軟性印刷電路基板的綜合檢查系統及其方法

2023-05-17 06:26:21

專利名稱：軟性印刷電路基板的綜合檢查系統及其方法
技術領域：
本發明涉及一種軟性印刷電路基板的綜合檢查系統及其方法，更詳細地 說，涉及一種能夠綜合檢查軟性印刷電路基板的電路圖案和外觀的軟性印刷電 路基板的綜合檢查系統及其方法。
背景技術：
液晶顯示裝置的驅動集成電路、存儲器等各種半導體設備的製造中所使用 的主要材料之一的印刷電路基板，根據半導體設備的小型化、輕量化傾向而大
多使用薄膜(film )、線帶(tape )類型等軟性印刷電路基板(Flexible Printed Circuit Board )。軟性方式的印刷電路基板中例如有TAB ( Tape Automatic Boading )、 COF (Chip On Film)基板等，通過曝光、顯影、蝕刻工序等來在基板上形成 微細電路圖案。
在這種軟性印刷電路基板的生產中，實際情況是分兩次單獨實施利用了用 於檢查圖案的圖案檢查器(AOI )、和經過圖案檢查後的鍍金、阻焊(solder resist) 工序在最終出廠前檢查整體外觀的外觀檢查器(AVI)的檢查工序。
因而，在軟性印刷電路基板的生產中，要求能夠更有效地且快速地進行圖 案檢查和外觀檢查的檢查設備。

發明內容
本發明是鑑於上述問題點而作出的，其目的在於提供一種能夠由一臺設備 進行圖案檢查和外觀檢查的軟性印刷電路基板的綜合檢查系統及其方法。
本發明提供一種能夠對塗抹了阻焊劑的軟性印刷電路基板進行圖案檢查 的軟性印刷電路基板的綜合檢查系統及其方法。本發明提供一種能夠防止誤檢測的軟性印刷電路基板的綜合檢查系統及 其方法。
本發明要解決的問題不限於此，本領域從業人員能夠從下面的記載中明確 地理解未提及到的其它問題。
為了達成上述目的，本發明提供一種連續形成軟性印刷電路基板單元的檢 查對象物的綜合檢查系統。根據本發明的一實施方式，本發明的綜合檢查系統
具備進料部(loader),其提供前述檢查對象物；巻料部(unloader)，其卸載 完成檢查的前述檢查對象物；以及檢查部，其配置在前述進料部和前述巻料部 之間，檢查從前述進料部向前述巻料部移動的前述檢查對象物，前述才全查部包 括檢查前述檢查對象物圖案的圖案檢查部、和檢查前述檢查對象物外觀的外觀 檢查部。
根據本發明的實施方式，前述圖案檢查部包括拍攝部，該拍攝部具有照相 機和向前述才企查對象物照射光的照明部，前述照明部包括向前述4企查對象物照 射光並生成透過該檢查對象物的透射光的透射照明、和向前述檢查對象物照射 光並生成經該檢查對象物反射的反射光的反射照明中的至少一個。
根據本發明的實施方式，前述透射照明或者前述反射照明是照射綠色光的 照明。
根據本發明的實施方式，前述透射照明或者前述反射照明是照射具有
500 570nrn波長的光的照明。
根據本發明的實施方式，前述透射照明或者前述反射照明是LED照明。 根據本發明的實施方式，前述圖案檢查部的前述照明部是向前述檢查對象
物照射紅外線頻帶的光。
根據本發明的實施方式，前述圖案檢查部的前述照相機是紅外線照相機。 根據本發明的實施方式，前述外觀檢查部包括拍攝部，該拍攝部具有照相
機和向前述檢查對象物照射光的照明部，前述照明部包括向前述檢查對象物照
射光並生成透過該檢查對象物的透射光的透射照明、和向前述檢查對象物照射光並生成經該檢查對象物反射的反射光的反射照明中的至少一個。
根據本發明的實施方式，前述軟性印刷電路基板的綜合檢查系統還具備不 佳圖像確認部，其為了將經前述圖案檢查部以及前述外觀檢查部檢測出的不佳 部分拍攝為彩色圖像，使操作者判斷該檢測出的不佳部分是真正不佳還是誤檢 測而提供給顯示器。
