方向調整裝置以及方向調整方法
2023-05-02 15:25:21
方向調整裝置以及方向調整方法
【專利摘要】本發明提供方向調整裝置以及方向調整方法。具備方向調整裝置的防塵自動立體倉庫(100)具備在貨物(中間掩模230)朝外部裝置(曝光裝置)的插入方向預先確定、且載置有貨物的狀態的載置臺(掩模盒200)朝外部裝置的插入方向預先確定的情況下使載置臺旋轉的旋轉裝置(掩模盒開啟器140)；不變更貨物的方向地保持貨物的保持裝置(中間掩模輸送裝置120)；及控制旋轉裝置以及保持裝置的控制器(180)。進而，控制器使旋轉裝置在使貨物從被保持於旋轉裝置的載置臺離開的狀態下保持貨物，並使貨物已離開的狀態下的載置臺從初始位置旋轉至目標位置，將貨物載置於旋轉至目標位置的載置臺，使載置有貨物的狀態的載置臺從目標位置旋轉至初始位置。
【專利說明】方向調整裝置以及方向調整方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及用於調整貨物和載置該貨物的載置臺之間的相對方向的方向調整裝置。
【背景技術】
[0002]以往的曝光裝置通過將描繪於中間掩模的電路圖案轉印於半導體元件來製造電子部件。此時，為了防止汙染，中間掩模在被收納於掩模盒(pod)的狀態下插入於曝光裝置。並且，中間掩模朝曝光裝置的插入方向根據機型而不同。更具體地說，中間掩模朝曝光裝置的插入方向是預先確定的，並且收納有中間掩模的狀態的掩模盒朝曝光裝置的插入方向也是預先確定的。
[0003]因此，在以往的中間掩模保管庫等中，設置有用於根據曝光裝置的機型來調整掩模盒內的中間掩模的方向的機構。具體而言，存在如下的中間掩模保管庫，該中間掩模保管庫設置有作為方向調整裝置的如下的機構:從掩模盒開啟器(pod opener)內的掩模盒取出中間掩模，利用轉臺使中間掩模旋轉規定的角度，並將中間掩模再次收納於掩模盒開啟器內的掩模盒。
[0004]專利文獻1:日本特開2008 - 30914號公報
[0005]然而，根據上述的機構，產生了使中間掩模從掩模盒開啟器移動至轉臺、並在使中間掩模旋轉後再次使其從轉臺移動至掩模盒開啟器的需要。結果，有著在掩模盒開啟器與轉臺之間移載中間掩模的處理耗費大量時間的課題。
【發明內容】
[0006]因此，本發明就是鑑於上述課題而完成的，其目的在於提供一種能夠短時間且利用較少的工序調整貨物與載置該貨物的載置臺之間的相對方向的方向調整裝置。
[0007]本發明的一個實施方式所涉及的方向調整裝置是如下的裝置:在貨物朝外部裝置的插入方向預先確定、且載置有上述貨物的狀態的載置臺朝外部裝置的插入方向預先確定的情況下，調整上述貨物與上述載置臺之間的相對方向。具體而言，上述方向調整裝置具備:旋轉裝置，該旋轉裝置使上述載置臺旋轉；保持裝置，該保持裝置不變更上述貨物的方向地保持上述貨物；以及控制器，該控制器控制上述旋轉裝置以及上述保持裝置，以便將上述貨物與上述載置臺之間的相對方向調整成預先確定的方向。進而，上述控制器使上述保持裝置在使上述貨物從被保持於上述旋轉裝置的上述載置臺離開的狀態下保持上述貨物，上述控制器使上述旋轉裝置將上述貨物已離開的狀態下的上述載置臺從初始位置旋轉至目標位置，上述控制器使上述保持裝置將上述貨物載置於旋轉至上述目標位置的上述載置臺，上述控制器使上述旋轉裝置將載置有上述貨物的狀態的上述載置臺從上述目標位置旋轉至上述初始位置。
