微型氣壓動力裝置的製造方法

2023-04-25 10:58:31 1

專利名稱:微型氣壓動力裝置的製造方法
【專利摘要】一種微型氣壓動力裝置，包括：微型氣體傳輸裝置，包括堆疊設置的進氣板、共振片以及壓電致動器，其中共振片與壓電致動器之間具有間隙形成的一第一腔室，使壓電致動器受驅動時，氣體由進氣板導入，經共振片以進入第一腔室內，再向下傳輸，以形成壓力梯度流道持續推出氣體；微型閥門裝置包括堆疊設置的集氣板、閥門片以及出口板；當氣體自微型氣體傳輸裝置向下傳輸至集氣腔室後，再傳遞至微型閥門裝置內，以因應氣體的單向流動而使閥門片的閥孔進行開或關，俾進行集壓或卸壓。
【專利說明】微型氣壓動力裝置 【技術領域】
[0001]本實用新型是關於一種氣壓動力裝置，尤指一種微型超薄且靜音的微型氣壓動力 裝置。 【【背景技術】】
[0002] 目前於各領域中無論是醫藥、電腦科技、列印、能源等工業，產品均朝精緻化及微 小化方向發展，其中微幫浦、噴霧器、噴墨頭、工業列印裝置等產品所包含的流體輸送結構 為其關鍵技術，是以，如何借創新結構突破其技術瓶頸，為發展的重要內容。
[0003] 舉例來說，於醫藥產業中，許多需要採用氣壓動力驅動的儀器或設備，通常採以傳 統馬達及氣壓閥來達成其氣體輸送的目的。然而，受限於此等傳統馬達以及氣體閥的體積 限制，使得此類的儀器設備難以縮小其整體裝置的體積，即難以實現薄型化的目標，更無法 使的達成可攜式的目的。此外，這些傳統馬達及氣體閥於作動時亦會產生噪音的問題，導致 使用上的不便利及不舒適。
[0004] 因此，如何發展一種可改善上述已知技術缺失，可使傳統採用氣體傳輸裝置的儀 器或設備達到體積小、微型化且靜音，進而達成輕便舒適的可攜式目的的微型氣壓動力裝 置，實為目前迫切需要解決的問題。 【【實用新型內容】】
[0005] 本實用新型的主要目的在於提供一種適用於可攜式或穿戴式儀器或設備中的微 型氣壓動力裝置，藉由整合微型氣體傳輸裝置與微型閥門裝置，俾解決已知技術的採用氣 壓動力驅動的儀器或設備所具備的體積大、難以薄型化、無法達成可攜式的目的，以及噪音 大等缺失。
[0006] 為達上述目的，本實用新型的一較廣義實施態樣為提供一種微型氣壓動力裝置， 包括:微型氣體傳輸裝置，包括:一進氣板，具有至少一進氣孔、至少一總線孔及一中心凹 部，該至少一進氣孔供導入氣體，該總線孔對應該進氣孔，且引導該進氣孔的氣體匯流至該 中心凹部所構成的該匯流腔室;一共振片，具有一中空孔洞，對應該進氣板的該匯流腔室； 以及一壓電致動器，具有一懸浮板，該懸浮板具有介於8mm-12mm之間的長度、介於8mm-12mm 之間的寬度以及介於〇. 2mm-0.29mm之間的厚度;一外框，具有至少一支架，連接設置於該懸 浮板與該外框之間；以及一壓電陶瓷板，貼附於該懸浮板的一表面，且該壓電陶瓷板具有介 於8mm-12mm之間的長度、介於8mm-12mm之間的寬度以及介於0 · 0 8mm_0 · 2mm之間的厚度，且 該長度及該寬度比值為0.75倍-1.25倍之間；其中，上述的進氣板、共振片及壓電致動器依 序對應對疊設置定位，且該共振片與該壓電致動器之間具有一間隙形成一第一腔室，以使 該壓電致動器受驅動時，氣體由該進氣板的該至少一進氣孔導入，經該至少一總線孔匯集 至該中心凹部，再流經該共振片的該中空孔洞，以進入該第一腔室內，再由該壓電致動器的 該至少一支架之間的一空隙向下傳輸，以持續推出氣體；以及一微型閥門裝置，包括:一閥 門片，具有一閥孔，該閥門片具有介於〇. 1_-〇. 3mm之間的厚度;一集氣板，具有一第一貫穿 孔、一第二貫穿孔、一第一卸壓腔室及一第一出口腔室，以及具有一基準表面，該第一出口 腔室具有一凸部結構，以對應該閥門片的該閥孔而設置，有利牴觸該閥孔形成一預力作用， 完全封閉該閥孔，該凸部結構的高度高於該集氣板的該基準表面，該第一貫穿孔與該第一 卸壓腔室相連通，該第二貫穿孔與該第一出口腔室相連通；以及一出口板，具有一第三貫穿 孔、一第四貫穿孔、一第二卸壓腔室及一第二出口腔室及至少一限位結構，以及具有一基準 表面，該第三貫穿孔端部具有一凸部結構，該凸部結構的高度高於該出口板的該基準表面， 有利該閥門片快速牴觸形成一預力作用，完全封閉該第三貫穿孔，該第三貫穿孔對應於該 集氣板的該第一貫穿孔，且與該第二卸壓腔室相連通，該第四貫穿孔對應於該第二貫穿孔， 且與該第二出口腔室相連通，該至少一限位結構設置於該第二卸壓腔室內，該限位結構的 高度介於〇. 3mm-0.5_之間，以及該第二卸壓腔室及該第二出口腔室之間具有一連通流道； 其中，上述的集氣板、閥門片及出口板依序對應堆疊設置定位，該閥門片設置於該集氣板及 該出口板之間，且該閥門片的閥孔對應設置於該第二貫穿孔及該第四貫穿孔之間，氣體自 該微型氣體傳輸裝置向下傳輸至該微型閥門裝置內時，由該第一貫穿孔及該第二貫穿孔進 入該第一卸壓腔室及該第一出口腔室內，而導入氣體由該閥門片的閥孔流入該第四貫穿 孔內進行集壓作業，當集壓氣體大於導入氣體時，集壓氣體自該第四貫穿孔朝該第二出口 腔室流動，以使該閥門片位移，並使該閥門片的閥孔抵頂於該集氣板而關閉，且該至少一限 位結構輔助支撐該閥門片，以防止該閥門片塌陷，同時集壓氣體於該第二出口腔室內可沿 連通流道流至該第二卸壓腔室內，此時於第二卸壓腔室內該閥門片位移，集壓氣體可由該 第三貫穿孔流出，以進行卸壓作業。
[0007]為達上述目的，本實用新型的另一較廣義實施態樣為提供一種微型氣壓動力裝 置，包括:一微型氣體傳輸裝置，包括:一進氣板;一共振片；以及一壓電致動器;其中，上述 的進氣板、共振片及壓電致動器依序對應堆疊設置定位，且該共振片與該壓電致動器之間 具有一間隙形成一第一腔室，該壓電致動器受驅動時，氣體由該進氣板進入，流經該共振 片，以進入該第一腔室內再向下傳輸；以及一微型閥門裝置，包括:一集氣板，具有至少兩貫 穿孔及至少兩腔室；一閥門片，具有一閥孔；以及一出口板，具有至少兩貫穿孔及至少兩腔 室；其中，上述的集氣板、閥門片以及出口板依序對應堆疊設置定位，該微型氣體傳輸裝置 與該微型閥門裝置之間形成一集氣腔室，當氣體自該微型氣體傳輸裝置向下傳輸至該集氣 腔室，再傳遞至該微型閥門裝置內，透過該集氣板、該出口板分別具有的至少兩貫穿孔及至 少兩腔室，以因應氣體的單向流動而使該閥門片的該閥孔對應進行開或關，俾進行集壓或 卸壓作業。