根據本發明的實施方式，前述不佳圖像確認部包括反射照明，其向前述 檢查對象物照射光，生成經該檢查對象物反射的反射光；以及彩色照相機，其 劃分前述檢查對象物的相互不同的區域進行拍攝。
根據本發明的實施方式，前述不佳圖像確認部包括反射照明，其向前述 檢查對象物照射光，生成經該;險查對象物反射的反射光；面陣照相機，其以面 陣掃描(area scan)方式拍攝前述檢查對象物的不佳部分；以及移動部件，其 用於將前述面陣照相機移動到前述檢查對象物的不佳部分。
根據本發明的實施方式，前述檢查部還包括沿著彎曲路徑移送前述檢查對 象物的彎曲移送部，前述圖案檢查部、前述外觀檢查部以及前述不佳圖像確認 部配置在經前述彎曲移送部沿著彎曲路徑移送的前述4全查對象物的移動路徑 上。
根據本發明的實施方式，前述檢查部還包括將前述檢查對象物沿著彎曲路 徑移送的彎曲移送部、和將前述檢查對象物水平移送的直線移送部，前述圖案 檢查部和前述外觀檢查部配置在經前述彎曲移送部沿著彎曲路徑移送的前述 檢查對象物的移動路徑上，前述不佳圖像確認部配置在經前述直線移送部直線 狀移送的前述檢查對象物的移動路徑上。
本發明的連續形成軟性印刷電路基板單元的檢查對象物的綜合檢查系統， 具備照明部，其向前述檢查對象物照射綠色光；以及拍攝部，其具有拍攝前 述檢查對象物圖像的照相機。
根據本發明的實施方式，前述拍攝部包括檢查前述檢查對象物圖案的圖案 檢查用拍攝部、和檢查前述檢查對象物外觀的外觀檢查用拍攝部。根據本發明的實施方式，前述照明是照射具有500~570nm波長的光的LED 照明。
本發明的連續形成軟性印刷電路基板單元的檢查對象物的綜合檢查方法， 包括提供前述檢查對象物的階段；向前述檢查對象物照射光來檢查圖案不佳 的圖案檢查階段；向前述檢查對象物照射光來檢查外觀不佳的外觀檢查階段； 以及回收完成檢查的前述檢查對象物的階段，在前述圖案檢查階段中，使用照 射綠色光的照明。
根據本發明的實施方式，照射前述綠色光的照明照射具有500~570nm波長 的光。
根據本發明的實施方式，前述檢查對象物是在圖案成分的表面上塗抹作為 絕緣成分的阻焊劑。
根據本發明的實施方式，前述圖案檢查階段包括第1拍攝階段，其向前 述檢查對象物照射光，生成透過該檢查對象物的透射光，檢查圖案的斷線、並 線、突出、凹陷；以及第2拍攝階段，其向前述檢查對象物照射光，生成經該 檢查對象物反射的反射光，檢查纖維性異物、無導向穿孔、表面缺陷。
根據本發明的實施方式，前述外觀檢查階段包括第3拍攝階段，其向前 述檢查對象物照射光，生成透過該檢查對象物的透射光，檢查阻焊劑的針孔、 凝固、損傷；以及第4拍攝階段，其向前述檢查對象物照射光，生成經該檢查 對象物反射的反射光，檢查阻焊劑的濺射、汙染、刮痕、異物、表面缺陷。
根據本發明的實施方式，該方法還包括不佳圖像確認階段，其為了將經前 述圖案檢查階段以及前述外觀檢查階段檢測出的不佳部分拍攝為彩色圖像，使 操作者判斷該檢測出的不佳部分是真正不佳還是誤檢測而提供給顯示器。
根據本發明的實施方式，前述圖案檢查階段中的照明是向前述檢查對象物 照射紅外線頻帶的光。
根據本發明的實施方式，在前述圖案檢查階段中，由紅外線照相機拍攝圖像。本發明的有益效果如下
首先，根據上述的本發明，能夠由一臺設備實施圖案檢查和外觀檢查。 另外，根據本發明，能夠對塗抹了阻焊劑的軟性印刷電路基板進行圖案檢查。
另外，根據本發明，能夠得到位於阻焊劑內部的圖案的乾淨圖像，從而能 夠提高檢查效率。
另外，本發明能夠檢測出導電性異物和非導電性異物，圖案檢查中檢測出 非導電性異物的合格品，能夠抑制誤檢測。


圖l是示出本發明第1實施方式的綜合檢查系統的主要結構的圖。 圖2是示出檢查部主要結構的圖。
