三氯氫矽合成氣的除塵方法
2023-07-19 06:05:46 2
專利名稱：三氯氫矽合成氣的除塵方法
技術領域：
本發明涉及三氯氫矽合成氣的處理方法，特別涉及三氯氫矽合成氣的除塵方法。
背景技術：
ニ氣氧娃是生廣有機娃、娃燒偶聯劑和製備多晶娃的重要原材料，隨著近兩年光伏市場的不斷發展，多晶矽產量的不斷攀升，三氯氫矽的需求量也急速上升。目前，三氯氫矽的生產方法是矽粉和氯化氫氣體在流化床反應爐中進行反應得到三氯氫娃的合成氣。所述三氯氫娃合成氣的成分非常複雜，主要成分有三氯氫娃、四氯化矽、ニ氯ニ氫矽、氫氣和未反應的氯化氫、金屬氯化物(如氯化鋁、氯化鐵、氯化亞鐵、氯化鈣等)，以及氯矽烷發生聚合反應生成的聚氯矽烷。為了使多晶矽生產的原料氣體三氯氫矽較純淨，以利於多晶矽生產，還需要對三氯氫矽合成氣進行除塵。 傳統的三氯氫矽合成氣除塵方法，包括如下步驟(I)、粗除塵經旋風除塵器、袋式除塵器進行粗除塵，得到廢渣；(2)、溼法噴淋將粗除塵後的合成氣送入包括了噴淋塔和與噴淋塔塔底連接的蒸發釜的溼法噴淋裝置，採用主要成分為四氯化矽的氯矽烷噴淋液降溫、淋洗合成氣中的高沸物及未被粗除塵步驟除去的細微固體顆粒，形成渣漿；(3)、水解處理高濃度渣漿將經過溼法噴淋裝置中蒸發釜蒸發處理後的高濃度渣漿排放至渣漿水解處理裝置進行水解處理；(4)、水解處理廢渣將經過粗除塵步驟得到的廢渣排放至廢渣水解處理裝置進行水解處理。此種傳統的三氯氫矽合成氣除塵方法在エ業化實施時，為了減少經溼法噴淋步驟得到的渣漿中氯矽烷的排放，將蒸發釜工作溫度設置地較高、工作壓カ設置地較低(甚至為負壓)，大量的氯矽烷被蒸發成氣體送入噴淋塔內，使得經蒸發釜處理後的渣漿濃度較高。所述高濃度渣漿除了含有四氯化矽和三氯氫矽液體物質外，還含有大量粒徑較小的固體物質；所述粒徑較小的固體物質主要包括氯矽烷高聚化合物、矽粉末，氯化鋁、氯化鐵等金屬氯化物。使這種三氯氫矽合成氣除塵方法存在著以下問題由於所述高濃度渣漿中含有氯矽烷高聚化合物以及氯化鋁等金屬氯化物，在溶液中容易析出、附著在管道和/或設備內壁，形成凹凸不平的內壁，使所述高濃度渣漿中含有粒徑較小且量較多的固體物質極容易附著在管道和/或設備內壁，從而在送往對高濃度渣漿進行水解處理裝置之前的管道和/或水解處理裝置中容易被堵塞，且極難清除，給三氯氫矽合成氣除塵的連續和安全進行帶來了嚴重的困難。對上述問題，目前改進的方法是在蒸發釜與高濃度渣漿水處理裝置之間增設液固過濾器，分離高濃度渣漿中的大部分固體物質，解決高濃度渣漿中固體物質容易沉積到管道和/或設備內壁，從而在送往對高濃度渣漿進行水解處理裝置之前的管道和/或水解處理裝置中容易被堵塞的問題。但這種改進方法只是將堵塞從送往對高濃度渣漿進行水解處理裝置之前的管道和/或水解處理裝置中轉移到了液固過濾器中，並沒有從根本上解決高濃度渣漿中固體物質引起堵塞的問題。由於高濃度渣漿中固體物質主要為具有顆粒細密且粘度大的氯矽烷的高聚化合物和金屬氯化物，經濾網過濾後易粘附板結在濾網上，使濾餅密實，從而造成(I)、濾網內外壓差很快升高，導致液固過濾器的自動反吹頻繁進行，不僅増加能耗，還容易對過濾元件造成破損，需要較頻繁地更換過濾元件；(2)濾餅與濾網粘附性強，很難將濾餅清除，使液固過濾器的連續運行時間短，進而這種改進方法同樣還是給三氯氫矽除塵系統的連續和安全運行帶來嚴重的困難，難以在實際生產中被應用。
發明內容