[0008] 為達上述目的，本實用新型的又一較廣義實施態樣為提供一種微型氣壓動力裝 置，包括:一微型氣體傳輸裝置，包括依序堆疊設置一進氣板、一共振片以及一壓電致動器， 其中該共振片與該壓電致動器之間具有一間隙形成一第一腔室，該壓電致動器受驅動時， 氣體由該進氣板進入，流經該共振片，以進入該第一腔室內再傳輸；以及一微型閥門裝置， 包括依序堆疊設置一集氣板、一閥門片以及一出口板，該閥門片具有一閥孔;其中，當氣體 自該微型氣體傳輸裝置傳輸至該微型閥門裝置內，俾進行集壓或卸壓作業。 【【附圖說明】
】
[0009] 圖1A為本實用新型為較佳實施例的微型氣壓動力裝置的正面分解結構示意圖。
[0010] 圖1B為圖1A所示的微型氣壓動力裝置的正面組合結構示意圖。
[0011] 圖2Α為圖1Α所示的微型氣壓動力裝置的背面分解結構示意圖。
[0012] 圖2Β為圖1Α所示的微型氣壓動力裝置的背面組合結構示意圖。
[0013]圖3Α為圖1Α所示的微型氣壓動力裝置的壓電致動器的正面組合結構示意圖。
[0014] 圖3Β為圖1Α所示的微型氣壓動力裝置的壓電致動器的背面組合結構示意圖。
[0015] 圖3C為圖1Α所示的微型氣壓動力裝置的壓電致動器的剖面結構示意圖。
[0016] 圖4為圖3Α所示的壓電致動器的多種實施態樣示意圖。
[0017]圖5Α至圖5Ε為圖1Α所示的微型氣壓動力裝置的微型氣體傳輸裝置的作動示意圖。
[0018] 圖6Α為圖1Α所示的微型氣壓動力裝置的微型閥門裝置的集壓作動示意圖。
[0019] 圖6Β為圖1Α所示的微型氣壓動力裝置的微型閥門裝置的卸壓作動示意圖。
[0020] 第7Α至圖7Ε為圖1Α所示的微型氣壓動力裝置的集壓作動示意圖。
[0021] 圖8為圖1Α所示的微型氣壓動力裝置的降壓或是卸壓作動示意圖。
[0022]【符號說明】
[0023] 1:微型氣壓動力裝置
[0024] 1Α:微型氣體傳輸裝置
[0025] 1Β:微型閥門裝置
[0026] 11:進氣板
[0027] 110:進氣孔
[0028] 111:中心凹部
[0029] 112:總線孔
[0030] 12:共振片
[0031] 120:中空孔洞
[0032] 121:第一腔室
[0033] 13:壓電致動器
[0034] 130:懸浮板
[0035] 130a:懸浮板的上表面
[0036] 130b:懸浮板的下表面
[0037] 130c:凸部
[0038] 131:外框
[0039] 131a:外框的上表面
[0040] 131b:外框的下表面 [0041 ] 132:支架
[0042] 132a:支架的上表面
[0043] 132b:支架的下表面
[0044] 133:壓電陶瓷板
[0045] 134、151:導電接腳
[0046] 135:空隙
[0047] 141、142:絕緣片
[0048] 15:導電片
[0049] 16:集氣板
[0050] 160:集氣板的表面
[00511 161:集氣板的基準表面
[0052] 162:集氣腔室
[0053] 163:第一貫穿孔
[0054] 164:第二貫穿孔
[0055] 165:第一卸壓腔室
[0056] 166:第一出口腔室
[0057] 167、181a:凸部結構
[0058] 17:閥門片
[0059] 170:閥孔
[0060] 171:定位孔洞
[0061] 18:出口板
[0062] 180:出口板的基準表面
[0063] 181:第三貫穿孔
[0064] 182:第四貫穿孔
[0065] 183:第二卸壓腔室
[0066] 184:第二出口腔室
[0067] 185:連通流道
[0068] 186:卸壓孔
[0069] 187:出口板的第二表面
[0070] 188:限位結構
[0071] 19:出口
[0072] gO:間隙
[0073] (a)~（1):導電致動器的不同實施態樣
[0074] a0、i0、j0:懸浮板
[0075] al、il、jl:外框
[0076] a2、i2:支架
[0077] a3:空隙 【【具體實施方式】】
[0078]體現本實用新型特徵與優點的一些典型實施例將在後段的說明中詳細敘述。應理 解的是本實用新型能夠在不同的態樣上具有各種的變化，其皆不脫離本實用新型的範圍， 且其中的說明及圖示在本質上是當作說明之用，而非架構於限制本實用新型。
[0079]本實用新型的微型氣壓動力裝置1是可應用於醫藥生技、能源、電腦科技或是列印 等工業，俾用以傳送氣體，但不以此為限。請參閱圖1A、圖1B、圖2A及圖2B，圖1A為本實用新 型較佳實施例的微型氣壓動力裝置的正面分解結構示意圖，圖1B為圖1A所示的微型氣壓動 力裝置的正面組合結構示意圖、圖2A為圖1A所示的微型氣壓動力裝置的背面分解結構示意 圖，圖2B則為圖1A所示的微型氣壓動力裝置的背面組合結構示意圖。如圖1A及圖2A所示，本 實用新型的微型氣壓動力裝置1是由微型氣體傳輸裝置1A以及微型閥門裝置1B所組合而 成，其中微型氣體傳輸裝置1A具有進氣板11、共振片12、壓電致動器13、絕緣片141、142、導 電片15等結構，其是將壓電致動器13對應於共振片12而設置，並使進氣板11、共振片12、壓 電致動器13、絕緣片141、導電片15及另一絕緣片142等依序堆疊設置，且該壓電致動器13是 由一懸浮板130以及一壓電陶瓷板133組裝而成；以及微型閥門裝置1B則由集氣板16、閥門 片17以及出口板18等依序堆疊組裝而成，但不以此為限。