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擴散泵加熱器的製造方法

2023-05-23 08:17:16 1

擴散泵加熱器的製造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種擴散泵加熱器,用於解決現有擴散泵加熱器熱能利用率低,環境汙染嚴重的問題。本實用新型包括加熱爐盤和至少一片吸熱發電片,所述吸熱發電片的兩極經連接電極與外部的儲電裝置和/或負載連接;所述吸熱發電片的一端與加熱爐盤連接,另一端連接有導熱絕緣材料的一側連接,所述導熱絕緣材料的另一側連接有散熱裝置。本實用新型能夠提高廢熱的利用率,減少環境的汙染。
【專利說明】擴散泵加熱器
【技術領域】
[0001]本實用新型屬於擴散泵【技術領域】,具體的說涉及一種擴散泵加熱器。
【背景技術】
[0002]擴散泵是目前獲得高真空的最廣泛、最主要的工具之一。擴散泵是一種次級泵,它需要機械泵作為前級泵。高真空泵擴散泵主要結構有泵體、冷卻帽、噴嘴、蒸氣導流管、加熱器和冷卻器等。擴散泵中的油在真空中加熱到沸騰溫度產生大量的油蒸氣,油蒸氣經導流管由各級噴嘴定向高速噴出。由於擴散泵進氣口附近被抽氣體的氣壓強高於蒸氣流中該氣體的分壓強,被抽氣體分子沿著蒸氣方向高速運動,氣體分子碰到泵臂又反射回來,再受到蒸氣流碰撞而重新沿蒸氣流方向流向泵壁。經過幾次碰撞後,氣體分子被壓縮到低真空端,再由下幾級噴嘴噴出的蒸氣進氣多級壓縮,最後由前級泵抽走,而油蒸氣在冷卻的泵壁上被冷凝後又返回到下層重新被加熱,如此循環工作達到抽氣目的。
[0003]擴散泵中重要組成部分的加熱器屬於現有技術產品,例如申請號為201010258016.4的發明專利公開的一種又擴散泵加熱器,包括套管和設置在套管內和套管緊密接觸的電熱管,電熱管從套管內延伸出並外接電源線;電熱管為裂鞘式,其結構呈U型,其開口端從套管內穿出,包括和套管接觸的導熱外殼和設置在外殼內的電熱絲,電熱絲自由端連接電源線,電熱絲和導熱外殼之間設有氧化鎂絕緣層;套管外設置和套管接觸的散熱條。
[0004]申請號為200420055963.3的實用新型專利公開了一種擴散泵加熱器,該加熱器與擴散泵的連接採用分體連接,並在加熱器的底部安裝了千斤頂和萬向輪,該加熱器包括外殼、加熱器墊板,加熱器及接線盒,加熱器為三塊扇形鑄鐵紅外加熱板,加熱板的下端設有不鏽鋼反射屏,底部設有千斤頂和萬向輪。
[0005]廢熱在工業能源損耗中佔大量的份額。現有的擴散泵加熱器在使用過程中,多採用空氣循環或冷卻水循環來實現,其方法是直接將工業廢熱通過循環直接排放到空氣或者冷卻水中。
[0006]現有技術由於只對一次能源進行了利用,既造成環境汙染,又浪費大量熱能,這種現實迫使人們除了從數量上尋求更多的一次能源之外,還要儘可能提高能源的利用效率。但一次能源利用率提高範圍有限,而且技術需求較高,在實現上成本需求量大。因此,對能源的再利用是現今迫切需求的。
實用新型內容
[0007]針對現有擴散泵加熱器熱能利用率低,環境汙染嚴重的問題,本實用新型提供一種擴散泵加熱器備,能夠利用加熱器的廢熱進行發電,提高熱能的利用率,減少環境的汙染。
[0008]本實用新型為解決上述問題所採用的技術方案是:
[0009]擴散泵加熱器,包括加熱爐盤,其特徵在於:還包括至少一片吸熱發電片,所述吸熱發電片的兩極經連接電極與外部的儲電裝置和/或負載連接;所述吸熱發電片的一端與加熱爐盤連接,另一端連接有導熱絕緣材料的一側連接,所述導熱絕緣材料的另一側連接有散熱裝置。
[0010]進一步地,所述的各個吸熱發電片經連接電極串聯。
[0011 ] 進一步地,所述吸熱發電片內設有熱電材料,所述熱電材料為碲化鉍基合金。
[0012]進一步地,所述吸熱發電片經高導熱率矽膠與吸熱爐盤連接粘貼。
[0013]進一步地,所述導熱絕緣材料為絕緣陶瓷片。
[0014]進一步地,所述絕緣陶瓷片經高導熱率矽膠與散熱裝置連接。
[0015]進一步地,所述散熱裝置為散熱片、水冷管或者風扇。
[0016]進一步地,所述連接電極與儲電裝置和/或負載之間還設有穩壓器和控制器。
[0017]與現有技術相比,本實用新型具有以下有益效果:
[0018]一、本實用新型擴散泵加熱器,包括加熱爐盤,還包括至少一片吸熱發電片,吸熱發電片的兩極經連接電極與外部的儲電裝置和/或負載連接;吸熱發電片的一端與加熱爐盤連接,另一端連接有導熱絕緣材料的一側連接,導熱絕緣材料的另一側連接有散熱裝置。通過在擴散泵加熱器的加熱爐盤連接吸熱發電片,將廢熱進行發電回收利用,提高廢熱的利用率,減少對環境的汙染。
[0019]二、本實用新型的各個吸熱發電片經連接電極串聯,能夠進一步地提高廢熱的利用率。
[0020]三、本實用新型的吸熱發電片內設有熱電材料,熱電材料為碲化鉍基合金。擴散泵的溫度不超過200°,並且在工廠大部分環節中廢熱的溫度都不超過200°,因此,利用碲化鉍基合金製成的吸熱發電片,能夠滿足大部分工廠的條件,提高本實用新型的使用範圍。
[0021]四、本實用新型的吸熱發電片經高導熱率矽膠與吸熱爐盤連接粘貼,具有粘結效果高,同時熱傳遞效果好的特點,能夠提高吸熱發電片的使用效率,使廢熱能夠進一步地的得到運用。
[0022]五、本實用新型的導熱絕緣材料為絕緣陶瓷片,具有到導熱率,同時具有絕緣效果優異的特點,保證吸熱發電片的電能能夠有效的利用。同時高導熱率能夠增加吸熱發電片兩端的溫差,提高發電的效率。
[0023]六、本實用新型的散熱裝置為散熱片、水冷管或者風扇,可以根據情況進行設定,提高本實用新型的實用性。
[0024]七、本實用新型的連接電極與儲電裝置和/或負載之間還設有穩壓器和控制器,通過穩壓器和控制器能夠根據情況進行選擇和設定,提高本實用新型的實用性能。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0025]圖1是本實用新型實施例一的結構示意圖;
[0026]圖中標記:1、加熱爐盤,2、吸熱發電片,3、加熱絲,4、絕緣保溫層,5、連接電極,6、散熱片,7、絕緣陶瓷片。
【具體實施方式】
[0027]下面將結合附圖及具體實施例對本實用新型作進一步的描述,所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例,並不是全部的實施例。基於本實用新型中的實施例,本領域的普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的其他所有實施例,都屬於本實用新型的保護範圍。
[0028]本實用新型擴散泵加熱器,包括加熱爐盤,還包括至少一片吸熱發電片,吸熱發電片的兩極經連接電極與外部的儲電裝置和/或負載連接;吸熱發電片的一端與加熱爐盤連接,另一端連接有導熱絕緣材料的一側連接,導熱絕緣材料的另一側連接有散熱裝置。通過在擴散泵加熱器的加熱爐盤連接吸熱發電片,將廢熱進行發電回收利用,提高廢熱的利用率,減少對環境的汙染。
[0029]本實用新型的各個吸熱發電片經連接電極串聯,能夠進一步地提高廢熱的利用率。
[0030]本實用新型的吸熱發電片內設有熱電材料,熱電材料為碲化鉍基合金。擴散泵的溫度不超過200°,並且在工廠大部分環節中廢熱的溫度都不超過200°,因此,利用碲化鉍基合金製成的吸熱發電片,能夠滿足大部分工廠的條件,提高本實用新型的使用範圍。
[0031]本實用新型的吸熱發電片經高導熱率矽膠與吸熱爐盤連接粘貼,絕緣陶瓷片經高導熱率矽膠與散熱裝置連接,具有粘結效果高,同時熱傳遞效果好的特點,能夠提高吸熱發電片的使用效率,使廢熱能夠進一步地的得到運用。
[0032]本實用新型的導熱絕緣材料為絕緣陶瓷片,具有到導熱率,同時具有絕緣效果優異的特點,保證吸熱發電片的電能能夠有效的利用。同時高導熱率能夠增加吸熱發電片兩端的溫差,提高發電的效率。
[0033]本實用新型的散熱裝置為散熱片、水冷管或者風扇,可以根據情況進行設定,提高本實用新型的實用性。
[0034]本實用新型的連接電極與儲電裝置和/或負載之間還設有穩壓器和控制器,通過穩壓器和控制器能夠根據情況進行選擇和設定,提高本實用新型的實用性能。
[0035]實施例一
