伺服馬達及其製造方法和製造設備以及編碼器的製作方法

2023-05-13 21:04:31 1

專利名稱：伺服馬達及其製造方法和製造設備以及編碼器的製作方法
技術領域：
本發明涉及包括編碼器的伺服馬達的製造方法、伺服馬達製造設備、伺服馬達以及編碼器。
背景技術：
存在兩種類型的光學編碼器透過型編碼器和反射型編碼器。透過型編碼器將光源設置在旋轉盤的ー側並且將受光元件設置在旋轉盤的另ー側。從光源發出的光經過旋轉盤並且由受光元件接收。另ー方面，反射型編碼器將光源和受光元件都設置在旋轉盤的一偵U。從光源發出的光由旋轉盤反射並且由受光元件接收。在這兩種編碼器的情況下，基於受光元件的輸出信號來檢測供固定旋轉盤的旋轉體的旋轉位置和旋轉速度，所述受光元件接收由旋轉盤的旋轉引起的略為脈動形式的光。 對於與透過型編碼器相關的現有技木，已知日本特開專利第2010-96503號公報。

發明內容
本發明要解決的技術問題透過型編碼器將旋轉盤和構成受光元件的光學模塊設置成緊密靠近。結果是，當光學模塊在正常狀況下被安裝時，操作員在利用顯微鏡驗證受光元件和旋轉盤的位置關係時手動調節光學模塊的位置。然而，當光學模塊和旋轉盤彼此相對較遠地被設置吋，例如像在反射型編碼器的情況的那樣，利用顯微鏡進行位置調節是相當困難的。本發明的目的在於提供一種即使當旋轉盤和包括受光元件的光學模塊被設置得相對遠離時，也能夠在旋轉盤和光學模塊的十分精確的位置調節的情況下容易地製造伺服馬達的伺服馬達製造方法、伺服馬達製造設備、伺服馬達以及編碼器。解決該技術問題的手段為了實現上述目的，根據本發明的第一方面，提供一種伺服馬達製造方法，該伺服馬達製造方法包括在旋轉盤待被固定到馬達的軸的情況下用於調節所述旋轉盤相對於所述軸的位置的盤位置調節步驟，至少ー個同心圖案圍繞盤中心形成到所述旋轉盤，其中在所述盤位置調節步驟中，所述同心圖案被用作線性編碼器的標度，以調節所述旋轉盤的偏心。根據第二方面，在根據第一方面的伺服馬達製造方法中，在所述盤位置調節步驟中，基於所述線性編碼器的輸出信號來調節所述旋轉盤的位置，使得所述軸的軸線與所述旋轉盤的盤中心對準，所述線性編碼器能夠檢測所述旋轉盤的局部周向區域的所述同心圖案的徑向方向的變化。根據第三方面，在根據第二方面的伺服馬達製造方法中，在所述盤位置調節步驟中，藉助在所述旋轉盤旋轉時所述同心圖案的徑向方向的變化來識別所述盤中心相對於所述軸線的偏心量以及偏心方向；並且盤位置調節裝置基於致使消除所述偏心量的移動方向以及移動量來使所述旋轉盤沿所述徑向方向移動。根據第四方面，在根據第一方面的伺服馬達製造方法中，所述伺服馬達製造方法還包括在所述光學模塊被固定成面向被安裝到所述軸的所述旋轉盤的情況下用於調節所述光學模塊的相對於所述旋轉盤的位置的模塊位置調節步驟，所述光學模塊包括位於基板上的第一受光元件和第二受光元件，所述第一受光元件和所述第二受光元件接收從光源發出並且經受所述同心圖案的作用的光；其中在所述模塊位置調節步驟中，基於所述第一受光元件和所述第二受光元件的輸出信號的振幅變化來調節所述光學模塊相對於所述旋轉盤的徑向位置，並且基於所述第一受光元件的輸出信號和所述第二受光元件的輸出信號之間的相位差來調節所述光學模塊的相對於從所述旋轉盤的所述盤中心以放射形狀延伸的放射狀線的傾斜位置。 為了實現上述目的，根據本發明的第五方面，提供一種伺服馬達製造設備，所述伺服馬達製造設備包括線性編碼器，所述線性編碼器構造成將圍繞旋轉盤的盤中心形成的同心圖案作為標度；盤位置調節裝置，所述盤位置調節裝置構造成調節所述旋轉盤的位置，使得馬達的供固定所述旋轉盤的軸的軸線與所述旋轉盤的所述盤中心對準；以及控制裝置，所述控制裝置構造成基於所述線性編碼器的輸出信號來控制所述盤位置調節機構。根據第六方面，在根據第五方面的伺服馬達製造設備中，所述伺服馬達製造設備還包括模塊位置調節裝置，所述模塊位置調節裝置具有第一模塊位置調節裝置以及第二模塊位置調節裝置，所述第一模塊位置調節裝置構造成調節光學模塊相對於所述旋轉盤的徑向位置，所述光學模塊在基板上包括第一受光元件和第二受光元件，所述第一受光元件和所述第二受光元件接收從光源發出並且經受所述同心圖案的作用的光，所述第二模塊位置調節裝置構造成調節所述光學模塊的相對於從所述旋轉盤的所述盤中心以放射形狀延伸的放射狀線的傾斜位置，其中所述控制裝置基於所述第一受光元件和所述第二受光元件的輸出信號的振幅變化來控制所述第一模塊位置調節裝置，並且基於所述第一受光元件的輸出信號和所述第二受光元件的輸出信號之間的相位差來控制所述第二模塊位置調節裝置。為了實現上述目的，根據本發明的第七方面，提供ー種伺服馬達，所述伺服馬達包括作為編碼器的旋轉盤，所述旋轉盤具有圍繞盤中心形成的至少ー個同心圖案，所述同心圖案被用於調節所述盤中心偏離馬達的軸的軸線的偏心量。根據第八方面，在根據第八方面的伺服馬達中，所述編碼器包括位於基板上的光學模塊，所述光學模塊具有第一受光元件和第二受光元件，所述第一受光元件和所述第二受光元件接收從光源發出並且經受所述同心圖案的作用的光；所述光學模塊被布置在基於由所述第一受光元件和所述第二受光元件接收的光學信號相對於所述旋轉盤調節過的位置。為了實現上述目的，根據本發明的第九方面，提供一種編碼器，該編碼器包括旋轉盤，所述旋轉盤具有圍繞盤中心形成的至少ー個同心圖案，所述同心圖案被用於調節所述盤中心偏離馬達的軸的軸線的偏心量。本發明的優點根據本發明，即使當旋轉盤和包括受光元件的光學模塊被相對較遠地設置時也可以容易地製造伺服馬達同時容易地調節旋轉盤和光學模塊的位置。


