複合吸波材料及其製備方法

2023-05-21 04:38:06

專利名稱：複合吸波材料及其製備方法
技術領域：
本發明屬於材料領域，具體地說，本發明涉及一種具有電磁波吸收功能的複合材 料及其製備方法。
背景技術：
眾所周知，吸波材料在軍事上有重要的應用價值。隨著電子技術的發展，各種頻率 的電磁波進入人們的生活中，微波爐、手機等電器產生的電磁輻射形成越來越大的汙染源， 不僅給電子儀器帶來電磁幹擾，並且會影響人們的健康。因此吸收材料的發展不僅在軍事 上有重要的意義，也成為環保的一個重要課題。按照能量損耗機理，吸波材料可以分為磁介質型、電介質型、電阻型和複合型。磁 介質材料是利用與動態磁化過程相關的磁損耗，稱為反覆磁化的「摩擦」作用，主要來源為 磁滯損耗、磁疇轉向、疇壁位移和自然共振等磁極化機制引起電磁波衰減，材料的複數磁導 率的虛數部分越大則電損耗效應越強烈。電介質型材料是利用與電極化相關的介電損耗， 稱為反覆極化的「摩擦」作用，主要來自電界面極化、馳豫、介質極化等電極化引起電磁波衰 減，材料的複數介電常數的虛數部分越大則電損耗效應越強烈。電阻型材料是利用渦流電 流將電磁能轉化為熱能。通常單獨使用上述一種損耗機制，很難達到寬頻帶的吸波功能，需 要具有至少兩種上述損耗機制的吸波材料組成複合型材料。目前，碳納米管複合材料是一種重要的吸波材料。由於碳納米管的一維長鏈之間 可以相互連成導電網絡，能夠形成渦流電流，從而將電磁能轉化為熱能達到吸波效果。同時 碳納米管能夠抵抗裂紋的擴展，進而增強材料整體的韌性。並且，由於納米材料尺寸遠小於 微波波長，對微波的透過率比常規材料強得多，減少了微波反射率，對高頻電磁波有強吸收 功能。最後，碳納米管複合材料還具有質量輕的優點。因此，近年來，碳納米管複合吸波材 料得到了的廣泛的應用。但是，碳納米管複合材料仍然存在諸多不足一是吸波能力還有待 提高；二是吸波頻帶較窄；三是散熱性能不好。

發明內容
本發明的目的是提供一種吸波能力強、吸波頻帶寬、散熱性能好的複合吸波材料 及其製備方法。為實現上述發明目的，本發明提供了一種複合吸波材料，該材料按下列步驟製備 而成1)製備金屬磁納米材料；2)將金屬磁納米材料均勻分散到基體材料中製成塗料或膜材料。其中，所述金屬磁納米材料包括鐵磁性或反鐵磁性納米材料。其中，所述鐵磁性納米材料包括Co、Fe、Ni、Co1^xFex,Ni1^xFex, C0l_xPtx、Co1^xCrx, NihCox、或 C0l_x_yFexNiy 納米材料，其中 0<x<l，0<y<l。其中，所述鐵磁性納米材料還包括Co-Fe-B、Fe-Si,Fe-Al, Fe-Mn, Fe-Cu, Fe-Mo,Fe-ff, Fe-Si-Al、Fe-P-C, Fe-Co-Ni-Bai-Ni-Co, Sm-Co、NcH7e-B、Sm-Co-Fe, Fe-Pt, Fe-Pd, Co-Pd 或 Mn-Al-C 合金納米材料，或者 La-Ca-Mn-O、La-Sr-Mn-O, R、R-R~、R-M 納米材料，其 中R、為稀土金屬元素、M為過渡族金屬元素；或者含有稀土元素的二元或多元氧化物的 納米材料。其中，所述的反鐵磁性納米材料包括Cr、Mn、Ir1^xMnx,Ni1^xMnx, Fe1^xMnx, Pt1^xMnx, 其中O < χ < 1。其中，所述金屬磁納米材料是磁性納米管、磁性納米線或者由磁性納米顆粒附著 或填充碳納米管而形成的磁納米材料。其中，所述基體材料包括聚合物、烴類化合物或混合物、無機半導體材料或者無機 絕緣材料。