高精度槽體換熱系統的製作方法

2023-05-15 14:15:51 2

專利名稱：高精度槽體換熱系統的製作方法
技術領域：
高精度槽體換熱系統技術領域：
本實用新型涉及ー種多晶矽片制絨過程中槽體溫度控制的技木，尤其涉及ー種高精度槽體換熱系統。
背景技木目前，公知的制多晶絨槽體溫度控制方法為槽體中加入冷卻細管，通過外部冰水機把冷水通過細管傳入槽體內達到槽體溫度控制的目的。但是這種常規的方法有極大的弊端，這種傳統的冷卻方式使得槽體內局部溫度 控制精度偏低，對矽片絨面產生極大影響，致使多晶絨面不均勻，絨面深度相差較大。致使矽片的反射率偏高影響電池效率。

實用新型內容為了克服現有的制絨槽體冷卻系統對溫度控制的不均勻，本著實用新型的ー種優異制絨槽體冷卻系統，不僅準確控制槽體溫度，並且能夠充分忽略管路中對溫度的影響。可使多晶絨面達到理想的效果。本實用新型的上述目的通過以下的技術方案來實現ー種高精度槽體換熱系統，其特徵在於它包括換熱器、上槽體、下槽體、泵浦、過濾裝置和水管，所述換熱器、上槽體、下槽體、泵浦和過濾裝置依次連接並形成迴路，所述換熱器通過冷熱水交換管路連接冰水機，構成冷卻水循環系統。所述換熱器和上槽體之間的水管支管上設有隔膜閥。所述泵浦出ロ處設有洩壓保護管路。所述換熱器上設有積液排放管路。本實用新型的結構設計，使得藥水在上層槽體循環過程中吸收熱量，經循環系統進入下槽體內。經泵浦和過濾器進入熱交換裝置，使之熱量充分交換進入上槽體工作區域，完成整個循環。本實用新型的有益效果是可以使藥液在冷卻系統內充溫度充分降低到最佳制絨溫度。且溫度分布均勻，解決了局部溫度過高的問題。

圖I為本實用新型的結構示意圖。
具體實施方式
以下結合附圖對本實用新型進ー步詳述如圖I所示，ー種高精度槽體換熱系統，其特徵在於它包括換熱器I、上槽體2、下槽體3、泵浦4、過濾裝置5和水管6，所述換熱器I、上槽體2、下槽體3、泵浦4和過濾器5依次連接並形成迴路，所述換熱器I通過冷熱水交換管路7連接冰水機8，構成冷卻水循環系統。[0013]如圖I所示，所述換熱器I和上槽體2之間的水管支管9上設有隔膜閥10 ;所述泵浦4出口處設有洩壓保護管路11 ;所述換熱器I上設有積液排放管路12。如圖I所示，本實用新型的工作原理冷水通過冰水機8從管路通過法蘭連接進入換熱器1，換熱器I中冷卻藥液通過管路進入上槽體2，換熱器I和上槽體2之間的水管支管9上設有隔膜閥10，調節控制各支管的流量；上槽體2經過反應後高溫藥水通過回流管路進入下槽體3內，下槽體3高溫藥水通過磁力泵浦4經過過濾器5進入換熱器1，多餘熱 量經過換熱器I時被冰水吸收，這樣低溫藥水通過管路進入上槽體1，達到工作時的需要溫度。在此過程中通過了保護裝置，如積液排放管路12、洩壓保護管路11、隔膜閥10等流量調節裝置等等，確保整個換熱過程安全完成，實現冷卻過程。則本技術方案實施完畢。
權利要求1.一種高精度槽體換熱系統，其特徵在於它包括換熱器、上槽體、下槽體、泵浦、過濾裝置和水管，所述換熱器、上槽體、下槽體、泵浦和過濾裝置依次連接並形成迴路，所述換熱器通過冷熱水交換管路連接冰水機，構成冷卻水循環系統。
2.根據權利要求I所述的一種高精度槽體換熱系統，其特徵在於所述換熱器和上槽體之間的水管支管上設有隔膜閥。
3.根據權利要求I所述的一種高精度槽體換熱系統，其特徵在於所述泵浦出口處設有洩壓保護管路。
4.根據權利要求I所述的一種高精度槽體換熱系統，其特徵在於所述換熱器上設有積液排放管路。
專利摘要本實用新型公開了一種高精度槽體換熱系統，其特徵在於它包括換熱器、上槽體、下槽體、泵浦、過濾裝置和水管，所述換熱器、上槽體、下槽體、泵浦和過濾裝置依次連接並形成迴路，所述換熱器通過冷熱水交換管路連接冰水機，構成冷卻水循環系統。本實用新型的有益效果是可以使藥液在冷卻系統內充溫度充分降低到最佳制絨溫度。且溫度分布均勻，解決了局部溫度過高的問題。
文檔編號C30B33/10GK202643915SQ20122010411
公開日2013年1月2日 申請日期2012年3月19日 優先權日2012年3月19日
發明者錢誠, 施利君 申請人:蘇州晶洲裝備科技有限公司