圖I是用於說明根據實施方式的包括編碼器的伺服馬達的概要構造的說明圖。圖2是用於說明根據實施方式的反射型編碼器的概要構造的說明圖。圖3是示出反射型編碼器的旋轉盤的圖案形成面的一部分的平面圖。圖4是示出反射型編碼器的基板的受光元件的布局的布局圖。圖5沿圖4中的線V-V截取的基板的縱向剖視圖，用於說明光源。圖6是用於說明根據實施方式的伺服馬達製造設備的當調節旋轉盤的位置時使 用的部分的構造的說明圖。圖7是示出當軸的軸線和旋轉盤的盤中心偏心時的實施例的俯視圖。圖8是用於說明當軸的軸線和旋轉盤的盤中心偏心時線性編碼器的同心圖案的運動的說明圖。圖9是用於說明根據實施方式的伺服馬達製造設備的當調節光學模塊的位置時使用的部分的構造的說明圖。圖10是示出了用於調節模塊位置的線性編碼器的布局的實施例的俯視圖。圖IlA是用於說明模塊位置調節操作的實施例的說明圖。圖IlB是用於說明模塊位置調節操作的實施例的說明圖。圖IlC是用於說明模塊位置調節操作的實施例的說明圖。圖12是示出由控制器的CPU執行的在盤位置調節期間的控制細節的流程圖。圖13是示出由控制器的CPU執行的在模塊位置調節期間的控制細節的流程圖。
具體實施例方式在下文參照附圖描述所公開的實施方式。伺服馬達首先，將參照圖I來描述根據實施方式的包括編碼器的伺服馬達的構造的概要說明。圖I是用於說明根據實施方式的包括編碼器的伺服馬達的概要構造的說明圖。如圖I所示，伺服馬達SM包括作為根據實施方式的編碼器的反射型編碼器100 ；以及馬達M。馬達M是不包括反射型編碼器100的動カ產生源的ー個示例。雖然存在馬達M作為單個単元被稱為伺服馬達的情況，但是該實施方式中的伺服馬達SM包括具有反射型編碼器100的構造。馬達M在至少一端上包括作為旋轉體的軸SH。馬達M通過使軸SH圍繞軸線AX旋轉來輸出旋轉カ。注意，馬達M並不被特別地受限，只要該馬達M是基於位置數據來控制的馬達即可。此外，馬達M不局限於利用電力作為動カ源的電動式馬達，而是允許利用基於其他類型的動カ源的馬達，例如液壓馬達、氣動馬達或蒸汽馬達。為了便於說明，下述說明將利用電動式馬達作為馬達M舉例說明。反射型編碼器100將馬達M的軸SH的旋轉動カ輸出端連接到位於相對側的端部。然後，反射型編碼器100通過檢測軸SH的位置來檢測馬達M的軸SH自身或者旋轉目標的相對位置(從基準角度的相對角度)，並且輸出表示該位置的位置數據。反射型編碼器100的設置位置並不特別地局限於在該實施方式中所示的實施例。例如，反射型編碼器100可以被設置成使得其直接連接到軸SH的輸出端。此外，反射型編碼器100可經由減速齒輪、旋轉方向變換器或其他機構(例如，制動器)連接到軸SH等。注意，該實施方式在伺服馬達SM具有這樣的構造的情況下是特別有效的，在該構造中，編碼器100的旋轉盤110被直接連接到馬達M的軸SH，如圖I和圖2所示。這是因為，當利用具有軸承和固定有旋轉盤的軸線的編碼器來製造伺服馬達時，光學模塊和編碼器的旋轉盤被整體地組裝，其中軸線位置與旋轉軸和軸承對準。結果是，編碼器被組裝到馬達，使得旋轉軸與軸SH同軸，由此將編碼器的旋轉盤、光學模塊和馬達M的軸SH在不偏心的情況下連接。這消除了對於調節旋轉盤和光學模塊的位置的任何具體需要。另ー方面， 在該實施方式中，編碼器100不包括旋轉軸或軸承；而是，編碼器100的旋轉盤110被直接連接到馬達M的軸SH。在該情況下，當製造伺服馬達SM吋，旋轉盤110的位置需要相對於軸SH被調節，並且光學模塊120的位置需要相對於旋轉盤110被調節。如果未進行這些調節，編碼器100不能被精確地組裝到馬達M。在此，利用使用所謂的「內置式」編碼器100的情況進行說明，其中旋轉盤110被直接連接到馬達M的軸SH，如圖I和圖2所示。然而，利用「完整式」編碼器100也是可能的，該「完整式」編碼器100被形成為使得旋轉盤110被連接到專用於編碼器100的軸並且該軸能夠被連接到馬達M等。反射型編碼器接下來，將參照圖2至圖5說明根據該實施方式的反射型編碼器100的構造。圖2是用於說明根據該實施方式的反射型編碼器的概要構造的說明圖。圖3是示出了反射型編碼器的旋轉盤的圖案形成面的一部分的平面圖。圖4是示出反射型編碼器的基板的受光元件的布局的布局圖。圖5是沿圖4的線V-V截取的基板的縱向剖視圖，用於說明光源。如圖2所示，根據該實施方式的反射型編碼器100包括與軸SH連接的旋轉盤110以及與所述旋轉盤110相對地設置的光學模塊120。光學模塊120被設置到印刷布線板190 (見圖 9)。旋轉盤如圖3所示旋轉盤110被形成為圓板形狀，並且被設置成使得盤中心O與軸線AX大致對準。接著，將旋轉盤110連接到軸SH，該軸SH經由轂等能夠圍繞該軸線AX旋轉。因此，旋轉盤110對應於馬達M的旋轉被圍繞軸線AX可旋轉地設置。如圖3所示，增量圖案IP沿周向方向被形成在旋轉盤110上。此外，多個同心圖案CP被徑向形成在增量圖案IP的內周側，該多個同心圖案CP圍繞盤中心O形成同心圓形。此時，旋轉盤110例如由透過光或吸收光的材料形成。接著，增量圖案IP和同心圖案CP被形成到透過光或吸收光的材料的旋轉盤110上。具體地，通過例如將高反射型材料沉積到旋轉盤110上的方法，在該旋轉盤110上同心地形成反射狹縫。注意，增量圖案IP等同於在多個方面中描述的用於位置檢測的圖案。上述反射狹縫以預定的間距被等距離地形成，從而使得增量圖案IP包括以該間距重複進行光的反射和吸收或透過的圖案。另ー方面，同心圖案CP包括這樣的圖案，在該圖案中，圍繞盤中心O的同心圓形的多個反射狹縫沿徑向方向以預定間隔被形成。採用該圖案，在旋轉盤Iio上沿徑向方向重複進行光的反射和吸收或透過。雖然將在下文詳細地描述，但是當旋轉盤110在製造伺服馬達SM期間要被固定到軸SH時，使用同心圖案CP來調節旋轉盤110相對於軸SH的位置。此外，當光學模塊120與旋轉盤110相對地被固定吋，同心圖案CP還被用於調節光學模塊120相對於旋轉盤110的位置。光學模如圖4所示，光學模塊120包括與旋轉盤110相対的基板121。然後，光源130、用於位置檢測的受光元件群140以及用於位置調節的受光元件群150L和150R被設置到位於與基板121的旋轉盤110相對側的表面。光源130朝向旋轉盤110發出光。用於位置檢測的受光元件群140包括用於位置檢測的多個受光元件141，所述多個受光元件141接收從增量圖案IP反射的光。用於位置調節的受光元件群150L和150R包括用於位置調節的多個受光元件151，所述多個受光元件151接收從同心圖案CP反射的光。用於位置調節的受光元件群150L和150R被相對於基板121的中心線Lc非対稱地設置。注意，中心線Lc是沿基板121的旋轉方向與對稱軸線大致重合的線，並且光源130被設置在中心線L。