液位指示工具的製作方法
2023-05-06 22:33:56 2
專利名稱：液位指示工具的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種液位指示工具。
背景技術：
在半導體生產中，化學氣相沉積工藝(英文簡稱CVD)是指單獨或綜合利用熱能、 輝光放電等離子體、紫外光照射、雷射照射等能源，使氣態物質在固體熱表面上發生化學反 應並在該表面上沉積，從而形成穩定的固態物質膜。由此可見，CVD工藝中會使用到很多氣 源進行反應，為了保證CVD工藝的順利、穩定進行，工作人員必須要保證氣源的穩定供應。 目前氣源的供應是通過將鋼瓶(即存放液體的容器)內的液體經過加熱裝置轉化氣體來實 現的。在生產過程中，操作人員需要掌握每個鋼瓶內的液位。目前，操作人員是通過觸摸工 作站的用戶界面，並轉到傳感器界面，來讀取各個鋼瓶的三種讀值高位、中位或低位。一旦 讀值到了低位，就要及時地更換氣源瓶。但是這種顯示，非常粗略，不利於操作人員及時掌 握鋼瓶內的精確液位。而且液位的顯示不夠直觀，操作比較麻煩、費時。因此，如何提供一種可以直觀顯示容器內的液體剩餘情況的液位指示工具是本領 域亟待解決的一個技術問題。
實用新型內容本實用新型的目的在於提供一種液位指示工具，使用方便，可以直觀顯示容器內 的液體剩餘情況。為了達到上述的目的，本實用新型採用如下技術方案一種液位指示工具，用於顯示容器內的液位，包括磁性浮標和磁性標誌物，所述磁 性浮標放置於所述容器內部，所述磁性標誌物豎向依次排列在所述容器的外壁。在上述的液位指示工具中，所述磁性標誌物是磁性標誌球，所述磁性標誌球具有N 極和S極，所述N極和S極的外表面塗有不同顏色的塗層。所述N極和S極的外表面塗有 黑白相對的塗層。所述容器的外壁設有豎向支架，所述磁性標誌物通過轉銷可轉動式依次 連接於所述支架上。在上述的液位指示工具中，所述磁性標誌物也可以是磁性指針元件。在上述的液位指示工具中，所述磁性浮標包括磁鐵和載體，所述磁鐵嵌設於所述 載體。在上述的液位指示工具中，所述容器內設有用於限制磁性浮標的限位板，所述限 位板上開有通孔。在上述的液位指示工具中，所述磁性標誌物設置所述容器的頂部至底部位置。所 述磁性標誌物也可以設置在所述容器的中部至底部位置。本實用新型的有益效果如下本實用新型液位指示工具，結構簡單、使用方便，由於磁性浮標和磁性標誌物的相 互作用，與磁性浮標不同距離的磁性標誌物所轉的角度不同，因而，可以通過觀察各個磁性標誌物的情況來判斷磁性浮標的位置，從而獲知容器內的液位，故可以直觀反應容器內的 液體剩餘情況，方便操作人員及時、準備了解容器內的剩餘液體情況，提高了工作效率。
本實用新型的液位指示工具由以下的實施例及附圖給出。圖1是本實用新型液位指示工具實施例1的結構示意圖；圖2是圖1的側面示意圖；圖3是本實用新型實施例1的磁性浮標的結構示意圖；圖4是本實用新型液位指示工具實施例2的結構示意圖；圖5是圖4的側面示意圖。圖中，1-磁性浮標、11-載體、12-磁鐵、2-磁性標誌物、21-N極、22_S極、3-容器、 4-液體、5-支架、6-轉銷、7-透明蓋板、8-限位板、81-通孔。
具體實施方式
