一種應用於三溴化硼尾氣處理的冷凝瓶的製作方法

2023-04-29 13:58:26

專利名稱：一種應用於三溴化硼尾氣處理的冷凝瓶的製作方法
技術領域：
[0001]本實用新型涉及尾氣處理的冷凝瓶領域，更具體的說，是涉及一種應用於三溴化硼尾氣處理的冷凝瓶。
背景技術：
目前針對三溴化硼(一種硼的擴散源，高溫時為氣態，冷凝後形成白色粉塵固體狀的氧化硼)的尾氣處理還沒有專門設計的冷凝瓶結構，主流是採用的是傳統的三氯氧磷(高溫時為氣態，冷凝後形成偏磷酸的液體)尾氣處理的冷凝瓶結構。該冷凝瓶結構為立式圓柱形，中下部有ー塊中空擋板V，上部充滿上百個內徑為5. 0mm、外徑為7. 0mm、長度為10_的小石英圓管3'，中空擋板4'下邊空置。其冷凝材料為石英，由於石英是非常穩定的材料，經過高溫差與其他物質也不發生反應，所以其冷凝效果會非常的好。請參考附圖I和附圖2，其冷凝過程如下三氯氧磷氣體從進氣ロ I'進入，沿進氣管道進入冷凝瓶內的中空擋板4'下方，氣體在向出氣ロ 2'移動的過程中，經過上百個小石英圓管3'後被慢慢冷凝，逐漸形成液態，再流入中空擋板4'的下方空置的空間，此為上述冷凝瓶的冷凝過程。但是，當三溴化硼氣體也採用這種冷凝瓶時，就會出現很大的問題。三溴化硼在中空擋板4'上方被逐漸冷凝後，就會直接形成白色粉固體狀的氧化硼，大量囤積在小石英圓管3'上，隨著時間的推移，大量氧化硼固體就會對中空擋板4'上方的小石英管形成的間隙造成堵塞，造成氣體排放不暢，進而管內壓カ迅速増大，致使整個冷凝過程癱瘓，後續擴散エ藝出現問題。綜上所述，在現有的尾氣冷凝瓶在作業時，每三天(連續作業)就需要對其進行清洗，維護周期時間短，對生產的連續進行造成影響，且容易引起後續擴散エ藝異常。因此，如何提供一種應用於三溴化硼尾氣處理的冷凝瓶，從而使其能夠保證連續生產中後續エ藝正常運行，是本領域技術人員亟需解決的問題。

實用新型內容有鑑於此，本實用新型提供了一種應用於三溴化硼尾氣處理的冷凝瓶，以克服現有技術中三溴化硼尾氣處理時冷凝瓶容易堵塞的問題。為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案一種應用於三溴化硼尾氣處理的冷凝瓶，包括瓶體；在所述瓶體一側開設進氣ロ ；在所述瓶體對應另ー側頂端開設出氣ロ ；在所述瓶體內採用迷宮式排列的冷凝壁。優選的，在上述應用於三溴化硼尾氣處理的冷凝瓶中，所述瓶體為臥式圓柱形。優選的，在上述應用於三溴化硼尾氣處理的冷凝瓶中，所述進氣ロ添加進氣管道。優選的，在上述應用於三溴化硼尾氣處理的冷凝瓶中，所述冷凝壁為石英壁。優選的，在上述應用於三溴化硼尾氣處理的冷凝瓶中，所述冷凝壁採用ー上一下交替的順序排列。優選的，在上述應用於三溴化硼尾氣處理的冷凝瓶中，所述冷凝壁之間的距離相等。 經由上述的技術方案可知，本實用新型公開了ー種應用於三溴化硼尾氣處理的冷凝瓶，包括瓶體；在所述瓶體左側開設進氣ロ ；在所述瓶體右側頂端開設出氣ロ ；在所述瓶體內採用迷宮式排列的冷凝壁。 在三溴化硼氣體從進氣ロ進入瓶體後，沿著由冷凝壁排列成的迷宮式通道向出氣ロ移動，在三溴化硼氣體移動過程中，逐漸被冷凝壁冷卻成白色粉塵固體的氧化硼，灑落到瓶底。由於下方形成的通道很大，這樣就不會造成冷凝瓶的堵塞現象，保證了後續的エ藝正常進行。本冷凝瓶對三溴化硼的冷凝效果解決了大規模的生產維護周期短的難題，保證了連續的生產；同時由於冷凝材料由石英壁替代了原來上百數量的小巧石英圓管，所以成本上也就比原來的冷凝瓶有所降低。