上。此外，用於位置檢測的受光元件群140以及用於位置調節的受光元件群150L和150R在例如由矽形成的基板121上優選地利用光刻法(photolithography)形成。在這種情況下，用於位置檢測的受光元件群140以及用於位置調節的受光元件群150L和150R能夠以極高的精度被形成。這使得可以進一歩改善定位後述的基板121的精度。注意，用於位置調節的受光元件群150L相當於權利要求中描述的第一受光元件。用於位置調節的受光元件群150R相當於權利要求中描述的第二受光元件。並且，用於位置檢測的受光元件群140相當於用於位置檢測的受光元件。用於位置調節的受光元件群150L和150R均包括ー組多個用於位置檢測的受光元件141 (在如圖4所示的實施例中為四個)，用於以不同的相位來檢測四個光學信號。這四個用於位置調節的受光元件151均被設置處於這樣的位置，這些位置將與沿同心圖案CP的徑向方向的一個間距對應的區域分成四個，並且這四個用於位置調節的受光元件151基於電角度每90°輸出一信號。接著，在每個用於位置調節的受光元件群150L和150R中，這四個用於位置調節的受光元件151沿旋轉盤110的徑向方向(該徑向方向如稍後所述以基準位置O』為中心)以陣列布置。在此，上述的相位不同的四個光學信號包括相A+(O度)、從相A+移位90度相位的相B+ (90度)、從相A+移位180度相位的相A-(180度)以及從相A+移位270度相位的相B_(270度)的光學信號。上述相A+的光學信號以及相B+的光學信號(其是90°相位的不同的信號)被用於基於首先檢測到的是相A+還是相B+來檢測同心圖案CP移位的方向。此外，相A+和相B+的光學信號以及以180°相位的不同的相A-和相B-的光學信號被用於確保光學信號的可靠性。如圖3所示，光學模塊120被布置成使得光源130面向增量圖案IP的徑向中心位置(距盤中心O半徑R1的位置)與同心圖案CP的徑向中心位置(距盤中心O半徑Rc的位置)之間的大致中心位置。採用該布置，被布置在基板121上的用於位置檢測的受光元件群140被設置在與形成於旋轉盤110上的增量圖案IP對應的徑向位置。此外，被布置在基板121上的用於位置調節的受光元件群150L和150R被設置在與形成於旋轉盤110上的同心圖案CP對應的徑向位置。在用於位置檢測的受光元件群140中，多個用於位置檢測的受光元件141沿旋轉盤110的周向方向(圖4中的方向C1)以陣列布置。注意，方向C1是指將位於距離kl^的基準位置O』作為其中心的半徑IcR1的周向方向，距離是距光源130的長度も的k倍[k=(dl+d2)/dl]，如圖4所示。如圖3所示，距離R1是從旋轉盤110的盤中心O到增量圖案IP的中心位置的距離。距離も是從旋轉盤110的盤中心O到光源130的距離。這是因為從反射型編碼器100中的光源130發出的光由旋轉盤110反射，並且被反射的光由用於位置檢測的受光元件群140接收，如圖2所示。也就是說，該圖案的放大圖像被反射投影到用於位置檢測的受光元件群140上。具體地，從光源130發出的光到旋轉盤110的光路的距離是dl，而從旋轉盤110反射的光到用於位置檢測的受光元件群140的光路的距離是d2。結果是，將增量圖案IP放大k倍[k= (dl+d2)/dl]的放大圖像被反射投影到用於位置檢測的受光元件群140上。結果是，用於位置檢測的受光元件群140被沿方向C1布置，使得能夠與被反射投影的增量圖案IP的放大圖像對應。此外，構成用於位置檢測的受光元件群140的每個用於位置檢測的受光元件141的取向被設置成將上述基準位置O』作為中心的放射形狀。採用該布置，每個用於位置檢測的受光元件141的取向與被放大k倍的反射投影增量圖案IP的圖像相一致的取向。在用於位置調節的受光元件群150L和150R中，多個用於位置調節的受光元件151沿旋轉盤110的徑向方向(在圖4中，以基準位置O』為中心的圓的徑向方向)以陣列布置。此外，每個用於位置調節的受光元件151的取向處於旋轉盤110的周向方向(圖4中的方向C。)。注意，上述方向C。是指將基準位置O』作為中心的半徑kR。的周向方向，設定距離R。是從旋轉盤110的盤中心O到同心圖案CP的中心位置的距離，如圖3和圖4所示。構成用於位置調節的受光元件群150L和150R的每個用於位置調節的受光元件151因此沿以基準位置O』為中心的圓的徑向方向布置，並且沿方向Cc取向。採用該布置，如上所述，可以與被反射投影的同心圖案CP的初始尺寸的k倍尺寸的圖像一致。此外，用於位置調節的受光元件群150L和150R的徑向寬度Wt與等於旋轉盤110的同心圖案CP的徑向寬度Wp的k倍的值大致匹配。如圖5所示，形成有光源130的晶片131利用例如銀漿料的導電性粘結劑被粘結到基板121。被用作光源130的光源例如是發光二極體(LED)。布線圖案(未示出)被形成在基板121的表面上並且通過布線122與光源130的電極連接。製造設備接下來，將參考圖6至圖11描述根據該實施方式的伺服馬達製造設備的概要構造。當旋轉盤110要被固定到軸SH時，根據該實施方式的伺服馬達製造設備MD調節旋轉盤110相對於軸SH的位置。此外，當光學模塊120被與旋轉盤110相對地固定吋，伺服馬達製造設備MD調節光學模塊120相對於旋轉盤110的位置。旋轉盤位置的調節首先，將參考圖6至圖8描述當旋轉盤110要被固定到軸SH時旋轉盤110相對於軸SH的位置調節。圖6是用於說明根據實施方式的伺服馬達製造設備的當調節旋轉盤的位置時被使用的部分的構造的說明圖。圖7是示出了當軸的軸線與旋轉盤的盤中心偏心時 的實施例的俯視圖。圖8是用於說明當軸的軸線與旋轉盤的盤中心偏心時線性編碼器的同心圖案的運動的說明圖。如圖6所示，伺服馬達製造設備MD包括反射型線性編碼器160、線性馬達171以及控制器180。線性編碼器160檢測被可動地布置在軸SH上的旋轉盤110的周向區域的一部分的同心圖案CP的徑向方向的變化。線性馬達171調節旋轉盤110的位置，使得固定有旋轉盤110的軸SH的軸線AX與旋轉盤110的盤中心O對準。控制器180基於上述線性編碼器160的輸出信號來控制線性馬達171和馬達M。