用於幹涉式調製器的低電壓驅動器方案的製作方法

2023-05-18 17:22:36

專利名稱：用於幹涉式調製器的低電壓驅動器方案的製作方法
技術領域：
本發明涉及用於驅動例如幹涉式調製器的機電裝置的方法及裝置。
背景技術：
機電系統包括具有電及機械元件、致動器、變換器、傳感器、光學組件(例如，鏡) 及電子裝置的裝置。可按包括(但不限於)微尺度及納米尺度的各種各樣的尺度來製造機電系統。舉例來說，微機電系統(MEMS)裝置可包括大小在約一微米到數百微米或更大的範圍內的結構。納米機電系統(NEMS)裝置可包括大小小於一微米(包括(例如)大小小於數百納米)的結構。可使用沉積、蝕刻、光刻及/或蝕刻掉襯底及/或沉積材料層的部分或添加層以形成電及機電裝置的其它微機械加工工藝來創造機電元件。在以下描述中，術語 MEMS裝置被用作指代機電裝置的一般術語，且並不既定指代任一特定尺度的機電裝置，除非另有具體指出。一種類型的機電系統裝置被稱為幹涉式調製器。如在本文中所使用，術語幹涉式調製器或幹涉式光調製器指代使用光學幹涉的原理選擇性地吸收及/或反射光的裝置。在某些實施例中，幹涉式調製器可包含一對傳導板，所述對傳導板中的一者或兩者可為整體或部分透明及/或反射性的，且能夠在施加適當電信號時相對運動。在一特定實施例中，一個板可包含沉積於襯底上的固定層，且另一板可包含通過一氣隙與所述固定層分開的金屬膜。如本文中較詳細地描述，一個板相對於另一板的位置可改變入射於幹涉式調製器上的光的光學幹涉。這些裝置具有廣泛的應用範圍，且在此項技術中利用及/或修改這些類型的裝置的特性以使得其特徵可用在改進現有產品及創造尚未開發的新產品的過程中將是有益的。

發明內容
在一個方面中，提供一種驅動機電裝置陣列的方法，所述方法包括對所述陣列內的機電裝置執行致動操作，其中對所述機電裝置執行的每一致動操作包括在所述機電裝置上施加釋放電壓，其中所述釋放電壓保持處於所述機電裝置的正釋放電壓與所述機電裝置的負釋放電壓之間；及在所述機電裝置上施加尋址電壓，其中所述尋址電壓大於所述機電裝置的正致動電壓或小於所述機電裝置的負致動電壓。在另一方面中，提供一種包括多個機電顯示元件的顯示器，所述顯示器包括機電顯示元件陣列及經配置以對所述陣列內的機電裝置執行致動操作的驅動器電路，其中對所述機電裝置執行的每一致動操作包括在所述機電裝置上施加釋放電壓，其中所述釋放電壓保持處於所述機電裝置的正釋放電壓與所述機電裝置的負釋放電壓之間；及在所述機電裝置上施加尋址電壓，其中所述尋址電壓大於所述機電裝置的正致動電壓或小於所述機電裝置的負致動電壓。在另一方面中，提供一種驅動機電裝置陣列中的機電裝置的方法，所述機電裝置包括與區段線電氣連通的第一電極，所述第一電極與和共同線電氣連通的第二電極間隔開，所述方法包括在所述區段線上施加區段電壓，其中所述區段電壓在最大電壓與最小電壓之間變化，且其中所述最大電壓與所述最小電壓之間的差小於所述機電裝置的滯後窗的寬度；在所述共同線上施加復位電壓，其中所述復位電壓經配置以將所述機電裝置置於未致動狀態下；及在所述共同線上施加過驅動電壓，其中所述過驅動電壓經配置以基於所述區段電壓的狀態而使所述機電裝置致動。在另一方面中，提供一種驅動機電裝置陣列的方法，所述陣列包括多個共同線及多個區段線，每一機電裝置包括與共同線電氣連通的第一電極，所述第一電極與和區段線電氣連通的第二電極間隔開，所述方法包括在所述多個區段線中的每一者上施加區段電壓，其中施加於給定區段線上的所述區段電壓可在高區段電壓狀態與低區段電壓狀態之間切換；及同時在第一共同線上施加釋放電壓及在第二共同線上施加尋址電壓，其中所述釋放電壓引起沿著所述第一共同線的所有致動的機電裝置的釋放而與施加到每一機電裝置的區段電壓的所述狀態無關，且其中所述尋址電壓視施加到給定機電裝置的所述區段電壓的所述狀態而定引起機電裝置的致動。在另一方面中，提供一種顯示裝置，其包括機電裝置陣列，所述陣列包括多個共同線及多個區段線，每一機電裝置包括與共同線電氣連通的第一電極，所述第一電極與和區段線電氣連通的第二電極間隔開；及驅動器電路，其經配置以在區段線上施加高區段電壓及低區段電壓，且經配置以在共同線上施加釋放電壓及尋址電壓，其中所述驅動器電路經配置以同時沿著第一共同線施加釋放電壓及沿著第二共同線施加尋址電壓，其中所述高區段電壓及所述低區段電壓經選擇以使得所述釋放電壓釋放沿著共同線定位的機電裝置而與所述施加的區段電壓無關，且所述尋址電壓視所述施加的區段電壓而定引起沿著共同線的特定機電裝置的致動。在另一方面中，一種平衡機電裝置陣列內的電荷的方法，所述陣列包括多個區段線及多個共同線，所述方法包括對所述共同線執行寫入操作，其中執行寫入操作包括至少部分基於電荷平衡準則選擇用於所述寫入操作的極性；通過在共同線上施加復位電壓來執行復位操作，所述復位電壓將沿著共同線的所述機電裝置中的每一者置於未致動狀態；在所述共同線上施加具有所述選定極性的保持電壓，其中所述保持電壓不會使沿著所述共同線的所述機電裝置中的任一者致動；及同時地在所述共同線上施加具有所述選定極性的過驅動電壓及在所述區段線上施加多個區段電壓，其中所述區段電壓在第一極性與第二極性之間變化，且其中當所述過驅動電壓的所述極性與對應的區段電壓的所述極性不相同時所述過驅動電壓引起機電裝置的致動。


圖1為描繪幹涉式調製器顯示器的一個實施例的一部分的等角視圖，其中第一幹涉式調製器的可移動反射層處於鬆弛位置，且第二幹涉式調製器的可移動反射層處於致動位置。圖2為說明併入有3X3幹涉式調製器顯示器的電子裝置的一個實施例的系統框圖。圖3為圖1的幹涉式調製器的一個示範性實施例的可移動鏡位置對施加的電壓的圖。
圖4為可用以使用高電壓驅動方案驅動幹涉式調製器顯示器的一組行電壓及列電壓的說明。圖5A及圖5B說明可用以使用高電壓驅動方案將顯示數據幀寫入到圖2的3X3 幹涉式調製器顯示器的行及列信號的一個示範性時序圖。圖6A及圖6B為說明包含多個幹涉式調製器的視覺顯示裝置的實施例的系統框圖。圖7A為圖1的裝置的橫截面。圖7B為幹涉式調製器的替代實施例的橫截面。圖7C為幹涉式調製器的另一替代實施例的橫截面。圖7D為幹涉式調製器的又一替代實施例的橫截面。圖7E為幹涉式調製器的額外替代實施例的橫截面。圖8為幹涉式調製器的2X3陣列的示意性說明。圖9A說明可用以使用低電壓驅動方案將顯示數據幀寫入到圖8的2X3顯示器的區段信號及共同信號的示範性時序圖。圖9B說明響應於圖9A的驅動信號的在圖8的陣列的像素上的所得像素電壓。圖10為可用以使用低電壓驅動方案驅動幹涉式調製器顯示器的一組區段電壓及共同電壓的說明。圖11說明利用線顛倒的區段信號及共同信號的交替時序圖。圖12說明包括延長的寫入時間的列信號的時序圖。圖13說明若干區段、列或像素電壓相對於機電裝置的正滯後窗的關係。圖14說明可在具有延長的保持時間的實施例中使用的區段信號及共同信號的另一示範性時序圖。
具體實施例方式以下實施方式是針對某些具體實施例。然而，可以大量不同方式來應用本文中的教示。在此描述中，對圖式進行參考，在圖中以同樣的數字表示同樣的部分。可在經配置以顯示圖像(無論是運動圖像(例如，視頻)還是固定圖像(例如，靜態圖像)，且無論是文字圖像還是圖片圖像)的任何裝置中實施所述實施例。更特定來說，預料到，所述實施例可實施於各種各樣的電子裝置中或與其相關聯而實施，所述電子裝置例如(但不限於)；行動電話、無線裝置、個人數據助理(PDA)、手持式或可攜式計算機、GPS接收器/導航器、相機、 MP3播放器、攝錄一體機、遊戲控制臺、手錶、時鐘、計算器、電視監視器、平板顯示器、計算機監視器、自動顯示器(例如裡程計顯示器等)、駕駛艙控制器及/或顯示器、相機視野的顯示器(例如，車輛中的後視相機的顯示器)、電子照片、電子布告板或招牌、投影儀、建築結構、 包裝，及美學結構(例如，一件珠寶上的圖像顯示)。與本文中所描述的MEMS裝置結構類似的MEMS裝置也可用於非顯示器應用中，例如，電子開關裝置。因為基於機電裝置的顯示器變得較大，所以整個顯示器的尋址變得較困難，且所要的幀速率可能較難以實現。此外，隨著機電顯示元件變得較小，其致動時間減少，且必須小心避免機電顯示元件的意外或不當的致動。在將新信息寫入到一給定行之前釋放所述行機電裝置且使用較小範圍的電壓來傳達數據信息的低電壓驅動方案通過允許較短的線時間來解決這些問題。此外，低電壓驅動方案通常使用比先前驅動方案少的電力，且抑制在機電顯示元件內的靜摩擦故障的發生。包含幹涉式MEMS顯示元件的一個幹涉式調製器顯示器實施例說明於圖1中。在這些裝置中，像素處於亮或暗狀態。在亮(「鬆弛」或「斷開」)狀態下，顯示元件將大部分入射的可見光反射給用戶。當在暗(「致動」或「閉合」)狀態中時，顯示元件幾乎不向用戶反射入射的可見光。視實施例而定，可顛倒「接通」與「關斷」狀態的光反射性質。MEMS像素可經配置以主要在選定色彩下反射，從而除了黑及白之外還允許彩色顯示。圖1為描繪一視覺顯示器的一系列像素中的兩個鄰近像素的等角視圖，其中每一像素包含一 MEMS幹涉式調製器。在一些實施例中，幹涉式調製器顯示器包含這些幹涉式調製器的行/列陣列。每一幹涉式調製器包括一對反射層，其彼此相距一可變且可控的距離而定位，以形成具有至少一個可變尺寸的共振光學間隙。在一個實施例中，可使所述反射層中的一者在兩個位置之間移動。在第一位置(本文中稱作鬆弛位置)中，可移動反射層定位於距一固定的部分反射層相對大距離處。在第二位置(本文中稱作致動位置)中，可移動反射層定位成更緊密地鄰近所述部分反射層。視可移動反射層的位置而定，從兩個層反射的入射光相長或相消地幹涉，從而產生每一像素的總體反射或非反射狀態。