本發明的目的在於克服現有技術中所存在的對高濃度渣漿進行輸送和/或處理吋，高濃度渣漿容易對管道和/設備造成堵塞，從而嚴重影響三氯氫矽合成氣除塵系統連續和安全運行的不足，提供能連續和安全運行的三氯氫矽合成氣的除塵方法。為了實現上述發明目的，本發明提供了以下技術方案三氯氫矽合成氣的除塵方法，包 括粗除塵和溼法噴淋步驟，還包括如下步驟(I)、將粗除塵步驟得到的廢渣和溼法噴淋步驟得到的渣漿混合，得混合渣漿；(2)、從所述混合渣中分離氯矽烷，得濾餅和氯矽烷；(3)、水解處理所述濾餅。本發明三氯氫矽合成氣的除塵方法，將粗除塵步驟得到的廢渣(所含的固體物質主要成分為矽粉，粒度較大，為粗顆粒物質)和溼法噴淋步驟得到的渣漿(所含的固體物質主要成分為矽粉，氯化鋁高聚化合物和氯矽烷高聚化合物，粒度較細，主要為細顆粒物質)混合成為混合渣漿，再進行氯矽烷分離步驟，對混合渣漿中的氯矽烷進行分離回收。上述混合渣漿含有較多粗顆粒物質，在經過液固過濾器的濾網時形成較厚的疏鬆多孔、不易板結的濾餅，使本發明具有如下優點(I)、因濾餅粘附性不強，易於從濾網上剝離，使液固過濾器濾網上的濾餅能順利清除，濾網乾淨通暢，從而解決了因濾餅與濾網粘附性強、很難將濾餅清除、容易使液固過濾器堵塞的問題，極大延長液固過濾器連續運行時間，使三氯氫矽合成氣除塵系統能連續和安全地運行；(2)、因濾餅具備疏鬆多孔的結構，並且厚度較大，也可以對混合渣漿進行過濾，使液固過濾器過濾元件由濾網和所述濾餅組成，提高了對氯矽烷的過濾精度；(3)、經三氯氫矽合成氣粗除塵步驟得到的含有較多粗顆粒物質的廢渣應用於從溼法噴淋步驟得到的渣漿分離氯矽烷步驟中，不僅使本發明方法具有如上優點，還對所述廢渣和所述渣漿合併進行處理，克服了現有技術分別単獨處理所述廢渣和所述渣漿的較繁瑣操作，簡化了エ藝流程。上述三氯氫矽合成氣的除塵方法步驟(2)中分離氯矽烷使用的裝置優選為液固過濾器。為了使所述液固過濾器內過濾分離氯矽烷的效果更佳，上述液固過濾器的工作溫度優選為20 60°C，進ー步優選20 50°C，再進ー步優選25 45°C，以30°C為最佳。為了使用於分離氯矽烷的上述液固過濾器具有自清潔能力，上述液固過濾器優選為具有自動反吹功能的液固過濾器。所述自動反吹功能為根據液固過濾器濾網內外壓差變化，啟動對濾網進行反吹以卸載濾餅。上述三氯氫矽合成氣的除塵方法中，粗除塵步驟優選使用氣固分離器對三氯氫矽合成氣進行粗除塵。為了使除塵效果更佳，上述氣固分離器優選由多級氣固分離器構成。考慮到除塵效果和設備成本，所述氣固分離器進一步優選由兩級氣固分離器構成，具體由第一氣固分離器和第二氣固分離器構成。進ー步考慮到除塵效果和設備成本，所述氣固分離器優選為旋風除塵器或布袋除塵器，以旋風除塵器為最佳。為了使在上述三氯氫矽合成氣的除塵方法中，對三氯氫矽合成氣的粗除塵效果佳，上述旋風除塵器工作溫度優選180 260°C，進ー步優選180 240°C，再進ー步優選190 230°C，以200 220°C為最佳，所述旋風除塵器工作壓カ優選為O. 2 O. 6MPa，進ー步優選O. 2 O. 5MPa，以O. 25MPa為最佳。上述溼法噴淋步驟為是將經過粗除塵步驟除塵後的合成氣通入溼法噴淋裝置，使用氯矽烷液體(主要成分為三氯氫矽和四氯化矽)對所述合成氣降溫、淋洗，所述溼法噴淋裝置包括噴淋塔和與噴淋塔塔底連接的蒸發釜。所述降溫、淋洗，是用來除去所述合成氣中的高沸雜質以及氣固分離器中未能除盡的固體粉末。