線性編碼器160包括線性編碼器頭161和偏心量計算部162。線性編碼器頭161的輸出信號例如經受A/D轉換且隨後倍乘處理，並且由偏心量計算部162轉換為旋轉盤110的位置信號。該位置信號然後被輸入到控制器180。從控制器180輸出到線性馬達171的信號由馬達控制器172轉換為馬達驅動信號。隨後，該信號被臨時轉換為模擬信號，由放大器(未示出)進ー步電流放大，並且被輸入到線性馬達171中。結果是，線性馬達171按照控制器180的指令來驅動該單元。此外，馬達控制器173基於從控制器180輸出到馬達M的輸出信號使馬達M旋轉。注意，線性馬達171和馬達控制器172和173相當於權利要求中描述的盤位置調節裝置。此外，控制器180相當於控制裝置。線性編碼器頭161被布置成與旋轉盤110的同心圖案CP的周向區域的一部分相對。該線性編碼器頭161包括光源和受光元件(未示出)以及固定狹縫163 (見圖8)。如圖8所示，多個矩形狹縫SL被並列地形成在固定狹縫163上。多個狹縫SL沿旋轉盤110的徑向方向被布置在光源/受光元件和旋轉盤110之間。在固定有旋轉盤110的軸SH的軸線AX與旋轉盤110的盤中心O偏心的情況下，當旋轉盤110旋轉時同心圖案CP在線性編碼器頭161的布置位置處徑向變化(移動)。這使得線性編碼器160可以檢測偏心。例如，在圖7所示的實施例中，軸SH的軸線AX與旋轉盤110的盤中心O偏心的量等於AD1。在此，旋轉盤110上的從軸SH的軸線AX到旋轉盤110的外周的距離處於最長、最短以及中間的旋轉位置分別是(a)、(c)、(b)和⑷。這些旋轉位置(a)、(b)、(c)和(d)中的每個之間的角度是90°。在該情況下，如圖8所示，當旋轉盤110的旋轉位置是(a)吋，線性編碼器頭161的同心圖案CP被設置得沿徑向方向比狹縫SL更靠外周側的位置。當旋轉盤110的旋轉位置是(b)或(d)吋，線性編碼器頭161的同心圖案CP被設置在狹縫SL上。當旋轉盤110的旋轉位置是(c)吋，線性編碼器頭部161的同心圖案CP被設置得沿徑向方向比狹縫SL更靠內周側的位置。也就是說，同心圖案CP在線性編碼器頭161的布置位置處徑向變化(移動)等於2 Λ Dl的量。因此，當沿周向方向的窄區域部分地觀看形成於旋轉盤110上的同心圖案CP吋，當旋轉盤110旋轉時與線性狹縫類似地觀看到可能存在的任何偏心。因此，在該實施方式中，線性編碼器被用作用於檢測偏心的裝置。也就是說，同心圖案CP被用作用於旋轉盤110的偏心調節的線性編碼器160的標度。注意，還能夠使用除了線性編碼器之外的檢測裝置，只要該裝置是能夠檢測旋轉盤110的同心圖案CP的徑向變化的光學檢測裝置即可。根據如上所述的這種原理，從線性編碼器頭部161與同心圖案CP的徑向運動的量對應地產生兩個不同相位的正弦波模擬信號。在信號經受倍乘和數位化過程之後，偏心量計算部162得出這些數字形式的模擬信號。接著，偏心量計算部162計算當旋轉盤110旋轉一次時得到的位置信號的最大值和最小值之間的差值的一半作為偏心量，並且將該值輸入到控制器180。控制器180將得到位置信號的最大值或最小值(S卩，偏心量最大)的旋轉盤110的角度識別為最大偏心量位置。接著，控制器180在該如此被識別的最大偏心量位 置處停止馬達M的驅動動カ以停止旋轉盤110的旋轉，並且致動該線性馬達171以減小偏心量。
被用作控制器180的控制器的實施例包括通用的個人計算機(PC)，該PC包括顯示器部181 (例如，液晶顯示器)以及操作部182，該操作部182包括滑鼠和鍵盤等。雖然未示出，但是該控制器180具有作為中央處理單元的內置式CPU、ROM、RAM等。該CPU根據利用RAM的臨時存儲功能並且被提前存儲在ROM中的程序(包括用於執行後述的圖12和圖13中所示的伺服馬達的製造方法過程的程序)執行信號處理。當旋轉盤110被布置在軸SH上時，採用上述構造的控制器180調節位置，使得軸SH的軸線AX對準旋轉盤110的盤中心O。為了實現該目的，控制器180基於線性編碼器160的輸出信號控制線性馬達171以及馬達M的驅動。具體地，控制器180在驅動馬達M以及使旋轉盤110旋轉時確定同心圖案CP是否根據線性編碼器160的輸出信號沿徑向方向變化。當檢測到變化時，控制器180在最大偏心量位置處停止馬達M。結果是，如圖7所示，相對於線性編碼器160和旋轉盤110被設置在相同的周向位置的線性馬達171提供驅動從而減小偏心量，因而使得旋轉盤110徑向移動。隨後，控制器180再次驅動馬達M並且檢測同心圖案CP是否基於線性編碼器160的輸出信號徑向變化。如果不存在變化，那麼控制器180認為軸SH的軸線AX與旋轉盤110的盤中心O對準，並且結束位置調節。另ー方面，如果存在變化，那麼控制器180認為仍存在偏心，並且重複如上所述的相同過程。注意，在上述調節期間由線性馬達171提供的驅動量可以根據由線性編碼器160檢測的同心圖案CP中的位移量被確定，或者該驅動量可以是以固定方式提前被確定的量。在該情況下，線性馬達171在觀測線性編碼器160的輸出信號以調節位置的同時可以間歇性地提供在多個時間內的驅動。此外，雖然控制器180在由上述線性馬達171進行位置調節之前停止旋轉盤110的旋轉，但是控制器180可以在使旋轉盤110旋轉時致動線性馬達171以執行位置調節。此外，雖然在該實施方式中線性馬達被用作盤位置調節裝置，但是可以使用任何其他致動器，只要該致動器能夠使得旋轉盤110以極小的量移動即可。光學模塊位置的調節接下來，將參照圖9至圖11描述當光學模塊120與旋轉盤110相對地固定時光學模塊120相對於旋轉盤110的位置調節。圖9是用於說明根據實施方式的伺服馬達製造設備的當調節光學模塊的位置時被使用的部分的構造的說明圖。圖10是示出了用於調節模塊位置的線性編碼器的布局的實施例的俯視圖。圖11是用於說明模塊位置調節操作的實施例的說明圖。如圖9和圖10所示，伺服馬達製造設備MD包括線性馬達174、旋轉馬達175以及上述控制器180。線性馬達174調節光學模塊120沿徑向方向(用箭頭r表示)相對於旋轉盤110的位置，光學模塊120包括用於位置調節的受光元件群150L和150R。