圖3是示出第1實施方式的各拍攝部的不同檢查項目及其規範的表格。 圖4是示出本發明第2實施方式的綜合檢查系統的主要結構的圖。 圖5是示出檢查部中不佳品圖像確認部的結構的圖。 圖6是示出各拍攝部的不同檢查項目及其規範的表格。
具體實施例方式
下面參照附圖1乃至圖6更詳細地說說明本發明的實施方式。本發明的實 施方式能夠變形為多種方式，不應解釋為本發明範圍限定於以下實施方式中。 本實施方式是為了向該技術領域中具備平均知識的技術人員更完整地說明本 發明而提供。因而，附圖中要素的形狀是為了強調更明確的說明而被誇張。對 於前述附圖中執行相同功能的結構要素，標記相同參考符號。
圖l是示出本發明第1實施方式的綜合檢查系統的主要結構的圖。圖2是 示出檢查部主要結構的圖。圖3是示出各拍攝部的不同檢查項目及其規範的表格。
當參照圖1乃至圖3時，本發明第1實施方式的綜合檢查系統IO是能夠 對連續形成軟性印刷電路基板單元的薄膜(film)、線帶(tape)類型等^r查對 象物20利用多個拍攝部自動處理圖案檢查和外觀檢查而且不佳品圖像確認 (Verify)的再4企查的系統。
綜合檢查系統10包括進料部100 (feedroller、 loader )、檢查部300、巻料 部200 (winding roller、 unloader)、以及控制這些結構要素諸多動作的控制部 900。
進料部100中有4全查對象物20巻繞在巻軸110上，從進料部100送出的 檢查對象物20經過嚮導輥120提供給;險查部300的彎曲移送部310。檢查對象 物20經過^f企查部300巻繞在巻料部200的巻軸210上。
控制部900具備典型的計算機系統(所謂的微計算機)，控制、處理根據 光學檢查的諸多動作。而且，控制部900從4企查部300的第1乃至第4拍攝部 接受反射圖像和透射圖像，由已經輸入的程序來判別檢查對象物的圖案不佳以 及外觀不佳。
當參照圖2以及圖3時，檢查部300包括彎曲移送部310、圖案檢查部320、 外觀檢查部330、以及不佳圖像確認部340。
彎曲移送部310具有支持檢查對象物20的支持部312,該支持部312沿著 具有一定半徑的圓周配置使得圓弧狀地移送檢查對象物20。支持部312包括相 互隔離設置的1組支持輥314。在檢查部300中，通過使檢查對象物20沿著彎 曲的路徑移送，與直線狀移送檢查對象物20的情況下的移送長度相比，將相 對地延長移送長度，因此能夠不相互幹涉地設置多個數量的拍攝部。通常拍攝 部的照相機中，固定支架(bracket) a、和用於調整照相機位置的調整部件b 設置為l組，因此要求大於照相機尺寸的安裝空間。
圖案檢查部320具有第1、第2拍攝部322、 326、外觀檢查部330的第3、 第4拍攝部332、 336、以及不佳圖像確認部340的第5拍攝部342，它們被配置在彎曲移送部310周邊。這些拍攝部322、 326、 332、 336、 342各自都包括 照相機302、和向檢查對象物照射光的照明部304。照明部304由向4企查對象 物20照射光的透射照明306、和向才企查對象物20照射光的反射照明308構成， 能夠根據想4t查的項目特性來選擇使用反射照明和透射照明中的某一個。透射 照明306設置在支持部件312上，通過1組支持輥314之間的縫隙向檢查對象 物20照射光。反射照明308配置在照相機302和檢查對象物20之間，向檢查 對象物20照射光。例如作為照相機302，能夠使用行掃描照相機或者紅外線照 相機。