其中，所述聚合物包括橡膠、聚醇縮醛、樹脂、聚酯、纖維素酯、聚醚、聚醯胺、烯類 聚合物或塑料，或者上述各種聚合物的混合物。其中，所述烴類化合物包括油酸；所述烴類混合物包括石蠟。其中，所述無機半導體材料包括III-V族化合物半導體、II-VI族化合物半導體、 Si、ZnO 或者 Ge。其中，所述的無機絕緣材料包括氧化物絕緣材料(如狗304、SiO2, MgO等)或介電 材料(包括陶瓷材料，如BaTiO4, Al-O等)。本發明還提供了一種製備上述複合吸波材料的方法，包括下列步驟1)製備金屬磁納米材料；2)將金屬磁納米材料均勻分散到基體材料中製成塗料或膜材料。其中，所述步驟1)包括下列子步驟11)製備磁性金屬的氧化物的多孔型模板；12)在所述多孔型模板的一側鍍金屬膜，使得在多孔型模板的孔洞邊緣沉積一層 金屬導電層，並且該導電層不把所述孔洞全部覆蓋；13)利用交流電沉積所述磁性金屬單質的納米管。其中，所述步驟12)還包括在所述多孔型模板的一側鍍金屬膜的厚度為5nm 300nmo其中，所述步驟2~)中，所述金屬磁納米材料和基體材料的質量分數分別為10% 80%、20% 90%。其中，所述步驟幻中，當複合吸波材料製成吸波膜材料(薄膜或厚膜)時，所述復 合吸波材料除了含有作為核心成分的金屬磁納米材料和基體材料外，還含有摻雜劑。所述 的摻雜劑為陶瓷顆粒或氧化鈦或氧化鋅。各部分所佔的質量分數如下摻雜劑的質量 分數< 10% ；其餘為核心成分，即金屬磁納米材料和基體材料。所述步驟2、中，將複合吸波材料製成吸波膜材料的過程包括下列步驟步驟1 按照上述比例，將磁性納米顆粒、磁性納米線或磁性納米管、聚合物與上 述的有機包覆材料攪拌或加入混料機中或球磨機中，混合均勻，備用；其中所用的磁性納米 線或磁性納米管可以是經過表面活性劑處理過的，也可以是未經過化學處理的；即納米磁 體表面可以包覆有機材料。步驟2 將步驟1製備的混合物溶於有機溶劑，利用旋塗法或塗敷法，將混合物溶液塗於基片上，烘乾有機溶劑，得到混合物薄(厚)膜。所述的有機溶劑包括丙酮、正丁醇、 二甲苯等常用有機溶劑。步驟3 (本步驟也可以省略)使用常規的薄膜生長工藝，在步驟2製備的薄膜上 生長一層或多層透波層薄膜，透波層薄膜可為ZnO等透波性高的材料。其中，所述步驟2)中，當複合吸波材料製成吸波塗料時，複合吸波材料除了作為 核心成分的金屬磁納米材料和基體材料外，還含有有機包覆材料、摻雜劑和溶劑，各成分的 質量分數如下核心成分(金屬磁納米材料和基體材料)核心成分的質量分數< 83% ；有機包覆材料和摻雜劑有機包覆材料和摻雜劑的質量分數< 30% ；溶劑15%<溶劑的質量分數< 40% ；所述步驟幻中，吸波塗料的製備過程包括下列步驟步驟1 按照上述比例，將有機包覆材料、摻雜劑加入溶劑中，加熱攪拌或者球磨， 充分混合，得到有機溶液；步驟2 將磁性納米線或磁性納米管加入步驟1得到的有機溶液中，加熱攪拌或者 球磨，充分混合。其中所用的磁性納米線或磁性納米管可以是經過表面活性劑鈍化過的，也 可以是未經過化學處理的；步驟3 將聚合物加入步驟2得到的有機溶液中，加熱攪拌或者球磨，充分混合，得 到溶液；所述的溶劑包括烴類溶劑(烷烴、苯等)、醇類、醚類、酮類、酯類中的一種或多種 混合溶劑。所述的有機包覆材料為脂肪酸、聚苯胺、聚六氟乙烯、聚醯亞胺中的一種或多種。所述的摻雜劑含有固化劑和改善材料的韌性的材料，包括酸酐、異氰酸酯等有機 添加劑。在上述塗料中，可以添加顏料使塗料著色。另外，本發明還提供了一種磁納米管制備方法，該方法包括下列步驟1)製備磁性金屬的氧化物的多孔型模板；2)在所述多孔型模板的一側鍍金屬膜，使得在多孔型模板的孔洞邊緣沉積一層金 屬導電層，並且該導電層不把所述孔洞全部覆蓋；3)利用交流電沉積所述磁性金屬單質的納米管。與現有技術相比，本發明具有如下技術效果1.吸波能力強。2.吸波頻帶寬。3.散熱性能好。4.質量輕。