旋轉馬達175調節光學模塊120的相對於徑向線Lk的傾斜位置(用箭頭Θ表示)，該徑向線Lk從旋轉盤110的盤中心O徑向延伸。控制器180基於用於位置調節的受光元件群150L和150R的輸出信號的振幅的變化來控制線性馬達174。此外，控制器180基於每個用於位置調節的受光元件群150L和150R的輸出信號的相位差來控制旋轉馬達175。注意，上述線性馬達174、旋轉馬達175以及線性馬達174和旋轉馬達175相當於在權利要求書中描述的第一模塊位置調節機構、第二模塊位置調節機構以及模塊位置調節機構。 用於調節光學模塊120的位置的受光元件群150L和150R的每個輸出信號被輸入到模塊位置判定部176。模塊位置判定部176檢測振幅的變化並且基於這些輸出信號判定光學模塊120是否被定位在正確位置。當模塊位置判定部176判定該位置不正確時，控制器180經由馬達控制器177和178來致動線性馬達174和旋轉馬達175，以使印刷布線板190沿徑向方向和傾斜方向移動。由於印刷布線板190的移動，光學模塊120被調節到位。光學模塊120被設置到印刷布線板190。該印刷布線板190在保持距旋轉盤110預定距離時沿上述徑向方向以及傾斜方向以自由移動的方式被設置。注意，根據該實施方式，通過移動安裝有光學模塊120的印刷布線板190來調節光學模塊120的位置。然而，光學模塊120可以由線性馬達174和旋轉馬達175直接移動。如圖10所示，線性馬達173的相對於旋轉盤110的周向位置與光學模塊120的相對於旋轉盤110的周向位置相同。採用這種布置，線性編碼器174通過移動印刷布線板190而能夠調節光學模塊120相對於旋轉盤110沿徑向方向的位置。此外，旋轉馬達175(在圖10中未示出)的軸線的位置與光學模塊120的中心位置大致對準。採用該布置，旋轉馬達175通過旋轉印刷布線板190而能夠調節光學模塊120相對於旋轉盤110沿傾斜方向的位 置。注意，線性馬達174和旋轉馬達175的布置位置和數量並不局限於上述，而是允許進行合適的變化。當光學模塊120與旋轉盤110相對地被固定時，控制器180基於用於位置調節的受光元件群150L和150R的輸出信號來控制線性馬達174和旋轉馬達175的驅動。採用該布置，控制器180調節光學模塊120相對於旋轉盤110沿徑向方向和傾斜方向的位置。也就是說，光學模塊120相對於旋轉盤110沿徑向方向的位置的變化具體化為用於位置調節的受光兀件群150L和150R的輸出信號的振幅的變化。米用該布置,控制器180基于振幅變化來控制線性馬達174的驅動，由此實現將光學模塊120的徑向位置調節到期望位置。也就是說，光學模塊120相對於旋轉盤110沿傾斜方向的位置的變化具體化為用於位置調節的受光兀件群150L和150R的姆個輸出信號的相位差。米用該布置，控制器180基於相位差來控制線性馬達175的驅動，由此實現將光學模塊120的傾斜位置調節到期望位置。注意，在上述調節期間線性馬達174和旋轉馬達175的驅動量可以根據用於位置調節的受光兀件群150L和150R的輸出信號被確定,或者該驅動量可以是以固定方式被提前預定的量。在該情況下，在觀測用於位置調節的受光元件群150L和150R的輸出信號時線性馬達174和旋轉馬達175可以間歇性地提供在多個時間的驅動以調節位置。此外，裡然在該實施方式中將線性馬達和旋轉馬達用作模塊位置調節裝置，但是可以使用任何其他致動器，只要該致動器能夠使印刷布線板190以極小的量移動即可。現將參考圖11描述光學模塊120的位置調節操作的實施例。如圖IlA所示，光學模塊120相對於旋轉盤110在徑向方向以及傾斜方向都移動位置。在該實施例中，用於位置調節的受光元件群150L和150R的中心線C。(與先前在圖4中所示的C。相同)與同心圖案CP的中心線Ck之間的徑向距離是AD2，並且徑向位移是AD2。此外，旋轉盤110的徑向線Lk和光學模塊120 (基板121)的中心線L。之間的角度是Λ Θ，並且沿傾斜方向的位移量是Δ Θ。從如圖IlA所示的狀態，控制器180驅動線性馬達174以使得印刷布線板190沿徑向方向移動。在此情況下，基於某個正吋，旋轉盤110的同心圖案CP顯現成與用於位置調節的受光元件群150L和150R相対。此時，由於同心圖案CP由例如沉積高反射型材料的方法形成，因此，用於位置調節的受光元件群150L和150R的每個輸出信號的振幅増加到最大值(或増加到預定閾值或高於預定閾值)。在該狀態下，控制器180停止印刷布線板190的運動。採用該布置，如圖IlB所示，光學模塊120沿徑向方向移動等於AD2的量，從而完成徑向位置的調節。接下來，從如圖IlB所示的狀態，控制器180驅動旋轉馬達175，以使得印刷布線板190沿傾斜方向移動。在此情況下，基於某個正吋，旋轉盤110的同心圖案CP顯現成與用於位置調節的受光元件群150L和150R相對，其中相対的狀態大致相同。此時，用於位置調節的受光元件群150L和150R的每個輸出信號的相位差改變為O (或改變為預定閾值或低於預定閾值)。在該狀態下，控制器180停止印刷布線板190的運動。採用該布置，如圖IlC所示，光學模塊120沿傾斜方向移動等於△ Θ的量，從而完成傾斜位置的調節。因此，完成光學模塊120相對於旋轉盤11的徑向位置和傾斜位置的調節。注意，雖然上文描述了徑向位置和傾斜位置均被調節一次的示例性情形，但是該調節可以重複進行以提高位置調節精度。製造設備的操作(製造方法)接下來，將參照圖12和圖13描述當旋轉盤110的位置和光學模塊120的位置按如上方式被伺服馬達製造設備MD調節時由控制器180的CPU執行的控制操作的細節。圖12是示出了由控制器的CPU執行的在盤位置調節期間的控制細節的流程圖。該說明將在盤位置按照如圖12所示的方式被調節之後模塊位置按照如圖13所示的方式被調節的情況作為實施例。盤位置調節在圖12中，在步驟S5之前，首先將旋轉盤110臨時安裝到軸SH。該臨時安裝由操作員例如通過臨時擰接部件或通過在粘結劑固化之前利用粘結劑的粘性固定部件等來執行。