為了更好地回收淋洗合成氣後的氯矽烷液體裡的三氯氫矽組分，並為了降低氯矽烷在渣漿中含量的同時，又保持渣漿具有較好地流動性，能順暢地通過管道送往 液固過濾器中，所述蒸發釜的工作溫度優選為20 1600C，進ー步優選20 130°C，再進ー步優選25 95°C，以30 60°C為最佳，所述蒸發釜的工作壓カ優選為O. I O. 5MPa，進ー步優選為O. 15 O. 4MPa，以O. 2MPa為最佳。為了方便、有效地利用經上述液固過濾器分離得到的氯矽烷，上述三氯氫矽合成氣的除塵方法優選用步驟(2)分離得到的氯矽烷補給溼法噴淋步驟所需的氯矽烷液體。與現有技術相比，本發明的有益效果本發明三氯氫矽合成氣的除塵方法，簡化了エ藝流程，有效地將三氯氫矽合成氣粗除塵步驟得到的含有較多粗顆粒物質的廢渣與從溼法噴淋步驟得到的渣漿混合，並使用液固過濾器分離混合渣漿中的氯矽烷液體，由於所述混合渣漿中含有大顆粒固體物質，在進行過濾時，在濾網上形成了較厚的疏鬆多孔、不易板結的濾餅，使得在分離氯矽烷時，固液分離更容易進行，過濾精度更高，不僅使氯矽烷液體的排放減少了 53%以上，從而提高了氯矽烷回收率，而且分離後的濾餅較乾燥，更便於處理，最終避免了經分離氯矽烷後的高濃度渣漿對管道和/設備造成堵塞，使得本發明方法能連續、安全地進行。具體地，本發明方法具有如下有益效果(I)、因濾餅粘附性不強，易於從濾網上剝離，使液固過濾器在自動反吹時濾餅能順利清除，濾網乾淨通暢，使液固過濾器能充分發揮出其自清潔功能，極大延長液固過濾器連續運行時間，連續運行50天以上才需要對液固過濾器進行清掃；(2)、極大程度上降低了濾餅與濾網的粘附性，使液體流動暢通，降低了液固過濾器自動反吹負荷，保護了過濾元件，降低因自動反吹造成的能源消耗；(3)、因濾餅具備疏鬆多孔的結構，並且厚度較大，也可以對混合渣漿進行過濾,使液固過濾器過濾元件由濾網和所述濾餅組成，提高了對氯矽烷的過濾精度，使過濾精度在O. 13 μ m以上；(4)、本發明方法對所述廢渣和所述渣漿合併進行處理，克服了現有技術分別単獨處理所述廢渣和所述渣漿的較繁瑣操作，簡化了エ藝流程；(5)除塵效果佳，經本發明方法粗除塵步驟，氣固分離器對ΙΟμπι以上的固體顆粒分離效率可達到99%以上，進而降低了溼法噴淋裝置的負荷，使溼法噴淋步驟對經粗除塵處理後的三氯氫矽合成氣處理效果更佳。
圖I是本發明三氯氫矽合成氣的除塵方法エ藝流程圖；圖2是本發明三氯氫矽合成氣的除塵方法的另外ー種エ藝流程圖；圖3是具體實施方法中對比例I所涉及的三氯氫矽合成氣的除塵方法的エ藝流程圖。圖中標記1_第一氣固分離器，101-第一氣固分離器進氣ロ，2-噴淋塔,201-氣體排出ロ，202-噴淋液第一輸入ロ，203-噴淋液第二輸入ロ，3-蒸發釜，4-廢渣液收集裝置，5-液固過濾器，501-氮氣進ロ，6-儲罐,7-輸送泵,8-第二氣固分離器,801-第二氣固分離器進氣ロ，9-廢固水解處理裝置，10-高濃度渣漿水解處理裝置。
具體實施例方式下面結合試驗例及具體實施方式
對本發明作進ー步的詳細描述。但不應將此理解為本發明上述主題的範圍僅限於以下的實施例，凡基於本發明內容所實現的技術均屬於本發明的範圍。