圖1為陽極氧化設備示意圖；圖2為得到具有兩端通透通孔的氧化鋁模板的AFM圖；圖3為電化學沉積得到的Co納米管的SEM圖的剖面圖4為電化學沉積得到的Co納米管的SEM圖的表面形貌圖；圖5為實施例3的複合吸波材料薄膜的結構示意圖；圖6為實施例6陽極氧化鋁模板方法製備的Co納米線的剖面圖。
具體實施例方式首先，簡要介紹本發明的吸波原理。本發明以金屬磁納米材料為基礎製作複合吸波材料。本發明的磁納米材料主要包 括磁性納米線、納米管或者由磁性納米顆粒附著或填充碳納米管而形成的磁納米材料。這 些準一維納米材料形成的多個長鏈可以相互連成導電網絡，能夠形成渦流電流，從而將電 磁能轉化為熱能以達到吸收微波能量的效果。由於本發明所採用的金屬納米材料的電導率 高於碳納米管，因此，本發明的渦流電流更強，從而增強了吸波效果。另外，本發明的由於金屬磁納米材料還具有導磁性，其磁導率遠高於碳納米管。因 此本發明還能夠形成電磁波的波導網絡，電磁波進入該波導網絡後無法向外散射，而是在 網絡中來回傳播並逐漸耗散，從而對電磁波形成屏蔽作用，達到疊加的吸波效果。而碳納米 管網絡無此項作用。再者，由於金屬磁納米材料本身也是磁介質，因此，本發明還存在反覆磁化的「摩 擦」作用而引起電磁波衰減，從而得到疊加的吸波效果。進一步地，本發明能夠以多種機制達到吸波效果，每種機制的最優吸波波段均有 不同，因此本發明能夠達到擴展吸波頻帶的技術效果。更進一步地，由於金屬磁納米材料的導熱性能遠高於碳納米管，因此本發明的散 熱性能好於碳納米管複合吸波材料。最後，本發明的磁納米材料也繼承了碳納米管複合吸波材料的各項原有優點。磁 性納米線或納米管可以增強材料的韌性，抵抗裂紋擴展；增強材料整體的韌性。微波磁性 納米線和磁性納米管是準一維的納米磁體，質量輕，表面原子的比例大，尺寸遠小於微波波 長，減少了微波反射率，對高頻電磁波有強吸收功能。磁性納米管的空心結構使複合材料質 量大大減輕。下面結合實施例對本發明做進一步地描述。實施例1本實施例給出了一種用多孔型陽極氧化鋁模板(Anodic Aluminum Oxide,AA0)法 製備磁性納米管的方法，該方法包括下列步驟a.鋁片的預處理將厚度0. 5mm的高純度鋁片(純度99. 999%)裁剪成80mmX 80mmX 0. 5mm，將鋁 片放入盛有無水乙醇的燒杯中，超聲清洗5至10分鐘，去除表面的汙漬。為了除去鋁片表 面的氧化鋁層，將其放入濃度為IM的氫氧化鈉溶液中，觀察鋁片表面產生的氣泡減少後取 出鋁片並用去離子水衝洗乾淨。將預處理過的鋁片放入體積比為41的乙醇和高氯酸的 混合溶液中，在直流電壓13V恆壓拋光3分鐘，之後用去離子水衝洗5次。b.鋁片的氧化——二次氧化法圖1是陽極氧化設備示意圖(為表意清晰，該圖未按比例繪製)，其中陽極1為待 氧化的鋁電極，陰極2為銅電極，也可以是不鏽鋼電極。將電拋光好的鋁片放入酸溶液中，在0°C，15V恆壓下，氧化120s。將一次氧化後的樣品取出，放入6wt% WH3PO4和1.8wt% 的HCrCV混合溶液中，60°C恆溫下浸泡，去除第一次氧化好的氧化鋁層。之後用去離子水衝 洗乾淨鋁片，進行第二次氧化，第二次氧化條件與第一次氧化條件相同。c.