當更具體地說明圖案檢查部320時，圖案檢查部320包括兩個第1拍攝部 322和兩個第3拍攝部326。為了檢查出檢查對象物20的電路圖案的斷線、並 線、突出、凹陷等，第1拍攝部322的照相機302拍攝圖案區域。在第l拍攝 部322中，使用從透射照明306照射並透過4企查對象物20的透射光來進行拍 攝。為了檢查出檢查對象物纖維性異物、無導向穿孔(pre-punch)、表面缺陷 等，第2拍攝部326的照相機302拍攝圖案區域。在第2拍攝部326中，使用 從反射照明308照射並經檢查對象物20反射的反射光來進行拍攝。
外觀檢查部330包括一個第3拍攝部332、和兩個第4拍攝部336。為了 檢查出檢查對象物20的阻焊劑的針孔(pinhole)、凝固、損傷，第3拍攝部332 的照相機302拍攝阻焊劑區域。從透射照明306向檢查對象物20的拍攝區域 照射光。為了檢查出檢查對象物20的阻焊劑濺射、汙染、刮痕(scratch)、異 物、表面缺陷等，第4拍攝部336的照相機302拍攝阻焊劑區域。從反射照明 308向檢查對象物20的拍攝區域照射光。
圖案檢查部320和外觀檢查部330的照明部304,希望使用照射500~570nm 波長的綠色光的高亮度LED照明。使用綠色光LED照明的理由是在圖案檢查 中得到更正確、鮮明的圖案圖像。例如在檢查對象物20中，圖案成分被作為 絕緣成分的綠色阻焊劑SR覆蓋。假如使用通常使用的色相(白色以及紅色) 的照明時，由於阻焊劑而無法鮮明地拍攝出圖案。但是，如本發明一樣，當照射與阻焊劑色相相同或者類似波長的綠色LED照明進行拍攝時，相同波長的 LED照明將通過阻焊劑層，將內側的圖案面照得明亮。當然在圖案4企查部320 的透射檢查中也適用相同原理。即當使用綠色LED照明時，即使是使用透射 光的檢查，也同樣乾淨地(沒有SR地)拍攝出位於阻焊劑內部的圖案。另夕卜， 綠色LED照明對外觀檢查項目中檢查阻焊劑異物也非常有用。
這樣在本發明中，當使用與阻焊劑類似波長的照明時，能夠得到位於阻焊 劑內部的圖案為止的乾淨圖像，因此在塗抹阻焊劑後能夠進行圖案檢查。
例如在本發明的圖案檢查部320中，能夠使用照射紅外線頻帶的光的照明 部。即圖案檢查部320為了檢查不僅是被鍍金有電路圖案的區域、而且在內部 形成圖案成分和空間成分，上述塗抹阻焊劑的阻焊劑區域的電氣電路圖案，當 使用照射紅外線頻帶的光信號的照明部時，能夠減少根據異物的反應而提高檢 查效率。例如為了使用紅外線頻帶的照明部來獲得影像圖像，而使用紅外線透 鏡、或者因紅外線頻率的焦點距離比可見光線頻帶長所以使用 一般透鏡的情況 下，將透鏡焦點距離設定得更長。當然紅外線透鏡是使可見光線頻帶和紅外線 頻率的焦點距離相同，因此無需調整焦點距離。
在本發明的綜合檢查系統10的圖案檢查部320中，除了使用紅外線頻帶 的照明的方法以外，還能夠使用紅外線照相機來得到相同效果。
本發明的綜合檢查系統IO將完成圖案工序、鍍金工序、而且阻焊工序的 成品狀態的檢查對象物為對象實施檢查。阻焊劑內部存在的異物覆蓋有阻焊成 分，因此目前難以區分是合格的異物還是不佳的異物。^旦是在本發明中，通過 使用波長長的紅外線頻帶的光，能夠區分出合格性異物和不佳性異物。
不佳圖像確認部340隻將從圖案檢查部320以及外觀檢查部330檢測出的 不佳部分選擇性地拍攝為彩色圖像，並將該拍攝的圖像通過監視器進行顯示， 由操作者來判斷是真正不佳還是誤檢測。不佳圖像確認部340包括三個第5拍 攝部342，但是第5拍攝部342包括向檢查對象物20照射光的反射照明308、 拍攝檢查對象物不佳部分的彩色照相機303。第5拍攝部檢查之前階段(圖案檢查以及外觀檢查)中拍攝的圖像，將判明為不佳的部分拍攝為彩色圖像。這
樣拍攝的彩色圖像提供給控制部900，在控制部900中將彩色圖像、和之前階 段(圖案檢查以及外觀檢查)中判明為不佳的部分的圖像顯示在監視器(未圖 示)上。操作者比較顯示在監視器上的兩個影像，並通過輸入裝置輸入最終的 合格或不佳的認定。