且於本實施例中，如圖1A所示，集 氣板16不僅為單一的板件結構，亦可為周緣具有側壁的框體結構，且由該周緣所構成的側 壁與其底部的板件共同定義出一容置空間，故當本實用新型的微型氣壓動力裝置1組裝完 成後，則其正面示意圖會如圖1B所示，可見該微型氣體傳輸裝置1A是容設於集氣板16的容 置空間中，且其下是與閥門片17及出口板18堆疊而成。而其組裝完成的背面示意圖則可見 該出口板18上的卸壓孔186及出口 19,出口 19用以與一裝置(未圖示)連接，卸壓孔186則供 以使微型閥門裝置1B內的氣體排出，以達卸壓的功效。藉由此微型氣體傳輸裝置1A以及微 型閥門裝置1B的組裝設置，以使氣體自微型氣體傳輸裝置1A的進氣板11上的至少一進氣孔 110進氣，並透過壓電致動器13的作動，而流經多個壓力腔室(未圖示），並向下傳輸，進而可 使氣體於微型閥門裝置1B內單向流動，並將壓力蓄積於與微型閥門裝置1B的出口端相連的 一裝置(未圖示）中，且當需進行卸壓時，則調控微型氣體傳輸裝置1A的輸出量，使氣體經由 微型閥門裝置1B的出口板18上的卸壓孔186而排出，以進行卸壓。
[0080]請續參閱圖1A及圖2A，如圖1A所示，微型氣體傳輸裝置2A的進氣板11是具有至少 一進氣孔110,於本實施例中，進氣孔110的數量是為4個，但不以此為限，其主要用以供氣體 自裝置外順應大氣壓力的作用而自該至少一進氣孔110流入微型氣體傳輸裝置2A內。且又 如圖2A所示，由進氣板11的下表面可見，其上具有至少一總線孔112,用以與進氣板11上表 面的該至少一進氣孔110對應設置，並可將自該至少一進氣孔110進入的氣體引導並匯流集 中至一中心凹部111，以向下傳遞。是以於本實施例中，進氣板11具有一體成型的進氣孔 110、總線孔112及中心凹部111，且於該中心凹部111處即對應形成一匯流氣體的匯流腔室， 以供氣體暫存。於一些實施例中，進氣板11的材質是可為但不限為由一不鏽鋼材質所構成， 且其厚度較佳值是介於〇.4mm-〇. 6mm之間，而其最佳值為0.5mm，但不以此為限。於另一些實 施例中，由該中心凹部111處所構成的匯流腔室的深度與這些總線孔112的深度相同，且該 匯流腔室及該總線孔112的深度的較佳值是介於0 · 2mm-0 · 3mm之間，但不以此為限。共振片 12是由一可撓性材質所構成，但不以此為限，且於共振片12上具有一中空孔洞120,是對應 於進氣板11的下表面的中心凹部111而設置，以使氣體可向下流通。於另一些實施例中，共 振片是可由一銅材質所構成，但不以此為限，且其厚度的較佳值是介於0.03mm-0.08mm之 間，而其最佳值為0.05mm，但亦不以此為限。
[0081]請同時參閱圖3A、圖3B及圖3C，其是分別為圖1A所示的微型氣壓動力裝置的壓電 致動器的正面結構示意圖、背面結構示意圖以及剖面結構示意圖，如圖所示，壓電致動器13 是由一懸浮板130、一外框131、至少一支架132以及一壓電陶瓷板133所共同組裝而成，其 中，該壓電陶瓷板133貼附於懸浮板130的下表面130b，以及該至少一支架132是連接於懸浮 板130以及外框131之間，於本實施例中，該支架132的兩端點是連接於外框131，另一端點則 連接於懸浮板130,且於支架132、懸浮板130及外框131之間更具有至少一空隙135,用以供 氣體流通，且該懸浮板130、外框131以及支架132的型態及數量是具有多種變化。另外，外框 131更具有一向外凸設的導電接腳134,用以供電連接之用，但不以此為限。於一些實施例 中，壓電致動器13的厚度較佳值是介於0.28mm至0.49mm之間，而其最佳值是為0.37mm，但亦 不以此為限。
[0082] 於本實施例中，懸浮板130是為一階梯面的結構，意即於懸浮板130的上表面130a 更具有一凸部130c，該凸部130c可為但不限為一圓形凸起結構，且凸部130c的高度較佳值 是介於0 · 02mm_0 · 08mm之間，而最佳值為0 · 03mm，其直徑為5 · 5mm，但不以此為限。請同時參 閱圖3A及圖3C即可見，懸浮板130的凸部130c是與外框131的上表面131a共平面，且懸浮板 130的上表面130a及支架132的上表面132a亦為共平面，且該懸浮板130的凸部130c及外框 131的上表面131a與懸浮板130的上表面130a及支架132的上表面132a之間是具有一特定深 度。至於懸浮板130的下表面130b，則如圖3B及圖3C所示，其與外框131的下表面131b及支架 132的下表面132b為平整的共平面結構，而壓電陶瓷板133則貼附於此平整的懸浮板130的 下表面130b處。於一些實施例中，懸浮板130、支架132以及外框131是可為一體成型的結構， 且可由一金屬板所構成，例如可由不鏽鋼材質所構成，但不以此為限。且於一些實施例中， 該懸浮板130厚度的較佳值是介於0.2mm-〇. 29mm之間，而其最佳值為0.26mm，另該懸浮板的 長度較佳值介於之間，而其最佳值為10.1mm、寬度較佳值介於8mm-12mm之間，而其 最佳值為10.1mm但不以此為限。至於該外框131的厚度的較佳值是介於0.2mm-0.4mm之間， 而其最佳值為〇.3mm，但不以此為限。
[0083] 又於另一些實施例中，壓電陶瓷板133的厚度的較佳值是介於0.08mm-0.2mm之間， 且其最佳值為〇. l〇mm，而該懸浮板的長度較佳值介於之間，而其最佳值為10mm、寬 度較佳值介於8mm-12mm之間，而其最佳值為10mm，另長度及寬度比的較佳值為0.75倍-1.25 倍之間，然亦不以此為限。
