)，其追隨上述液晶噴出部的移動而移動，輸出拍攝的圖像數據， 上述液晶拍攝部設於能與上述液晶噴出部的上述液晶噴出動作並行地拍攝從上述液晶噴出部噴出的上述液晶的位置， 上述液晶滴下裝置(10)具備拍攝切換部(IOB)，其相對於上述液晶噴出部切換上述液晶拍攝部的拍攝位置，以便拍攝隨著上述移動機構的移動而從上述液晶噴出部噴出並滴下到上述基板上的上述液晶； 圖像處理部(101)，其解析上述液晶拍攝部輸出的上述圖像數據；以及解析輸出部(105，106，107)，其輸出按照上述圖像處理部的解析結果的信息。
2.根據權利要求1所述的液晶滴下裝置，上述拍攝切換部根據上述指示移動的信號來檢測上述液晶噴出部的移動方向，根據檢測出的上述移動方向切換上述液晶拍攝部的拍攝位置。
3.根據權利要求1所述的液晶滴下裝置，上述液晶拍攝部包括多個拍攝裝置，所述多個拍攝裝置分別設於沿著上述液晶噴出部能夠移動的方向的多個位置，上述拍攝切換部通過選擇上述多個拍攝裝置中的上述液晶噴出部的移動的後續位置的拍攝裝置來切換上述拍攝位置。
4.根據權利要求1所述的液晶滴下裝置，上述圖像處理部根據上述圖像數據來檢測滴下到上述基板上的位置的上述液晶的狀態。
5.根據權利要求4所述的液晶滴下裝置，上述解析輸出部包括比率檢測部(105)，所述比率檢測部(105)檢測上述液晶的狀態被檢測為異常的次數相對於上述液晶滴下的次數的比率。
6.根據權利要求4所述的液晶滴下裝置，上述圖像處理部具有形狀檢測部(102，104)，所述形狀檢測部(102，104)根據上述圖像數據來檢測上述基板上的滴下位置的液晶的形狀。
7.根據權利要求6所述的液晶滴下裝置，上述形狀檢測部具有異形檢測部(104)，所述異形檢測部(104)根據上述圖像數據來檢測上述滴下位置的液晶是否為大致圓形形狀。
8.根據權利要求6所述的液晶滴下裝置，上述形狀檢測部具有分割檢測部(102)，所述分割檢測部(102)根據上述圖像數據來檢測上述滴下位置的液晶是否分割為多個滴。
9.根據權利要求4所述的液晶滴下裝置，上述圖像處理部根據上述圖像數據來檢測上述滴下位置的液晶的有無。
10.一種液晶滴下的監視方法，是從液晶噴出部(2)將液晶噴出並滴下到基板(8)時的液晶滴下的監視方法，具備如下步驟使上述液晶噴出部一邊按照規定的軌道移動，一邊將液晶噴出並滴下到基板(8)上；使液晶拍攝部(4A，4B)追隨上述液晶噴出部的移動而移動，與上述液晶噴出部的上述液晶噴出動作並行地拍攝從上述液晶噴出部噴出的上述液晶，輸出拍攝的圖像數據；相對於上述液晶噴出部切換上述液晶拍攝部的拍攝位置，以便拍攝從移動的上述液晶噴出部噴出並滴下到上述基板上的上述液晶；以及解析上述圖像數據，輸出按照解析結果的信息。
全文摘要
具備註射器(2)，其用於將液晶滴下到CF基板(8)上；移動機構，其用於使注射器(2)移動；以及CCD照相機(4A、4B)，其一邊追隨注射器(2)的移動而移動，一邊輸出拍攝的圖像數據。CCD照相機(4A、4B)設於能與噴出動作並行地拍攝從注射器(2)噴出的液晶的位置。相對於注射器(2)切換CCD照相機(4A、4B)的拍攝位置，以便能拍攝注射器(2)一邊移動一邊滴下到CF基板(8)上的液晶。計算機(5)解析拍攝並輸出的圖像數據(37)，輸出解析結果。
文檔編號B05C11/00GK102460289SQ20108002272
公開日2012年5月16日 申請日期2010年3月2日 優先權日2009年5月25日
發明者新原康弘 申請人:夏普株式會社