圖1中的像素陣列的所描繪部分包括兩個鄰近的幹涉式調製器12a及12b。在左邊的幹涉式調製器12a中，可移動反射層1 經說明為處於距光學堆疊16a—預定距離的鬆弛位置處，所述光學堆疊16a包括部分反射層。在右邊的幹涉式調製器12b中，可移動反射層14b經說明為處於鄰近於光學堆疊16b的致動位置處。如本文中所提及的光學堆疊16a及16b (總稱為光學堆疊16)通常包含若干熔合層，所述熔合層可包括例如氧化銦錫(ITO)的電極層、例如鉻的部分反射層及透明電介質。 光學堆疊16因此為導電、部分透明且部分反射性的，且可(例如)通過在透明襯底20上沉積以上層中的一者或一者以上來製造。部分反射層可由部分反射性的各種各樣的材料形成，例如，各種金屬、半導體及電介質。部分反射層可由一個或一個以上材料層形成，且所述層中的每一者可由單一材料或材料組合形成。在一些實施例中，光學堆疊16的層經圖案化為平行條帶，並可形成顯示裝置中的行電極(如下進一步描述)。可移動反射層14a、14b可形成為一個或多個經沉積的金屬層的一系列平行條帶(與16a、16b的行電極正交)以形成沉積於柱18及沉積於柱18之間的介入犧牲材料的頂部上的列。當所述犧牲材料經蝕刻掉時，可移動反射層14a、14b與光學堆疊16a、16b分開一界定的間隙19。例如鋁的高導電性且反射性材料可用於反射層14，且這些條帶可形成顯示裝置中的列電極。注意，圖1可能未按比例。在一些實施例中，柱18 之間的間距可大約為lO-lOOum，而間隙19可大約< 1000埃。如在圖1中通過像素12a說明，在未施加電壓的情況下，間隙19保持處於可移動反射層Ha與光學堆疊16a之間，其中可移動反射層1 處於機械鬆弛狀態下。然而，當將一電位(電壓)差施加到經選擇的行及列時，在對應的像素處的行電極與列電極的相交處形成的電容器變得充電，且靜電力將電極拉到一起。如果電壓足夠高，則可移動反射層14 變形且壓抵在光學堆疊16上。光學堆疊16內的電介質層(此圖中未說明)可防止短路且控制層14與16之間的分隔距離，如由在圖1中右邊的經致動像素12b說明。所述行為是相同的，而與施加的電位差的極性無關。
圖2到圖5說明用於在顯示器應用中使用幹涉式調製器陣列的一個示範性過程及系統。圖2為說明可併入有幹涉式調製器的電子裝置的一個實施例的系統框圖。所述電子裝置包括處理器21，其可為任何通用單晶片或多晶片微處理器，例如，ARM 、Pentium >8051, MIPS 、Power PC 或ALPHA ，或任何專用微處理器，例如，數位訊號處理器、微控制器或可編程門陣列。如本項技術的慣例，處理器21可經配置以執行一個或一個以上軟體模塊。除執行作業系統外，處理器還可經配置以執行一個或一個以上軟體應用程式，包括網頁瀏覽器、電話應用程式、電子郵件程序或任何其它軟體應用程式。在一個實施例中，處理器21還經配置以與陣列驅動器22通信。在一個實施例中， 陣列驅動器22包括將信號提供到顯示陣列或面板30的行驅動器電路M及列驅動器電路 26。行驅動器電路及列驅動器電路沈可一般被稱作區段驅動器電路及共同驅動器電路，且可使用行或列中的任一者來施加區段電壓及共同電壓。此外，術語「區段」及「共同」在本文中僅被用作標記，且並不既定傳達超出本文中論述的意義的關於陣列的配置的任何特定意義。在某些實施例中，共同線沿著可移動電極延伸，且區段線沿著光學堆疊內的固定電極延伸。圖1中所說明的陣列的橫截面是按圖2中的線1-1展示。注意，雖然為了清晰起見，圖 2說明幹涉式調製器的3X3陣列，但顯示陣列30可含有大量幹涉式調製器，且在行中的幹涉式調製器的數目可不同於在列中的幹涉式調製器的數目(例如，每行300個像素乘每列 190個像素)。圖3為圖1的幹涉式調製器的一個示範性實施例的可移動鏡位置對施加的電壓的圖。對於MEMS幹涉式調製器，行/列致動協議可利用這些裝置的滯後性質，如在圖3中所說明。幹涉式調製器可需要(例如)10伏特電位差來使可移動層從鬆弛狀態變形到致動狀態。然而，當電壓從所述值減小時，隨著電壓降回10伏特以下，所述可移動層維持其狀態。 在圖3的示範性實施例中，可移動層直到電壓降到2伏特以下時才會完全鬆弛。因此，存在一電壓範圍(在圖3中所說明的實例中，為約3V到7V)，在其中存在一施加電壓窗，在所述施加電壓窗內時裝置穩定地處於鬆弛或致動狀態下。本文將其稱為「滯後窗」或「穩定窗」。在某些實施例中，致動協議可基於例如在第5，835，255號美國專利中論述的驅動方案的驅動方案。在這些驅動方案的某些實施例中，對於具有圖3的滯後特性的顯示陣列來說，可設計行/列致動協議以使得在行選通期間，所選通的行中的待致動的像素被暴露於約10伏特的電壓差，且待鬆弛的像素被暴露於接近零伏特的電壓差。在選通後，使像素暴露於約5伏特的穩定狀態或偏置電壓差，使得其保持於行選通使其處於的任何狀態下。 在此實例中，在被寫入後，每一像素受到在3伏特到7伏特的「穩定窗」內的電位差。當通過選通不同行來尋址其它線時，歸因於沿著列線施加以按所要的方式尋址經選通的行的偏置電壓的改變，可在正穩定性窗內的值與在負穩定性窗內的值之間切換未選通的列線上的電壓。此特徵使圖1中所說明的像素設計在相同施加電壓條件下穩定處於致動的或鬆弛的預先存在狀態下。由於幹涉式調製器的每一像素無論處於致動狀態或鬆弛狀態都基本上是由固定及移動反射層形成的電容器，所以可在滯後窗內的一電壓下保持此穩定狀態，而幾乎無功率耗散。如果施加的電位固定，則基本上無電流流進所述像素。如下進一步描述，在某些應用中，可通過根據第一行中的所要的經致動像素集合而跨越列電極集合發送數據信號集合(每一數據信號具有某一電壓電平)來產生圖像的幀。接著將行脈衝施加到第一行電極，其致動對應於數據信號集合的像素。接著改變數據信號集合以對應於第二行中的所要的經致動像素集合。接著將脈衝施加到第二行電極，其根據數據信號致動第二行中的適當像素。第一行像素不受第二行脈衝的影響，且保持於其在第一行脈衝期間被設定到的狀態中。可以依序方式對於整個系列的行重複此過程以產生幀。通常，通過以每秒某個所要幀數的速率不斷重複此過程而用新的圖像數據刷新及/或更新幀。可使用用於驅動像素陣列的行及列電極以產生圖像幀的各種各樣的協議。圖4及圖5說明用於此驅動方案的一種可能的致動協議，其中所述致動協議可用於在圖2的3X3陣列上產生顯示幀。圖4說明可用於展現出圖3的滯後曲線的像素的一組可能的列及行電壓電平。在圖4實施例中，致動一像素涉及將適當的列設定為-Vbias及將適當的行設定為+ Δ V，其可分別對應於-5伏特及+5伏特。通過將適當的列設定為+Vbias及將適當的行設定為相同的+ Δ V (從而在像素上產生零伏特電位差)，實現鬆弛像素。在將行電壓保持於零伏特的那些行中，像素穩定地處於其原始處於的無論何狀態中，而與所述列處於+Vbias或是-Vbias無關。還如圖4中所說明，可使用與上述電壓的極性相反的電壓，例如，致動一像素可涉及將適當列設定到+Vbias及將適當行設定到-Δ V。在此實施例中，通過將適當列設定為-Vbias及將適當行設定為相同的-Δ V(從而在像素上產生零伏特電位差)， 實現釋放像素。圖5Β為展示施加到圖2的3X3陣列的一系列行及列信號的時序圖，所述信號將導致圖5Α中所說明的顯示布置(其中經致動像素為非反射性的)。在寫入圖5Α中所說明的幀之前，所述像素可處於任一狀態，且在此實例中，所有行最初處於0伏特且所有列處於 +5伏特。在這些施加的電壓的情況下，所有像素均穩定地處在其現有的致動或鬆弛狀態中。在圖5Α幀中，像素(1，1)、(1，2)、(2，2)、(3，2)及(3,3)被致動。為實現此目的， 在行1的「線時間」期間，將列1及2設定為-5伏特，且將列3設定為+5伏特。這並不改變任何像素的狀態，因為所有像素都保持在3-7伏特穩定窗內。接著，通過從0伏特升到5 伏特且再返回零伏特的脈衝對行1選通。這致動(1，1)及(1, 像素並鬆弛(1，；3)像素。 陣列中的其它像素不受影響。為了按需要設定行2，將列2設定為-5伏特且將列1及列3 設定為+5伏特。接著，施加到行2的相同選通信號將致動像素(2, 且鬆弛像素(2，1)及 (2,3)0再一次，陣列的其它像素不受影響。通過將列2及列3設定為-5伏特且將列1設定為+5伏特而類似地設定行3。行3選通信號設定行3像素，如圖5A中所示。在寫入所述幀之後，行電位為零，且列電位可保持於+5或-5伏特，且接著顯示器穩定於圖5A的布置。 所述同一程序可用於數十或數百個行及列的陣列。在上文概述的一般性原理內，可廣泛地變化用以執行行及列致動的時序、序列及電壓電平，且以上實施例僅為實例，且可與本文中所描述的系統及方法一起使用任何致動電壓方法。圖6A及圖6B為說明顯示裝置40的實施例的系統框圖。舉例來說，顯示裝置40 可為蜂窩式或行動電話。然而，顯示裝置40的相同組件或其輕微變化也說明各種類型的顯示裝置，例如電視及可攜式媒體播放器。顯示裝置40包括外殼41、顯示器30、天線43、揚聲器45、輸入裝置48及麥克風46。 通常從各種各樣的製造工藝(包括注射模製及真空成形)中的任一者形成外殼41。此外， 外殼41可由多種材料中的任一材料製成，包括(但不限於)塑料、金屬、玻璃、橡膠及陶瓷或其組合。在一個實施例中，外殼41包括可與不同顏色或含有不同標識、圖片或符號的其它可移除部分互換的可移除部分(未圖示)。示範性顯示裝置40的顯示器30可為各種各樣的顯示器中的任一者，包括如本文中所描述的雙穩態顯示器。