電路及包含該電路的水冷式矽片切片機的製作方法
2023-05-07 09:21:26
專利名稱：電路及包含該電路的水冷式矽片切片機的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及用於水冷式矽片切片機的電路，更具體地涉及調節水冷式矽片切片機瞬時水壓的電路。本實用新型還涉及包括所述電路的水冷式矽片切片機。
背景技術：
隨著全球各國綠色能源的推廣和近年來半導體產業的超常規發展，矽片市場的供給已極度不平衡，切割加工能力的落後和產能的嚴重地制約了產業的發展。近年來出現的新型矽片多絲切割技術現已是矽片(晶圓)上遊生產的關鍵技術，具有切割表面質量高、切割效率高和可切割大尺寸材料、方便後續加工等特點。目前用於工業應用的主流多線切割設備包括瑞士 HCT的B5型切片機、梅耶博格 (Meyer Burger)的DS264/271型切片機和日本NTC的MWM442D型切片機。這些設備均採用可編程控制器(PLC)作為控制部件，用於集中控制處理設備上的模擬量信號和數字量信號。上述切片機均採用冷卻水對設備進行冷卻，不同的設備對冷卻水壓力有不同的要求，例如，DS271/1型切片機對冷卻水的要求是進水水壓在2 ^ar之間，與出水管道的壓差不得低於1. 5bar0進水水壓過高或過低均會導致設備停機。但是供水系統水壓有時會發生瞬時波動，例如供水系統電源切換時，水壓通常會發生數秒鐘的瞬時波動。該數秒鐘的瞬時水壓波動通常不會對切片機的運行產生不利的影響，但是當壓力傳感器將該水壓的瞬時波動信號輸送至切片機軟體控制系統後，控制系統會誤認為冷卻水水壓過低，會立即輸出停機信號而導致設備停機。
實用新型內容因此在實際生產中，需要一種用於處理瞬時波動水壓信號裝置，防止因瞬時水壓波動導致設備停機，妨礙正常生產。本實用新型提供了一種處理瞬時波動水壓信號的電路，該電路安裝在切片機壓力傳感器和控制系統之間，屬於硬體控制，不改變原來設備的軟體控制系統，只是將原來的報警信號經過適當的處理再輸出輸入到控制系統。本實用新型的電路可使用任何時間繼電器，包括通電延時繼電器和斷電延時繼電器。本實用新型任選可在壓力傳感器和時間繼電器間連接使用中間繼電器，其中，壓力傳感器的輸出端與中間繼電器的線圈相連，中間繼電器的常閉觸點與通電延時繼電器線圈輸入端相連，通電延時繼電器輸出端與設備原壓力信號線相連。具體地，延時繼電器的延時時間設置為5 60秒。在使用斷電延時繼電器時，由於可不使用中間繼電器，減小了電路規模，避免電路出現故障的機率，因此本實用新型優選使用斷電延時繼電器。在生產實踐中，供水系統水壓瞬時波動時間通常在數秒至數十秒鐘之內，例如 1 60秒、1 40秒、1 20秒、1 10秒、1 5秒、1 4秒、1 3秒和1 2秒，如此短暫的波動並不會對設備產生不利的影響。因此作為一種改進，本實用新型優選使用精度為秒級的時間繼電器，該時間繼電器的預先設定的延時時間通常根據實際的水壓波動情況設置，例如1 60秒、1 40秒、1 20秒、1 10秒、1 5秒、1 4秒、1 3秒和1 2秒，優選為設置在5 10秒，更優選為5秒。在本實用新型中所述的水冷式矽片切片機是指任何使用循環水進行冷卻的矽片切片機，這類切片機均可使用本實用新型所述的電路來防止水壓瞬時波動造成的停機。這類水冷式矽片切片機包括，但不限於梅耶博格公司DS264型切片機、梅耶博格公司DS271 型切片機和應用材料公司HCT-B5型切片機。
通過閱讀參照以下附圖所作的對非限制性實施例所作的詳細描述，本發明的其它特徵、目的和優點將會變得更加明顯圖1是本實用新型電路的流程圖；圖2是本實用新型使用了斷電延時繼電器的電路圖；圖3是本實用新型使用了通電延時繼電器的電路圖。
具體實施方式
附圖1是本實用新型電路的流程圖，其中壓力迴路表示由原設備自身的壓力傳感器迴路，設備控制系統為原設備自身的控制系統。本實用新型電路包括時間繼電器，該時間繼電器的線圈輸入端與矽片切片機的壓力傳感器的輸出端相連，輸出端與所述矽片切片機的壓力傳感器的壓力信號線相連，形成信號延時迴路。當遇到瞬時的水壓波動，例如1 5 秒內水壓從^ar下降到2bar，壓力傳感器將該壓力信號轉化為電信號並輸出。時間繼電器通常根據水壓波動的實際情況預先設定一個延時時間，例如1 60秒、1 40秒、1 20 秒、1 10秒、1 5秒、1 4秒、1 3秒和1 2秒，當接受到來自壓力傳感器的電信號後，會自動截留在設定延時時間段內的電信號，從而控制系統不會輸出停機的信號，保證了機器的正常運轉；若水壓波動為非瞬時波動，即波動的時間超過預先設定的延時時間，時間繼電器會輸出水壓波動信號到控制系統，從而控制設備停機，防止了設備的空轉。因此本發明的電路有效地對瞬時波動水壓進行了處理，保證了切片機的正常運行。