實施例I三氯氫矽合成氣的除塵方法，將經過矽粉和氯化氫氣體在流化床反應爐中進行反應得到三氯氫矽的合成氣進行粗除塵和溼法噴淋處理後，再進行如下步驟對其進行處理(I)、將粗除塵步驟得到的廢渣和溼法噴淋步驟得到的渣漿(渣漿固含量為17%W，本發明中「 ％ w」表示重量百分含量)混合，得混合渣漿，混合渣漿的固含量為41% w ;(2)、從所述混合渣漿中分離氯矽烷，得濾餅(濾餅固含量為79. 8% w)和氯矽烷；(3)、水解處理所述濾餅。經本例三氯氫矽合成氣的除塵方法對三氯氫矽合成氣進行處理，連續、安全生產，連續運行50天以上才需要對分離氯矽烷使用的裝置進行清掃；步驟(2)固液分離精度達
O.13um ;簡化了三氯氫矽合成氣的除塵方法エ序，與不經過混合廢渣和渣漿步驟，對渣漿直接進行液固過濾的方法相比較，提高了氯矽烷回收率，減少約55% V(本發明中「 ％ V」表述體積百分含量)的氯矽烷排放。實施例2參見圖I，三氯氫矽合成氣的除塵方法，它包括如下步驟(I)、粗除塵將三氯氫娃合成氣經過第一氣固分離器進氣ロ 101通入第一氣固分離器I粗除塵，分離出合成氣中大部分固體顆粒；(2)、溼法噴淋將經粗除塵後的氣體通入噴淋塔2，使用經噴淋液第二輸入口 203進入噴淋塔2內的氯矽烷液體對所述合成氣降溫、淋洗，除去合成氣中的高沸雜質以及氣固分離器中未能除盡的固體粉末，被除塵後的三氯氫矽合成氣從噴淋塔2氣體排出ロ 201排出；(3)、混合廢渣和渣漿將粗除塵步驟得到的廢渣和溼法噴淋步驟得到的渣漿(渣漿固含量為17% w)收集於廢渣液收集裝置4中，混合、攪拌均勻，得混合渣漿，混合渣漿的固含量為41 % w ;(4)、分離氯矽烷將混合渣漿送入液固過濾器5，過濾、分離氯矽烷，得濾餅(濾餅固含量為81. 1% w)和氯矽烷；所述液固過濾器的工作溫度為20°C ；(5)、將經液固過濾器5分離得到的氯矽烷液體通過輸送泵7輸送至噴淋液第一輸入口 202進入噴淋塔內，用於補給噴淋處理合成氣所需的氯矽烷液體；(6)、分離氯矽烷步驟得到的濾餅進入儲罐6，再送至水解處理裝置。經本例三氯氫矽合成氣的除塵方法對三氯氫矽合成氣進行處理，連續、安全生產，連續運行58天才需要對液固過濾器5進行清掃，過濾精度為O. 15um ;簡化了三氯氫矽合成氣的除塵方法エ序，與不經過混合廢渣和渣漿步驟，對渣漿直接進行液固過濾的方法相比較，提高了氯矽烷回收率，減少約58% V的氯矽烷排放。
實施例3參見圖2，三氯氫矽合成氣的除塵方法，它包括如下步驟(I)、粗除塵將三 氯氫矽合成氣經過第二氣固分離器進氣ロ 801通入第二氣固分離器8，經第二氣固分離器8和第一氣固分離器I粗除塵，分離出合成氣中大部分固體顆粒，所述第一氣固分離器I和第二氣固分離器8的工作溫度為180°C，工作壓カ為O. 2MPa ；(2)、溼法噴淋將經粗除塵後的氣體通入噴淋塔2，使用經噴淋液第二輸入口 203進入噴淋塔2內的氯矽烷液體對所述合成氣降溫、淋洗，被淋洗後的液體再經蒸發釜3蒸發,氣相組分進入噴淋塔2內再一次被氯矽烷液體淋洗，除去合成氣中的高沸雜質以及氣固分離器中未能除盡的固體粉末，所述蒸發釜3的工作溫度為20°C，工作壓カ為O. IMPa ；(3)、混合廢渣和渣漿將粗除塵步驟得到的廢渣和溼法噴淋步驟得到的渣漿(渣漿固含量為15% w)收集於廢渣液收集裝置4中，混合、攪拌均勻，得混合渣漿，混合渣漿的固含量為39% w ;(4)、分離氯矽烷將混合渣漿送入具有自動反吹功能的液固過濾器5，過濾、分離氯矽烷，得濾餅(濾餅固含量為78. 9% w)和氯矽烷；所述液固過濾器的工作溫度為30°C，所述液固過濾器5通過氮氣進ロ 501通入氮氣對液固過濾器5的濾網進行反吹，以卸載濾餅；(5)、將經液固過濾器5分離得到的氯矽烷液體通過輸送泵7輸送至噴淋液第一輸入口 202進入噴淋塔2內，用於補給噴淋處理合成氣所需的氯矽烷液體；(6)、分離氯矽烷步驟得到的濾餅進入儲罐6，再送至水解處理工段。