[0084] 請續參閱圖4,其是為圖3A所示的壓電致動器的多種實施態樣示意圖。如圖所示， 則可見壓電致動器13的懸浮板130、外框131以及支架132是可有多樣的型態，且至少可具有 圖4所示的(a)~（1)等多種態樣，舉例來說，（a)態樣之外框al及懸浮板a0是為方形的結構， 且兩者之間是由多個支架a2以連結之，例如:8個，但不以此為限，且於支架a2及懸浮板a0、 外框al之間是具有空隙a3,以供氣體流通。於另一（i)態樣中，其外框il及懸浮板i0亦同樣 為方形的結構，惟其中僅由2個支架i2以連結之;另外，於(j)~（1)態樣，則其懸浮板j0等是 可為圓形的結構，而外框j〇等亦可為略具弧度的框體結構，但均不以此為限。故由此多種實 施態樣可見，懸浮板130的型態是可為方形或圓形，而同樣地，貼附於懸浮板130的下表面 130b的壓電陶瓷板133亦可為方形或圓形，並不以此為限；以及，連接於懸浮板130及外框 131之間的支架132的型態與數量亦可依實際施作情形而任施變化，並不以本實用新型所示 的態樣為限。且這些懸浮板130、外框131及支架132是可為一體成型的結構，但不以此為限， 至於其製造方式則可由傳統加工、或黃光蝕刻、或雷射加工、或電鑄加工、或放電加工等方 式制出，均不以此為限。
[0085] 此外，請續參閱圖1A及圖2A，於微型氣體傳輸裝置1A中更具有絕緣片141、導電片 15及另一絕緣片142是依序對應設置於壓電致動器13之下，且其形態大致上對應於壓電致 動器13之外框的形態。於一些實施例中，絕緣片141、142即由可絕緣的材質所構成，例如:塑 膠，但不以此為限，以進行絕緣之用；於另一些實施例中，導電片15即由可導電的材質所構 成，例如:金屬，但不以此為限，以進行電導通之用。以及，於本實施例中，導電片15上亦可設 置一導電接腳151，以進行電導通之用。
[0086] 請同時參閱圖1A及圖5A至圖5E，其中圖5A至圖5E是為圖1A所示的微型氣壓動力 裝置的微型氣體傳輸裝置的作動示意圖。首先，如圖5A所示，可見微型氣體傳輸裝置1A是依 序由進氣板11、共振片12、壓電致動器13、絕緣片141、導電片15及另一絕緣片142等堆疊而 成，且於共振片12與壓電致動器13之間是具有一間隙g0,於本實施例中，是於共振片12及壓 電致動器13之外框131之間的間隙g0中填充一材質，例如:導電膠，但不以此為限，以使共振 片12與壓電致動器13的懸浮板130的凸部130c之間可維持該間隙g0的深度，進而可導引氣 流更迅速地流動，且因懸浮板130的凸部130c與共振片12保持適當距離使彼此接觸幹涉減 少，促使噪音產生可被降低;於另一些實施例中，亦可藉由加高壓電致動器13之外框131的 高度，以使其與共振片12組裝時增加一間隙，但不以此為限。
[0087] 請續參閱圖5A至圖5E，如圖所示，當進氣板11、共振片12與壓電致動器13依序對應 組裝後，則於共振片12的中空孔洞120處可與其上的進氣板11共同形成一匯流氣體的腔室， 且在共振片12與壓電致動器13之間更形成一第一腔室121，用以暫存氣體，且第一腔室121 是透過共振片12的中空孔洞120而與進氣板11下表面的中心凹部111處的腔室相連通，且第 一腔室121的兩側則由壓電致動器13的支架132之間的空隙135而與設置於其下的微型閥門 裝置1B相連通。
[0088]當微型氣壓動力裝置1的微型氣體傳輸裝置1A作動時，主要由壓電致動器13受電 壓致動而以支架132為支點，進行垂直方向的往復式振動。如圖5B所示，當壓電致動器13受 電壓致動而向下振動時，則氣體由進氣板11上的至少一進氣孔110進入，並透過其下表面的 至少一總線孔112以匯集到中央的中心凹部111處，再經由共振片12上與中心凹部111對應 設置的中央孔洞120向下流入至第一腔室121中，其後，由於受壓電致動器13振動的帶動，共 振片12亦會隨的共振而進行垂直的往復式振動，如圖5C所示，則為共振片12亦隨的向下振 動，並貼附牴觸於壓電致動器13的懸浮板130的凸部130c上，藉由此共振片12的形變，以壓 縮第一腔室121的體積，並關閉第一腔室121中間流通空間，促使其內的氣體推擠向兩側流 動，進而經過壓電致動器13的支架132之間的空隙135而向下穿越流動。至於圖5D則為其共 振片12回復至初始位置，而壓電致動器13受電壓驅動以向上振動，如此同樣擠壓第一腔室 121的體積，惟此時由於壓電致動器13是向上抬升，該抬升的位移可為d，因而使得第一腔 室121內的氣體會朝兩側流動，進而帶動氣體持續地自進氣板11上的至少一進氣孔110進 入，再流入中心凹部111所形成的腔室中，再如圖5E所示，該共振片12受壓電致動器13向上 抬升的振動而共振向上，進而使中心凹部111內的氣體再由共振片12的中央孔洞120而流入 第一腔室121內，並經由壓電致動器13的支架132之間的空隙135而向下穿越流出微型氣體 傳輸裝置1A。由此實施態樣可見，當共振片12進行垂直的往復式振動時，是可由其與壓電致 動器13之間的間隙g0以增加其垂直位移的最大距離，換句話說，於該兩結構之間設置間隙 g〇可使共振片12於共振時可產生更大幅度的上下位移，而其中該壓電致動器的振動位移為 d，與該間隙g0的差值為X，即X = g〇-d，經測試當X f Oum，為有噪音狀態；當X = 1 -5um，慄浦最 大輸出氣壓可達到350mmHg;當x = 5-10um，慄浦最大輸出氣壓可達到250mmHg;當x= 10-15um，慄浦最大輸出氣壓可達到150mmHg，其數值對應關係是如下列表一所示。上述的數值 是在操作頻率為17K至20K之間、操作電壓為± 10V至± 20V之間。如此，在經此微型氣體傳輸 裝置1A的流道設計中產生壓力梯度，使氣體高速流動，並透過流道進出方向的阻抗差異，將 氣體由吸入端傳輸至排出端，且在排出端有氣壓的狀態下，仍有能力持續推出氣體，並可達 到靜音的效果。
[0089](表一）