得到具有兩端通透通孔的氧化鋁模板二次氧化結束後，將鋁片放入20%的鹽酸和0. IM的氯化銅混合溶液，置換反應去 除未氧化的鋁。然後在氧化鋁模板的一側滴加5%的H3PO4,在另一側放pH試紙，當pH試紙 變紅後5min，用去離子水衝乾淨。圖2為所得到的具有兩端通透通孔的氧化鋁模板的AFM 圖。d.鍍金屬導電層用磁控濺射的方法在氧化鋁模板一側鍍5nm 300nm的金薄膜作為電極，金薄膜 沒有將孔洞全部覆蓋，而是在孔洞邊緣附近沉積一層導電層。金薄膜的厚度不同則納米孔 洞直徑不同。本步驟不同於現有技術中鍍較厚電極的做法，其目的是不將孔洞全部覆蓋，這 種方案使得本發明能夠製備出具有真正的納米級尺寸的柱狀納米管。而用現有技術的多孔 型陽極氧化鋁模板法在這一尺寸要求下，通常只能製備出納米線。e.交流電沉積納米管在0. IM的CoSi04、25g/l的H3BO3、IM的NaOH和IM的鹽酸溶液組成的混合溶液中， 採用交流沉積法沉積Co納米管，工作電極為帶沉積模板，對電極為石墨，在交流15V、50Hz 電源的驅動下，沉積2 7分鐘，沉積時間不同則內徑不同。然後取出用去離子水清洗乾淨。 圖3為電化學沉積得到的Co納米管的SEM圖的剖面圖，圖4為電化學沉積得到的Co納米 管的SEM圖的表面形貌。f.分散納米管用NaOH將上述得到的AAO模板中的Al2O3溶解掉，得到分散的Co納米管。需要說明的是，以上雖然是製備Co納米管的方法，但是本領域技術人員容易理 解，也可以利用多孔型模板的方法製備出其它的管狀鐵磁性納米材料或反鐵磁性納米材 料。其中，所述鐵磁性納米材料包括fcKi^NLCOhi^pNihi^pCOhPtpCOhCrpNihCOx、 或C0l_x_yFexNiy納米材料，其中0<x<l，0<y<l。鐵磁性納米材料還包括Co_Fe-B、 Fe-Si、Fe-Al、Fe-Mn、Fe-Cu、Fe-Mo、Fe-W、Fe-Si-Al、Fe-P-C、Fe-Co-Ni-B、Al-Ni-Co、Sm-Co、 Nd-Fe-B, Sm-Co-Fe, Fe-Pt, Fe-Pd, Co-Pd 或 Mn-Al-C 合金納米材料，或者 La-Ca-Mn-O、 La-Sr-Mn-0,R,R-R~、R_M納米材料，其中R、R、為稀土金屬元素、M為過渡族金屬元素；或者 含有稀土元素的二元或多元氧化物的納米材料。反鐵磁性納米材料包括Cr、Mn、IivxMrv NihMnpFehMnp Pt1JMnx、其中 0 < χ < 1。實施例2本實施例給出了一種製備磁性納米線的方法，該方法與實施例1的區別在於本 實施例在步驟d中，鍍金薄膜的厚度超過300nm，使得AAO模板的孔洞一端完全被堵住。本 實施例的其他步驟均實施例1相同。圖6為本實施例中使用陽極氧化鋁模板方法製備的Co 納米線的剖面圖。實施例3本實施例給出了一種一維磁納米材料的製備方法，該方法包括將碳納米管放入 熱蒸發鍍膜的真空腔中，使用常用的鍍膜條件在碳納米管表面蒸鍍一層3nm的Co薄膜(實際上就是在碳納米管表面鍍Co納米顆粒)形成一維磁納米材料。實施例4本實施例給出了一種利用實施例1所製備的納米管或實施例2所製備的納米線制 備吸波塗料的方法，該方法包括a.配液。配製丙酮、二環氧丙烷基醚、丁二醇的混合溶液，混合比為(3 4) (1. 5 2. 5) 1 ；b.分離。取適量的環氧樹脂、乙烯樹脂、聚醯胺，三部分的質量比為10 2 1.5，溶於混合溶液，使用超聲、磁力攪拌器，混合均勻；c.混合。將分散的Co納米管或納米線加入步驟b製備的溶液中，質量比為3 97， 使用磁力攪拌器攪拌混合均勻，得到吸波塗料。d.填塗。