在其它實施例中，顯示器30包括平板顯示器，例如，等離子、EL、 OLED, STN IXD或TFT IXD (如上所述)，或非平板顯示器，例如，CRT或其它管裝置。然而， 如本文中所描述，為了描述本實施例的目的，顯示器30包括幹涉式調製器顯示器。示範性顯示裝置40的一個實施例的組件示意性地說明於圖6B中。所說明的示範性顯示裝置40包括外殼41，且可包括至少部分包圍於其中的額外組件。舉例來說，在一個實施例中，示範性顯示裝置40包括網絡接口 27，所述網絡接口 27包括耦合到收發器47的天線43。收發器47連接到處理器21，處理器21連接到調節硬體52。調節硬體52可經配置以調節信號(例如，對信號進行濾波)。調節硬體52連接到揚聲器45及麥克風46。處理器21還連接到輸入裝置48及驅動器控制器四。驅動器控制器四耦合到幀緩衝器觀及陣列驅動器22，陣列驅動器22又耦合到顯示陣列30。電源50按特定示範性顯示裝置40 設計的要求將電力提供到所有組件。網絡接口 27包括天線43及收發器47以便示範性顯示裝置40可在網絡上與一個或一個以上裝置通信。在一個實施例中，網絡接口 27也可具有一些處理能力以減輕對處理器21的要求。天線43為用於發射及接收信號的任一天線。在一個實施例中，所述天線根據IEEE 802. 11標準(包括IEEE 802. 11(a), (b)或(g))來發射及接收RF信號。在另一實施例中，所述天線根據藍牙標準發射及接收RF信號。在蜂窩式電話的情況下，天線經設計以接收CDMA、GSM、AMPS、W-CDMA或用以在無線蜂窩式電話網絡內通信的其它已知信號。 收發器47預處理從天線43接收的信號，以便其可由處理器21接收且進一步地操縱。收發器47還處理從處理器21接收的信號，以便可經由天線43將其從示範性顯示裝置40發射。
在一替代實施例中，收發器47可由一接收器替換。在又一替代實施例中，網絡接口 27可由一圖像源替換，所述圖像源可存儲或產生待發送到處理器21的圖像數據。舉例來說，圖像源可為含有圖像數據的數字視頻光碟(DVD)或硬碟驅動器，或產生圖像數據的軟體模塊。處理器21通常控制示範性顯示裝置40的整體操作。處理器21接收數據(例如， 來自網絡接口 27或圖像源的壓縮圖像數據)，且將所述數據處理為原始圖像數據或易於處理為原始圖像數據的格式。處理器21接著將經處理的數據發送到驅動器控制器四或發送到幀緩衝器洲以供存儲。原始數據通常指識別圖像內的每一位置處的圖像特性的信息。舉例來說，這些圖像特性可包括色彩、飽和度及灰度階。在一個實施例中，處理器21包括微控制器、CPU或邏輯單元來控制示範性顯示裝置40的操作。調節硬體52大體上包括用於將信號傳輸到揚聲器45及用於從麥克風46接收信號的放大器及濾波器。調節硬體52可為示範性顯示裝置40內的離散組件，或者可被併入於處理器21或其它組件內。驅動器控制器四直接從處理器21或從幀緩衝器28取得由處理器21產生的原始圖像數據，且適當地重新格式化所述原始圖像數據以用於高速傳輸到陣列驅動器22。具體來說，驅動器控制器四將原始圖像數據重新格式化為具有光柵狀格式的數據流，使得其具有適合於在整個顯示陣列30上掃描的時間次序。接著，驅動器控制器四將經格式化的信息發送到陣列驅動器22。雖然例如LCD控制器的驅動器控制器四常作為獨立的集成電路(IC)與系統處理器21相關聯，但可以許多方式實施這些控制器。其可作為硬體嵌入處理器 21中、作為軟體嵌入處理器21中，或以硬體形式與陣列驅動器22完全整合。通常，陣列驅動器22從驅動器控制器四接收經格式化的信息，並將視頻數據重新格式化為一組平行的波形，所述組波形被每秒許多次地施加到來自顯示器的x-y像素矩陣的數百且有時數千個引線。在一個實施例中，驅動器控制器29、陣列驅動器22及顯示陣列30適合於本文中所描述的任何類型顯示器。舉例來說，在一個實施例中，驅動器控制器四為常規顯示控制器或雙穩態顯示控制器(例如，幹涉式調製器控制器)。在另一實施例中，陣列驅動器22為常規驅動器或雙穩態顯示驅動器(例如，幹涉式調製器顯示器)。在一個實施例中，驅動器控制器四與陣列驅動器22整合。此實施例在例如蜂窩式電話、手錶及其它小面積顯示器的高度整合系統中是常見的。在又一實施例中，顯示陣列30為典型顯示陣列或雙穩態顯示陣列(例如，包括幹涉式調製器陣列的顯示器)。輸入裝置48允許用戶控制示範性顯示裝置40的操作。在一個實施例中，輸入裝置48包括小鍵盤(例如，QWERTY鍵盤或電話小鍵盤)、按鈕、開關、觸敏屏幕、壓敏或熱敏膜。在一個實施例中，麥克風46為示範性顯示裝置40的輸入裝置。當將麥克風46用以將數據輸入到裝置時，可由用戶提供用於控制示範性顯示裝置40的操作的語音命令。電源50可包括如此項技術中眾所周知的各種各樣的能量存儲裝置。舉例來說，在一個實施例中，電源50為可再充電電池，例如，鎳一鎘電池或鋰離子電池。在另一實施例中，電源50為可再生能源、電容器或太陽能電池(包括塑料太陽能電池及太陽能電池漆)。 在另一實施例中，電源50經配置以從壁式插座接收電力。如上所述，在一些實施方案中，控制可編程性在於可位於電子顯示系統中的若干處的驅動器控制器中。在一些情況下，控制可編程性在於陣列驅動器22中。上述優化可實施於任何數目的硬體及/或軟體組件中及各種配置中。根據以上陳述的原理操作的幹涉式調製器的結構細節可廣泛地變化。舉例來說， 圖7A到圖7E說明可移動反射層14及其支撐結構的五個不同的實施例。圖7A為圖1的實施例的橫截面，其中金屬材料條帶14沉積於正交延伸的支撐件18上。在圖7B中，每一幹涉式調製器的可移動反射層14在形狀上為正方形或矩形且僅在轉角處在系栓32上附接到支撐件。在圖7C中，可移動反射層14在形狀上為正方形或矩形且從可變形層34懸垂，可變形層34可包含柔性金屬。可變形層34在可變形層34的周邊周圍直接或間接連接到襯底20。這些連接在本文中被稱作支撐柱。圖7D中所說明的實施例具有支撐柱插塞42，可變形層34擱置於所述支撐柱插塞42上。可移動反射層14保持懸垂於間隙上(如圖7A到圖7C中)，但可變形層34並不通過填充在可變形層34與光學堆疊16之間的孔洞而形成支撐柱。相反，支撐柱是由平坦化材料形成，所述平坦化材料用以形成支撐柱插塞42。圖7E 中所說明的實施例是基於圖7D中所展示的實施例，但也可適於與圖7A到圖7C中所說明的實施例中的任何者以及未展示的額外實施例一起起作用。在圖7E中所展示的實施例中，已使用金屬或其它導電材料的附加層形成總線結構44。這允許沿著幹涉式調製器的背部路由信號，其消除了原本可能必須形成於襯底20上的若干電極。在例如圖7中所示的實施例的實施例中，幹涉式調製器充當直視裝置，其中從透明襯底20的前側檢視圖像，所述側與其上布置有調製器的側相對。在這些實施例中，反射層14光學遮蔽反射層的與襯底20相對的側上的幹涉式調製器的部分(包括可變形層34)。 這允許在不負面地影響圖像質量的情況下配置及操作經遮蔽區域。舉例來說，此遮蔽允許圖7E中的總線結構44，所述結構提供將調製器的光學性質與調製器的機電性質(例如，尋址及由所述尋址導致的移動)分開的能力。此可分開的調製器架構允許用於調製器的機電方面及光學方面的結構設計及材料被彼此獨立地選擇及起作用。此外，圖7C到圖7E中所示的實施例具有來源於反射層14的光學性質與其機械性質解耦的額外益處，所述機械性質由可變形層34實現。這允許用於反射層14的結構設計及材料得以在光學性質方面優化， 且用於可變形層34的結構設計及材料得以在所要的機械性質方面優化。在其它實施例中，可利用替代驅動方案使驅動顯示器所需的電力最小化，以及允許在較短時間量中對機電裝置的共同線進行寫入。在某些實施例中，例如幹涉式調製器的機電裝置的釋放或鬆弛時間可比機電裝置的致動時間長，因為可能僅經由可移動層的機械恢復力將機電裝置拉到未致動或釋放狀態。相比之下，致動機電裝置的靜電力可較快地作用於機電裝置上以引起機電裝置的致動。在以上論述的高電壓驅動方案中，給定線的寫入時間必須足以不僅允許先前未致動的機電裝置的致動，而且也允許先前經致動的機電裝置的解除致動。因此，在某些實施例中，機電裝置的釋放速率充當限制因素，其可能抑制將較高刷新速率用於較大顯示陣列。本文中稱作低電壓驅動方案的替代驅動方案可提供與以上論述的沿著共同線及區段線兩者施加偏置電壓的驅動方案相比改善的性能。圖8說明幹涉式調製器的示範性 2X3陣列區段100，其中所述陣列包括三個共同線IlOaUlOb及IlOc及兩個區段線120a、 120b。獨立可尋址像素130、131、132、133、1；34及1；35位於共同線與區段線的每一相交處。 因此，像素130上的電壓為施加於共同線IlOa與區段線120a上的電壓之間的差。在像素上的此電壓差在本文中替代地被稱作像素電壓。類似地，像素131為共同線IlOb與區段線 120a的相交處，且像素132為共同線IlOc與區段線120a的相交處。像素133、1；34及135 分別為區段線120b與共同線IlOaUlOb及IlOc的相交處。在說明的實施例中，共同線包含可移動電極，且區段線中的電極為光學堆疊的固定部分，但應理解，在其它實施例中，區段線可包含可移動電極，且共同線可包含固定電極。共同電壓可由共同驅動器電路102施加到共同線110a、IlOb及110c，且可經由區段驅動器電路104將區段電壓施加到區段線120a 及 120b。在雙色顯示器中，像素130-135中的每一者可實質上相同，具有類似或相同的機電性質。舉例來說，當機電裝置處於未致動位置中時，可移動電極與光學堆疊之間的間隙對於像素中的每一者可實質上相同，且所述像素可具有實質上相同的致動及釋放電壓及因此實質上相同的滯後窗。