另一方面，本發明的綜合檢查系統的檢查部300是在圖案檢查後實施外觀 檢查，但是即使改變外觀檢查和圖案檢查的順序也沒關係，圖案檢查和外觀檢 查是相對地檢查以相同速度移動的檢查對象物，因此需要相同的檢查時間。
如圖3—樣，圖案檢查和外觀檢查中使用相同的照相機，由兩套照相機構 成的第1拍攝部322、第2拍攝部326以及第4拍攝部336，使用具有相同視 野24mm和解析度的透鏡，由1套照相機的第3拍攝部332的透鏡視野寬廣， 解析度也有差異。另一方面，第5拍攝部342由3套照相初4勾成，因此透鏡的 視野稍小，解析度也是3.57jxm。在附圖中沒有示出透鏡，但是透鏡設置在照相 機前方(光進入的路徑上)這點對於本領域從業人員來說是公知的技術，因此 為了便利而省略。
圖4是示出本發明第2實施方式的綜合檢查系統的主要結構的圖。圖5是 示出檢查部中不佳圖像確認部的結構的圖。圖6是示出各拍攝部的不同檢查項 目及其規範的表格。
當參照圖4乃至圖6時，本發明第2實施方式的綜合檢查系統10a包括具 有與圖1所示第1實施方式的系統相同結構和功能的進料部100 (feedroller、 loader )、檢查部300a、巻料部200 (winding roller、 unloader)、以及控制這些 結構要素諸多動作的控制部900。對它們的說明已在第1實施方式中詳細說明， 因此在本實施方式中省略。但是在第1實施方式中，不佳圖^f象確認部340是由 三臺彩色行掃描照相機303來拍攝不佳部分，但是在本實施方式中是由兩臺彩 色面陣照相機354來拍攝不佳部分。具有將向X軸-Y軸的移動機器人化的照 相機移動到不佳部分來拍攝圖像的不佳圖像確認部350這點，具有其構造特徵。如圖4以及圖5所示，不佳圖像確認部配置在4企查部的直線狀移送部上。 直線移送部380包括以一定間隔隔離的1組輸送輥382使得4企查對象物20水 平直線移送。不佳圖像確認部350包括反射照明308,其向檢查對象物20 照射光；兩組第5拍#聶部352,其包括以面陣掃描(area scan)方式拍揚^r查 對象物不佳部分的面陣照相機354以及使面陣照相機354移動到檢查對象物不 佳部分的X-Y軸移動部件360。 X-Y軸移動部件360包括X軸移動部362和Y 軸移動部364。面陣照相機354是通過這些移動部移動到不佳部分來拍攝不佳 部分的圖像。作為第5拍攝部的照相機354和反射照明308,是通過X-Y軸移 動部件360向4企查對象物20的X-Y軸方向移動。這裡，作為X-Y軸移動部件 360，能夠使用利用油壓的液壓缸(cylinder)方式、或者電機、滾珠絲槓以及 利用移送螺母的多種方式。
如圖6 —樣，圖案檢查和外觀檢查中使用相同的照相機和照明，由2套照 相機構成的第1拍4i部322、第2拍攝部326以及第4拍攝部336，使用具有 相同視野24mm和解析度的透鏡，由1套照相機構成的第3拍攝部332的透鏡 視野寬廣，解析度也有差異。另一方面，第5拍攝部352是由2套面陣照相機 (3CCD彩色面陣掃描照相機)354構成，因此具有1.2mmxl.6mm的視野。特 別是面陣照相機354的拍攝區域小，因此在通過X-Y軸移動部件360移動後， 將拍攝其不佳部分。
如上述一樣，本發明的檢查部通過使用與阻焊劑相同的綠色照明，能夠得 到被阻焊劑覆蓋的圖案為止的乾淨圖像。因而，完成阻焊工序的成品的最終階 段中，不僅是外觀檢查而且還能實施圖案檢查，因此能夠省略阻焊工序之前實 施的圖案檢查。