[0091]另外，於一些實施例中，共振片12的垂直往復式振動頻率是可與壓電致動器13的 振動頻率相同，即兩者可同時向上或同時向下，其是可依照實際施作情形而任施變化，並不 以本實施例所示的作動方式為限。
[0092] 請同時參閱圖1A、圖2A及圖6A、圖6B，其中圖6A是為圖1A所示的微型氣壓動力裝置 的微型閥門裝置的集壓作動示意圖，圖6B則為圖1A所示的微型氣壓動力裝置的微型閥門裝 置的卸壓作動示意圖。如圖1A及圖6A所示，本實用新型的微型氣壓動力裝置1的微型閥門 裝置1B是依序由集氣板16、閥門片17以及出口板18堆疊而成，於本實施例中，集氣板16具有 一表面160,該表面160上是凹陷以形成一集氣腔室162,由微型氣體傳輸裝置1A向下傳輸的 氣體則暫時蓄積於此集氣腔室162中，且於集氣板16中是具有第一貫穿孔163及第二貫穿孔 164,第一貫穿孔163及第二貫穿孔164的一端是與集氣腔室162相連通，另一端則分別與集 氣板16的基準表面161上的第一卸壓腔室165及第一出口腔室166相連通。以及，在第一出口 腔室166處更進一步增設一凸部結構167,例如可為但不限為一圓柱結構，且其是與閥門片 17的閥孔170對應設置。
[0093]出口板18亦具有兩貫穿設置的第三貫穿孔181以及第四貫穿孔182,且該第三貫穿 孔181及第四貫穿孔182是分別對應於集氣板16的第一貫穿孔163以及第二貫穿孔164而設 置，且於出口板18具有一基準表面180,該基準表面180上對應於第三貫穿孔181處是凹陷形 成一第二卸壓腔室183,而對應於第四貫穿孔182處則凹陷形成一第二出口腔室184,且於第 二卸壓腔室183與第二出口腔室184之間更具有一連通流道185,用以供氣體流通。該第三貫 穿孔181的一端與第二卸壓腔室183相連通，且其端部可進一步增設一凸出而形成的凸部結 構181a，例如可為但不限為圓柱結構，另一端則連通於出口板18的第二表面187的卸壓孔 186;而第四貫穿孔182的一端與第二出口腔室184相連通，另一端則與出口 19相連通，於本 實施例中，出口19是可與一裝置相連接(未圖示），例如:壓力機，但不以此為限。
[0094] 以及，出口板18更具有至少一限位結構188,以本實施例為例，限位結構188是設置 於第二卸壓腔室183內，且為一環形塊體結構，且不以此為限，其主要為當微型閥門裝置1B 進行集壓作業時，供以輔助支撐閥門片17之用，以防止閥門片17塌陷，並可使閥門片17可更 迅速地開啟或封閉。
[0095] 閥門片17上具有一閥孔170以及多個定位孔洞171，當閥門片17與集氣板16及出口 板18定位組裝時，是將其閥孔170對應於集氣板16的第一出口腔室166的凸部結構167而對 應設置，藉由此單一的閥孔170的設計，以使氣體可因應其壓差而達到單向流動的目的。
[0096] 當微型閥門裝置1B集壓作動時，主要如圖6A所示，其是可因應來自於微型氣體傳 輸裝置1A向下傳輸的氣體所提供的壓力，又或是當外界的大氣壓力大於與出口 19連接的 裝置(未圖示）的內部壓力時，則氣體會自微型氣體傳輸裝置1A傳輸至微型閥門裝置1B的集 氣腔室162中，再分別經第一貫穿孔163以及第二貫穿孔164而向下流入第一卸壓腔室165及 第一出口腔室166內，此時，向下的氣體壓力是使可撓性的閥門片17向下彎曲形變，故閥門 片17的厚度較佳值介於0. lmm-0.3mm之間，而其最佳值為0.2_，進而使第一卸壓腔室165的 體積增大，且對應於第一貫穿孔163處向下平貼並抵頂於第三貫穿孔181的端部，進而可封 閉出口板18的第三貫穿孔181，故於第二卸壓腔室183內的氣體不會自第三貫穿孔181處流 出。當然，本實施例，可利用第三貫穿孔181端部增設一凸部結構181a的設計，且此凸部結構 181a透過改良以增加其高度，該凸部結構181a的高度是高於該出口板18的基準表面180,且 凸部結構181a的高度較佳值為是介於0.45mm-0.55mm之間，最佳值為0.5mm，以加強使閥門 片17快速地牴觸且封閉第三貫穿孔181，並達到一預力牴觸作用完全密封的效果，同時並透 過環設於第三貫穿孔181周邊的限位結構188,以輔助支撐閥門片17,使其不會產生塌陷。另 一方面，由於氣體是自第二貫穿孔164而向下流入第一出口腔室166中，且對應於第一出口 腔室166處的閥門片17亦向下彎曲形變，故使得其對應的閥孔170向下打開，氣體則可自第 一出口腔室166經由閥孔170而流入第二出口腔室184中，並由第四貫穿孔182而流至出口 19 及與出口 19相連接的裝置(未圖示）中，藉此以對該裝置進行集壓的作動。
[0097] 請續參閱圖6B，當微型閥門裝置1B進行卸壓時，其是可藉由調控微型氣體傳輸裝 置1A的氣體傳輸量，使氣體不再輸入集氣腔室162中，或是當與出口 19連接的裝置(未圖示） 內部壓力大於外界的大氣壓力時，則可使微型閥門裝置1B進行卸壓。此時，氣體將自與出口 19連接的第四貫穿孔182輸入至第二出口腔室184內，使得第二出口腔室184的體積膨脹，進 而促使可撓性的閥門片17向上彎曲形變，並向上平貼、抵頂於集氣板16上，故閥門片17的閥 孔170會因抵頂於集氣板16而關閉。當然，在本實施例，可利用第一出口腔室166增設一凸部 結構167的設計，且此凸部結構167透過改良以增加其高度，該凸部結構167的高度是高於該 集氣板16的基準表面161，且凸部結構167的高度較佳值是介於0.45mm-〇. 55mm之間，而其最 佳值為0.50mm，故可供可撓性的閥門片17向上彎曲形變更快速牴觸，使閥孔170更有利達到 一預力牴觸作用完全貼附密封的關閉狀態，因此，當處於初始狀態時，閥門片17的閥孔170 會因緊貼抵頂於該凸部結構167而關閉，則該第二出口腔室184內的氣體將不會逆流至第一 出口腔室166中，以達到更好的防止氣體外漏的效果。以及，第二出口腔室184中的氣體是可 經由連通流道185而流至第二卸壓腔室183中，進而使第二卸壓腔室183的體積擴張，並使對 應於第二卸壓腔室183的閥門片17同樣向上彎曲形變，此時由於閥門片17未抵頂封閉於第 三貫穿孔181端部，故該第三貫穿孔181即處於開啟狀態，即第二卸壓腔室183內的氣體可由 第三貫穿孔181向外流至卸壓孔186處以進行卸壓作業。當然，本實施例，可利用第三貫穿孔 181端部增設的凸部結構181a或是透過設置於第二卸壓腔室183內的限位結構188,該限位 結構188的高度較佳值是介於0.3mm-0.5_之間，而其最佳值為0.4_，讓可撓性的閥門片17 向上彎曲形變更快速，更有利脫離關閉第三貫穿孔181的狀態。如此，則可藉由此單向的卸 壓作業將與出口 19連接的裝置(未圖示）內的氣體排出而降壓，或是完全排出而完成卸壓作 業。