在彩色顯示器中，示範性陣列區段100可包含三種色彩的子像素，其中像素130-135中的每一者包含一特定色彩的子像素。彩色子像素可經排列使得每一共同線110a、110b、110c界定具有類似色彩的子像素的共同線。舉例來說，在RGB顯示器中，沿著共同線IlOa的像素130及133可包含紅色子像素，沿著共同線IlOb的像素131及1；34可包含綠色子像素，及沿著共同線IlOa的像素132及135可包含藍色子像素。雖然描繪為三色顯示器，但可在給定色彩像素中使用任何數目個子像素。因此，在RGB顯示器中2X3陣列可表示兩個色彩像素138a及138b，其中色彩像素138a包含紅色子像素130、綠色子像素 131及藍色子像素132，且色彩像素138b包含紅色子像素133、綠色子像素134及藍色子像素 135。在其它實施例中，使用更多或更少種色彩的子像素，且相應地調整每像素的共同線的數目。在再其它實施例中，可沿著單一共同線排列一個以上色彩的子像素。舉例來說， 在四色顯示器中，顯示器的2X2區域可形成像素，使得(例如)像素130可為紅色子像素， 像素133可為綠色子像素，像素131可為藍色子像素，且像素134可為黃色子像素。在替代驅動方案的一個實施例中，在高區段電壓與低區段電壓之間切換施加於區段線120a與120b上的電壓Vsk。在5個不同電壓之間切換施加於共同線110a、 IlOb及IlOc上的電壓Vot，在某些實施例中，所述5個不同電壓中的一者為接地狀態。四個非接地電壓為高保持電壓VCmD Η、高尋址電壓VCadd H (在本文中替代地被稱作過驅動或選擇電壓)、低保持電壓及低尋址電壓VC-j。保持電壓經選擇使得當使用適當的區段電壓時，像素電壓將始終位於像素的滯後窗(正滯後值針對高保持電壓且負滯後值針對低保持電壓)內，且可能的區段電壓的絕對值足夠低，使得其共同線上施加有保持電壓的像素將因此保持處於當前狀態下，而與當前施加於其區段線上的特定區段電壓無關。在特定實施例中，高區段電壓可為相對低的電壓，大約1V-2V，且低區段電壓可為接地。由於高區段電壓與低區段電壓並不關於接地對稱，因此高保持及尋址電壓的
絕對值可小於低保持及尋址電壓的絕對值(如稍後可關於(例如)圖9Α看到)。由於是像素電壓而不僅是特定線電壓控制著致動，所以此偏移將不會以不利的方式影響像素的操作，而是僅需要在確定適當的保持及尋址電壓的過程中加以考慮。對於某些機電裝置，正滯後窗與負滯後窗可不同，且可使用沿著共同線的偏移電壓來考慮到所述差異。在此實施例中，當將低區段電壓設定到接地時，高及低保持電壓取決於高區段電壓以及可表示正滯後值與負滯後值之間的中途點的偏移電壓Vffi及可表示滯後窗的中途點與偏移電壓Vffi之間的差的偏置電壓VBIAS。合適的高保持電壓可由下式給出VCHOLDH = 1/2VSH-VOS+VBIAS且合適的低保持電壓可由下式給出VCHOLDL = 1/2V&-V0S-V應。可通過將額外電壓Vadd加到高保持電壓及從低保持電壓減去Vadd獲得高尋址電壓 VCaddh及低尋址電壓VCADD—p應注意，可通過用項1/2AV(其中AV表示任何給定的高與低區段電壓之間的差)替換項1/2V&而更一般地定義所述電壓以應對未將低頻率電壓設定為接地的實施例。此外，如將在以下更詳細地論述，不需要將保持電壓置於滯後窗的中間， 且經選擇用於Vbias的值可比以上論述的示範性值大或小。圖9Α說明可施加於圖8的區段線及共同線的示範性電壓波形，且圖9Β說明響應於施加的電壓的在圖8的像素上的所得像素電壓。波形220a表示沿著圖8的區段線120a 施加的隨時間而變的區段電壓，且波形220b表示沿著區段線120b施加的區段電壓。波形 210a表示沿著圖8的列線IlOa施加的共同電壓，波形210b表示沿著列線IlOb施加的共同電壓，且波形210c表示沿著列線IlOc施加的共同電壓。波形230表示在像素130上的像素電壓，且波形231-235分別類似地表示在像素131-135上的像素電壓。在圖9A中，可看出，共同線電壓中的每一者開始於高保持值VCmD H，例如，波形 220a的高保持值MOa。在施加此高保持值VCkm h期間的一點處，區段線120a的區段線電壓(波形220a)處於低區段電壓乂& 250a，且區段線120b的區段線電壓(波形220a)處於高區段電壓250b。因此，在針對給定VskS數施加VCmuuJ^l]，像素130暴露於最大電壓差，且在波形230 (波形210a與220a之間的差)中可看出，像素130上的此電壓差並不將像素電壓移動超出負致動電壓264。類似地，在針對給定Vsk參數施加VCmD H期間，像素 133暴露於最小電壓差，且如可在波形233中看出，像素133上的電壓並不移動超出負釋放閾值。因此，沿著共同線IlOa的像素110及113的狀態在沿著共同線IlOa施加高保持電壓VQkm H期間保持恆定，而與區段電壓的狀態無關。共同線IlOa上的共同線電壓(波形210a)接著移動到接地狀態，此引起沿著共同線IlOa的像素130及133的釋放。此可見於圖9B中，其中在波形230、233中看到的像素電壓移動超出負釋放電壓，藉此如果像素130及133先前處於致動狀態下，則釋放像素130及133。在此特定實施例中可注意到，在此點處區段電壓為低區段電壓250a及 250b兩者(如可在波形220a及220b中看出)，這將像素電壓正好置於0V，但假設適當選擇電壓值，則即使區段電壓中的任一者處於高區段電壓V、像素也將釋放。線IlOa上的共同線電壓(波形210a)接著移動到低保持值VCmD』246a。當電壓處於低保持值246時，區段線120a的區段線電壓(波形210a)處於高區段電252a，且區段線120b的區段線電壓(波形210b)處於低區段電壓250b。像素130及133中的每一者上的電壓移動經過正釋放電壓262到達正滯後窗內，而不移動超過正致動電壓沈0， 如可在圖9B的波形230及233中看出。像素130及133因此保持處於其先前釋放狀態下。接著使線IlOa上的共同線電壓(波形210a)降低到低尋址電壓VCadd二 248a。像素130及133的行為現在視當前沿著其相應區段線施加的區段電壓而定。對於像素130，區段線120a的區段線電壓處於高區段電252a，且像素130的像素電壓增加超出正致動電壓沈0，如可在圖9B的波形230中看出。因此此時致動像素130。對於像素133，像素電壓(波形23 不增加超出正致動電壓，因此像素133保持未致動。接下來，將沿著線IlOa的共同線電壓(波形210a)增加回到低保持電壓M6a。如先前所論述，當施加低保持電壓226a時，像素上的電壓差保持處於滯後窗內，而與區段電壓無關。像素130上的電壓(波形230)因此降到正致動電壓沈0以下，但保持處於正釋放電壓沈2以上，且因此保持經致動。像素133上的電壓(波形23 不降到正釋放電壓沈2 以下，且將保持未致動。圖10為說明隨施加於共同線及區段線的電壓而變的像素行為的表。如可看出，施加釋放共同電壓(如上指出，其在許多實施例中可為接地狀態)將始終導致像素的釋放，不管區段電壓處於高區段電S^h或是低區段電。類似地，沿著共同線施加保持電壓(VCikm h或VCmD H)將使像素維持於穩定狀態，而與施加的區段電壓或無關，且不使未致動像素致動或經致動的像素解除致動。當沿著共同線施加高尋址VCadd h電壓時，可沿著區段線施加低區段電壓￥&以使沿著所述共同線的所要的像素致動，且可沿著其它區段線施加高區段電壓以使其餘像素保持未致動。當沿著共同線施加低尋址電壓VCADDj 電壓時，施加高區段電壓VSh將使沿著所述共同線的所要的像素致動，且低區段電壓將使像素保持未致動。在說明的實施例中，在共同線IlOb及IlOc上施加類似的共同電壓，如可在波形 210b及210c中看出，波形210b及210c與波形210a相同，但分別暫時偏移一個及兩個線時間。因為在此實施例中一次僅將一個共同線暴露於尋址電壓，所以僅所述線將被寫入，且在施加尋址電壓期間施加的區段電壓經選擇以將所要的數據寫入到當前正被尋址的共同線。 也可看出，在圖9A及圖9B的實施例中，在單一線時間期間執行一給定列線的全部釋放及寫入過程。在其它實施例中，此過程的部分可延伸跨越多個線時間，如將在以下更詳細地論述。一旦已尋址了所有共同線，則可再次尋址初始共同線110a，開始寫入另一幀的過程。可看出，在對第一共同線IlOa的第二寫入過程中(波形210a)，使用正保持及尋址電壓。也可看出，在負極性寫入循環期間，當使用低保持及尋址電壓時，高區段電壓將引起沿著所述區段線的像素的致動。類似地，在正極性寫入循環期間，低區段電壓將引起沿著所述區段線的像素的致動，因為像素電壓的絕對值(施加於所述像素的共同線及區段線的電壓之間的電壓差)將儘可能地大。因為區段數據的狀態的此意義(本文中被稱作數據的「感測」)在此實施例中逐個幀地交替，所以必須跟蹤寫入程序的極性以便可適當地對區段電壓進行格式化。可進行對以上描述的低電壓驅動方案的多個修改。在圖9A及圖9B的驅動方案中， 為了簡化的目的，已將偏移電壓設定於0V，但可使用其它合適的偏移電壓。舉例來說，當共同線為具有不同機電特性(例如，經配置以反射不同色彩的子像素)的幹涉式調製器的線時，致動電壓、釋放電壓及偏移電壓可不同。因此，在共同線IlOaUlOb及IlOc包含不同色彩的子像素的實施例中，對於不同的共同線，偏移電壓及偏置電壓均可不同，這導致可施加於共同線的5個電壓中的每一者的潛在不同值。偏移電壓的使用可能要求在驅動器電路內包括額外電壓調節器以供應偏移電壓，且對於每一色彩使用多個偏移電壓可能要求對於每個色彩使用一額外電壓調節器。