[0008]根據上述結構，由於無需像以往那樣將貨物移載至其他場所，因此能夠削減移載所需要的循環時間。結果，能夠短時間且以較少的工序調整貨物與載置臺之間的相對方向。[0009]並且，也可以形成為:上述保持裝置在保持有上述貨物的狀態下沿上下方向移動，並在從上述載置臺朝上方離開規定距離的保持位置保持上述貨物。由此，當在使載置臺旋轉之後再次載置貨物時，不需要進行定位等工序，因此能夠更短時間且以更少的工序進行方向的調整。
[0010]此外，也可以形成為:上述控制器在利用上述保持裝置將上述貨物從上述載置臺離開之後、且到達上述保持位置之前，使上述旋轉裝置開始進行上述載置臺的從上述初始位置朝上述目標位置的旋轉。這樣，通過並行地進行使貨物從載置臺離開的工序和使載置臺旋轉的工序，能夠更短時間且以更少的工序進行方向的調整。
[0011]此外，上述方向調整裝置也可以還具備方向確認裝置，該方向確認裝置確認上述貨物與上述載置臺之間的相對方向。進而，上述控制器也可以在使上述旋轉裝置將上述載置臺旋轉至上述初始位置之後，使上述方向確認裝置確認上述貨物與上述載置臺之間的相對方向。由此，能夠在確認貨物與載置臺之間的相對方向之後朝後續工序送出。
[0012]本發明的一個實施方式所涉及的方向調整方法是在上述貨物朝外部裝置的插入方向預先確定、且載置有上述貨物的狀態的載置臺朝外部裝置的插入方向預先確定的情況下，方向調整裝置調整貨物與載置臺之間的相對方向的方法，上述方向調整裝置具備:旋轉裝置，上述旋轉裝置使上述載置臺旋轉；以及保持裝置，該保持裝置不變更上述貨物的方向地保持上述貨物。具體而言，方向調整方法包括以下步驟:上述保持裝置在使上述貨物從被保持於上述旋轉裝置的上述載置臺離開的狀態下保持上述貨物的步驟；上述旋轉裝置將上述貨物已離開的狀態下的上述載置臺從初始位置旋轉至目標位置的步驟；上述保持裝置將上述貨物載置於旋轉至上述目標位置的上述載置臺的步驟；以及上述旋轉裝置將載置有上述貨物的狀態的上述載置臺從上述目標位置旋轉至上述初始位置的步驟。
[0013]根據本發明，由於無需像以往那樣將貨物移載至其他場所，因此能夠短時間且以較少的工序調整貨物與載置臺之間的相對方向。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0014]圖1是實施方式所涉及的防塵自動立體倉庫(clean stocker)的主視圖。
[0015]圖2是圖1的II — II線處的剖視圖。
[0016]圖3是圖1的III — III線處的剖視圖。
[0017]圖4是示出方向調整處理的流程圖。
[0018]圖5是掩模盒開啟器內部的側視圖，且是示出Sll的狀態的圖。
[0019]圖6是掩模盒開啟器內部的側視圖，且是示出S12的狀態的圖。
[0020]圖7是掩模盒開啟器內部的俯視圖，且是示出S13的狀態的圖。
[0021]圖8是掩模盒開啟器內部的側視圖，且是示出S14的狀態的圖。
[0022]圖9是掩模盒開啟器內部的俯視圖，且是示出S15的狀態的圖。
【具體實施方式】
[0023]以下，參照附圖對本發明的實施方式進行說明。
[0024]首先，參照圖1?圖3對包括本發明的實施方式所涉及的方向調整裝置的防塵自動立體倉庫100的結構進行說明。另外，圖1是實施方式所涉及的防塵自動立體倉庫100的主視圖。圖2是圖1的II 一 II線處的剖視圖。圖3是圖1的II1-1II線處的剖視圖。
[0025]防塵自動立體倉庫100設置於半導體車間或者液晶車間等的防塵室內，並將半導體或者液晶基板的曝光用的中間掩模(貨物)和收納中間掩模的掩模盒(容器)分開保管。並且，中間掩模朝曝光裝置(外部裝置)的插入方向是預先確定的，並且載置有中間掩模的狀態下的掩模盒朝曝光裝置的插入方向也是預先確定的。