經本例三氯氫矽合成氣的除塵方法對三氯氫矽合成氣進行處理，連續、安全生產，能連續運行62天才需要對液固過濾器5進行清掃，過濾精度為O. 15um ;簡化了三氯氫矽合成氣的除塵方法エ序，提高了氯矽烷回收率，減少約53% V的氯矽烷排放。對比例I參見圖3，採用實施例3使用的三氯氫矽合成氣的除塵方法，將三氯氫矽合成氣經過第二氣固分離器進氣ロ 801通入圖3所示三氯氫矽合成氣除塵系統中，與實施例3不同的是本對比例三氯氫矽合成氣的除塵方法無混合廢渣和渣漿步驟，經粗除塵步驟除塵後的廢渣通入廢渣水解處理裝置9進行水解處理；蒸發釜的工作溫度為80°C，工作壓カ為
O.IMPa，經蒸發釜輸出的渣漿固含量為37% W，所述渣漿通入液固過濾器5分離出氯矽烷，得到的廢渣濾餅送到水解處理裝置10。經本對比例方法對三氯氫矽合成氣進行除塵，處理與實施例3相同且等量的三氯氫矽合成氣，對比例液固過濾器的過濾精度為O. 13，氯矽烷排放量為實施例3的2. I倍，需要與實施例3方法處理時間的2. 6倍，才能處理完與實施例3相同且等量的三氯氫矽合成氣，在處理過程中，共出現需要更換濾布情況4次，高濃度渣漿堵塞管道6次，毎次連續運行的時間平均為32天。由實施例3和對比例I比較可知，通過實施例3中的步驟(3)，有效地將含有大量粗顆粒固體物質的所述廢渣與所述渣漿混合，並使用液固過濾器5分離混合渣漿中的氯矽烷液體；所述混合渣漿中含有大顆粒固體物質，在進行過濾時，在濾網上形成了較厚的疏鬆多孔、不易板結的濾餅，使得在分離氯矽烷時，固液分離更容易進行，過濾精度更高，不僅提高了氯矽烷回收率，而且分離後的濾餅較乾燥，更便於處理，最終避免了經分離氯矽烷後的高濃度渣漿對管道和/設備造成堵塞，使得三氯氫矽合成氣除塵方法在運行時能連續、安全地進行。實施例4 10參見圖2，使用與實施例3相同的三氯氫矽合成氣的除塵方法，分別對三氯氫矽合成氣進行除塵處理，與實施例3所不同的地方以及相應的連續運行時間、液固過濾器的過濾精度和氯矽烷排放降低數據已列入下表表I中。表I
^I液固胃仲
み 旋風除塵器蒸發籤過濾連續
^器.運行過濾
^ヱ作Ii作壓ヱ作I ^乍ヱ作時間/精度體1夕J溫度/溫度/壓ヵ溫度/ 天 ロ、
で 力/MPaで /MPaで__積)4 260 0.6 160 0.5 25 50 0.15 60%
52400.31300.44557 0.1553%
61900.595O. 153563 0.1558%
72000.25250.26072 0.1364%
82200.4300.25070 0.1365%
92050.35600.33080 0.1571%
10 1:210 {0.25 [50]0.25 [4θ]87 1:0.1569%經本實施例4 10三氯氫矽合成氣的除塵方法對三氯氫矽合成氣進行處理，連續、安全運行，簡化了三氯氫矽合成氣的除塵方法，過濾精度高，提高了氯矽烷回收率，減少了其排放，既經濟又環保。
權利要求
1.三氯氫矽合成氣的除塵方法，包括粗除塵和溼法噴淋步驟，其特徵在於，還包括如下步驟 (1)、將粗除塵步驟得到的廢渣和溼法噴淋步驟得到的渣漿混合，得混合渣漿； (2)、從所述混合渣漿中分離氯矽烷，得濾餅和氯矽烷； (3)、水解處理所述濾餅。
2.根據權利要求I所述的三氯氫矽合成氣的除塵方法，其特徵在於，步驟(2)中分離氯矽烷使用的裝置為液固過濾器。