[0098] 請同時參閱圖1A、圖2A及圖7A至圖7E，其中圖7A至圖7E是為圖1A所示的微型氣壓 動力裝置的集壓作動示意圖。如圖7Α所示，微型氣壓動力裝置1即由微型氣體傳輸裝置1Α以 及微型閥門裝置1Β所組合而成，其中微型氣體傳輸裝置1Α是如前述，依序由進氣板11、共振 片12、壓電致動器13、絕緣片141、導電片15及另一絕緣片142等結構堆疊組裝定位而成，且 於共振片12與壓電致動器13之間是具有一間隙g0,且於共振片12與壓電致動器13之間具有 第一腔室121，以及，微型閥門裝置1B則同樣由集氣板16、閥門片17以及出口板18等依序堆 疊組裝定位而成，且於微型閥門裝置1B的集氣板16與微型氣體傳輸裝置1A的壓電致動器13 之間是具有集氣腔室162、於集氣板16的基準表面161更具有第一卸壓腔室165以及第一出 口腔室166,以及於出口板18的基準表面180更具有第二卸壓腔室183及第二出口腔室184， 藉由這些多個不同的壓力腔室搭配壓電致動器13的驅動及共振片12、閥門片17的振動，以 使氣體向下集壓傳輸。
[0099] 如圖7B所示，當微型氣體傳輸裝置1A的壓電致動器13受電壓致動而向下振動時， 則氣體會由進氣板11上的進氣孔110進入微型氣體傳輸裝置1A中，並經由至少一總線孔112 以匯集到其中心凹部111處，再經由共振片12上的中空孔洞120向下流入至第一腔室121 中。其後，則如圖7C所示，由於受壓電致動器13振動的共振作用，共振片12亦會隨的進行往 複式振動，即其向下振動，並接近於壓電致動器13的懸浮板130的凸部130c上，藉由此共振 片12的形變，使得進氣板11的中心凹部111處的腔室的體積增大，並同時壓縮第一腔室121 的體積，進而促使第一腔室121內的氣體推擠向兩側流動，進而經過壓電致動器13的支架 132之間的空隙135而向下穿越流通，以流至微型氣體傳輸裝置1A與微型閥門裝置1B之間的 集氣腔室162內，並再由與集氣腔室162相連通的第一貫穿孔163及第二貫穿孔164向下對應 流至第一卸壓腔室165及第一出口腔室166中，由此實施態樣可見，當共振片12進行垂直的 往復式振動時，是可由其與壓電致動器13之間的間隙g0以增加其垂直位移的最大距離，換 句話說，於該兩結構之間設置間隙g〇可使共振片12於共振時可產生更大幅度的上下位移。
[0100] 接著，則如圖7D所示，由於微型氣體傳輸裝置1A的共振片12回復至初始位置，而壓 電致動器13受電壓驅動以向上振動，而其中該壓電致動器的振動位移為d，與該間隙g0的差 值為X，即X = g〇-d，經測試當X f Oum，為有噪音狀態；當X = l-5um，慄浦最大輸出氣壓可達到 350mmHg;當x = 5-10um，慄浦最大輸出氣壓可達到250mmHg;當x=10-15um，慄浦最大輸出氣 壓可達到150mmHg，均於其先前所列的表一所示，不再贅述。上述的數值是在操作頻率為17K 至201(之間、操作電壓為±10￥至±20￥之間。又於另一實施例中，該操作頻率為18.51^、操作 電壓為±16V，其最大輸出氣壓可達到300mmHg，但不以此為限。如此同樣擠壓第一腔室121 的體積，使得第一腔室121內的氣體朝兩側流動，並由壓電致動器13的支架132之間的空隙 135持續地輸入至微型閥門裝置1B的集氣腔室162、第一卸壓腔室165以及第一出口腔室166 中，如此更使得第一卸壓腔室165及第一出口腔室166內的氣壓越大，進而推動可撓性的閥 門片17向下產生彎曲形變，則於第二卸壓腔室183中，閥門片17則向下平貼並抵頂於第三貫 穿孔181端部的凸部結構181a，進而使第三貫穿孔181封閉，而於第二出口腔室184中，閥門 片17上對應於第四貫穿孔182的閥孔170是向下打開，使第二出口腔室184內的氣體可由第 四貫穿孔182向下傳遞至出口 19及與出口 19連接的任何裝置(未圖示），進而以達到集壓作 業的目的。最後，則如圖7E所示，當微型氣體傳輸裝置1A的共振片12共振向上位移，進而使 進氣板11下表面的中心凹部111內的氣體可由共振片12的中空孔洞120而流入第一腔室 121內，再經由壓電致動器13的支架132之間的空隙135而向下持續地傳輸至微型閥門裝置 1B中，則由於其氣體壓是持續向下增加，故氣體仍會持續地經由微型閥門裝置1B的集氣腔 室162、第二貫穿孔164、第一出口腔室166、第二出口腔室184及第四貫穿孔182而流至出口 19及與出口 19連接的任何裝置中，此集壓作業是可經由外界的大氣壓力與裝置內的壓力差 以驅動之，但不以此為限。