此外，在其它實施例中，區段電壓可不在低區段電壓與接地之間變化，而可替代地在高區段電壓與低區段電壓(例如，正區段電壓與負區段電壓)之間變化。在高區段電壓的絕對值實質上等於低區段電壓的絕對值的實施例中(在所述情況下，區段電壓以接地為中心)，正及負保持及尋址電壓可實質上關於偏移電壓對稱。在其它實施例中，兩個區段電壓可具有相同極性，例如，將高區段電壓設定到2. 5V且將低區段電壓設定到0. 5伏特的實施例。然而，在某些實施例中，使區段電壓的絕對值最小化可使區段驅動器簡化。在圖9A中說明的實施例中，通過使用一系列具有相同極性的尋址電壓對共同線中的每一者寫入一次來寫入第一幀。接著通過使用一系列具有相反極性的尋址電壓對共同線中的每一者寫入一次來顛倒第二幀的極性。可繼續在每一幀的寫入程序的末尾切換極性。此幀顛倒可通過交替寫入程序的極性而有助於平衡在裝置的像素上的電荷累積。然而， 在其它實施例中，可在寫入完整幀的過程的末尾之前顛倒極性，例如，逐個線地顛倒。在將共同線排列於色彩群組中的其它實施例(其中每一群組包括特定色彩的幹涉式調製器的一個共同線)中，可在每一色彩群組之後更改極性。圖11說明可在此實施例中使用的電壓信號。電壓320a及320b是在高區段電壓與接地之間變化的區段電壓，如上文關於圖9A的電壓220a及220b論述。可沿著區段線320a 施加電壓320a，及可沿著區段線320b施加電壓320b。類似地，可分別沿著共同線110a、1 IOb 及IlOc施加電壓310a,310b及310c。可看出，電壓310a首先包括沿著共同線IlOa執行的具有負極性的寫入程序。隨後，使用電壓310b沿著共同線IlOb執行具有正極性的寫入程序。寫入程序的極性繼續逐個線地交替。在所說明的實施例中，因為存在奇數個共同線，所以沿著一給定共同線執行的寫入程序的極性也將隨時間交替。在存在偶數個共同線的實施例中，可將對最後共同線的寫入程序的極性用作對第一個共同線的下一寫入程序的極性，以便維持沿著給定共同線的交替極性。或者，可偽隨機地選擇特定寫入程序(例如，幀中的第一線的寫入程序)的極性。 所述幀中的隨後寫入程序的極性可逐個線或逐個色彩群組地交替，或其自身可被偽隨機地選擇。在圖11的線顛倒實施例中，數據的感測將逐個線而非逐個幀地變化，但仍然可以類似方式跟蹤當前寫入電壓的極性，且所述極性可用以適當地確定將沿著區段線發送的數據信號。在另外的實施例中，可修改低電壓驅動方案以執行導致將尋址電壓施加於與當前正尋址的共同線不同的共同線的步驟中的至少一些。在特定實施例中，使釋放及寫入程序延伸跨越多個線時間可允許顯示器的較快速的刷新速率。因為不同於用於高及低尋址電壓的電壓的所有電壓經選擇為不會導致不致動幹涉式調製器(與尋址電壓無關)，所以可將區段電壓設定到適當值以將數據寫入到當前正尋址的共同線，而不影響沿著其它共同線的像素的狀態。圖12說明在三個線時間中執行釋放及寫入程序的實施例。在一個實施例中，釋放在當前正被寫入的線前面兩個線的共同線，且將在當前正被寫入的線前面一個線的共同線移動到適當保持電壓。然而，應理解，可按任一適當次序尋址共同線，且如在先前說明的實施例中展示，不需要依序尋址共同線。圖12描繪表示可施加於三個不同共同線(例如，共同線IlOaUlOb及110c)上的電壓的波形。特定來說，波形410a表示可施加於具有紅色子像素的共同線的電壓，波形 410b表示可施加於具有綠色子像素的共同線的電壓，及波形410c表示可施加於具有藍色子像素的共同線的電壓。除了基於不同色彩的幹涉式調製器的適當的偏移電壓與偏置電壓的可能的差異而修改保持電壓及釋放電壓的值以外，也可變化波形410a、410b及410c的其它參數。在圖12中說明的第一線時間470中，可看出，在線時間470的持續時間內，波形 410a處於接地狀態4Ma。如可關于波形410b最佳地看出，這些波形可在大於單一線時間的時間長度內保持處於接地狀態。通過在比單一線時間長的時間內在共同線上施加接地電壓，可確保具有比致動時間長的釋放時間的幹涉式調製器的釋放。在其它實施例中，高保持電壓與低保持電壓之間的轉變可導致在足夠的時間量內施加在像素的釋放窗內的電壓以使裝置釋放。因此，在某些實施例中，不需要在特定的時間周期內在列線上施加例如電壓 444a的固定釋放電壓。在第二線時間471中，將電壓410a增加到高保持值440a。因為增加到高保持值 440a將不導致幹涉式調製器中的任一者的致動，所以電壓不需要在與其保持處於接地值 444a 一樣長的時間內保持在高保持值440a。電壓410b在此線時間471期間保持在接地狀態444b，且電壓410c從低保持狀態446c增加到接地狀態4Mc。在第三線時間472中，在足以確保既定被致動的沿著共同線IlOa的所有像素將被致動的時間周期內，將電壓410a從高保持電壓440a增加到高尋址或過驅動電壓44加。因此執行正極性寫入程序，其中在共同線IlOa中位置是沿著施加了低區段電壓的區段線的任一像素將被致動，且位置是沿著施加了高區段電壓的區段線的任一像素將保持未致動。 接著將電壓向下降回到高保持電壓440a。在此線時間472中，電壓410b降低到低保持電壓 446b，且電壓410c保持在接地狀態4Mc。在第四線時間473中，沿著列線IlOb執行負極性寫入程序，其中在足以致動沿著共同線IlOb的所要的像素的時間周期內電壓410b從低保持電壓446b降低到低尋址電壓 448b ο在第五線時間474中，以與以上關於在第三線時間472中沿著列線IlOa執行的正極性寫入程序論述的方式類似的方式沿著列線IlOc執行正極性寫入程序。因此，即使完整的釋放及寫入程序跨越多個線時間，當區段電壓經適當地選擇時， 釋放程序及保持電壓的施加也以與區段電壓無關的一致方式影響像素。因此可將這些程序施加到任一所要的共同線，而與在特定線時間期間正被寫入到共同線的數據無關。因此可使線時間僅為寫入時間的函數以確保致動，而非也為釋放時間的函數。如上指出，電壓值的適當選擇是有益的。正如不同色彩的幹涉式調製器的致動及釋放電壓可變化，製造差異或其它因素可導致同一色彩的幹涉式調製器具有致動或釋放電壓的某一差異。因此可將致動電壓及釋放電壓作為小的電壓範圍來處理。也可假定某一誤差裕量，且將其用以定義各種電壓的期望值之間的緩衝。與說明正及負電壓範圍的圖3相反，圖13說明主要跨越正電壓的可在各種時間施加的電壓的範圍。說明接地電壓502以及偏移電壓Vqs 504。展示了在說明的實施例中為正的高區段電SVS 510及在說明的實施例中為負的低區段電壓512。在兩個極性中，區段電壓 510,512的絕對值均小於DC釋放電壓，且因此偏移電壓相對小。展示正釋放電壓520具有寬度522(歸因於在幹涉式調製器的線或陣列上的釋放電壓的變化)。類似地，正致動電壓 5 具有說明的寬度526。高保持電壓VCkm h 530屬於在正致動電壓5M與正釋放電壓520 之間延伸的滯後窗528內。線532表示當將共同線電壓設定到高保持電壓530且將區段線電壓設定到高區段電壓時的像素電壓，且線534表示當將共同線電壓設定到高保持電壓530且將區段線電壓設定到低區段電壓時的像素電壓。如可看出，線532及534也均位於滯後窗528內， 這確保當沿著共同線施加高保持電壓VCrail時，像素電壓保持在滯後窗內。線540表示當沿著共同線施加高尋址或過驅動電壓乂仏皿^且區段電壓為低區段電壓時的像素電壓。線542表示當沿著共同線施加高尋址或過驅動電壓VCadd H且區段電壓為高區段電壓時的像素電壓。如可看出，線540位於正致動電壓5M上方，且將因此導致像素的致動。線542位於滯後窗528內，且將不導致像素的狀態的改變。在高過驅動電壓由VCadd h = VChold h+2VSh給出的特定實施例中，應理解，線542將位於與線534相同的位置處。在區段電壓不以接地為中心的實施例中，以上等式可更通常地由VCadd H = VCH0LD_ Η+Δ VS來表達，其中Δ VS為由AVS = ￥5114&給出的區段電壓擺動。在圖13中可看出，電壓擺動AVS的最小值可由致動電壓的變化給出。由於在某些實施例中電壓擺動AVS對於正及負寫入程序相同，因此正及負致動電壓的變化中的較大者可為AVS的最小值。此外，由於在某些實施例中AVS對於有不同色彩的子像素的共同線中的每一者相同，因此所述陣列上具有致動時間的最大變化的子像素色彩可控制電壓擺動AVS的最小值。在某些實施例中，在確定各種電壓的過程中利用額外緩衝值以避免對像素的非故意的致動。致動時間還視尋址電壓(或者被稱作過驅動電壓，如上所指出)而定，因為增加的尋址電壓將增加到幹涉式調製器的電荷流的速率，從而增加作用於可移動層上的靜電力。 特定來說，如果使尋址電壓與致動電壓的外部範圍之間的距離較大，則歸因於由所有經尋址的像素體驗到的靜電力的增加，可增加像素的致動時間。如果可使致動電壓窗儘可能地小，則可對於給定電壓擺動確保像素中的每一者將體驗到額外靜電力，且可因此減少線時間。如上指出，例如以上論述的低電壓驅動方案的低電壓驅動方案的使用可提供與高電壓驅動方案相比的許多優勢。一個顯著的優勢是在多數情況下的減少的電力消耗。在高電壓驅動方案下，「顯現(rip) 」或再現圖像所需的能量視顯示陣列上的當前圖像而定，且由將區段電壓從其先前值切換到其既定的值所需的能量控制。因為高電壓驅動方案中的區段電壓的切換通常需要在正偏置電壓與負偏置電壓之間的切換，所以區段電壓擺動大約為大致12伏特(假定大致6伏特的偏置電壓)。相比之下，低電壓驅動方案中的區段電壓擺動可大約為大致2伏特。