熱電偶夾持裝置的製作方法
2023-05-13 11:06:16
專利名稱：熱電偶夾持裝置的製作方法
技術領域：
本實用新型是關於一種定位熱電偶的技術，特別是關於一種熱電偶夾持裝置。
背景技術：
隨著微電子元件的不斷研發與大量需求，有關半導體相關領域的發展也從未間斷，從集成電路設計、晶圓製造、晶圓切割、晶片封裝、晶片測試、乃至於晶片應用在商品的過程中，無一不需關切地致力於良率與產能的提升，因此有關上述晶片製造、乃至於應用過程中均需特別重視晶片的電性問題。
因應各種晶片特別是例如處理器等功率晶體的集成化發展，其運算處理速度始終維持在上升趨勢中，其所需的電流、電壓也相對的提高，在此趨勢下，如果無法有效的解決晶片的散熱問題，一但晶片處於超過其忍受的溫度，便會造成燒毀或電性質量不佳的情況，所以如何能有效解決晶片散熱的問題，便成為晶片製造乃至於應用過程中所需共同面臨的重要問題。
在上述各項環節當中，為解決晶片的散熱問題，首先必須面對的是了解晶片所處環境的溫度(例如包括環境溫度、晶片本身的工作溫度等)，測量晶片溫度最常使用的溫度測試元件首推就是熱電偶，它具有結構簡單、製造容易、使用方便、測溫範圍寬以及測溫精度高等優點。
熱電偶(Thermocouples)是由兩種不同金屬連接在一起成對而製成的，它的一端接合置在被測物體上，另一端接在測試儀器上，即是一溫度測試儀器，由於是成對設計所以稱為熱電偶。這種熱電偶溫度感測儀器不需外接電源，就能產生微毫電壓，微電壓與溫度成正比關係。
熱電偶受熱時會產生微小的電壓，電壓大小取決於組成熱電偶的兩種金屬材料，鐵-銅鎳合金(J型)、銅-銅鎳合金(T型)和鉻-鋁(K型)熱電偶是最常用的三種，以K型熱電偶為例，其溫度每變化1℃時，電壓會相應變化大約40μV，因此當其電壓每改變40μV即可判定被測元件的溫度相應改變了1℃，由此溫度與電壓的線性關係即可準確測量出例如晶片表面的溫度。當對晶片溫度進行測量時，須將熱電偶的測溫部與待測晶片表面良好接觸，通常是通過導熱膠將其粘附在待測晶片的待測表面，待導熱膠固化後使熱電偶與晶片的相對位置固定，即可進行量測。
如圖1所示，當對晶片1進行溫度測量時，須將熱電偶2的測溫部21與晶片1表面良好接觸，即通過導熱膠11將該測溫部21粘附在晶片1表面，待導熱膠11固化後使熱電偶2與晶片1的相對位置固定，即可進行量測。然而，在導熱膠11的固化前必須保持熱電偶2與晶片1的相對位置不變，導熱膠11的固化需要較長的時間(一般至少需要12個小時)，如此長時間根本無法由人力維持，因此當前做法一般是在晶片1周圍設置支撐物23，再利用膠帶25等將熱電偶2固定在該支撐物23上以定位。然而這種現有技術必需額外增設支撐物23供膠帶25粘附，造成測試工作的不便與困擾，無法普遍適用於各種場合，特別是在空間狹小的場合中根本無法使用。
因此，如何開發一種熱電偶夾持裝置，將熱電偶夾持固定到所需測試溫度的待測物表面，克服上述現有技術的缺失與不便，成為目前業界亟待克服的課題。
實用新型內容為解決上述現有技術的缺點，本實用新型主要目的在於提供一種熱電偶夾持裝置，可將熱電偶夾持固定到所需測試溫度的待測物表面。
本實用新型的次一目的在於提供一種熱電偶夾持裝置，有利於應用在空間狹小的場合。
為達成上揭及其它目的，本實用新型提供一種熱電偶夾持裝置包括該熱電偶夾持裝置包括底座；支撐件，立設在該底座；活動臂，具有第一端、第二端以及位於第一端與第二端之間的至少一彎折部，該第一端是連接於該支撐件；以及用以夾持熱電偶的夾持件，連接於該活動臂的第二端，該夾持件是一夾子。
上述該支撐件是可位移地立設在該底座上。較佳地，該底座還設有一導軌，該支撐件是可移動地立設在該導軌。此外，該支撐件也可採取可轉動地立設在該底座上，非以單純地立設在底座上為限。
該活動臂的第一端可設有一套接件，借該套接件可轉動及移動地連接於該支撐件。該套接件與該支撐件是可相互樞接，且該套接件一側還具有一固定部。在本實用新型中該固定部包括螺合在該套接件一側的螺栓。另外，該底座還可設有例如橡膠墊的防滑元件。
