用於pcvd加工的光纖預製棒沉積車床的製作方法
2023-05-06 05:43:26 2
專利名稱：用於pcvd加工的光纖預製棒沉積車床的製作方法
技術領域：
本發明涉及一種用PCVD方法即等離子體化學汽相沉積法製作光纖預製棒的沉積車床，尤其涉及該沉積車床的微波沉積裝置。
背景技術：
在現有技術中已存在有用於PCVD加工的光纖預製棒沉積車床，該沉積車床主要包括床身結構、機械傳動部分、微波沉積裝置和預熱爐裝置。現有沉積車床均為設置一套微波沉積裝置的單諧振腔結構，即一次只能加工一根光纖預製棒，由於微波沉積加工一根光纖預製棒的時間較長，需要旋轉往復幾萬次才能完成一根預製棒的沉積加工，因此單諧振腔結構的微波沉積裝置不僅加工效率低，而且也影響工具機其它運行部分的運行功效。
發明內容
本發明所要解決的技術問題在於針對上述現有技術存在的不足而提供一種有效提高工具機加工效率的用於PCVD加工的光纖預製棒沉積車床。本發明的技術方案為包括床身、微波沉積裝置和保溫爐，床身上面的導軌上安設往復移動滑臺，微波沉積裝置安設在往復移動滑臺上，所述的微波沉積裝置包括有諧振腔和微波發生器，諧振腔通過波導與微波發生器相連，在床身兩側對應諧振腔分別設置固定旋轉密封夾頭和移動旋轉密封夾頭，其不同之處在於在往復移動滑臺上安設前、後微波沉積裝置，所述的前微波沉積裝置的前諧振腔軸線與後微波沉積裝置的後諧振腔軸線相平行，在床身兩側對應前、後諧振腔分別設置前、後固定旋轉密封夾頭和前、後移動旋轉密封夾頭，構成雙諧振腔沉積車床。按上述方案，所述的前諧振腔與後諧振腔等高平行安設。按上述方案，所述的前諧振腔與後諧振腔左右齊平。按上述方案，所述的前諧振腔右端面與後諧振腔左端面對齊，或前諧振腔左端面與後諧振腔右端面對齊。按上述方案，所述的保溫爐為開合式可升降保溫爐，安設在諧振腔的上方，保溫爐爐腔橫截面為矩形或腰圓形與前、後諧振腔相配置。本發明的積極效果為1、採用雙諧振腔結構，一臺沉積工具機可同時加工兩根光纖預製棒，使得沉積工具機的加工效率大幅提高；2、整個工具機的結構設置緊湊合理，通過增設一套微波沉積裝置即能實現雙諧振腔的工作，使工具機的其他運行部件得到充分的利用，可降低工具機的運行能耗，有利節能降耗；3、由於運行參數相同，使加工的光纖預製棒的波導結構接近和相同，能使分開加工的光纖更為匹配。
圖1為本發明一個實施例的正視結構圖。圖2為本發明一個實施例的側視結構圖。
圖3為本發明另一個實施例的正視結構圖。圖4為本發明另一個實施例的側視結構圖。
具體實施例方式下面結合附圖進一步說明本發明的實施例。第一個實施例如圖1、2所示，包括有一床身12，床身上面設置導軌，導軌上安設往復移動滑臺11，往復移動滑臺與往復移動機構相連；在往復移動滑臺上安設前、後微波沉積裝置，所述的前、後微波沉積裝置包括前諧振腔9A和後諧振腔9B以及兩套微波發生器1， 兩套微波發生器安設在往復移動滑臺兩側，所述的前微波沉積裝置的前諧振腔軸線與後微波沉積裝置的後諧振腔軸線等高平行，前、後諧振腔的安裝方位左右相錯，前諧振腔右端面與後諧振腔左端面對齊，在床身兩側對應前、後諧振腔分別設置前、後固定旋轉密封夾頭和前、後移動旋轉密封夾頭，其中在床身的一側安設固定床頭箱18，固定床頭箱上前後並行安設兩個旋轉密封夾套17，旋轉密封夾套分別通過氣控閥16與兩個工藝氣體控制櫃15相連通，每個工藝氣體控制櫃均與SiC14蒸發櫃13和GeC14蒸發櫃14相併接，構成前、後固定旋轉密封夾頭；對應前、後固定旋轉密封夾頭，在床身的另一側並行安設前後移動床頭箱21， 前、後移動床頭箱與前後諧振腔相對應，前、後移動床頭箱上分別安設兩個並行的旋轉密封夾套17，前、後移動床頭箱上的旋轉密封夾套分別與前、後諧振腔及固定床頭箱上的兩個旋轉密封夾套同軸線，前、後移動床頭箱上的旋轉密封夾套分別通過真空間閥19和冷卻盒20 與真空抽排裝置22相接。前諧振腔9A和後諧振腔9B分別通過安設在支承座6上的立柱波導7、彎波導5、調節器4及微波功率檢測器3、循環器2與兩套微波發生器1相連接，構成前、後微波沉積裝置。在床身的上方安設有保溫爐10，所述的保溫爐為開合式可升降保溫爐，安設在諧振腔的上方，保溫爐爐腔橫截面為矩形或腰圓形，與前、後諧振腔相配置。本發明第二個實施例如圖3、4所示，它與上一個實施例的主要不同之處在於所述的前諧振腔與後諧振腔左右齊平設置，後諧振腔的立柱波導7下端通過彎波導5和半圓波導23與調節器4、微波功率檢測器3、循環器2及微波發生器1相連接。其它結構與上一個實施例相同。