3.根據權利要求2所述的三氯氫矽合成氣的除塵方法，其特徵在於，所述液固過濾器的工作溫度為20 60°C。
4.根據權利要求3所述的三氯氫矽合成氣的除塵方法，其特徵在於，所述液固過濾器的工作溫度為20 50°C。
5.根據權利要求4所述的三氯氫矽合成氣的除塵方法，其特徵在於，所述液固過濾器的工作溫度為25 45で。
6.根據權利要求2所述的三氯氫矽合成氣的除塵方法，其特徵在於，所述液固過濾器為具有自動反吹功能的液固過濾器。
7.根據權利要求I所述的三氯氫矽合成氣的除塵方法，其特徵在於，所述粗除塵步驟為使用氣固分離器對三氯氫矽合成氣進行粗除塵。
8.根據權利要求7所述的三氯氫矽合成氣的除塵方法，其特徵在於，所述氣固分離器由多級氣固分離器構成。
9.根據權利要求8所述的三氯氫矽合成氣的除塵方法，其特徵在於，所述氣固分離器由兩級氣固分離器構成。
10.根據權利要求9所述的三氯氫矽合成氣的除塵方法，其特徵在於，所述氣固分離器為旋風除塵器。
11.根據權利要求10所述的三氯氫矽合成氣的除塵方法，其特徵在於，所述旋風除塵器工作溫度為180 260°C，工作壓カ為O. 2 O. 6MPa。
12.根據權利要求11所述的三氯氫矽合成氣的除塵方法，其特徵在於，所述旋風除塵器工作溫度為180 240°C，工作壓カO. 2 O. 5MPa。
13.根據權利要求12所述的三氯氫矽合成氣的除塵方法，其特徵在於，所述旋風除塵器工作溫度為190 230°C，工作壓カO. 25MPa。
14.根據權利要求7所述的三氯氫矽合成氣的除塵方法，其特徵在於，所述溼法噴淋步驟為將經過粗除塵步驟除塵後的合成氣通入溼法噴淋裝置，使用氯矽烷液體對所述合成氣降溫、淋洗，所述溼法噴淋裝置包括噴淋塔和與噴淋塔塔底連接的蒸發釜。
15.根據權利要求14所述的三氯氫矽合成氣的除塵方法，其特徵在於，所述蒸發釜的工作溫度為20 160°C，工作壓カ為O. I O. 5MPa。
16.根據權利要求15所述的三氯氫矽合成氣的除塵方法，其特徵在於，所述蒸發釜的工作溫度為20 130°C，工作壓カ為O. 15 O. 4MPa。
17.根據權利要求16所述的三氯氫矽合成氣的除塵方法，其特徵在於，所述蒸發釜的工作溫度為25 90°C，工作壓カ為O. 2MPa。
18.根據權利要求14所述的三氯氫矽合成氣的除塵方法，其特徵在於，用步驟(2)分離得到的氯矽烷補給溼法 噴淋步驟所需的氯矽烷液體。
全文摘要
本發明公開了一種三氯氫矽合成氣的除塵方法，包括粗除塵和溼法噴淋步驟，還包括如下步驟(1)、將粗除塵步驟得到的廢渣和溼法噴淋步驟得到的渣漿混合，得混合渣漿；(2)、從所述混合渣漿中分離氯矽烷，得濾餅和氯矽烷；(3)、水解處理所述濾餅。本發明三氯氫矽合成氣的除塵方法,簡化了工藝流程，有效地將三氯氫矽合成氣粗除塵步驟得到的含有較多粗顆粒物質的廢渣與從溼法噴淋步驟得到的渣漿混合，並使用液固過濾器分離混合渣漿中的氯矽烷液體，固液分離更容易進行，過濾精度更高，還避免了經分離氯矽烷後的高濃度渣漿對管道和/設備造成堵塞，使三氯氫矽合成氣除塵能連續、安全地進行。
文檔編號C01B33/107GK102659116SQ201210132230
公開日2012年9月12日 申請日期2012年4月28日 優先權日2012年4月28日
發明者吳海濤, 崔萍, 王嶺, 蒲曉東 申請人:四川新光矽業科技有限責任公司