[0026]具體而言，防塵自動立體倉庫100主要具備:旋轉擱板110 ;中間掩模輸送裝置120 ;掩模盒輸送裝置130 ;掩模盒開啟器140 ;0HT (Overhead Hoist Transfer,高架升降輸送)自動裝載口 150 ;手動裝載口 160 ;風機過濾單元(FFU，風機過濾單元)170 ;以及控制器180。並且，旋轉擱板110具備上下多層的多級，從上方開始依次劃分成中間掩模用旋轉擱板111和空掩模盒用旋轉擱板112。
[0027]另外，本發明的一個實施方式所涉及的方向調整裝置例如由防塵自動立體倉庫100的構成要素中的、作為旋轉裝置發揮功能的掩模盒開啟器140 (更具體而言是後述的載置部142)和作為保持裝置發揮功能的中間掩模輸送裝置120以及控制器180構成。各部分的結構以及動作將在後面敘述。
[0028]中間掩模用旋轉擱板111是保管半導體或者液晶基板的曝光用的中間掩模的擱板。空掩模盒用旋轉擱板112是保管未收納中間掩模的空的掩模盒(以下記為「空掩模盒」)的擱板。另外，空掩模盒用旋轉擱板112中的掩模盒的保管數量可以比中間掩模用旋轉擱板111中的中間掩模的保管數量少，例如可以是1/10?1/100的程度。
[0029]中間掩模用旋轉擱板111以及空掩模盒用旋轉擱板112也可以形成為分別作為一體旋轉，各級無法獨立旋轉。或者，為了能夠更高速地進行收納物的存取，也可以將各擱板進一步分割成上下多個塊，且每個塊獨立地旋轉。
[0030]中間掩模輸送裝置120設置在防塵自動立體倉庫100內部的前面一方側(在圖1中為面朝紙面觀察時的左側)。該中間掩模輸送裝置120在中間掩模用旋轉擱板111與掩模盒開啟器140之間輸送中間掩模、或者使中間掩模在掩模盒開啟器140內的位置移動。
[0031]更具體而言，中間掩模輸送裝置120在兩級的臂121、122的前端設置有手123，且具有在水平面內動作的三個關節124、125、126。並且，中間掩模輸送裝置120沿著升降引導件127升降。即，該中間掩模輸送裝置120在升降引導件127的範圍內上下升降，並使各關節124、125、126獨立地動作，由此能夠在兩級的臂121、122所能夠到達的範圍內沿任意的方向輸送中間掩模。
[0032]掩模盒輸送裝置130設置在防塵自動立體倉庫100內部的前面另一方側(在圖1中為面朝紙面觀察時的右側)。該掩模盒輸送裝置130在空掩模盒用旋轉擱板112與掩模盒開啟器140之間輸送空掩模盒、或者在掩模盒開啟器140與OHT自動裝載口 150之間以及掩模盒開啟器140與手動裝載口 160之間輸送收納有中間掩模的掩模盒(以下記為「中間掩模裝入掩模盒」)。
[0033]更具體而言，掩模盒輸送裝置130在兩級的臂131、132的前端設置有手133，且具有在水平面內動作的三個關節134、135、136。並且，掩模盒輸送裝置130沿著升降引導件137升降。即，該掩模盒輸送裝置130在升降引導件137的範圍內上下升降，並使各關節134、135、136獨立地動作，由此能夠在兩級的臂131、132所能夠到達的範圍內沿任意的方向輸送掩模盒。[0034]掩模盒開啟器140配置在防塵自動立體倉庫100內部的前面中央部、即中間掩模輸送裝置120以及掩模盒輸送裝置130之間，用於將中間掩模收納於空掩模盒、從中間掩模裝入掩模盒取出中間掩模、或者調整中間掩模與掩模盒的相對方向。處理的具體內容將在後面敘述。
[0035]OHT自動裝載口 150是設置於防塵自動立體倉庫100的前面上部的天車用裝載口，是與未圖示的天車之間進行中間掩模裝入掩模盒的入庫、出庫的接口。手動裝載口 160是設置於防塵自動立體倉庫100的前面下部的作業者用裝載口，是與作業者之間進行中間掩模裝入掩模盒的入庫、出庫的接口。