由於本實用新型所提出的熱電偶夾持裝置，可供預設在待測物附近，利用夾持件夾持熱電偶，並通過活動臂與支撐件的搭配，可使該夾持件任意調整位置，移動到適當的位置與角度，使所夾持的熱電偶可穩固地接置到所需測試溫度的待測物表面，可將熱電偶夾持固定到所需測試溫度的待測物表面，克服現有技術必需額外增設支撐物供粘附膠帶的不便與困擾，並且利用活動臂與支撐件的設計有利於應用在空間狹小的場合，克服現有技術無法應用在空間狹小場合的缺點。
圖1是現有技術將熱電偶固定在待測晶片表面的架構示意圖；圖2是本實用新型熱電偶夾持裝置的結構示意圖；圖3是本實用新型的支撐件底部結構局部放大示意圖；圖4是本實用新型的活動臂第一端結構局部放大示意圖；以及圖5是本實用新型定活動臂的彎折部局部放大示意圖。
具體實施方式
實施例此外，須注意的一點是，這些附圖均為簡化的示意圖，僅以示意方式說明本實用新型的基本架構，因此僅顯示與本實用新型有關的構成，且所顯示的構成並非以實際實施時的數目、形狀、及尺寸比例繪製，其實際實施時的數目、形狀及尺寸比例為一種選擇性的設計，且其構成布局形態可能更為複雜。
請參閱圖2，它是本實用新型熱電偶夾持裝置的結構示意圖。如圖所示，本實用新型的熱電偶夾持裝置3，應用在將熱電偶夾持固定到所需測試溫度的待測物表面，它包括底座31、支撐件32、活動臂33以及夾持件34。
該底座31用以保持該熱電偶夾持裝置3位置不會隨意變化，在本實施例中，為達到較佳的穩固效果，它是由例如鑄鐵等密度較高的材料製成，該底座31底部還包括多個例如是橡膠墊的防滑元件312，用以增強該底座31的防滑性能，避免其隨意滑動。另外，該底座31還具有導軌311以供立設該支撐件32。
該支撐件32是立設在該底座31上，在本實施例中，該支撐件32是一細長的圓杆，且其一端穿過上述導軌311，以可相對於該導軌311移動地立設在底座31上。該支撐件32的底部設有外螺紋321與檔止部323(請配合參閱圖3所示)，該擋止部323是對應穿過導軌311而位於底座31的底部，對應底座頂面則套設一墊圈327，外螺紋321則供螺合一螺帽325，由旋緊該螺帽325可使該支撐件32固定在該底座31對應導軌311的適當位置。
該活動臂33具有位於頂端的第一端、位於底端的第二端以及位於第一端與第二端之間的彎折部331，該第一端是連接於該支撐件32，第二端則連接該夾持件34。在本實施例中，該活動臂33的第一端是藉由一套接件333而套設在該支撐件32(請配合參閱圖4所示)，以借該套接件333可轉動及移動地連接在該支撐件32，其中該套接件333與該支撐件32是相互樞接，且該套接件333一側還具有一固定部3331，用以固定該套接件333與該支撐件32，在附圖中該固定部3331是例如包括螺合在該套接件3331一側的螺栓。藉由操作旋緊該固定部3331，可使該套接件333固定在該支撐件32上而無法移動或轉動。
另外，該活動臂33是例如由鋁、鎂等輕金屬製成或者塑料材質製成，它具有至少一彎折部331，在本實施例中，該彎折部331是由第一連接部3311、第二連接部3313以及連接該第一連接部3311與該第二連接部3313的軸接件3315所構成(請配合參閱圖5)，該軸接件3315是軸接該第一連接部3311與該第二連接部3313，使該彎折部331能夠以該軸接件3315為軸心自由旋轉，且該軸接件3315例如是一螺栓，可自由地旋鎖而調整其結合強度。此處需特別說明的是，本實施例中僅以例示性地提出一種彎折部331的結構設計，在活動臂33中設計可彎折的結構變化屬於本技術領域中具有通常知識者可理解並完成的，也就是其它可實現活動臂33彎折功能的結構變化，均應屬於本實用新型所示的活動臂33，不以本實施例所示為限。
該夾持件34是連接在該活動臂33的第二端，用以夾持熱電偶，在本實施例中，該夾持件34可例如是一夾子，其結構變化是本技術領域中具有通常知識者可理解並完成的，不以本實施例所示為限。