注意，任何其他方法也是可接受的，只要該方法使得由旋轉馬達171進行在平面內的運動並且隨軸SH —起旋轉即可(或只要該方法在運動時能夠遲緩以能夠實現運動即可)。在步驟S5中，控制器180向馬達M輸出驅動信號，以驅動馬達M並且使得旋轉盤110旋轉。 接下來，在步驟SlO中，控制器180輸入要被從線性編碼器160輸出的信號。接下來，在步驟S12中，控制器180基於當旋轉盤110旋轉一次時得到的位置信號的最大值與最小值之間的差值的一半來識別偏心量，該偏心量從偏心量計算部162被輸入。此外，控制器180將獲得位置信號的最大值或最小值(即，偏心量最大)的旋轉盤110的角度識別為最大偏心量位置。接下來，在步驟S15中，控制器180識別軸SH的軸線AX與旋轉盤110的盤中心O之間的任何偏心。具體地，控制器180判定當在上述步驟S12中從偏心量計算部162輸入的半值是O (或小於或等於預定閾值)時不存在偏心。當該半值不是O (或大於或等於預定閾值)時，控制器180判定存在偏心。當控制器180判定存在偏心(步驟S15中為否)吋，流程前進到步驟S17。在步驟S17中，控制器180在上述步驟S12所識別的最大偏心量位置處停止馬達M，從而停止旋轉盤110的旋轉。注意，對於此時的位置控制，控制器180向馬達控制器173、輸出指令，以實現在上述步驟S12中識別的最大偏心量位置。或者控制器180通過測量在最大值位置處的偏心量並停止旋轉可以實現控制(在該情況下，不需要在上述步驟S12中的最大偏心量位置的識別)。在步驟S20中，控制器180向馬達控制器172輸出驅動信號並且基於在上述步驟S12中識別的偏心量以預定量驅動線性馬達171，從而移動旋轉盤110，使得偏心量減小。隨後，流程返回到步驟S5，在步驟S5中，控制器180再次驅動馬達M以使旋轉盤110旋轉並且基於線性編碼器160的輸出信號判定任何偏心。控制器180因此通過重複上述步驟S5至S20的過程來調節旋轉 盤110的位置。另ー方面，在控制器180在上述步驟S15中判定不存在偏心(步驟S15中為是)的情況下，流程前進到步驟S25。在步驟S25中，控制器180使馬達M停止，從而停止旋轉盤110的旋轉。於是，旋轉盤110由操作員固定到軸SH。該固定過程通過利用諸如螺釘的固定構件或例如通過固化粘結劑來緊固旋轉盤110而被完全實現。由此，流程結束。模塊位置調節如圖13所示，首先，在步驟S30中，控制器180輸入信號，該信號要從用於調節光學模塊120的位置的受光元件群150L和150R被輸出。接下來，在步驟S35中，控制器180基於在上述步驟S30中被輸入的用於位置調節的受光元件群150L和150R的輸出信號的振幅的變化來判定光學模塊120沿徑向方向的位置調節是否已經完成。具體地，控制器180判定例如輸出信號的振幅是否處於最大值(或大於或等於預定閾值)。當輸出信號的振幅不是最大值(或大於或等於預定閾值；在步驟S35中為否)時，控制器180判定光學模塊120的位置調節未完成，並且流程前進到步驟S40。在步驟S40中，控制器180向馬達控制器177輸出驅動信號並且以預定量驅動線性馬達174。採用該布置，印刷布線板190移動預定量，由此減小光學模塊120的徑向偏心的量。隨後，流程返回到步驟S30，在步驟S30中，控制器180再次輸入要從用於位置調節的受光元件群150L和150R輸出的信號，並且在下ー步驟S35中判定是否已經完成光學模塊120沿徑向方向的位置調節。控制器180因此通過重複上述步驟S30至S40的過程來調節光學模塊120的徑向位置。在上述步驟S35中，當輸出信號的振幅是最大值(或大於或等於預定閾值；在步驟S35中為是)吋，那麼控制器180判定完成光學模塊120的徑向位置調節，並且流程前進到步驟S45。在步驟S45中，控制器180按照與上述步驟S30相同的方式輸入要從用於光學模塊120的位置調節的受光元件群150L和150R被輸出的信號。接下來，在步驟S50中，控制器180基於在上述步驟S45中被輸入的用於位置調節的受光元件群150L和150R的每個輸出信號的相位差來判定是否已經完成光學模塊120沿傾斜方向的位置調節。具體地，控制器180判定例如輸出信號的相位差是否為O (或小於或等於預定閾值)。當輸出信號的相位差不是O (或小於或等於預定閾值；步驟S50中為否)時，控制器180判定光學模塊120的傾斜位置調節未完成，並且流程前進到步驟S55。在步驟S55中，控制器180向馬達控制器178輸出驅動信號並且以預定量驅動旋轉馬達175。採用該布置，印刷布線板190沿傾斜方向移動預定量，由此減小光學模塊120的傾斜偏心的量。隨後，流程返回至步驟S45，在步驟S45中，控制器180再次輸入要從用於位置調節的受光元件群150L和150R輸出的信號，並且在下ー步驟S50中，判定是否已經完成光學模塊120沿傾斜方向的位置調節。控制器180因此通過重複上述步驟S45至S55的過程來調節光學模塊120的傾斜位置。在上述步驟S50中，當輸出信號的相位差是0(或小於或等於預定閾值；在步驟 S50中為是)時，控制器180判定完成光學模塊120的傾斜位置調節，並且流程結束。在上述中，步驟S5、S10、S12、S15、S17、S20和S25相當於在權利要求中說明的盤位置調節步驟，並且步驟S30、S35、S40、S45、S50和S55相當於在權利要求書的模塊位置調節步驟。此外，包括這些步驟S5至S25以及S30至S55的上述的總體盤位置調節過程和模塊位置調節過程相當於在權利要求中描述的伺服馬達製造方法。優點的示例在根據上述實施方式的反射型編碼器100中，同心形狀的同心圖案CP圍繞旋轉盤110的盤中心O的外周形成。此外，如上所述，能夠檢測沿同心圖案CP的沿徑向方向的變化的線性編碼器160被布置成與形成有旋轉盤的同心圖案CP的部分的周向區域的一部分相對。採用該布置，在固定有旋轉盤110的軸SH的軸線AX與旋轉盤110的盤中心O偏心的情況下，當旋轉盤110旋轉時同心圖案CP在線性編碼器160的布置位置處徑向變化。這使得線性編碼器160可以檢測任何存在的偏心。因此，當旋轉盤110被布置在軸SH上時，可以基於線性編碼器160的輸出信號來調節旋轉盤110的位置，使得軸SH的軸線AX與旋轉盤Iio的盤中心O對準。