顯現圖像所需的能量因此按高達0/12)2的因子減少，從而具有顯著的能量節省。此外，沿著區段線使用低電壓減少了歸因於區段信號耦合到共同線的非故意的像素切換的風險。減少了由串擾產生的任何寄生信號(spurious signal)的振幅及持續時間， 從而降低了錯誤的像素切換的可能性。這也減少了對整個陣列及周邊中的電阻的約束，從而允許使用具有較高電阻的材料及設計，或在陣列的周邊中使用較窄的布線。還增加了滯後窗內的可使用電壓的範圍。因為以上論述的高電壓驅動方案不會故意地在像素應跨越兩個連續的幀保持經致動時將已經致動的像素解除致動及重新致動，所以必須避免像素的非故意的致動。使用比DC釋放電壓顯著高的偏置電壓可通過確保在正滯後值與負滯後值之間的切換足夠快而減輕此問題，但如此一來便將可使用的偏置電壓限制到比DC滯後窗小且視圖像而定的快閃偏置窗(flash bias window)內。相比之下，因為在低電壓驅動方案中，在重新致動之前，每一像素在一時間周期內被釋放，所以非故意的釋放並非問題，且可使用整個DC滯後窗。低電壓區段驅動器電路也可減少驅動器電路的成本。由於所使用的較低電壓，因此可通過數字邏輯電路來建置區段驅動器電路。這可特別適用於具有驅動面板的多個集成電路的大面板。在共同驅動器電路中引入了某一額外的複雜性，因為共同驅動器電路經配置以在給定共同線上輸出五個不同電壓，但此複雜性被區段驅動器電路的簡化彌補。低電壓驅動器電路也準許使用較小的、較快的幹涉式調製器像素。對於較小幹涉式調製器元件，高電壓驅動方案可變得不切實際。舉例來說，部分歸因於可能過快地釋放的像素的致動速度，使用高電壓驅動方案時，使用45 μ m間距或45 μ m以下的間距的幹涉式調製器可能不切實際。相比之下，使用例如本文中論述的驅動方案的低電壓驅動方案時， 38 μ m間距或38 μ m以下的間距的幹涉式調製器為可使用的。也可顯著地減少幹涉式調製器的線時間。使用高電壓驅動方案可能難以在顯示器上實現小於100 μ s的線時間，但使用低電壓驅動方案時，小於10 μ s的線時間是可能的。 在某些實施例中，可將低電壓驅動方案所需的線時間減少到在給定幀中的內容被寫入兩次(一次使用正極性，且一次使用負極性)的點。此雙寫入過程是理想的電荷平衡過程，因為其不取決於在大量幀上的電荷平衡的概率。相反，通過以正極性及負極性寫入，在每一幀內，每一像素是電荷平衡的。如可在(例如)圖13中看出，當在施加保持電壓期間像素就致動來說保持在恆定狀態下時，歸因於在對應的區段線上施加交替的區段電壓，像素上的所施加電壓可不斷地在滯後窗內的兩個電壓之間交替。當像素處於未致動狀態時，基於使機械恢復力與由像素電壓差產生的靜電力相等的位置來確定可移動層的位置。因為由幹涉式調製器反射的色彩隨可移動層相對於光學堆疊的位置而變，所以此位置變化可導致由在致動狀態下的幹涉式調製器反射的色彩在兩個未致動色彩之間的變化。在具有幀顛倒的一實施例中，在給定幀期間跨越陣列的區域的恆定極性可引起區段線的某種明顯閃爍，因為給定區段電壓將以相同方式影響沿著區段線的幾乎所有未致動像素。在一些實施例中，以上論述的類型的線顛倒可減輕此閃爍，因為沿著區段線的鄰近像素可受到給定區段電壓的相反方式的影響，從而產生可能表現為將兩個未致動色彩狀態摻合在一起的精細得多的視覺圖案。在其它實施例中，可在每一線時間期間故意地切換區段電壓以確保未致動像素在兩個未致動色彩狀態中的每一者中花費其一半時間。顯示器的快速刷新可在視頻或類似的動態內容的顯示期間發生，使得在完成了前一幀後立即或不久便寫入下一個幀。然而，在其它實施例中，通過在一時間周期內在共同線中的每一者上施加保持電壓，可在寫入幀後的延長的時間周期內顯示特定幀。在某些實施例中，這可歸因於相對靜態圖像(例如，行動電話或其它顯示器的GUI)的顯示。在其它實施例中，顯示器中的共同線的數目可足夠小(特別在具有慢刷新速率或短線時間的實施例中)以使得幀的寫入時間比幀的顯示時間顯著短。在其它實施例中，特定GUI的操作或其它信息顯示可能僅要求在給定幀中更新顯示器的一部分，且不需要尋址所述顯示器的其它部分。在一個實施例中，可通過在此時間周期期間將區段電壓維持在恆定電壓來避免或減輕閃爍。在特定實施例中，將區段電壓中的每一者維持在相同電壓，所述電壓可為高區段電壓、低區段電壓或中間值電壓。在其它實施例中，可將電壓維持在用以將數據寫入到最後的共同線的電壓。然而，通過在所有區段線上維持恆定電壓，可提供在整個彩色顯示器上的色彩的較大均勻性，因為給定色彩的每一未致動像素將具有類似的所施加的像素電壓。圖14說明在幀寫入570後具有延長的保持序列580的顯示方案的實施例。施加於第一列線(例如，圖8的2X3陣列的共同線110a)上的共同線電壓在幀寫入570的末尾處於高保持電壓540a(見波形510a)。類似地，施加於例如共同線IlOb的第二列線上的共同線電壓在幀寫入570的末尾處於低保持電壓546b (見波形510b)，且施加於例如共同線 IlOc的第三共同線上的共同線電壓處於高保持電壓MOc。施加於區段線(例如，圖8的陣列的區段線120a及120b)上的區段電壓在高區段電壓550a、550b與低區段電壓55加、55沘之間變化(分別見波形520a及520b)。可看出， 區段電壓波形520a及520b均以接地為中心，但如上所論述，其它區段電壓值是可能的。在幀寫入570的末尾，施加於區段線120a上的電壓(見波形520a)移動到中間值電壓55 ，且施加於區段線120b上的電壓(見波形520b)移動到中間值電壓554b。如上所提及，區段電壓可交替地移動到高或低區段電壓或任一其它電壓，但在保持狀態期間將接地用作區段電壓意味著在給定像素上的像素電壓將實質上等於沿著對應的共同線施加的共同線電壓，這可簡化在其它實施例中對所要的保持電壓的確定。通過在區段線中的每一者上施加均勻電壓，在給定共同線上的未致動像素上的像素電壓將相等。當將類似的保持電壓施加於多個共同線上時，具有給定的所施加的保持電壓的所有未致動像素的像素電壓將相等。因此，在具有紅、綠及藍色共同線的RGB顯示器中，可存在在延長的保持序列580 期間施加的六個截然不同的保持電壓高及低紅色保持電壓、高及低藍色保持電壓，及高及低綠色保持電壓。通過在區段線中的每一者上施加均勻的區段電壓，在陣列中的未致動像素上的像素電壓將因此為六個可能值(每一色彩兩個值)中的一者。相比之下，如果在各種區段線上施加高及低區段電壓兩者，則可存在12種可能的像素電壓，這可歸因於未致動像素的位置的變化而導致由幹涉式調製器陣列反射的色彩的顯著變化。在另外實施例中，沿著共同線的保持電壓也可經調整以考慮到此效應。在一個實施例中，用於一給定色彩的低及高保持電壓中的至少一者可經調整以使處在所述高及低電壓下的像素的像素電壓的絕對值彼此較靠近。如果使像素電壓的絕對值實質上彼此相等， 則給定色彩的所有未致動像素將實質上反射相同色彩，從而提供在整個顯示器上的較好的色彩均勻性。此外，為了白平衡的目的，可使在多色顯示器(例如，RGB顯示器)中的各種色彩的保持電壓優化，使得由紅色、綠色及藍色像素的組合反射的色彩處於特定白點處以提供所要的白平衡。在其它實施例中，可調整用於給定色彩的高及低保持電壓兩者以提供所要的像素電壓。舉例來說，可能需要要求特定像素電壓的特定紅色色調，且可使高及低電壓兩者優化以當將恆定區段電壓施加於區段線上時提供所要的像素電壓。當施加波動的區段電壓時，將保持電壓限制於當施加最高或最低區段電壓時將不引起像素的致動或釋放的電壓。相比之下，當施加的區段電壓恆定時，不需要此裕量，因此增加了可沿著共同線施加而不改變像素的狀態的可能的保持電壓的範圍。特定來說，可使用較靠近像素的致動及釋放電壓的保持電壓。在某些實施例中，可針對保持電壓選擇在此額外可用電壓範圍中的電壓。在一些實施例中，可將經優化的保持電壓用於保持電壓(甚至在幀寫入周期期間)。然而，由於可在延長的保持周期580期間用作保持電壓的電壓範圍增加了，因此一旦幀寫入570結束且正施加恆定的區段電壓，則可使用不可在幀寫入570期間使用的保持電壓。保持電壓的此寫入後(post-write)調整說明於圖14中，其中共同線IlOa上的電壓 (波形510)從高保持電壓MOa增加到經優化的保持電壓M9a。類似地，共同線IlOb上的電壓(波形510b)從低保持電壓446a增加到經優化的保持電壓M9b，且共同線IlOc上的電壓(波形510c)從高保持電壓MOc減小到經優化的保持電壓M9c。可逐個面板地確定合適的經優化的保持電壓以考慮製造過程的變化。通過測量幹涉式調製器的特性(例如，幹涉式調製器的電容)，可確定提供所要的光學響應的適當的像素電壓及保持電壓。在其它實施例中，甚至可在無延長的保持周期的顯示器中使保持電壓優化。因為在給定實施例中可能存在調整保持電壓同時確保當沿著共同線施加保持電壓時像素電壓保持處於滯後窗內的某一空間，所以可選擇使可移動層的位置的此變化的視覺效應最小化的保持電壓作為保持電壓。舉例來說，可選擇偏置電壓以使得未致動的幹涉式調製器的兩個保持位置反射同一色彩的不同色調，而非在所述狀態中的一者中移向另一色彩。設想到以上論述的以上實施例與方法的各種組合。特定來說，雖然以上實施例主要地針對沿著共同線布置特定元件的幹涉式調製器的實施例，但在其它實施例中，可替代地將特定色彩的幹涉式調製器沿著區段線布置。在特定實施例中，可將高及低區段電壓的不同值用於特定色彩，且可沿著共同線施加相同的保持、釋放及尋址電壓。在另外的實施例中，當使多種色彩的子像素沿著共同線及區段線定位(例如，以上論述的四色顯示器)時， 可沿著共同線將高及低區段電壓的不同值與保持及尋址電壓的不同值相結合使用，以便針對四個色彩中的每一者提供適當的像素電壓。此外，本文中描述的測試的方法可與驅動機電裝置的其它方法組合使用。還應認識到，除非本文另有特定且清楚的陳述，否則視實施例而定，本文中描述的任何方法的動作或事件可按其它序列執行，可被添加、合併或完全省去(例如，並非所有動作或事件均為實踐所述方法所必要的)。雖然以上詳細描述已展示、描述及指出了適用於各種實施例的新穎特徵，但可進行所說明的過程的裝置的形式及細節的各種省略、取代及改變。可製作不提供本文中陳述的所有特徵及益處的一些形式，且一些特徵可與其它特徵分開地使用或實踐。
