一種半導體單晶矽棒截斷機夾緊固定裝置的製作方法
2023-04-25 12:25:07 1
本實用新型涉及單晶矽棒處理設備領域，尤其是一種半導體單晶矽棒截斷機夾緊固定裝置。
背景技術：
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在加工半導體單晶矽棒時，為了得到後續需要的產品，一般要對半導體單晶矽棒進行截斷處理，目前，通常採用單晶截斷機對半導體單晶矽棒進行截斷處理，在進行截斷前必須先對半導體單晶矽棒固定，然後再通過刀具切割進行截斷，目前的截斷機固定臺大多是在工作檯頂部設置兩相對斜面呈V字型的、且可移動的夾緊臺，首先將半導體單晶矽棒沿兩夾緊臺長度方向水平放置，通過調節兩夾緊臺之間的距離來實現對半導體單晶矽棒的夾緊。當刀具對半導體單晶矽棒進行加工時，因刀具對其有較大的推力與扭矩，而這種夾緊方式因兩夾緊臺相對的斜面均為硬質材質且無緩衝裝置，因此容易導致半導體單晶矽棒從夾緊臺中向上移出或側旋，造成切削錯誤、切削精度低。另外，現有的夾緊固定方式只對半導體單晶矽棒只進行夾緊而未對其固定，或者只進行簡易、粗糙的固定，固定效果差、使用安全性低，顯然現有的單晶矽棒截斷機夾緊固定裝置無法更有效地滿足人們的需求。
技術實現要素：
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本實用新型提供了一種半導體單晶矽棒截斷機夾緊固定裝置，它結構簡單，設計合理，操作簡單，可根據放置的待截斷的半導體單晶矽棒的粗細進行平衡定位，同時可對半導體單晶矽棒進行按壓固定，有效防止半導體單晶矽棒從夾緊臺中向上移出或側旋，加緊固定可靠性高，使用安全性高，夾緊裝置方便移動且不影響其它工步的操作，更有效地滿足了人們的需求，解決了現有技術中存在的問題。
本實用新型為解決上述技術問題所採用的技術方案是：一種半導體單晶矽棒截斷機夾緊固定裝置，包括一水平設置的長條形移動臺，在移動臺的底部沿其長度方向設有兩水平且平行設置的移動滑槽，移動臺通過兩移動滑槽活動卡接在截斷機工作檯頂部的滑軌上，在移動臺頂部中央沿其長度方向水平設有一端面呈V字型的夾緊槽，在夾緊槽的兩相對斜面上沿其長度方向分別對稱設有若干個平行設置的插接滑槽，在各夾緊槽斜面上方分別設有一通過插接滑槽與移動臺活動卡接的緩衝裝置，在移動臺兩側的截斷機工作檯頂部分別對稱且豎直設有一升降氣缸，在各升降氣缸的活塞杆上部外側壁上均設有外螺紋，在各活塞杆上部分別套接一通過內螺紋與活塞杆活動連接的調節螺管，在各調節螺管上方的活塞杆頂部分別豎直固連一固定柱，在兩固定柱的頂部分別固連一限位塊，一水平設置的支撐板的左端通過安裝孔活動插裝在左側的固定柱外側壁上，支撐板的右端通過設置在其右端的弧形槽活動卡接在右側的固定柱外側壁上，在支撐板的底部中央豎直設有一固定氣缸，在固定氣缸底部的活塞杆下端固連一弧形卡板；升降氣缸、固定氣缸分別通過氣泵與外部控制裝置相連。
所述緩衝裝置包括一夾緊側板，在夾緊側板的外側壁上沿其長度方向分別設有若干個平行設置且與夾緊槽斜面上的各插接滑槽相對應卡接的插接滑軌，在插接滑軌兩側的夾緊側板外側壁上設有若干個與夾緊側板外側壁相互垂直的緩衝彈簧，在夾緊側板的內側壁上沿其長度方向設有若干個平行設置的橡膠防滑條。
本實用新型所具有的有益效果是，結構簡單，設計合理，操作簡單，可根據放置的待截斷的半導體單晶矽棒的粗細進行平衡定位，同時可對半導體單晶矽棒進行按壓固定，加緊固定可靠性高，使用安全性高，夾緊裝置方便移動且不影響其它工步的操作，更有效地滿足人們的需求。
附圖說明：
圖1為本實用新型的結構示意圖。
圖2為圖1的側視結構示意圖。
圖3為本實用新型的緩衝裝置放大結構示意圖。
圖中，1、移動臺；2、移動滑槽；3、夾緊槽；4、插接滑槽；5、升降氣缸；6、活塞杆；7、調節螺管；8、固定柱；9、限位塊；10、支撐板；11、弧形槽；12、固定氣缸；13、弧形卡板；14、夾緊側板；15、插接滑軌；16、緩衝彈簧；17、橡膠防滑條。