[0036]控制器180對防塵自動立體倉庫100的各活動部進行控制。例如，使旋轉擱板110旋轉至規定的位置、或者對中間掩模輸送裝置120以及掩模盒輸送裝置130的動作進行控制。詳細情況將在後面敘述。另外，控制器180可以是安裝有程序從而執行規定的處理的CPU (Central Processing Unit,中間處理單元),也可以是實現規定的功能的集成電路。
[0037]其次，對上述結構的防塵自動立體倉庫100的基本動作進行說明。
[0038]首先，在對中間掩模裝入掩模盒進行入庫的情況下，利用天車將中間掩模裝入掩模盒搬入OHT自動裝載口 150、或者作業者將中間掩模裝入掩模盒搬入手動裝載口 160。其次，所搬入的中間掩模裝入掩模盒由掩模盒輸送裝置130移載至掩模盒開啟器140，並被分離成中間掩模和空掩模盒。進而，中間掩模由中間掩模輸送裝置120收納於中間掩模用旋轉擱板，空掩模盒由掩模盒輸送裝置130收納於空掩模盒用旋轉擱板112。
[0039]另一方面，在對中間掩模裝入掩模盒進行出庫的情況下，應當出庫的中間掩模由中間掩模輸送裝置120從中間掩模用旋轉擱板111移載至掩模盒開啟器140，空掩模盒由掩模盒輸送裝置130從空掩模盒用旋轉擱板112移載至掩模盒開啟器140。被搬入至掩模盒開啟器140的中間掩模被收納於空掩模盒，並由掩模盒輸送裝置130移載至OHT自動裝載口 150或者手動裝載口 160而出庫。
[0040]其次，參照圖4?圖9對使用中間掩模輸送裝置120、掩模盒輸送裝置130以及掩模盒開啟器140調整中間掩模和掩模盒的相對方向的方向調整處理進行說明。圖4是示出方向調整處理的流程圖。另外，圖4的各處理由控制器180控制。
[0041]首先，中間掩模裝入掩模盒被載置於掩模盒開啟器140 (S11)。例如，要出庫的中間掩模230由中間掩模輸送裝置120從中間掩模用旋轉擱板111移載至掩模盒開啟器140,空的掩模盒200由掩模盒輸送裝置130從空掩模盒用旋轉擱板112移載至掩模盒開啟器140，在掩模盒開啟器140內，中間掩模230被收納於掩模盒200。
[0042]參照圖5對掩模盒開啟器140以及掩模盒200的詳細情況進行說明。另外，圖5是掩模盒開啟器140內部的側視圖，且是示出圖14的Sll的狀態的圖。
[0043]首先，掩模盒200由能夠上下分離的罩210以及門220構成。進而，掩模盒200利用從門220的上表面突出的多個突起221支承中間掩模230，並利用罩210覆蓋中間掩模230，由此將中間掩模230收納於內部。
[0044]掩模盒開啟器140由對罩210進行卡止的卡止部141和載置門220的載置部142構成。另外，載置部142作為在載置有門220的狀態下上下升降的升降裝置發揮功能，並且還作為在水平面內旋轉的旋轉裝置發揮功能。
[0045]在掩模盒開啟器140的上表面設置有開口。進而，卡止部141設置於開口的周緣部。並且，載置部142設置在掩模盒開啟器140的內部，且設置在與設置於上表面的開口對置的位置。當載置部142最大程度上升時，掩模盒開啟器140的上表面和載置部142的載置面(上表面)位於同一平面上。進而，掩模盒200被載置於最大程度上升後的狀態的載置部142。由此，掩模盒開啟器140的開口由掩模盒200封閉。
[0046]圖6是掩模盒開啟器140內部的側視圖，且是示出圖4的S12的狀態的圖。如圖6所示，當載置掩模盒200的狀態的載置部142下降時，門220與載置部142 —起下降，罩210卡止於卡止部141，罩210與門220分離。