此外，在根據實施方式的反射型編碼器100中，光學模塊120包括用於位置調節的受光元件群150L和150R，用於位置調節的受光元件群150L和150R接收從旋轉盤110的同心圖案CP反射的光。這些用於位置調節的受光元件群150L和150R被布置在基板上的預定位置處，使得可以調節光學模塊120相對於旋轉盤110的位置。也就是說，光學模塊120相對於旋轉盤110沿徑向方向的位置具體化為用於位置調節的受光元件群150L和150R的輸出信號的振幅的變化。因此，光學模塊120的徑向位置能夠基于振幅的變化被調節到期望位置。也就是說，光學模塊120相對於旋轉盤110沿傾斜方向的位置變化具體化為用於位置調節的受光元件群150L和150R的每個輸出信號的相位差。因此，光學模塊120的傾斜位置能夠基於該相位差被調節到期望位置。因此能夠實現光學模塊120相對於旋轉盤110的徑向位置和傾斜位置的自動調節。如上所述，根據該實施方式，不需要利用顯微鏡來調節旋轉盤110和光學模塊120的位置。因此，即使包括用於位置調節的受光元件群150L和150R的光學模塊120以及旋轉盤110被設置成相對遠離的情況下，也可以容易地製造伺服馬達SM同時以高精度調節旋轉盤110和光學模塊120的位置。此外，由於能夠自動實現位置調節，因此能夠縮短循環時間。此外，具體地，根據實施方式，用於位置調節的受光元件群150L和150R被相對於光學模塊120的基板121的中心線L。非対稱地布置。採用該布置，連接用於位置調節的受光元件群150L和150R的線正交於基板121的中心線L。。這使得通過進行將用於位置調節的受光兀件群150L和150R的姆個輸出信號的相位差變為O (或小於或等於預定閾值)的調節而可以將基板121的中心線L。與旋轉盤110的徑向線し,對準。結果是，可以實現基板121的傾斜位置的可靠調節。此外，具體地，根據該實施方式，增量圖案IP與同心圖案CP —起在旋轉盤110上沿周向方向形成。基板121包括用於位置檢測的受光元件群140，該受光元件群140接收從光源130發出的反射光並且受到增量圖案IP的作用。採用該布置，可以檢測固定有旋轉盤110的軸SH的相對位置(從基準角度的相對角度)。此外，具體地，在實施方式中，將反射型編碼器用作編碼器。與透過型編碼器相比，反射型編碼器將旋轉盤110和基板181以及包括用於位置調節的受光元件群150L和150R的基板121彼此相對遠離地設置。因此，該實施方式具有不需要利用顯微鏡來調節 旋轉盤110和基板121的位置的顯著效果。結果是，圖12和圖13所示的伺服馬達製造方法特別地是用於包括反射型編碼器的伺服馬達的優選製造方法。另選實施方式等注意，本發明並不局限於上述公開的實施方式，並且可以在不偏離本發明的精神和範圍的情況下進行各種修改。例如，雖然在上文描述了所使用的編碼器是反射型編碼器的情形，在該反射型編碼器中，光源130以及用於位置調節的受光元件群150L和150R被設置在光學模塊120的基板121上，但是本發明並不如此限制。也就是說，所使用的編碼器可以是所謂的透過型編碼器，在該透過型編碼器中，光源被設置成與包括用於位置調節的受光元件群150L和150R的基板121相對，而旋轉盤110被設置在光源與基板121之間。在這種情況下，同心圖案CP被最佳地形成為用作旋轉盤110上的孔的狹縫，其中線型編碼器160用作透過型線性編碼器。採用該布置，可以按照與上述實施方式相同的方式相對於軸SH調節旋轉盤110的位置。此外，通過使得用於位置調節的受光元件群150L和150R接收從光源發出並且通過在旋轉盤110上形成的同心狹縫透過的光，可以相對於旋轉盤110調節基板121的位置。因此，透過型編碼器使用的這種情況導致與上述實施方式相同的優點。此外，雖然在上文中僅增量圖案IP形成為位於旋轉盤110上的用於位置檢測的圖案，但是可以形成串聯絕對圖案。在這種情況下，接收從串聯絕對圖案反射的光的絕對受光元件群被設置到基板121，使得可以檢測軸SH的絕對位置(絕對角度)。此外，雖然在上文描述了在旋轉盤110的位置調節之後調節光學模塊120的位置的示例性情形，但是這些位置不必要按照該順序進行調節。可以在光學模塊120的位置調節之後調節旋轉盤110的位置。例如，旋轉盤110可以被粗略地定位並且臨時固定到軸SH，並且可以執行光學模塊120相對於旋轉盤110的位置調節。於是，隨後能夠精細調節旋轉盤Iio的位置。此外，雖然上文描述了多個同心圖案CP形成在旋轉盤110上的示例性情形，但是本發明並不局限於此。也就是說，同心圖案CP不必要被設置為多個，而是可以形成為單個圖案。在這種情況下，包括接收從同心圖案CP反射的光的用於位置調節受光元件群150L和150R的構造可以改變為僅包括用於位置調節的單個受光元件151的構造。注意，在設置多個同心圖案CP的情況下，例如當調節盤的位置時可以改善由伺服馬達製造設備使用的線性編碼器的檢測解析度。這使得可以以更高的精度執行位置調節。
此外，雖然在上述實施方式中偏心量計算部162和模塊位置判定部176被與控制器180分離地設置，但是這些功能可以在控制器180內被實現。在這種情況下，來自於光學模塊120或線性編碼器頭部161的輸出信號優選地在D/A轉換之後被發送到控制器180。此外，布置在伺服馬達製造設備MD內的馬達控制器172可以被建立作為與待被製造的伺服馬達SM的編碼器100分離的編碼器，以便識別要移動的目標(旋轉盤110或光學模塊120)待移動的程度。此外，馬達控制器172等的控制功能可以在控制器180內被實現。然而，注意，在這種情況下，從控制器180輸出的用於控制馬達的信號優選地在A/D轉換並放大之後被供應給每個馬達。此外，除了上述實施例以外，上述實施方式的技術以及示例性修改還可以被合適地組合。
雖然其他實施例在本文未被單獨描述，但是在不偏離本發明的精神和範圍的情況下能夠進行各種變化和修改。
權利要求