[0101]當與出口 19連接的裝置(未圖示）內部的壓力大於外界的壓力時，則微型氣壓動力 裝置1是可如圖8所示進行降壓或是卸壓的作業，其降壓或是卸壓的作動方式主要是如前所 述，可藉由調控微型氣體傳輸裝置1A的氣體傳輸量，使氣體不再輸入集氣腔室162中，此時， 氣體將自與出口 19連接的第四貫穿孔182輸入至第二出口腔室184內，使得第二出口腔室 184的體積膨脹，進而促使可撓性的閥門片17向上彎曲形變，並向上平貼、抵頂於第一出口 腔室166的凸部結構167上，而使閥門片17的閥孔170關閉，即第二出口腔室184內的氣體不 會逆流至第一出口腔室166中；以及，第二出口腔室184中的氣體是可經由連通流道185而流 至第二卸壓腔室183中，再由第三貫穿孔181向外流至卸壓孔186處以進行卸壓作業;如此可 藉由此微型閥門結構1B的單向氣體傳輸作業將與出口 19連接的裝置內的氣體排出而降壓， 或是完全排出而完成卸壓作業。
[0102] 綜上所述，本實用新型所提供的微型氣壓動力裝置，主要藉由微型氣體傳輸裝置 及微型閥門裝置的相互組接，使氣體自微型氣體傳輸裝置上的進氣孔進入，並利用壓電致 動器的作動，使氣體於設計後的流道及壓力腔室中產生壓力梯度，進而使氣體高速流動而 傳遞至微型閥門裝置中，再透過微型閥門裝置的單向閥門設計，使氣體以單方向流動，進而 可將壓力累積於與出口連接的任何裝置中；而當欲進行降壓或卸壓時，則調控微型氣體傳 輸裝置的傳輸量，並使氣體可由與出口連接的裝置中傳輸至微型閥門裝置的第二出口腔 室，並由連通流道將的傳輸至第二卸壓腔室，再由卸壓孔流出，進而以達到可使氣體迅速地 傳輸，且同時可達到靜音的功效，更可使微型氣體動力裝置的整體體積減小及薄型化，進而 使微型氣體動力裝置達成輕便舒適的可攜式目的，並可廣泛地應用於醫療器材及相關設備 的中。因此，本實用新型的微型氣體動力裝置極具產業利用價值，爰依法提出申請。
[0103] 縱使本實用新型已由上述實施例詳細敘述而可由熟悉本技藝人士任施匠思而為 諸般修飾，然皆不脫如附申請專利範圍所欲保護者。
【主權項】
1. 一種微型氣壓動力裝置，其特徵在於，包括： 一微型氣體傳輸裝置，包括： 一進氣板，具有至少一進氣孔、至少一總線孔及構成一匯流腔室的一中心凹部，該至少 一進氣孔供導入氣體，該總線孔對應該進氣孔，且引導該進氣孔的氣體匯流至該中心凹部 所構成的該匯流腔室； 一共振片，具有一中空孔洞，對應該進氣板的該匯流腔室；以及 一壓電致動器，具有：一懸浮板，該懸浮板具有介於8mm-l 2mm之間的長度、介於8mm-12mm之間的寬度以及介於0.2mm-〇. 29mm之間的厚度； 一外框，具有至少一支架，連接設置於該懸浮板與該外框之間；以及 一壓電陶瓷板，貼附於該懸浮板的一表面，且該壓電陶瓷板具有介於8mm-12mm之間的 長度、介於之間的寬度以及介於0.08mm-0.2mm之間的厚度，且該長度及該寬度比 值為0.75倍-1.25倍之間； 其中，上述的該進氣板、該共振片及該壓電致動器依序對應對疊設置定位，且該共振片 與該壓電致動器之間具有一間隙以形成一第一腔室，使該壓電致動器受驅動時，氣體由該 進氣板的該至少一進氣孔導入，經該至少一總線孔匯集至該中心凹部，再流經該共振片的 該中空孔洞，以進入該第一腔室內，再由該壓電致動器的該至少一支架之間的一空隙向下 傳輸，以持續推出氣體;以及 一微型閥門裝置，包括： 一閥門片，具有一閥孔，該閥門片具有介於〇. lmm-0.3mm之間的厚度； 一集氣板，具有一第一貫穿孔、一第二貫穿孔、一第一卸壓腔室及一第一出口腔室，以 及具有一基準表面，該第一出口腔室具有一凸部結構，以對應該閥門片的該閥孔而設置，有 利牴觸該閥孔形成一預力作用，完全封閉該閥孔，該凸部結構的高度高於該集氣板的該基 準表面，該第一貫穿孔與該第一卸壓腔室相連通，該第二貫穿孔與該第一出口腔室相連通； 以及 一出口板，具有一第三貫穿孔、一第四貫穿孔、一第二卸壓腔室、一第二出口腔室及至 少一限位結構，以及具有一基準表面，該第三貫穿孔端部具有一凸部結構，該凸部結構的高 度高於該出口板的該基準表面，有利該閥門片快速牴觸形成一預力作用，完全封閉該第三 貫穿孔，該第三貫穿孔對應於該集氣板的該第一貫穿孔，且與該第二卸壓腔室相連通，該第 四貫穿孔對應於該第二貫穿孔，且與該第二出口腔室相連通，該至少一限位結構設置於該 第二卸壓腔室內，該限位結構的高度介於〇. 3mm-0.5mm之間，以及該第二卸壓腔室及該第二 出口腔室之間具有一連通流道； 其中，上述的該集氣板、該閥門片及該出口板依序對應堆疊設置定位，該閥門片設置於 該集氣板及該出口板之間，且該閥門片的閥孔對應設置於該第二貫穿孔及該第四貫穿孔之 間，氣體自該微型氣體傳輸裝置向下傳輸至該微型閥門裝置內時，由該第一貫穿孔及該第 二貫穿孔進入該第一卸壓腔室及該第一出口腔室內，而導入氣體由該閥門片的閥孔流入該 第四貫穿孔內進行集壓作業，集壓氣體大於導入氣體，集壓氣體自該第四貫穿孔朝該第二 出口腔室流動，以使該閥門片位移，並使該閥門片的閥孔抵頂於該集氣板而關閉，且該至少 一限位結構輔助支撐該閥門片，以防止該閥門片塌陷，同時集壓氣體於該第二出口腔室內 能沿連通流道流至該第二卸壓腔室內，此時於第二卸壓腔室內該閥門片位移，集壓氣體能 由該第三貫穿孔流出，以進行卸壓作業。2. 如權利要求1所述的微型氣壓動力裝置，其特徵在於，該微型氣壓動力裝置的操作頻 率為18.51^、操作電壓為±16￥，其最大輸出氣壓達到300臟取。3. 如權利要求1所述的微型氣壓動力裝置，其特徵在於，該微型氣體傳輸裝置的該壓電 陶瓷板的長度為l〇mm、寬度為l〇mm、厚度為0.10mm。4. 如權利要求1所述的微型氣壓動力裝置，其特徵在於，該微型氣體傳輸裝置的該懸浮 板的長度為10.1mm、寬度為10.1mm、厚度為0.26mm〇5. 如權利要求1所述的微型氣壓動力裝置，其特徵在於，該微型氣體傳輸裝置的該懸浮 板更包括一凸部，其高度介於〇. 〇2mm-〇. 08mm之間。6. 如權利要求5所述的微型氣壓動力裝置，其特徵在於，該懸浮板的該凸部高度為 0.03mm〇7. 如權利要求5所述的微型氣壓動力裝置，其特徵在於，該懸浮板的該凸部為一圓形凸 起結構，直徑為5.5_。8. 