由上述實施例所示的熱電偶夾持裝置3，可供預設在例如晶片的待測物附近，利用夾持件34以夾持熱電偶，並通過活動臂33與支撐件32的搭配旋轉、移動進行三維空間的位置調整，可使該夾持件34任意調整移動到適當的位置與角度，使所夾持的熱電偶可穩固地接置在所需測試溫度的待測物表面，可提供將熱電偶夾持固定到所需測試溫度的待測物表面的功效，有利於長時間維持固定姿態，等待例如接著熱電偶的測溫部與晶片的導熱膠固化，用於量測其溫度。因此，本實用新型提供的熱電偶夾持裝置3克服了現有技術必需額外增設支撐物供粘附膠帶的不便與困擾。
另外，利用活動臂33與支撐件32的設計，有利於調整其夾持件34位於三維空間中的適當位置，故而便於應用在各種空間狹小的場合，克服了現有技術無法應用在空間狹小場合的缺點。
雖然本實施例中是以連接單一活動臂33與單一夾持件34為例進行說明，在其它實施方式中，它可在該支撐件32上利用相對數量的套接件333連接多個活動臂33及夾持件34，可同時將多個熱電偶夾持固定到所需測試溫度的對應待測物表面。同時，雖然本實施例中是以底座31上立設單一支撐件32為例進行說明，在其它實施方式中，可同時利用該底座31導軌立設多個支撐件32，同樣可同時將多個熱電偶夾持固定到所需測試溫度的對應待測物表面。上述支撐件32、活動臂33或夾持件34的數量變化，應是所屬技術領域中具有通常知識者可理解並完成的，在此不再另外搭配附圖為文贅述。
與現有技術相比，本實用新型提出的熱電偶夾持裝置，可供預設在待測物附近，利用夾持件夾持熱電偶，並通過活動臂與支撐件的搭配，可使該夾持件任意調整移動到適當的位置與角度，使所夾持的熱電偶可穩固地接置在所需測試溫度的待測物表面，可夾持固定熱電偶至所需測試溫度的待測物表面，克服現有技術必需額外增設支撐物供粘附膠帶的不便與困擾，並且利用活動臂與支撐件的設計有利於應用在空間狹小的場合，克服現有技術無法應用在空間狹小場合的缺點，相對已解決現有技術存在的問題。
權利要求1.一種熱電偶夾持裝置，其特徵在於，該熱電偶夾持裝置包括底座；支撐件，立設在該底座；活動臂，具有第一端、第二端以及位於第一端與第二端之間的至少一彎折部，該第一端是連接於該支撐件；以及用以夾持熱電偶的夾持件，連接於該活動臂的第二端。
2.如權利要求1所述的熱電偶夾持裝置，其特徵在於，該支撐件是可位移地立設在該底座上。
3.如權利要求2所述的熱電偶夾持裝置，其特徵在於，該底座還設有一導軌，該支撐件是可移動地立設在該導軌。
4.如權利要求1所述的熱電偶夾持裝置，其特徵在於，該支撐件是可轉動地立設在該底座上。
5.如權利要求1所述的熱電偶夾持裝置，其特徵在於，該活動臂的第一端設有一套接件，借該套接件可轉動及移動地連接於該支撐件。
6.如權利要求5所述的熱電偶夾持裝置，其特徵在於，該套接件與該支撐件是相互樞接，且該套接件一側還具有一固定部。
7.如權利要求6所述的熱電偶夾持裝置，其特徵在於，該固定部包括螺合在該套接件一側的螺栓。
8.如權利要求1所述的熱電偶夾持裝置，其特徵在於，該夾持件是一夾子。
9.如權利要求1所述的熱電偶夾持裝置，其特徵在於，該底座設有防滑元件。
10.如權利要求9所述的熱電偶夾持裝置，其特徵在於，該防滑元件是橡膠墊。
專利摘要本實用新型提供一種熱電偶夾持裝置，該熱電偶夾持裝置包括底座；支撐件，立設在該底座；活動臂，具有第一端、第二端以及位於第一端與第二端之間的至少一彎折部，該第一端是連接於該支撐件；以及用以夾持熱電偶的夾持件，連接於該活動臂的第二端；本實用新型的熱電偶夾持裝置可供預設在待測物附近，利用夾持件夾持熱電偶，並通過活動臂與支撐件的搭配，可使該夾持件任意調整位置，移動到適當的位置與角度，將熱電偶夾持固定到所需測試溫度的待測物表面，克服現有技術必需額外增設支撐物供粘附膠帶的不便與困擾，並且利用活動臂與支撐件的設計可應用在空間狹小的場合，克服現有技術無法應用在空間狹小場合的缺點。
文檔編號G01K7/02GK2854539SQ20052014273
公開日2007年1月3日 申請日期2005年12月9日 優先權日2005年12月9日
發明者易傑, 鄭再魁 申請人:英業達股份有限公司