將上述製備的溶液噴塗在其他物體上，待其固化即可。因為使用的溶劑 具有揮發性時，所以塗料也會有揮發性。實施例5本實施例與實施例4基本一致，其區別在於步驟c和d.步驟c 將不同內徑、外徑的分散的的Co納米管(或納米線)加入按步驟b製備的 溶液中，使用磁力攪拌器攪拌混合均勻，並得到不同濃度的磁納米管(或納米線)的塗料。步驟d 按照納米管(或納米線)濃度由高到低的順序，將製備的溶液噴塗在基片 或被塗覆的器件上，待其固化，得到吸波薄膜。在薄膜上生長50nm 500nm的Al2O3作為透 波層，增大吸波效率。圖5為本實施例的複合吸波材料薄膜的結構示意圖(為表意清晰，該 圖未按比例繪製)，其中1為吸波薄膜，2為透波層，3為基片或被塗覆的器件。實施例6本實施例與實施例5基本一致，其區別在於步驟d.步驟d 將磁納米管(或納米線)的塗料攪拌混合均勻，使用微量進樣器滴加高濃 度的磁納米管的塗料0. 5ml在Al2O3基片的中央，以200 800轉/分的速度旋塗10秒，當 溶液在表面鋪開後，以3000轉/分的速度旋轉30秒。重複上述操作20次，旋轉塗覆後的 基片置於真空乾燥箱中，100°C烘乾，得到複合膜；調節納米管在混合溶液中的質量比，得到 烘乾後的複合膜中，納米管的質量為70%。得到Al2O基片上的M磁性納米管與聚氟丙烯 複合材料的薄膜，在薄膜上生長50nm 500nm的Al2O3作為透波層。旋塗方法生長快捷，且 價格低廉。實施例7本實施例與實施例5基本一致，其區別在於步驟d.步驟d 將磁納米管(或納米線)的塗料攪拌混合均勻，使用微量進樣器滴加高濃 度的塗料0. 5ml在Al2O3基片的中央，以200 800轉/分的速度旋塗10秒，當溶液在表 面鋪開後，以3000轉/分的速度旋轉30秒。按照納米管(或納米線)濃度由高到低的順 序，重複上述操作20次，旋轉塗覆後的基片置於真空乾燥箱中，100°C烘乾，得到複合膜 』然 後在複合膜上再次旋塗生長複合膜，再次烘乾，得到Al2O基片上的Ni磁性納米管(或納米 線)與聚氟丙烯複合材料的薄膜，在薄膜上生長50nm 500nm的Al2O3作為透波層。旋塗 方法生長快捷，且價格低廉。實施例8
本實施例給出了一種複合吸波材料的製備方法，該方法包括1、製備外徑為200歷，管壁厚30nm的( 納米管(( 納米管可以根據實施例1 的方法製備)。2、將所得到的( 納米管均勻分散到融化的精鍊石蠟中，納米管與石蠟的質量 比分別為80%和20%，將石蠟固化後，輕壓，製成IcmXlcmXO. Icm的吸波片。該吸波片在 頻率為9GHz時，反射率約為10dB。實施例9本實施例給出了一種利用實施例3的一維磁納米材料製備複合吸波材料的方法， 該方法包括1、在碳納米管表面鍍Co納米顆粒(根據實施例3的方法製備)。2、然後將鍍有金屬Co的碳納米管取出，均勻分散在石蠟中，壓成任意形狀的吸波 片。最後所應說明的是，以上僅用以說明本發明理論原理和技術方案而非限制。本領 域的普通技術人員應當理解，對本發明的技術方案進行修改或者等同替換，都不脫離本發 明技術方案的精神和範圍，其均應涵蓋在本發明的權利要求範圍當中。
權利要求
1.一種複合吸波材料，該材料包括金屬磁納米材料和基體材料；所述金屬磁納米材料 均勻分散到基體材料中。
2.根據權利要求1所述的複合吸波材料，其特徵在於，所述金屬磁納米材料包括鐵磁 性或反鐵磁性納米材料。
3.根據權利要求2所述的複合吸波材料，其特徵在於，所述鐵磁性納米材料包括Co、 Fe、Ni、Co1^xFex, Ni1^xFex, Co1^xPtx, Co1^xCrx, NihCox、或 C0l_x_/exNiy 納米材料，其中 O < χ < 1，0 < y < 1。