如權利要求1所述的微型氣壓動力裝置，其特徵在於，該微型氣體傳輸裝置的該進氣 板由一不鏽鋼材質所構成，厚度介於〇. 4mm-0.6mm之間。9. 如權利要求8所述的微型氣壓動力裝置，其特徵在於，該進氣板的厚度為0.5_。10. 如權利要求1所述的微型氣壓動力裝置，其特徵在於，該微型氣體傳輸裝置的該共 振片由一銅材質所構成，厚度介於〇. 03mm-0.08mm之間。11. 如權利要求10所述的微型氣壓動力裝置，其特徵在於，該共振片的厚度為〇.〇5mm。12. 如權利要求1所述的微型氣壓動力裝置，其特徵在於，該微型氣體傳輸裝置更包括 至少一絕緣片及一導電片，且該至少一絕緣片及該導電片依序設置於該壓電致動器之下。13. 如權利要求1所述的微型氣壓動力裝置，其特徵在於，該微型氣體傳輸裝置的該壓 電致動器的該外框由一不鏽鋼材質所構成，厚度介於0.2mm-0.4mm之間。14. 如權利要求13所述的微型氣壓動力裝置，其特徵在於，該壓電致動器的該外框的厚 度為0.3mm。15. 如權利要求1所述的微型氣壓動力裝置，其特徵在於，該微型氣體傳輸裝置的該壓 電致動器的該支架的兩端點連接該外框、一端點連接該懸浮板。16. 如權利要求1所述的微型氣壓動力裝置，其特徵在於，該微型閥門裝置的該閥門片 的厚度為〇.2mm。17. 如權利要求1所述的微型氣壓動力裝置，其特徵在於，該微型閥門裝置的該限位結 構的高度為〇.4mm。18. 如權利要求1所述的微型氣壓動力裝置，其特徵在於，該微型閥門裝置的該集氣板 的該第一出口腔室的該凸部結構具有介於〇. 45mm-0.55mm之間的高度。19. 如權利要求18所述的微型氣壓動力裝置，其特徵在於，該第一出口腔室的該凸部結 構的高度為〇.5mm。20. 如權利要求1所述的微型氣壓動力裝置，其特徵在於，該微型閥門裝置的該出口板 的該第三貫穿孔的該凸部結構具有介於〇. 45mm-0.55mm之間的高度。21. 如權利要求20所述的微型氣壓動力裝置，其特徵在於，該第三貫穿孔的該凸部結構 的高度為〇.5mm。22. 如權利要求1所述的微型氣壓動力裝置，其特徵在於，該微型閥門裝置的該集氣板 於一表面更具有一集氣腔室，且該集氣腔室與該第一貫穿孔及該第二貫穿孔相連通。23. 如權利要求1所述的微型氣壓動力裝置，其特徵在於，該微型閥門裝置的該第一卸 壓腔室及該第一出口腔室設置於該集氣板所相對的該集氣腔室的另一表面上。24. 如權利要求1所述的微型氣壓動力裝置，其特徵在於，該第二卸壓腔室及該第二出 口腔室設置於該出口板的一表面上，分別與該集氣板的該第一卸壓腔室及該第一出口腔室 相對應。25. -種微型氣壓動力裝置，其特徵在於，包括： 一微型氣體傳輸裝置，包括： 一進氣板； 一共振片；以及 一壓電致動器； 其中，上述的該進氣板、該共振片及該壓電致動器依序對應堆疊設置定位，且該共振片 與該壓電致動器之間具有一間隙形成一第一腔室，該壓電致動器受驅動時，氣體由該進氣 板進入，流經該共振片，以進入該第一腔室內再向下傳輸;以及 一微型閥門裝置，包括： 一集氣板，具有至少兩貫穿孔及至少兩腔室； 一閥門片，具有一閥孔；以及 一出口板，具有至少兩貫穿孔及至少兩腔室； 其中，上述的集氣板、閥門片以及出口板依序對應堆疊設置定位，該微型氣體傳輸裝置 與該微型閥門裝置之間形成一集氣腔室，氣體自該微型氣體傳輸裝置向下傳輸至該集氣腔 室，再傳遞至該微型閥門裝置內，透過該集氣板、該出口板分別具有的至少兩貫穿孔及至少 兩腔室，以因應氣體的單向流動而使該閥門片的該閥孔對應進行開或關，以進行集壓或卸 壓作業； 該微型氣體傳輸裝置的該進氣板具有至少一進氣孔、至少一總線孔及一中心凹部，該 至少一進氣孔供導入氣體，該總線孔對應該進氣孔，且引導該進氣孔的氣體匯流至該中心 凹部;該共振片具有一中空孔洞，對應該進氣板的該中心凹部；以及該壓電致動器具有一 懸浮板及一外框，該懸浮板及該外框之間以至少一支架連接，且於該懸浮板的一表面貼附 一壓電陶瓷板。26. 如權利要求25所述的微型氣壓動力裝置，其特徵在於，該微型閥門裝置的該集氣板 具有一第一貫穿孔、一第二貫穿孔、一第一卸壓腔室及一第一出口腔室，該第一貫穿孔與該 第一卸壓腔室相連通，該第二貫穿孔與第一出口腔室相連通。27. 如權利要求26所述的微型氣壓動力裝置，其特徵在於，該微型閥門裝置的該出口板 具有一第三貫穿孔、一第四貫穿孔、一第二卸壓腔及一第二出口腔室其中該第二卸壓腔室 及該第二出口腔室之間具有一連通流道。28. 如權利要求27所述的微型氣壓動力裝置，其特徵在於，該閥門片設置於該集氣板及 該出口板之間，且該閥門片的該閥孔對應設置於該第二貫穿孔及該第四貫穿孔之間，氣體 自該微型氣體傳輸裝置向下傳輸至該微型閥門裝置內時，由該第一貫穿孔及該第二貫穿孔 進入該第一卸壓腔室及該第一出口腔室內，而導入氣體由該閥門片的該閥孔流入該第四貫 穿孔內進行集壓作業，集壓氣體大於導入氣體時，集壓氣體自該第四貫穿孔朝該第二出口 腔室流動，以使該閥門片位移，並使該閥門片的該閥孔抵頂於該集氣板而關閉，同時集壓氣 體於該第二出口腔室內能沿連通流道流至該第二卸壓腔室內，此時於第二卸壓腔室內該閥 門片位移，集壓氣體能由該第三貫穿孔流出，進行卸壓作業。29. 如權利要求25所述的微型氣壓動力裝置，其特徵在於，該壓電陶瓷板具有介於8mm-12mm之間的長度、介於8mm-l 2mm之間的寬度，以及介於0 · 08mm-0 · 2mm之間的厚度，該長度及 該寬度比值為〇. 75倍-1.25倍之間。30. 如權利要求29所述的微型氣壓動力裝置，其特徵在於，該壓電陶瓷板的長度為 10mm、寬度為10mm、厚度為0· 10mm。
【文檔編號】F04B45/047GK205714691SQ201620093445
【公開日】2016年11月23日
【申請日】2016年1月29日
【發明人】陳世昌, 廖家淯, 廖鴻信, 韓永隆, 黃啟峰
【申請人】研能科技股份有限公司