以下將對本實用新型的液位指示工具作進一步的詳細描述。下面將參照附圖對本實用新型進行更詳細的描述，其中表示了本實用新型的優選 實施例，應該理解本領域技術人員可以修改在此描述的本實用新型而仍然實現本實用新型 的有利效果。因此，下列描述應當被理解為對於本領域技術人員的廣泛知道，而並不作為對 本實用新型的限制。為了清楚，不描述實際實施例的全部特徵。在下列描述中，不詳細描述公知的功能 和結構，因為它們會使本實用新型由於不必要的細節而混亂。應當認為在任何實際實施例 的開發中，必須作出大量實施細節以實現開發者的特定目標，例如按照有關系統或有關商 業的限制，由一個實施例改變為另一個實施例。另外，應當認為這種開發工作可能是複雜和 耗費時間的，但是對於本領域技術人員來說僅僅是常規工作。為使本實用新型的目的、特徵更明顯易懂，
以下結合附圖對本實用新型的具體實 施方式作進一步的說明。需說明的是，附圖均採用非常簡化的形式且均使用非精準的比率， 僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。實施例1請參見圖1-圖3，圖1所示是本實用新型液位指示工具實施例1的結構示意圖；圖 2所示是圖1的側面示意圖；圖3所示是本實用新型實施例1的磁性浮標的結構示意圖。這種液位指示工具，用於顯示容器3內的液位，包括磁性浮標1和磁性標誌物2。 所述容器3是指存放液體的鋼瓶。所述磁性浮標1放置於所述容器3內部。所述磁性浮標1包括磁鐵12和載體11， 所述磁鐵12嵌設於所述載體11。所述磁性浮標1的密度小於所在容器3內部的液體4的 密度，始終浮在所述液體4的上方。另外，所述容器3內設有用於限制磁性浮標1的限位板 8，所述限位板8上開有用於是液體貫通的通孔81。所述限位板8可以防止磁性浮標1隨便 漂移，從而影響液面指示功能的實現。所述磁性標誌物2豎向依次排列在所述容器3的外壁。所述磁性標誌物均勻分布。 所述磁性標誌物2是磁性標誌球，所述磁性標誌球具有N極21和S極22，所述N極21和S極22的外表面塗有不同顏色的塗層。所述容器3的外壁設有豎向支架5，所述磁性標誌物 2通過轉銷6可轉動式依次連接於所述支架5上。所述磁性標誌物2可以設置所述容器3 的頂部至底部位置，也可以設置在所述容器3的中部至底部位置。本實施例中，所述磁性標 志物2可以設置所述容器3的頂部至底部位置。另外，所述支架5設有透明蓋板7，用以防 止磁性標誌物2積灰。所述磁性標誌物2的N極21和S極22具有不同標識。所述不同標識可以是指所 述磁性標誌物2的N極21和S極22的外表面塗有不同顏色的塗層。當然，所述不同標識 也可以是指所述N極21和S極22的外表面塗有明暗相對的塗層。本實施例中，所述不同 標識是指所述N極21和S極22的外表面塗有黑白相對的塗層。請繼續參閱圖1-圖3，使用時，磁性浮標1始終浮在液體4的上面。與磁性浮標 1距離最近的磁性標誌物2所受到的磁力最大，當磁性浮標1中的磁鐵12的N極位於外側 (當然也可以使得其S極位於外側)，則根據異性相吸的原理，該最近的磁性標誌物2的S極 22正對該磁性浮標1中的磁鐵12的N極，即該最近的磁性標誌物2的S極22和N極21處 於水平位置。該磁性標誌物2上側的其他磁性標誌物由底到高所受到的磁力由大到小，並 且這些磁性標誌物2由於磁力作用會旋轉一定角度，旋轉的角度由小到大。同樣，該磁性標 志物2下側的其他磁性標誌物由高到低所受到的磁力由大到小，並且這些磁性標誌物2會 旋轉一定角度，旋轉的角度由小到大。操作人員根據磁性標誌物2的轉動情況，可以非常方 便地找到與磁性浮標1最近的磁性標誌物2，從而知道容器3內液體4的液位。