4.根據權利要求3所述的複合吸波材料，其特徵在於，所述鐵磁性納米材料還包 括=Co-Fe-B, Fe-Si, Fe-Al, Fe-Mn, Fe-Cu, Fe-Mo, Fe-ff, Fe-Si-Al, Fe-P-C, Fe-Co-Ni-B, Al-Ni-Co、Sm-Co、Nd-Fe-B、Sm-Co-Fe、Fe-Pt、Fe-Pd、Co-Pd 或 Mn_Al_C 合金納米材料，或者 La-Ca-Mn-0、La-Sr-Mn-0、R、R-lT、R_M納米材料，其中R、R—為稀土金屬元素、M為過渡族金 屬元素；或者含有稀土元素的二元或多元氧化物的納米材料。
5.根據權利要求2所述的複合吸波材料，其特徵在於，所述的反鐵磁性納米材料包括 Cr、Mn、IivxMnpNihMrv Fe1JMnx JthMnx，其中 O < χ < 1。
6.根據權利要求1所述的複合吸波材料，其特徵在於，所述金屬磁納米材料是磁性納 米管、磁性納米線或者由磁性納米顆粒附著或填充碳納米管而形成的磁納米材料。
7.根據權利要求1所述的複合吸波材料，其特徵在於，所述基體材料包括聚合物、烴類 化合物或混合物、無機半導體材料或者無機絕緣材料。
8.根據權利要求8所述的複合吸波材料，其特徵在於，所述聚合物包括橡膠、聚醇縮 醛、樹脂、聚酯、纖維素酯、聚醚、聚醯胺、烯類聚合物或塑料，或者上述各種聚合物的混合 物。
9.根據權利要求8所述的複合吸波材料，其特徵在於，所述烴類化合物包括油酸；所述 烴類混合物包括石蠟。
10.根據權利要求8所述的複合吸波材料，其特徵在於，所述無機半導體材料包括 III-V族化合物半導體、II-VI族化合物半導體、Si、ZnO或者Ge。
11.根據權利要求8所述的複合吸波材料，其特徵在於，所述的無機絕緣材料包括氧化 物絕緣材料或介電材料。
12.一種複合吸波材料製備方法，該方法包括下列步驟1)製備金屬磁納米材料；2)將金屬磁納米材料均勻分散到基體材料中製成塗料或膜材料。
13.根據權利要求12所述的製備複合吸波材料的方法，其特徵在於，所述步驟1)包括 下列子步驟11)製備磁性金屬的氧化物的多孔型模板；12)在所述多孔型模板的一側鍍金屬膜，使得在多孔型模板的孔洞邊緣沉積一層金屬 導電層，並且該導電層不把所述孔洞全部覆蓋；13)利用交流電沉積所述磁性金屬單質的納米管。
14.根據權利要求13所述的製備複合吸波材料的方法，其特徵在於，所述步驟1 還包 括在所述多孔型模板的一側鍍金屬膜 的厚度為5nm 300nm。
15.一種磁納米管制備方法，該方法包括下列步驟1)製備磁性金屬的氧化物的多孔型模板；2)在所述多孔型模板的一側鍍金屬膜，使得在多孔型模板的孔洞邊緣沉積一層金屬導 電層，並且該導電層不把所述孔洞全部覆蓋；3)利用交流電沉積所述磁性金屬單質的納米管。
全文摘要
本發明提供一種複合吸波材料，該材料包括金屬磁納米材料和基體材料；所述金屬磁納米材料均勻分散到基體材料中。本發明還提供了一種複合吸波材料製備方法，包括1)製備金屬磁納米材料；2)將金屬磁納米材料均勻分散到基體材料中製成塗料或膜材料。本發明具有吸波能力強、吸波頻帶寬、散熱性能好、質量輕等技術效果。
文檔編號H05K9/00GK102044319SQ200910236529
公開日2011年5月4日 申請日期2009年10月23日 優先權日2009年10月23日
發明者劉東屏, 張佳, 王文秀, 韓秀峰 申請人:中國科學院物理研究所