[0047]進而，作為保持裝置的中間掩模輸送裝置120在保持著中間掩模230的狀態下沿著升降引導件127升降，由此將中間掩模230保持在從門220朝上方離開規定距離的保持位置(S12)。此時，中間掩模輸送裝置120不變更中間掩模230的方向地進行保持。
[0048]圖7是掩模盒開啟器140內部的俯視圖，且是示出圖4的S13的狀態的圖。如圖7所示，作為旋轉裝置的載置部142使中間掩模230離開後的狀態的門220從初始位置旋轉至目標位置(S13)。從初始位置到目標位置的旋轉角度並無特殊限定，但例如使其逆時針旋轉 180。。
[0049]圖8是掩模盒開啟器140內部的側視圖，且是示出圖4的S14的狀態的圖。如圖8所示，中間掩模輸送裝置120沿著升降引導件127下降，由此將中間掩模230載置於旋轉至目標位置後的門220。此處，中間掩模230由中間掩模輸送裝置120不變更方向地保持，與此相對，載置部142使門220旋轉，因此中間掩模230與門220之間的相對方向變化。
[0050]圖9是掩模盒開啟器140內部的俯視圖，且是示出圖4的S15的狀態的圖。載置部142使載置有中間掩模230的狀態的門220從目標位置旋轉至初始位置(S15)。S卩，在上述例子中，使其順時針旋轉180°。由此，中間掩模230與門220 —起旋轉，以便位於中間掩模230的左下角的標記231移動至右上角(以虛線框表示的位置)。另外，標記231能夠利用能夠確定中間掩模230的方向的所有的標記，例如可以是用於識別中間掩模230的條形碼等。
[0051]根據上述的方法，能夠在掩模盒開啟器140內調整中間掩模230和掩模盒200之間的相對方向。即，由於無需將中間掩模230以及掩模盒200從掩模盒開啟器140取出並移載至其他場所，因此能夠削減移載所需要的循環時間。結果，能夠短時間且利用較少的工序調整中間掩模230與掩模盒200之間的相對方向。
[0052]另外，在圖4的S12以及S13中，也可以在中間掩模輸送裝置120在保持有中間掩模230的狀態下上升至保持位置之後使載置部142開始旋轉。然而，從進一步縮短方向調整處理的處理時間的觀點出發，控制器180也可以在利用中間掩模輸送裝置120使中間掩模230從門220離開之後、且到達保持位置之前，使載置部142開始進行門220的從初始位置朝目標位置的旋轉。
[0053]並且，防塵自動立體倉庫100也可以還具備確認中間掩模230和門220之間的相對方向的方向確認裝置(省略圖示)。進而，控制器180也可以在利用載置部142使門220旋轉至初始位置之後使方向確認裝置確認中間掩模230與門220之間的相對方向。
[0054]更具體而言，方向確認裝置也可以具備從上方拍攝中間掩模230的照相機。進而，可以在圖4的S15之後利用中間掩模輸送裝置120將中間掩模230從掩模盒200取出並利用照相機進行拍攝，以確認標記231是否位於預先確定的規定位置。[0055]另外，在上述實施方式中對在防塵自動立體倉庫100內調整中間掩模230和掩模盒200之間的相對位置的例子進行了說明，但是本發明並不限定於此。例如，獨立設置於防塵自動立體倉庫100的外部，並調整中間掩模230和掩模盒200之間的相對方向的中間掩模方向調整裝置也包含於本發明。
[0056]此外，並不限於調整中間掩模230和掩模盒200之間的相對方向的裝置，調整所有的貨物以及該貨物所被載置到的載置臺之間的相對方向的方向調整裝置均包含於本發明。例如，也可以是調整液晶面板與載置該液晶面板的託盤之間的相對方向的裝置。
[0057]以上參照附圖對本發明的實施方式進行了說明，本發明並不限定於圖示的實施方式。針對圖示的實施方式，能夠在與本發明相同的範圍內、或者在等同的範圍內施加各種修正、變形。