另一方面，本發明在由上述結構構成的綜合自動檢查系統中，能夠多樣地 變形，能夠實施多種的方式。但是，本發明沒有限定於上述提及的特別方式上， 應理解成包括由所附權利要求範圍定義的本發明思想和處於範圍內的全部變 形物、均等物和代替物。
權利要求
1.一種軟性印刷電路基板的綜合檢查系統，是連續形成軟性印刷電路基板單元的檢查對象物的綜合檢查系統，其特徵在於，該系統具備進料部，其提供前述檢查對象物；卷料部，其卸載完成檢查的前述檢查對象物；以及檢查部，其配置在前述進料部和前述卷料部之間，檢查從前述進料部向前述卷料部移動的前述檢查對象物；前述檢查部包括檢查前述檢查對象物圖案的圖案檢查部、和檢查前述檢查對象物外觀的外觀檢查部。
2. 根據權利要求1所述的軟性印刷電路基板的綜合檢查系統，其特徵在 於，前述圖案檢查部包括拍攝部，該拍攝部具有照相機和向前述檢查對象物照 射光的照明部；前述照明部包括向前述4企查對象物照射光並生成透過該4全查對象物的透 射光的透射照明、和向前述檢查對象物照射光並生成經該檢查對象物反射的反 射光的反射照明中的至少 一個。
3. 根據權利要求2所述的軟性印刷電路基板的綜合檢查系統，其特徵在 於，前述透射照明或者前述反射照明是照射綠色光的照明。
4. 根據權利要求2所述的軟性印刷電路基板的綜合檢查系統，其特徵在 於，前述透射照明或者前述反射照明是照射具有500 570nm波長的光的照明。
5. 根據權利要求3或者4所述的軟性印刷電路基板的綜合檢查系統，其 特徵在於，前述透射照明或者前述反射照明是LED照明。
6. 根據權利要求2所述的軟性印刷電路基板的綜合檢查系統，其特徵在 於，前述圖案^r查部的前述照明部是向前述檢查對象物照射紅外線頻帶的光。
7. 根據權利要求2或者6所述的軟性印刷電路基板的綜合檢查系統，其 特徵在於，前述圖案^r查部的前述照相機是紅外線照相機。
8. 根據權利要求1所述的軟性印刷電路基板的綜合檢查系統，其特徵在於，前述外觀檢查部包括拍攝部，該拍攝部具有照相機和向前述檢查對象物照射光的照明部；前述照明部包括向前述檢查對象物照射光並生成透過該檢查對象物的透 射光的透射照明、和向前述檢查對象物照射光並生成經該;險查對象物反射的反 射光的反射照明中的至少 一個。
9. 根據權利要求1所述的軟性印刷電路基板的綜合檢查系統，其特徵在 於，該系統還具備不佳圖像確認部，其為了將經前述圖案檢查部以及前述外觀 檢查部檢測出的不佳部分拍攝為彩色圖像，使操作者判斷該檢測出的不佳部分 是真正不佳還是誤檢測並提供給顯示器。
10. 根據權利要求9所述的軟性印刷電路基板的綜合檢查系統，其特徵在 於，前述不佳圖像確認部包括反射照明，其向前述檢查對象物照射光，生成 經該檢查對象物反射的反射光；以及彩色照相機，其劃分並拍攝前述檢查對象 物的相互不同的區域。
11. 根據權利要求9所述的軟性印刷電路基板的綜合檢查系統，其特徵在 於，前述不佳圖像確認部包括反射照明，其向前述^r查對象物照射光，生成 經該檢查對象物反射的反射光；面陣照相機，其以面陣掃描方式拍攝前述檢查 對象物的不佳部分；以及移動部件，其用於將前述面陣照相機移動到前述檢查 對象物的不佳部分。
12. 根據權利要求9所述的軟性印刷電路基板的綜合檢查系統，其特徵在 於，前述檢查部還包括沿著彎曲路徑移送前述4全查對象物的彎曲移送部；前述圖案檢查部、前述外觀檢查部以及前述不佳圖像確認部配置在經前述 彎曲移送部沿著彎曲路徑移送的前述檢查對象物的移動路徑上。
13. 根據權利要求9所述的軟性印刷電路基板的綜合檢查系統，其特徵在 於，前述檢查部還包括將前述檢查對象物沿著彎曲路徑移送的彎曲移送部、和 將前述^r查對象物水平移送的直線移送部；前述圖案檢查部和前述外觀檢查部配置在經前述彎曲移送部沿著彎曲路徑移送的前述檢查對象物的移動路徑上；前述不佳圖像確認部配置在經前述直線移送部直線狀移送的前述^r查對 象物的移動路徑上。