1.一種伺服馬達製造方法，該伺服馬達製造方法包括 在旋轉盤(110)待被固定到馬達(M)的軸(SH)的情況下用於調節所述旋轉盤(110)相對於所述軸(SH)的位置的盤位置調節步驟(S5，S10，S12，S15，S17，S20，S25)，至少ー個同心圖案(CP)圍繞盤中心(O)形成到所述旋轉盤(110)，其中 在所述盤位置調節步驟(S5，S10，S12，S15，S17，S20，S25)中，所述同心圖案(CP)被用作線性編碼器(160)的標度，以調節所述旋轉盤(110)的偏心。
2.根據權利要求I所述的伺服馬達製造方法，其中 在所述盤位置調節步驟(S5，S10, S12，S15，S17，S20, S25)中，基於所述線性編碼器(160)的輸出信號來調節所述旋轉盤(110)的位置，使得所述軸(SH)的軸線(AX)與所述旋轉盤(110)的盤中心(O)對準，所述線性編碼器(160)能夠檢測所述旋轉盤(110)的局部周向區域的所述同心圖案(CP)的徑向方向的變化。
3.根據權利要求2所述的伺服馬達製造方法，其中 在所述盤位置調節步驟(S5，S10，S12，S15，S17，S20，S25)中，藉助在所述旋轉盤(110)旋轉時所述同心圖案(CP)的徑向方向的變化來識別所述盤中心(O)相對於所述軸線(AX)的偏心量以及偏心方向；並且 盤位置調節裝置(171，172，173)基於致使消除所述偏心量的移動方向以及移動量來使所述旋轉盤(110)沿所述徑向方向移動。
4.根據權利要求I所述的伺服馬達製造方法，該伺服馬達製造方法還包括 在光學模塊(120)被固定成面向被安裝到所述軸(SH)的所述旋轉盤(110)的情況下用於調節所述光學模塊(120)相對於所述旋轉盤(110)的位置的模塊位置調節步驟(S30，S35, S40, S45, S50, S55),所述光學模塊(120)包括位於基板(121)上的第一受光兀件(150L)和第二受光元件(150R)，所述第一受光元件(150L)和所述第二受光元件(150R)接收從光源(130)發出並且經受所述同心圖案(CP)的作用的光；其中 在所述模塊位置調節步驟(S30，S35，S40, S45，S50, S55)中，基於所述第一受光元件(150L)和所述第二受光元件(150R)的輸出信號的振幅變化來調節所述光學模塊(120)相對於所述旋轉盤(110)的徑向位置，並且基於所述第一受光元件(150L)的輸出信號和所述第二受光元件(150R)的輸出信號之間的相位差來調節所述光學模塊(120)的相對於從所述旋轉盤(110)的所述盤中心(O)以放射形狀延伸的放射狀線的傾斜位置。
5.一種伺服馬達製造設備(MD)，所述伺服馬達製造設備包括 線性編碼器(160)，所述線性編碼器構造成將圍繞旋轉盤(110)的盤中心(O)形成的同心圖案(CP)作為標度； 盤位置調節裝置(171，172，173)，所述盤位置調節裝置構造成調節所述旋轉盤(110)的位置，使得馬達(M)的供固定所述旋轉盤(110)的軸(SH)的軸線(AX)與所述旋轉盤(110)的所述盤中心(O)對準；以及 控制裝置(180)，所述控制裝置構造成基於所述線性編碼器(160)的輸出信號來控制所述盤位置調節裝置(171，172，173)。
6.根據權利要求5所述的伺服馬達製造設備(MD)，該伺服馬達製造設備還包括 模塊位置調節裝置(174，175)，所述模塊位置調節裝置具有第一模塊位置調節裝置(174)以及第ニ模塊位置調節裝置(175)，所述第一模塊位置調節裝置(174)構造成調節光學模塊(120)相對於所述旋轉盤(110)的徑向位置，所述光學模塊(120)在基板(121)上包括第一受光兀件(150L)和第二受光兀件(150R),所述第一受光兀件(150L)和所述第二受光元件(150R)接收從光源(130)發出並且經受所述同心圖案(CP)的作用的光，所述第ニ模塊位置調節裝置(175)構造成調節所述光學模塊(120)的相對於從所述旋轉盤(110)的所述盤中心(O)以放射形狀延伸的放射狀線的傾斜位置，其中 所述控制裝置(180)基於所述第一受光元件(150L)和所述第二受光元件(150R)的輸出信號的振幅變化來控制所述第一模塊位置調節機構(174)，並且基於所述第一受光元件(150L)的輸出信號和所述第二受光元件(150R)的輸出信號之間的相位差來控制所述第二模塊位置調節裝置(175)。
7.ー種伺服馬達(SM)，所述伺服馬達包括 作為編碼器(100)的旋轉盤(110)，所述旋轉盤具有圍繞盤中心(O)形成的至少ー個同心圖案(CP)，所述同心圖案(CP)被用於調節所述盤中心(O)偏離馬達的軸(SH)的軸線(AX)的偏心量。
8.根據權利要求7所述的伺服馬達(SM)，其中 所述編碼器(100)包括位於基板(121)上的光學模塊(120)，所述光學模塊(120)具有第一受光兀件(150L)和第二受光兀件(150R),所述第一受光兀件(150L)和所述第二受光元件(150R)接收從光源(130)發出並且經受所述同心圖案(CP)的作用的光； 所述光學模塊(120)被布置在基於由所述第一受光兀件(150L)和所述第二受光兀件(150R)接收的光學信號相對於所述旋轉盤(110)調節過的位置。
9.一種編碼器(100)，所述編碼器包括 旋轉盤，所述旋轉盤具有圍繞盤中心(O)形成的至少ー個同心圖案(CP)，所述同心圖案(CP)被用於調節所述盤中心(O)偏離馬達的軸(SH)的軸線(AX)的偏心量。
全文摘要
本發明涉及伺服馬達及其製造方法和製造設備以及編碼器。伺服馬達製造方法包括在旋轉盤(110)待被固定到馬達(M)的軸(SH)的情況下用於調節所述旋轉盤(110)相對於所述軸(SH)的位置的盤位置調節步驟(S5，S10，S12，S15，S17，S20，S25)，至少一個同心圖案(CP)圍繞盤中心(O)形成到所述旋轉盤(110)，其中，在所述盤位置調節步驟(S5，S10，S12，S15，S17，S20，S25)中，所述同心圖案(CP)被用作線性編碼器(160)的標度，以調節所述旋轉盤(110)的偏心。
文檔編號H02K15/00GK102636195SQ201210033248
公開日2012年8月15日 申請日期2012年2月14日 優先權日2011年2月15日
發明者吉冨史朗, 吉田康, 山口陽介, 松谷泰裕 申請人:株式會社安川電機