權利要求
1.一種驅動機電裝置陣列的方法，所述方法包含對所述陣列內的機電裝置執行致動操作，其中對所述機電裝置執行的每一致動操作包含在所述機電裝置上施加釋放電壓，其中所述釋放電壓保持處於所述機電裝置的正釋放電壓與所述機電裝置的負釋放電壓之間；及在所述機電裝置上施加尋址電壓，其中所述尋址電壓大於所述機電裝置的正致動電壓或小於所述機電裝置的負致動電壓。
2.根據權利要求1所述的方法，其中所述釋放電壓在小於所述機電裝置的正釋放值的高電壓與大於所述機電裝置的負釋放值的低電壓之間變化。
3.根據權利要求1所述的方法，其中每一致動操作進一步包含在所述機電裝置上施加保持電壓，其中所述保持電壓保持處於所述機電裝置的滯後窗內。
4.根據權利要求3所述的方法，其中所述保持電壓在所述機電裝置的滯後窗內的高電壓與所述機電裝置的所述同一滯後窗內的低電壓之間變化。
5.根據權利要求1所述的方法，其中所述機電裝置陣列包含幹涉式調製器陣列。
6.根據權利要求1所述的方法，其額外地包含對第二機電裝置執行致動操作，其中所述方法包含同時將釋放電壓施加到所述第二機電裝置且將尋址電壓施加到所述第一機械裝置。
7.一種包含多個機電顯示元件的顯示器，所述顯示器包含機電顯示元件陣列；及驅動器電路，其經配置以對所述陣列內的機電裝置執行致動操作，其中對所述機電裝置執行的每一致動操作包含在所述機電裝置上施加釋放電壓，其中所述釋放電壓保持處於所述機電裝置的正釋放電壓與所述機電裝置的負釋放電壓之間；及在所述機電裝置上施加尋址電壓，其中所述尋址電壓大於所述機電裝置的正致動電壓或小於所述機電裝置的負致動電壓。
8.根據權利要求7所述的顯示器，其中所述驅動器電路經進一步配置以在施加所述尋址電壓之後在所述機電裝置上施加保持電壓，其中所述保持電壓保持處於所述機電裝置的滯後窗內。
9.根據權利要求8所述的顯示器，其中所述保持電壓在所述機電裝置的滯後窗內的高電壓與所述機電裝置的所述同一滯後窗內的低電壓之間變化。
10.根據權利要求7所述的顯示器，其中所述釋放電壓在小於所述機電裝置的正釋放值的高電壓與大於所述機電裝置的負釋放值的低電壓之間變化。
11.根據權利要求7所述的顯示器，其中所述驅動器電路經配置以同時將釋放電壓施加到第二機電顯示元件及將尋址電壓施加到所述機電顯示元件。
12.根據權利要求7所述的顯示器，其中所述陣列包含第一色彩的多個幹涉式調製器及第二色彩的多個幹涉式調製器。
13.根據權利要求12所述的顯示器，其中所述機電元件包含所述第一色彩的幹涉式調製器，且其中第二機電元件包含第二色彩的幹涉式調製器，其中所述驅動器電路經配置以同時將釋放電壓施加到第二機電顯示元件及將尋址電壓施加到所述機電顯示元件。
14.一種驅動機電裝置陣列中的機電裝置的方法，所述機電裝置包含與區段線電氣連通的第一電極，所述第一電極與和共同線電氣連通的第二電極間隔開，所述方法包含在所述區段線上施加區段電壓，其中所述區段電壓在最大電壓與最小電壓之間變化， 且其中所述最大電壓與所述最小電壓之間的差小於所述機電裝置的滯後窗的寬度；在所述共同線上施加復位電壓，其中所述復位電壓經配置以將所述機電裝置置於未致動狀態下；及在所述共同線上施加過驅動電壓，其中所述過驅動電壓經配置以基於所述區段電壓的狀態而使所述機電裝置致動。
15.根據權利要求14所述的方法，其額外地包含在所述共同線上施加保持電壓，其中所述保持電壓經配置以將所述機電裝置維持在其當前狀態下，而與所述區段電壓的所述狀態無關。
16.根據權利要求15所述的方法，其中在施加所述復位電壓之後且在施加所述過驅動電壓之前施加所述保持電壓。
17.根據權利要求15所述的方法，其中在施加所述過驅動電壓之後施加所述保持電壓。
18.根據權利要求17所述的方法，其額外地包含在施加所述復位電壓之後且在施加所述過驅動電壓之前的第二保持電壓，其中所述第一保持電壓處於所述機電裝置的第一滯後窗內，且其中所述第二保持電壓處於所述機電裝置的第二滯後窗內。
19.根據權利要求18所述的方法，其中施加復位電壓包含在所述共同線上施加從所述第一保持電壓變化到所述第二保持電壓的電壓，所述電壓在足以引起所述機電裝置的釋放的時間周期內保持處於所述機電裝置的釋放窗內。
20.根據權利要求15所述的方法，其中所述過驅動電壓的絕對值大於所述保持電壓的絕對值。
21.根據權利要求15所述的方法，其中所述保持電壓位於所述機電裝置的滯後窗內。
22.—種驅動機電裝置陣列的方法，所述陣列包括多個共同線及多個區段線，每一機電裝置包含與共同線電氣連通的第一電極，所述第一電極與和區段線電氣連通的第二電極間隔開，所述方法包含在所述多個區段線中的每一者上施加區段電壓，其中施加於給定區段線上的所述區段電壓可在高區段電壓狀態與低區段電壓狀態之間切換；及同時在第一共同線上施加釋放電壓及在第二共同線上施加尋址電壓，其中所述釋放電壓引起沿著所述第一共同線的所有經致動的機電裝置的釋放而與施加到每一機電裝置的區段電壓的所述狀態無關，且其中所述尋址電壓視施加到給定機電裝置的所述區段電壓的所述狀態而定弓丨起機電裝置的致動。
23.根據權利要求22所述的方法，其中在沿著所述第二共同線定位的任何經致動的機電裝置的釋放之後在所述第二共同線上施加所述尋址電壓。
24.根據權利要求22所述的方法，其額外地包含在施加所述尋址電壓之後在所述第二共同線上施加保持電壓，其中所述保持電壓將沿著所述第二共同線的所述機電裝置維持在其當前狀態下，而與施加到所述機電裝置中的每一者的所述區段電壓的所述狀態無關。
25.根據權利要求22所述的方法，其中所述陣列包括經配置以在致動位置中反射第一色彩的第一多個機電裝置，及經配置以在致動位置中反射第二色彩的第二多個機電裝置。
26.根據權利要求25所述的方法，其中所述第一多個機電裝置沿著第一共同線布置， 且其中所述第二多個機電裝置沿著第二共同線布置。
27.根據權利要求沈所述的方法，其中施加於所述第一共同線上的所述尋址電壓為第一尋址電壓，其中施加於所述第二共同線上的所述尋址電壓為第二尋址電壓，且其中所述第一尋址電壓與所述第二尋址電壓不同。
28.根據權利要求25所述的方法，其中所述第一多個機電裝置沿著第一區段線布置， 且其中所述第二多個機電裝置沿著第二區段線布置。
29.根據權利要求觀所述的方法，其中施加於所述第一區段線上的所述區段電壓在第一高區段電壓與第一低區段電壓之間變化，其中施加於所述第二區段線上的所述區段電壓在第二高區段電壓與第二低區段電壓之間變化，且其中所述第一高區段電壓與所述第二高區段電壓不同。
30.一種顯示裝置，其包含機電裝置陣列，所述陣列包含多個共同線及多個區段線，每一機電裝置包含與共同線電氣連通的第一電極，所述第一電極與和區段線電氣連通的第二電極間隔開；及驅動器電路，其經配置以在區段線上施加高區段電壓及低區段電壓，且經配置以在共同線上施加釋放電壓及尋址電壓，其中所述驅動器電路經配置以同時沿著第一共同線施加釋放電壓及沿著第二共同線施加尋址電壓；其中所述高區段電壓及所述低區段電壓經選擇以使得所述釋放電壓釋放沿著共同線定位的機電裝置而與所述施加的區段電壓無關，且所述尋址電壓視所述施加的區段電壓而定弓丨起沿著共同線的特定機電裝置的致動。
31.根據權利要求30所述的顯示裝置，其中所述驅動器電路經進一步配置以在共同線上施加保持電壓，其中所述保持電壓將沿著共同線的所述機電裝置維持在其當前狀態下， 而與所述施加的區段電壓無關。
32.根據權利要求31所述的顯示裝置，其中所述驅動器電路經配置以施加釋放電壓、 高保持電壓、高尋址電壓、低保持電壓及低尋址電壓中的一者。
33.根據權利要求32所述的顯示裝置，其中給定機電裝置在於對應的共同線上施加所述高尋址電壓且在對應的區段線上施加所述低區段電壓之後致動。
34.根據權利要求32所述的顯示裝置，其中給定機電裝置在於對應的共同線上施加所述低尋址電壓且在對應的區段線上施加所述高區段電壓之後致動。
35.根據權利要求31所述的顯示裝置，其中所述驅動器電路經進一步配置以當無尋址電壓被施加於任何共同線上時將相同的區段電壓施加於所述區段線中的每一者上。
36.根據權利要求31所述的顯示裝置，其中所述驅動器電路經進一步配置以當無尋址電壓被施加於任何共同線上時施加經優化的保持電壓，其中所述經優化的保持電壓經配置以將未致動的機電裝置維持在所要的未致動位置中。
37.根據權利要求36所述的顯示裝置，其中所述經優化的保持電壓是至少部分基於當施加所述經優化的保持電壓時所述陣列的所得白平衡而加以選擇。
38.根據權利要求36所述的顯示裝置，其中所述經優化的保持電壓與所述保持電壓不同。
39.一種平衡機電裝置陣列內的電荷的方法，所述陣列包含多個區段線及多個共同線， 所述方法包含對所述共同線執行寫入操作，其中執行寫入操作包含至少部分基於電荷平衡準則而選擇用於所述寫入操作的極性；通過在共同線上施加復位電壓來執行復位操作，所述復位電壓將沿著共同線的所述機電裝置中的每一者置於未致動狀態下；在所述共同線上施加具有所述選定極性的保持電壓，其中所述保持電壓不會使沿著所述共同線的所述機電裝置中的任一者致動；及同時地在所述共同線上施加具有所述選定極性的過驅動電壓及在所述區段線上施加多個區段電壓，其中所述區段電壓在第一極性與第二極性之間變化，且其中當所述過驅動電壓的所述極性與對應的區段電壓的所述極性不相同時所述過驅動電壓引起機電裝置的所述致動。