[0058]產業上的利用可能性
[0059]本發明能夠有利地利用與用於調整貨物和載置該貨物的載置臺之間的相對方向的方向調整裝置。
[0060]附圖標記說明:
[0061]100:防塵自動立體倉庫；110:旋轉擱板；111:中間掩模用旋轉擱板；112:空掩模盒用旋轉擱板；120:中間掩模輸送裝置;121、122、131、132:臂;123、133:手；124、125、126、134、135、136:關節；127、137:升降引導件；130:掩模盒輸送裝置；140:掩模盒開啟器；141:卡止部；142:載置部；150 =OHT自動裝載口 ；160:手動裝載口 ；170:風機過濾單元；180:控制器；200:掩模盒；210:罩；220:門；221:突起；230:中間掩模；231:標記。
【權利要求】
1.一種方向調整裝置， 在貨物朝外部裝置的插入方向預先確定、且載置有所述貨物的狀態的載置臺朝外部裝置的插入方向預先確定的情況下，所述方向調整裝置調整所述貨物與所述載置臺之間的相對方向， 所述方向調整裝置的特徵在於， 所述方向調整裝置具備: 旋轉裝置，該旋轉裝置使所述載置臺旋轉； 保持裝置，該保持裝置不變更所述貨物的方向地保持所述貨物；以及控制器，該控制器控制所述旋轉裝置以及所述保持裝置，以便將所述貨物與所述載置臺之間的相對方向調整成預先確定的方向， 所述控制器使所述保持裝置在使所述貨物從被保持於所述旋轉裝置的所述載置臺離開的狀態下保持所述貨物， 所述控制器使所述旋轉裝置將所述貨物已離開的狀態下的所述載置臺從初始位置旋轉至目標位置， 所述控制器使所述保持裝置將所述貨物載置於旋轉至所述目標位置的所述載置臺，所述控制器使所述旋轉裝置將載置有所述貨物的狀態的所述載置臺從所述目標位置旋轉至所述初始位置。
2.根據權利要求1所述的方向調整裝置，其特徵在於， 所述保持裝置在保持有所述貨物的狀態下沿上下方向移動，並在從所述載置臺朝上方離開規定距離的保持位置保持所述貨物。
3.根據權利要求2所述的方向調整裝置，其特徵在於， 所述控制器在利用所述保持裝置將所述貨物從所述載置臺離開之後、且到達所述保持位置之前，使所述旋轉裝置開始進行所述載置臺的從所述初始位置朝所述目標位置的旋轉。
4.根據權利要求1~3中任一項所述的方向調整裝置，其特徵在於， 所述方向調整裝置還具備方向確認裝置，該方向確認裝置確認所述貨物與所述載置臺之間的相對方向， 所述控制器在使所述旋轉裝置將所述載置臺旋轉至所述初始位置之後，使所述方向確認裝置確認所述貨物與所述載置臺之間的相對方向。
5.一種方向調整方法，該方向調整方法是在所述貨物朝外部裝置的插入方向預先確定、且載置有所述貨物的狀態的所述載置臺朝外部裝置的插入方向預先確定的情況下，方向調整裝置調整貨物與載置臺之間的相對方向的方法，所述方向調整裝置具備:旋轉裝置，所述旋轉裝置使所述載置臺旋轉；以及保持裝置，該保持裝置不變更所述貨物的方向地保持所述貨物， 所述方向調整方法的特徵在於， 所述方向調整方法包括以下步驟: 所述保持裝置在使所述貨物從被保持於所述旋轉裝置的所述載置臺離開的狀態下保持所述貨物的步驟； 所述旋轉裝置將所述貨物已離開的狀態下的所述載置臺從初始位置旋轉至目標位置的步驟； 所述保持裝置將所述貨物載置於旋轉至所述目標位置的所述載置臺的步驟；以及所述旋轉裝置將載置有所述貨物的狀態的所述載置臺從所述目標位置旋轉至所述初始位置的步驟。
【文檔編號】B65G47/90GK103650126SQ201280016013
【公開日】2014年3月19日 申請日期:2012年3月13日 優先權日:2011年5月2日
【發明者】雁部政彥 申請人:村田機械株式會社