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的實施例，對於本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據提供的附圖獲得其他的附圖。圖I為現有技術中應用於三溴化硼尾氣處理的冷凝瓶外觀主視圖；圖2為現有技術中應用於三溴化硼尾氣處理的冷凝瓶截面左視圖；圖3為本實用新型應用於三溴化硼尾氣處理的冷凝瓶截面主視圖；圖4為本實用新型應用於三溴化硼尾氣處理的冷凝瓶左視圖。其中，圖I至圖4中Γ為進氣ロ、2'為出氣ロ、3'為小石英圓管、4'為中空擋板、I為進氣ロ、2為出氣ロ、3為冷凝壁、4為瓶體。
具體實施方式
請參閱附圖3和附圖4，為本實用新型公開的ー種臥式圓柱形冷凝瓶，在三溴化硼氣體從進氣ロ進入到從出氣ロ出去的過程中，利用瓶內的設置的多塊石英壁形成的迷宮式通道對三溴化硼進行冷凝，反應生成的氧化硼固定灑落到瓶底，不會對冷凝瓶造成堵塞等影響後續エ藝的現象。下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基於本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬於本實用新型保護的範圍。請參考附圖3，本實用新型實施例提供的應用於三溴化硼尾氣處理的冷凝瓶，包括瓶體4 ;在瓶體4 ー側開設進氣ロ I ;在瓶體4對應另ー側頂端開設出氣ロ 2 ;在瓶體4內採用迷宮式排列的冷凝壁3。[0028]本實施例中提供的冷凝瓶工作過程如下氣體從進氣ロ I進入冷凝瓶瓶體4內，三溴化硼氣體順著由冷凝壁3上下不定序排列組成的迷宮通道向出氣ロ 2移動，在這個過程中，三溴化硼氣體逐漸被冷凝壁3冷卻，冷凝成氧化硼固體散落到瓶底。這樣不會對後續的氣體產生堵塞現象，很好的解決了該問題。為了進一步優化上述技術方案，上述實施例的冷凝瓶瓶體4採用臥式圓柱形。首先，臥式的放置方法可以使氣體通過該冷凝瓶的通道增長，冷凝時間更長，使冷凝更加充分；其次的圓柱形結構製作成本也比其他長方形等結構低。為了固定此臥式圓柱形結構，可以製作一個穩定半圓形結構的底託。為了進一步優化上述技術方案，上述實施例的冷凝瓶在進氣ロ I添加一段進氣管道。一般該冷凝瓶出氣ロ I都與電偶配套管離得很近，進氣ロ I就必須去避開電偶配套管，使進氣ロI的開設位置相対死板。所以為進氣ロ I添加一段較長的進氣管道，這樣的結構對開設ロ的位置就沒有了相対死板的要求。為了進一步優化上述技術方案，上述實施例的冷凝瓶的冷凝壁3材料採用石英材料，是由於石英是非常穩定的材料，經過高溫差與其他物質也不發生反應，所以冷凝效果會非常的穩定。為了進一步優化上述技術方案，上述實施例的冷凝瓶的冷凝壁3結構採用一上一下的交替順序排列，這樣的排列順序就可以使氣體在兩個冷凝壁3形成的空間的最上端到後續空間的最下端，再到最上端，如此循環，這樣就使氣體最長路線地通過整個冷凝瓶，使氣體經過冷凝壁的冷凝時間也最長，進而使冷凝效果達到最大化的發揮。為了進一步優化上述技術方案，上述實施例的冷凝瓶的冷凝壁3之間的距離相等，這樣使氣體的流速穩定，不會因過短的冷凝壁3間距使氣體流速過急，冷凝時間過短，達不到冷凝充分的效果；也不會因過長的冷凝壁間3距使氣體的流速過緩，使冷凝時間過長，致使冷凝浪費的結果。只有相同的間距，才會使其氣體流速相對平穩，使冷凝效果達到最佳。對所公開的實施例的上述說明，使本領域專業技術人員能夠實現或使用本實用新 型。對這些實施例的多種修改對本領域的專業技術人員來說將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本實用新型的精神或範圍的情況下，在其它實施例中實現。因此，本實用新型將不會被限制於本文所示的這些實施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點相一致的最寬的範圍。
權利要求1.一種應用於三溴化硼尾氣處理的冷凝瓶，其特徵在於，包括 瓶體⑷； 在所述瓶體(4) 一側開設進氣口(I)； 在所述瓶體(4)對應另一側頂端開設出氣口(2)； 在所述瓶體(4)內採用迷宮式排列的冷凝壁(3)。
2.根據權利要求I所述的冷凝瓶，其特徵在於，所述瓶體(4)為臥式圓柱形。
3.根據權利要求I所述的冷凝瓶，其特徵在於，所述進氣口(I)添加進氣管道。
4.根據權利要求I所述的冷凝瓶，其特徵在於，所述冷凝壁(3)為石英壁。
5.根據權利要求I所述的冷凝瓶，其特徵在於，所述冷凝壁(3)採用一上一下交替的順序排列。
6.根據權利要求I和/或5所述的冷凝瓶，其特徵在於，所述冷凝壁(3)之間的距離相等。
專利摘要本實用新型公開了一種應用於三溴化硼尾氣處理的冷凝瓶，包括瓶體(4)；在所述瓶體(4)一側開設進氣口(1)；在所述瓶體(4)對應另一側頂端開設出氣口(2)；在所述瓶體(4)內採用迷宮式排列的冷凝壁(3)。本冷凝瓶對三溴化硼的冷凝效果解決了大規模的生產維護周期短的難題，保證了連續的生產；同時由於冷凝材料由石英壁替代了原來上百數量的小巧石英圓管，所以成本上也就比原來的冷凝瓶有所降低。
文檔編號C01B35/06GK202376792SQ20112055584
公開日2012年8月15日 申請日期2011年12月27日 優先權日2011年12月27日
發明者王志超 申請人:浚鑫科技股份有限公司