權利要求
1.一種用於PCVD加工的光纖預製棒沉積車床，包括床身、微波沉積裝置和保溫爐，床身上面的導軌上安設往復移動滑臺，微波沉積裝置安設在往復移動滑臺上，所述的微波沉積裝置包括有諧振腔和微波發生器，諧振腔通過波導與微波發生器相連，在床身兩側對應諧振腔分別設置固定旋轉密封夾頭和移動旋轉密封夾頭，其特徵在於在往復移動滑臺上安設前、後微波沉積裝置，所述的前微波沉積裝置的前諧振腔軸線與後微波沉積裝置的後諧振腔軸線相平行，在床身兩側對應前、後諧振腔分別設置前、後固定旋轉密封夾頭和前、後移動旋轉密封夾頭，構成雙諧振腔沉積車床。
2.按權利要求1所述的用於PCVD加工的光纖預製棒沉積車床，其特徵在於所述的前諧振腔與後諧振腔等高平行安設。
3.按權利要求2所述的用於PCVD加工的光纖預製棒沉積車床，其特徵在於所述的前諧振腔與後諧振腔左右齊平。
4.按權利要求2所述的用於PCVD加工的光纖預製棒沉積車床，其特徵在於所述的前諧振腔右端面與後諧振腔左端面對齊，或前諧振腔左端面與後諧振腔右端面對齊。
5.按權利要求1或2所述的用於PCVD加工的光纖預製棒沉積車床，其特徵在於所述的保溫爐為開合式可升降保溫爐，安設在諧振腔的上方，保溫爐爐腔橫截面為矩形或腰圓形與前、後諧振腔相配置。
6.按權利要求5所述的用於PCVD加工的光纖預製棒沉積車床，其特徵在於在床身的一側安設固定床頭箱，固定床頭箱上前後並行安設兩個旋轉密封夾套，旋轉密封夾套分別通過氣控閥與兩個工藝氣體控制櫃相連通，每個工藝氣體控制櫃均與SiC14蒸發櫃和GeC14 蒸發櫃相併接，構成前、後固定旋轉密封夾頭；在床身的另一側並行安設前、後移動床頭箱， 前、後移動床頭箱與前後諧振腔相對應，前、後移動床頭箱上分別安設兩個並行的旋轉密封夾套，前、後移動床頭箱上的旋轉密封夾套分別與前、後諧振腔及固定床頭箱上的兩個旋轉密封夾套同軸線，前、後移動床頭箱上的旋轉密封夾套分別通過真空間閥和冷卻盒與真空抽排裝置相接，構成前、後移動旋轉密封夾頭。
7.按權利要求4所述的用於PCVD加工的光纖預製棒沉積車床，其特徵在於前諧振腔和後諧振腔分別通過立柱波導、彎波導、調節器及微波功率檢測器與兩套微波發生器相連接， 構成前、後微波沉積裝置。
8.按權利要求3所述的用於PCVD加工的光纖預製棒沉積車床，其特徵在於前諧振腔通過立柱波導、彎波導、調節器及微波功率檢測器與微波發生器相連接，後諧振腔的立柱波導下端通過彎波導和半圓波導與調節器、微波功率檢測器及微波發生器相連接。
全文摘要
本發明涉及一種用PCVD方法即等離子體化學汽相沉積法製作光纖預製棒的沉積車床，包括床身、微波沉積裝置和保溫爐，床身上面的導軌上安設往復移動滑臺，微波沉積裝置安設在往復移動滑臺上，所述的微波沉積裝置包括有諧振腔和微波發生器，在床身兩側對應諧振腔分別設置固定旋轉密封夾頭和移動旋轉密封夾頭，其特徵在於在往復移動滑臺上安設前、後微波沉積裝置，所述的前微波沉積裝置的前諧振腔軸線與後微波沉積裝置的後諧振腔軸線相平行，在床身兩側對應前、後諧振腔分別設置前、後固定旋轉密封夾頭和前、後移動旋轉密封夾頭，構成雙諧振腔沉積車床。本發明結構設置緊湊合理，提高了功效，降低了運行能耗，並使加工的光纖預製棒的波導結構接近和相同。
文檔編號C03B37/018GK102249532SQ201110094020
公開日2011年11月23日 申請日期2011年4月15日 優先權日2011年4月15日
發明者吳駿, 閆長鵾 申請人:長飛光纖光纜有限公司