40.根據權利要求39所述的方法，其中選擇用於所述寫入操作的極性包含交替在所述共同線上的寫入操作的所述極性。
41.根據權利要求39所述的方法，其中選擇用於所述寫入操作的極性包含以偽隨機方式選擇極性。
42.根據權利要求41所述的方法，其中以偽隨機方式選擇用於所述寫入操作的極性包含以偽隨機模式選擇用於第一共同線的極性，所述方法進一步包含基於所述第一共同線的所述選定極性來確定用於在幀中的隨後寫入操作的極性。
43.一種驅動顯示元件陣列的方法，所述方法包含將電壓波形施加到顯示元件陣列的至少一部分，所述電壓波形包含幀寫入波形及保持序列波形，其中所述幀寫入波形的相當大的百分比具有實質上等於釋放電壓、高或低保持電壓或者高或低尋址電壓的值，且其中所述保持序列波形的相當大的百分比包含實質上與所述高或低保持電壓不同的經調整的保持電壓。
44.根據權利要求43所述的方法，其中所述經調整的保持電壓是基於所述顯示元件中的至少一者的電容而預定。
45.根據權利要求43所述的方法，其中所述經調整的保持電壓經預定以便提供所要的光學響應。
46.根據權利要求43所述的方法，其中所述經調整的保持電壓經預定以便提供所要的白平衡。
47.根據權利要求43所述的方法，其進一步包含將區段電壓波形施加到所述陣列的交叉部分，所述陣列的所述交叉部分至少部分與所述陣列的所述部分重疊。
48.根據權利要求47所述的方法，其中所述區段電壓波形包含區段幀寫入波形及區段保持序列波形，其中所述區段幀寫入波形的相當大的百分比包含實質上等於高或低區段電壓的值，其中所述區段保持序列波形的相當大的百分比包含實質上等於中間值電壓的值， 且其中所述中間值電壓實質上與所述高區段電壓及所述低區段電壓不同。
49.一種驅動陣列的方法，所述方法包含分別將第一、第二及第三電壓波形施加到陣列的第一、第二及第三部分，其中所述第一、第二及第三電壓波形中的每一者分別包含第一、第二及第三幀寫入波形及第一、第二及第三保持序列波形，且其中所述陣列的所述第一、第二及第三部分中的每一者與不同原色相關聯；其中所述第一幀寫入波形的相當大的百分比具有實質上等於第一釋放電壓、第一高或低保持電壓或者第一高或低尋址電壓的值；其中所述第二幀寫入波形的相當大的百分比具有實質上等於第二釋放電壓、第二高或低保持電壓或者第二高或低尋址電壓的值；其中所述第三幀寫入波形的相當大的百分比具有實質上等於第三釋放電壓、第三高或低保持電壓或者第三高或低尋址電壓的值；其中所述第一、第二及第三保持序列波形中的每一者的相當大的百分比具有實質上分別等於第一、第二及第三經調整的保持電壓的值；及其中所述第一經調整的保持電壓實質上與所述第一高或低保持電壓不同，所述第二經調整的保持電壓實質上與所述第二高或低保持電壓不同，或所述第三經調整的保持電壓實質上與所述第三高或低保持電壓不同。
50.根據權利要求49所述的方法，其中所述經調整的保持電壓中的至少一者經預定以便提供所要的光學響應。
51.根據權利要求50所述的方法，其中所述經調整的保持電壓中的至少一者經預定以便提供所要的白平衡。
52.根據權利要求50所述的方法，其中所述經調整的保持電壓中的至少一者經預定以使得由所述陣列的所述第一、第二及第三部分反射的色彩處於特定白點。
53.根據權利要求49所述的方法，其中所述陣列的所述第一、第二及第三部分分別與紅、綠及藍色相關聯。
54.根據權利要求49所述的方法，其中所述幀寫入波形是至少部分基於圖像更新數據。
55.根據權利要求49所述的方法，其進一步包含將區段電壓波形施加到所述陣列的多個交叉部分，所述陣列的每一交叉部分至少部分與所述陣列的所述第一、第二及第三部分重疊。
56.根據權利要求55所述的方法，其中所述區段電壓波形中的每一者包含區段幀寫入波形及區段保持序列波形，其中所述區段幀寫入波形中的每一者的相當大的百分比包含實質上等於高或低區段電壓的值，其中所述區段保持序列波形中的每一者的相當大的百分比包含實質上等於中間值電壓的值，且其中所述中間值電壓實質上與所述高區段電壓及所述低區段電壓不同。
57.一種用於驅動陣列的系統，所述系統包含電路，其經配置以產生至少第一、第二及第三電壓波形，其中所述第一、第二及第三電壓波形中的每一者分別包含第一、第二及第三幀寫入波形及第一、第二及第三保持序列波形，其中所述第一幀寫入波形的相當大的百分比具有實質上等於第一釋放電壓、第一高或低保持電壓或者第一高或低尋址電壓的值，其中所述第二幀寫入波形的相當大的百分比具有實質上等於第二釋放電壓、第二高或低保持電壓或者第二高或低尋址電壓的值，其中所述第三幀寫入波形的相當大的百分比具有實質上等於第三釋放電壓、第三高或低保持電壓或者第三高或低尋址電壓的值，其中所述第一、第二及第三保持序列波形中的每一者的相當大的百分比具有實質上分別等於第一、第二及第三經調整的保持電壓的值，及其中所述第一經調整的保持電壓實質上與所述第一高或低保持電壓不同，所述第二經調整的保持電壓實質上與所述第二高或低保持電壓不同，或所述第三經調整的保持電壓實質上與所述第三高或低保持電壓不同；及其中所述電路經進一步配置以分別將所述第一、第二及第三電壓波形施加到陣列的第一、第二及第三部分，其中所述陣列的所述第一、第二及第三部分中的每一者與不同原色相關聯。
58.根據權利要求57所述的系統，其中所述電路經進一步配置以接收圖像數據且至少部分基於所述圖像數據產生所述第一、第二及第三電壓波形。
59.根據權利要求57所述的系統，其中所述陣列為幹涉式調製器陣列。
60.一種用於驅動陣列的系統，所述系統包含用於產生至少第一、第二及第三電壓波形的構件，其中所述第一、第二及第三電壓波形中的每一者分別包含第一、第二及第三幀寫入波形及第一、第二及第三保持序列波形，其中所述第一幀寫入波形的相當大的百分比具有實質上等於第一釋放電壓、第一高或低保持電壓或者第一高或低尋址電壓的值，其中所述第二幀寫入波形的相當大的百分比具有實質上等於第二釋放電壓、第二高或低保持電壓或者第二高或低尋址電壓的值，其中所述第三幀寫入波形的相當大的百分比具有實質上等於第三釋放電壓、第三高或低保持電壓或者第三高或低尋址電壓的值，其中所述第一、第二及第三保持序列波形中的每一者的相當大的百分比具有實質上分別等於第一、第二及第三經調整的保持電壓的值，及其中所述第一經調整的保持電壓實質上與所述第一高或低保持電壓不同，所述第二經調整的保持電壓實質上與所述第二高或低保持電壓不同，或所述第三經調整的保持電壓實質上與所述第三高或低保持電壓不同；及用於分別將所述第一、第二及第三電壓波形施加到陣列的第一、第二及第三部分的構件，其中所述陣列的所述第一、第二及第三部分中的每一者與不同原色相關聯。
61.根據權利要求60所述的系統，其進一步包含用於將區段電壓波形施加到所述陣列的多個交叉部分的構件，所述陣列的每一交叉部分至少部分與所述陣列的所述第一、第二及第三部分重疊。
62.根據權利要求61所述的系統，其中所述區段電壓波形中的每一者包含區段幀寫入波形及區段保持序列波形，其中所述區段幀寫入波形中的每一者的相當大的百分比包含實質上等於高或低區段電壓的值，其中所述區段保持序列波形中的每一者的相當大的百分比包含實質上等於中間值電壓的值，其中所述中間值電壓實質上與所述高區段電壓及所述低區段電壓不同。
63.一種計算機可讀存儲媒體，其包含當由一個或一個以上處理器執行時致使計算機執行驅動陣列的方法的指令，所述方法包含分別將第一、第二及第三電壓波形施加到陣列的第一、第二及第三部分，其中所述第一、第二及第三電壓波形中的每一者分別包含第一、第二及第三幀寫入波形及第一、第二及第三保持序列波形，且其中所述陣列的所述第一、第二及第三部分中的每一者與不同原色相關聯；其中所述第一幀寫入波形的相當大的百分比具有實質上等於第一釋放電壓、第一高或低保持電壓或者第一高或低尋址電壓的值；其中所述第二幀寫入波形的相當大的百分比具有實質上等於第二釋放電壓、第二高或低保持電壓或者第二高或低尋址電壓的值；其中所述第三幀寫入波形的相當大的百分比具有實質上等於第三釋放電壓、第三高或低保持電壓或者第三高或低尋址電壓的值；其中所述第一、第二及第三保持序列波形中的每一者的相當大的百分比具有實質上分別等於第一、第二及第三經調整的保持電壓的值；及其中所述第一經調整的保持電壓實質上與所述第一高或低保持電壓不同，所述第二經調整的保持電壓實質上與所述第二高或低保持電壓不同，或所述第三經調整的保持電壓實質上與所述第三高或低保持電壓不同。
全文摘要
一種驅動例如幹涉式調製器的機電裝置的方法包括沿著共同線施加電壓以釋放沿著所述共同線的所述機電裝置，接著沿著所述共同線施加尋址電壓以基於沿著區段線施加的電壓而致動沿著所述共同線的選定機電裝置。可在釋放電壓與尋址電壓的施加之間沿著共同線施加保持電壓，且所述區段電壓可經選擇為足夠小以使得所述區段電壓將不影響沿著未被寫入的其它共同線的機電裝置的狀態。
文檔編號G09G3/34GK102365673SQ201080014077
公開日2012年2月29日 申請日期2010年3月24日 優先權日2009年3月27日
發明者克拉倫斯·徐, 威廉·卡明斯, 威廉默斯·約翰內斯羅伯特斯·范利爾, 艾倫·G·劉易斯, 馬克·M·託多羅維奇, 馬克·M·米尼亞爾 申請人:高通Mems科技公司