當液位到達 警戒位置時，及時更換容器3，以滿足連續供應氣體的要求。實施例2請參閱圖4-圖5，圖4所示是本實用新型液位指示工具實施例2的結構示意圖； 圖5所示是圖4的側面示意圖。本實施與實施例1的區別在於所述磁性標誌物2是磁性指針元件。所述磁性指 針元件豎向依次排列在所述容器3的外壁。所述磁性指針元件類似指南針結構，其包括兩 個指針N極21和S極22。當磁性浮標1中的磁鐵的N極位於外側時，磁性指針元件的S 極22始終指著它；當磁性浮標1中的磁鐵的S極位於外側時，磁性指針元件的N極21始終 指著它。通過各個磁性指針元件的指針的指向可以很方便地判斷，磁性浮標所在的位置，從 而幫助操作人員判斷容器內液面所在的位置。本實用新型液位指示工具，結構簡單、使用方便，由於磁性浮標和磁性標誌物的相 互作用，與磁性浮標不同距離的磁性標誌物所轉的角度不同，因而，可以通過觀察各個磁性 標誌物的情況來判斷磁性浮標的位置，從而獲知容器內的液位，故可以直觀反應容器內的 液體剩餘情況，方便操作人員及時、準備了解容器內的剩餘液體情況，提高了工作效率。顯然，本領域的技術人員可以對本實用新型進行各種改動和變型而不脫離本實用 新型的精神和範圍。這樣，倘若本實用新型的這些修改和變型屬於本實用新型權利要求及 其等同技術的範圍之內，則本實用新型也意圖包含這些改動和變型在內。
權利要求1.一種液位指示工具，用於顯示容器內的液位，其特徵在於，包括磁性浮標和磁性標誌 物，所述磁性浮標放置於所述容器內部，所述磁性標誌物豎向依次排列在所述容器的外壁。
2.如權利要求1所述的液位指示工具，其特徵在於，所述磁性標誌物是磁性標誌球，所 述磁性標誌球具有N極和S極，所述N極和S極的外表面塗有不同顏色的塗層。
3.如權利要求2所述的液位指示工具，其特徵在於，所述N極和S極的外表面塗有黑白 相對的塗層。
4.如權利要求2所述的液位指示工具，其特徵在於，所述容器的外壁設有豎向支架，所 述磁性標誌物通過轉銷可轉動式依次連接於所述支架上。
5.如權利要求1所述的液位指示工具，其特徵在於，所述磁性標誌物是磁性指針元件。
6.如權利要求1所述的液位指示工具，其特徵在於，所述磁性浮標包括磁鐵和載體，所 述磁鐵嵌設於所述載體。
7.如權利要求1所述的液位指示工具，其特徵在於，所述容器內設有用於限制磁性浮 標的限位板，所述限位板上開有通孔。
8.如權利要求1所述的液位指示工具，其特徵在於，所述磁性標誌物設置所述容器的 頂部至底部位置。
9.如權利要求1所述的液位指示工具，其特徵在於，所述磁性標誌物設置在所述容器 的中部至底部位置。
專利摘要本實用新型涉及一種液位指示工具。公開了一種液位指示工具，用於顯示容器內的液位，包括磁性浮標和磁性標誌物，所述磁性浮標放置於所述容器內部，所述磁性標誌物豎向依次排列在所述容器的外壁。本實用新型液位指示工具，結構簡單、使用方便，由於磁性浮標和磁性標誌物的相互作用，與磁性浮標不同距離的磁性標誌物所轉的角度不同，因而，可以通過觀察各個磁性標誌物的情況來判斷磁性浮標的位置，從而獲知容器內的液位，故可以直觀反應容器內的液體剩餘情況，方便操作人員及時、準備了解容器內的剩餘液體情況，提高了工作效率。
文檔編號G01F23/72GK201844867SQ201020564810
公開日2011年5月25日 申請日期2010年10月16日 優先權日2010年10月16日
發明者許亮 申請人:中芯國際集成電路製造(上海)有限公司