具體實施方式：
為能清楚說明本方案的技術特點，下面通過具體實施方式，並結合其附圖，對本實用新型進行詳細闡述。
如圖1-3中所示，一種半導體單晶矽棒截斷機夾緊固定裝置，包括一水平設置的長條形移動臺1，在移動臺1的底部沿其長度方向設有兩水平且平行設置的移動滑槽2，移動臺1通過兩移動滑槽2活動卡接在截斷機工作檯頂部的滑軌上，在移動臺1頂部中央沿其長度方向水平設有一端面呈V字型的夾緊槽3，在夾緊槽3的兩相對斜面上沿其長度方向分別對稱設有若干個平行設置的插接滑槽4，在各夾緊槽3斜面上方分別設有一通過插接滑槽4與移動臺1活動卡接的緩衝裝置，在移動臺1兩側的截斷機工作檯頂部分別對稱且豎直設有一升降氣缸5，在各升降氣缸5的活塞杆6上部外側壁上均設有外螺紋，在各活塞杆6上部分別套接一通過內螺紋與活塞杆6活動連接的調節螺管7，在各調節螺管7上方的活塞杆6頂部分別豎直固連一固定柱8，在兩固定柱8的頂部分別固連一限位塊9，一水平設置的支撐板10的左端通過安裝孔活動插裝在左側的固定柱8外側壁上，支撐板10的右端通過設置在其右端的弧形槽11活動卡接在右側的固定柱8外側壁上，在支撐板10的底部中央豎直設有一固定氣缸12，在固定氣缸12底部的活塞杆6下端固連一弧形卡板13；升降氣缸5、固定氣缸12分別通過氣泵與外部控制裝置相連。
所述緩衝裝置包括一夾緊側板14，在夾緊側板14的外側壁上沿其長度方向分別設有若干個平行設置且與夾緊槽3斜面上的各插接滑槽4相對應卡接的插接滑軌15，在插接滑軌15兩側的夾緊側板14外側壁上設有若干個與夾緊側板14外側壁相互垂直的緩衝彈簧16，可以有效的起到緩衝作用，使半導體單晶矽棒逐步的進行向下運動並達到平衡狀態，在夾緊側板14的內側壁上沿其長度方向設有若干個平行設置的橡膠防滑條17，可以防止半導體單晶矽棒滑動，固定更牢固。
使用時，分別轉動兩升降氣缸5的活塞缸上的調節螺管7使其向下轉動，此時支撐板10的上下面脫離了限位塊9與調節螺管7的擠壓，支撐板10的兩端均處於活動狀態，為防止後續支撐板10對安放半導體單晶矽棒造成困難，首先，轉動支撐板10的右端會使其左端的安裝孔繞固定柱8旋轉，當支撐板10轉動到合適角度後，停止轉動。通過搬運機械將半導體單晶矽棒運送至截斷機移動臺1的夾緊槽3上方並保持半導體單晶矽棒與移動臺1頂部相平行，使半導體單晶矽棒向下並安放在兩緩衝裝置的夾緊側板14上，半導體單晶矽棒的側壁會抵接在各橡膠防滑條17上，在半導體單晶矽棒重力的作用下，會克服彈簧的彈力並擠壓夾緊側板14斜向外側下方運動，當達到平衡時半導體單晶矽棒會處於靜止狀態，此時迴轉支撐板10使其通過弧形槽11活動卡接在固定柱8上，此時分別向上轉動調節螺管7使調節螺管7與限位塊9將支撐板10的上下面壓緊並使其固定，打開控制裝置，控制升降氣缸5調整至合適的高度，控制固定氣缸12的活塞杆6向下伸長，活塞杆6下端的弧形卡板13向下運動後會抵接在半導體單晶矽棒的外側壁上並將其壓緊，當半導體單晶矽棒固定牢固後，通過控制裝置打開外部的截斷機使其對半導體單晶矽棒進行切削，通過控制裝置和外部控制裝置控制移動臺1在工作檯頂部的滑軌上移動。當切削完成過後，控制裝置控制升降氣缸5升起、固定氣缸12的活塞杆6縮回，最終使弧形卡板13與半導體單晶矽棒脫離，分別向下轉動調節螺管7後，將支撐板10轉動至合適位置，將切削完成的半導體單晶矽棒取下，本裝置結構簡單，設計合理，操作簡單，可根據放置的待截斷的半導體單晶矽棒的粗細進行平衡定位，同時可對半導體單晶矽棒進行按壓固定，加緊固定可靠性高，使用安全性高，夾緊裝置方便移動且不影響其它工步的操作，更有效地滿足人們的需求。
上述具體實施方式不能作為對本實用新型保護範圍的限制，對於本技術領域的技術人員來說，對本實用新型實施方式所做出的任何替代改進或變換均落在本實用新型的保護範圍內。
本實用新型未詳述之處，均為本技術領域技術人員的公知技術。