14. 一種軟性印刷電路基板的綜合檢查系統，是連續形成軟性印刷電路基 板單元的檢查對象物的綜合檢查系統，其特徵在於，該系統具備照明部，其向前述^r查對象物照射綠色光；以及 拍攝部，其具有拍攝前述檢查對象物圖像的照相機。
15. 根據權利要求14所述的軟性印刷電路基板的綜合^^查系統，其特徵 在於，前述拍攝部包括檢查前述檢查對象物圖案的圖案檢查用拍攝部、和檢查 前述檢查對象物外觀的外觀;險查用拍攝部。
16. 根據權利要求15所述的軟性印刷電路基板的綜合檢查系統，其特徵 在於，前述照明是照射具有500 570nm波長的光的LED照明。
17. —種軟性印刷電路基板的綜合檢查方法，是連續形成軟性印刷電路基 板單元的檢查對象物的綜合檢查方法，其特徵在於，該方法包括提供前述檢查對象物的階段；向前述檢查對象物照射光來檢查圖案不佳的圖案檢查階段； 向前述檢查對象物照射光來檢查外觀不佳的外觀檢查階段；以及 回收完成檢查的前述^r查對象物的階段； 在前述圖案檢查階段中，使用照射綠色光的照明。
18. 根據權利要求17所述的軟性印刷電路基板的綜合^r測方法，其特徵 在於，照射前述綠色光的照明照射具有500 570nm波長的光。
19. 根據權利要求18所述的軟性印刷電路基板的綜合檢測方法，其特徵 在於，前述^f企查對象物是在圖案成分的表面上塗抹作為絕緣成分的阻焊劑。
20. 根據權利要求19所述的軟性印刷電路基板的綜合檢測方法，其特徵 在於，前述圖案檢查階段包括第1拍攝階段，其向前述檢查對象物照射光， 生成透過該檢查對象物的透射光，檢查圖案的斷線、併線、突出、凹陷；以及第2拍攝階段，其向前述檢查對象物照射光，生成經該檢查對象物反射的反射 光，檢查纖維性異物、無導向穿孔、表面缺陷。
21. 根據權利要求20所述的軟性印刷電路基板的綜合^f全測方法，其特徵 在於，前述外觀檢查階段包括第3拍攝階段，其向前述檢查對象物照射光， 生成透過該檢查對象物的透射光，檢查阻焊劑的針孔、凝固、損傷；以及第4 拍攝階段，其向前述檢查對象物照射光，生成經該檢查對象物反射的反射光， 檢查阻焊劑的'減射、汙染、刮痕、異物、表面缺陷。
22. 根據權利要求19所述的軟性印刷電路基板的綜合檢測方法，其特徵 在於，該方法還包括不佳圖像確認階段，其為了將經前述圖案檢查階段以及前 述外觀檢查階段檢測出的不佳部分拍攝為彩色圖像，使操作者判斷該檢測出的 不佳部分是真正不佳還是誤;險測並提供給顯示器。
23. 根據權利要求17所述的軟性印刷電路基板的綜合檢測方法，其特徵 在於，前述圖案檢查階段中的照明是向前述檢查對象物照射紅外線頻帶的光。
24. 根據權利要求23所述的軟性印刷電路基板的綜合^r測方法，其特徵 在於，在前述圖案檢查階段中，由紅外線照相機拍攝圖像。
全文摘要
本發明提供一種能夠綜合檢查軟性印刷電路基板的電路圖案和外觀的軟性印刷電路基板的綜合檢查系統及其方法。本發明涉及一種能夠綜合檢查軟性印刷電路基板的電路圖案和外觀的軟性印刷電路基板的綜合檢查系統及其方法。根據本發明的綜合檢查系統，包括進料部，其提供檢查對象物；卷料部，其卸載完成檢查的前述檢查對象物；以及檢查部，其配置在前述進料部和前述卷料部之間，檢查從前述進料部向前述卷料部移動的前述檢查對象物，前述檢查部包括檢查前述檢查對象物圖案的圖案檢查部、和檢查前述檢查對象物外觀的外觀檢查部。
文檔編號G01N21/898GK101609054SQ200910147249
公開日2009年12月23日 申請日期2009年6月12日 優先權日2008年6月17日
發明者崔鉉鎬, 金敏秀 申請人:Aju高技術公司