附圖2說明了本實用新型的使用斷電延時繼電器的實施方案，其中迴路1 壓力傳感器101—端與電源輸入端100相連，另一端與斷電延時繼電器線圈102相連，斷電延時繼電器線圈102另一端再與電源輸入端100相連，形成閉合迴路。迴路2 斷電延時繼電器常閉觸點103—端與電源輸入端100相連，另一端與設備控制系統輸入點104相連，設備控制系統輸入點104另一端與電源輸入端100相連，形成閉合迴路。在工作過程中，當水壓正常時，迴路1導通工作，斷電延時繼電器線圈102得電，則迴路2中斷電延時繼電器常閉觸點103斷開，則迴路2不工作，設備控制系統輸入點104無信號輸入，系統不產生水壓報警。當水壓瞬間波動時，當波動時間小於斷電延時繼電器設定時間時，則斷電延時繼電器線圈102得電，則迴路2中斷電延時繼電器常閉觸點103斷開，則迴路2不工作，設備
4控制系統輸入點104無信號輸入，系統不產生水壓報警。當水壓瞬間波動時間在3 5秒，當波動時間大於斷電延時繼電器設定時間時，則斷電延時繼電器線圈102失電，則迴路2中斷電延時繼電器常閉觸點103閉合，則迴路2工作，設備控制系統輸入點104有信號輸入，系統產生水壓報警。這樣就判斷水壓不是瞬間波動，而是水壓低，則正常報警。在此情況下，壓力傳感器安裝於DS271/1型切片機進水管道過濾器下端。斷電延時繼電器的預先設定的時間為10秒。供水泵電源切換時間一般在2 3秒，瞬時水壓波動時間在3 5秒，此時在時間繼電器的作用下未出現停機現象。附圖3說明了本實用新型的使用通電延時繼電器的實施方案，其中迴路1 壓力傳感器201 —端與電源輸入端200相連，另一端與中間繼電器線圈 202相連，中間繼電器線圈202另一端再與電源輸入端200相連，形成閉合迴路。迴路2 中間繼電器常閉觸點203 —端與電源輸入端200相連，另一端與通電延時繼電器線圈204相連，通電繼電器線圈204另一端再與電源輸入端200相連，形成閉合迴路。迴路3 通電延時繼電器常開觸點205 —端以電源輸入端200相連，另一端與設備控制系統輸入點206相連，設備控制系統另一端再於電源輸入端200相連，形成閉合迴路。此時，壓力傳感器安裝於切片機進水管道過濾器下端。通電延時繼電器的預先設定的時間為10秒。供水泵電源切換時間一般在2 3秒，瞬時水壓波動時間在3 5秒， 此時在時間繼電器的作用下未出現停機現象。本領域技術人員應能理解，上述實施例均是示例性而非限制性的。在不同實施例中出現的不同技術特徵可以進行組合，以取得有益效果。本領域技術人員在研究附圖、說明書及權利要求書的基礎上，應能理解並實現所揭示的實施例的其他變化的實施例。在權利要求書中，術語「包括」並不排除其他裝置或步驟；不定冠詞「一個」不排除多個；術語「第一」、「第二」用於標示名稱而非用於表示任何特定的順序。權利要求中的任何附圖標記均不應被理解為對保護範圍的限制。權利要求中出現的多個部分的功能可以由一個單獨的硬體或軟體模塊來實現，某一部分的功能也可以由多個不同的硬體或軟體模塊來實現。某些技術特徵出現在不同的從屬權利要求中並不意味著不能將這些技術特徵進行組合以取得有益效果。
權利要求1.一種用於水冷式矽片切片機的電路，其特徵在於所述電路包括一個時間繼電器，所述時間繼電器的線圈輸入端與所述矽片切片機的壓力傳感器的輸出端相連，所述時間繼電器的輸出端與所述矽片切片機的壓力傳感器的壓力信號線相連。
2.根據權利要求1所述的電路，其特徵在於所述時間繼電器為通電延時繼電器。
3.根據權利要求1所述的電路，其特徵在於所述時間繼電器為斷電延時繼電器。
4.根據權利要求2所述的電路，其特徵在於在所述矽片切片機的壓力傳感器與所述時間繼電器之間還連接有中間繼電器，所述壓力傳感器的輸出端與所述中間繼電器的線圈相連，所述中間繼電器的常閉觸點與所述通電延時繼電器線圈輸入端相連，所述通電延時繼電器輸出端與設備原壓力信號線相連。
5.根據權利要求1 3任一項所述的電路，其特徵在於所述時間繼電器的精度為秒級。
6.根據權利要求5所述的電路，其特徵在於所述延時繼電器的延時時間設置為5 60秒。
7.根據權利要求6所述的電路，其特徵在於所述延時繼電器的延時時間設置為5秒。
8.一種水冷式矽片切片機，其特徵在於包括根據權利要求1 6中任一項所述的電路。
專利摘要本實用新型公開了一種用於水冷式矽片切片機的電路及包含該電路的水冷式矽片切片機，所述電路包括一個時間繼電器，所述時間繼電器的線圈輸入端與所述矽片切片機的壓力傳感器的輸出端相連，輸出端與所述矽片切片機的壓力傳感器的壓力信號線相連。本實用新型所述的電路可用於任何水冷式的矽片切片機。
文檔編號B28D5/00GK202200408SQ201120102020
公開日2012年4月25日 申請日期2011年4月8日 優先權日2011年4月8日
發明者繆海波 申請人:蘇州協鑫光伏科技有限公司