[0036]本實施例的擴散泵加熱器,包括加熱爐盤,加熱爐盤設有加熱絲,加熱爐盤的外圍設有絕緣保溫層,還包括六個吸熱發電片,各個吸熱發電片經連接電極串聯,吸熱發電片的兩極經連接電極與外部的儲電裝置和/或負載連接;吸熱發電片的一端與加熱爐盤連接,另一端連接有導熱絕緣材料的一側連接,導熱絕緣材料的另一側連接有散熱裝置。通過在擴散泵加熱器的加熱爐盤連接吸熱發電片,將廢熱進行發電回收利用,提高廢熱的利用率,減少對環境的汙染。
[0037]本實施例的吸熱發電片的熱電材料為碲化鉍基合金(Bi2Te3),不僅能夠滿足擴散器加熱泵的廢熱利用,也能夠適用於大部分工廠的廢熱利用。現有技術中,對高溫部分的發電有詳細的技術,一般採用導熱的方式,將700°C左右的高溫熱能傳導到專用吸熱設備中進行發電處理。其發電方式不採用溫差發電片。但是這種技術成本高,受用面有限,熱利用率低。在工廠大部分環節中,其產生的溫度都低於200°C。本實施例的碲化鉍基合金Bi2Tejg承受的溫度為200°C,因此可在工廠環境中大範圍應用。在此僅以擴散泵為例進行說明的。因為擴散泵發熱盤的溫度經過測量擴散溫度不超過200°C。也可以將本實用新型的吸熱發電片運用於其他設備上進行廢熱發電利用,提高廢熱的利用率。
[0038]本實施例的導熱絕緣材料為絕緣陶瓷片,絕緣陶瓷片與吸熱發電片、散熱裝置的連接,以及吸熱發電片與加熱爐盤的連接都採用高導熱率矽膠進行連接。具有粘結效果高,同時熱傳遞效果好的特點。
[0039]本實施例的散熱裝置採用散熱片。
[0040]本實施例的連接電極與儲電裝置和/或負載之間還設有穩壓器和控制器。穩壓器和控制器均屬於現有技術,在此不再贅述,可以根據不同的使用場合,設定相匹配的穩壓器和控制器。
[0041]實施例二
[0042]本實施例的擴散泵加熱器,包括加熱爐盤,加熱爐盤設有加熱絲,還包括四個吸熱發電片,各個吸熱發電片經連接電極串聯,即吸熱發電片的P、N極交替連接,經連接電極串聯在一起,吸熱發電片的兩極經連接電極與外部的儲電裝置和/或負載連接;吸熱發電片的一端與加熱爐盤連接,另一端連接有導熱絕緣材料的一側連接,導熱絕緣材料的另一側連接有散熱裝置。通過在擴散泵加熱器的加熱爐盤連接吸熱發電片,將廢熱進行發電回收利用,提高廢熱的利用率,減少對環境的汙染。
[0043]本實施例的吸熱發電片的熱電材料為碲化鉍基合金(Bi2Te3),不僅能夠滿足擴散器加熱泵的廢熱利用,也能夠適用於大部分工廠的廢熱利用。本實施例的導熱絕緣材料為絕緣陶瓷片,絕緣陶瓷片與吸熱發電片、散熱裝置的連接,以及吸熱發電片與加熱爐盤的連接都採用高導熱率矽膠進行連接。具有粘結效果高,同時熱傳遞效果好的特點。
[0044]本實施例的散熱裝置採用風扇。
[0045]本實施例的連接電極與儲電裝置和/或負載之間還設有穩壓器和控制器。穩壓器和控制器均屬於現有技術,在此不再贅述,可以根據不同的使用場合,設定相匹配的穩壓器和控制器。
【權利要求】
1.擴散泵加熱器,包括加熱爐盤,其特徵在於:還包括至少一片吸熱發電片,所述吸熱發電片的兩極經連接電極與外部的儲電裝置和/或負載連接;所述吸熱發電片的一端與加熱爐盤連接,另一端連接有導熱絕緣材料的一側連接,所述導熱絕緣材料的另一側連接有散熱裝置。
2.根據權利要求1所述的擴散泵加熱器,其特徵在於:所述的各個吸熱發電片經連接電極串聯。
3.根據權利要求1或2所述的擴散泵加熱器,其特徵在於:所述吸熱發電片內設有熱電材料,所述熱電材料為締化秘基合金。
4.根據權利要求3所述的擴散泵加熱器,其特徵在於:所述吸熱發電片經高導熱率矽膠與吸熱爐盤連接粘貼。
5.根據權利要求1所述的擴散泵加熱器,其特徵在於:所述導熱絕緣材料為絕緣陶瓷片。
6.根據權利要求5所述的擴散泵加熱器,其特徵在於:所述絕緣陶瓷片經高導熱率矽膠與散熱裝置連接。
7.根據權利要求1所述的擴散泵加熱器,其特徵在於:所述散熱裝置為散熱片、水冷管或者風扇。
8.根據權利要求1所述的擴散泵加熱器,其特徵在於:所述連接電極與儲電裝置和/或負載之間還設有穩壓器和控制器。
【文檔編號】H02N11/00GK203416194SQ201320531373
【公開日】2014年1月29日 申請日期:2013年8月29日 優先權日:2013年8月29日
【發明者】郭成 申請人:成都市工業職業技術學校

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