一種鍵合用組件的製作方法
2023-07-07 18:54:31
專利名稱：一種鍵合用組件的製作方法
技術領域：
本實用新型屬於半導體鍵合技術領域，尤其是涉及一種鍵合用組件。
背景技術：
鍵合是將兩片表面清潔、原子級平整的同質或異質半導體材料經表面清洗和活化處理，在一定條件下直接結合，通過範德華力、分子力甚至原子力使晶片鍵合成為一體的技術。EVG510屬於手動的鍵合操作設備，需要人為放置和對齊兩片圓形晶片簡稱圓片。目前是把放置圓片的鍵合卡盤平放在操作平臺上，然後依次放置兩片圓片在鍵合卡盤上。由於圓片只放在鍵合卡盤上面並沒有有效固定會引起圓片的漂移，需要向上推動並同時轉動鍵合卡盤邊緣的可轉動的壓柄(轉動90度),而後向下壓住圓片使圓片固定在鍵合卡盤上。這種操作方式由於鍵合卡盤一直放置在操作平臺上，壓柄的邊緣沒有空間留給手去推動並旋轉壓柄，導致需要一個人將鍵合卡盤託起空間放置，另一個人上推並轉動壓柄。之後將圓片固定後，再將鍵合卡盤放置在操作平臺上進行鍵合作業，這個過程需要兩人操作，而且人員手動的將鍵合卡盤託到空中的時候不平穩，易導致兩圓片的漂移，致使兩圓片沒有對齊或沒有在原來放置的位置。需要重新依次完成上面的操作，耗費較多的調整時間，工作效率低下。且浪費人力資源，增加成本。因此有必要提出一種能夠實現圓片有效精確的固定於鍵合卡盤上，僅需一人操作即可，工作效率較高的鍵合用組件，以解決現有技術中的問題。
實用新型內容有鑑於此，本實用新型提供一種僅需一人就可操作的鍵合用組件，從而實現圓片有效精確的固定於鍵合卡盤上，工作效率較高，生產加工成本較低目的。根據本實用新型的目的提出的一種鍵合用組件，放置於操作平臺上，該鍵合用組件包括用於放置待鍵合工件的鍵合卡盤，與設置於所述鍵合卡盤上對待鍵合工件壓緊固定的壓柄，所述壓柄包括壓頭以及與所述壓頭相連接並貫穿所述鍵合卡盤且能夠上下滑動的推桿，所述壓柄為至少2個，所述鍵合卡盤的下方還設置有支撐所述鍵合卡盤使得所述壓柄與所述操作平臺間形成壓柄操作空間的工裝夾具，所述鍵合卡盤水平設置於所述工裝夾具上。優選的，所述工裝夾具的直徑小於所述鍵合卡盤的直徑，所述壓柄位於所述工裝夾具的外側。優選的，所述工裝夾具的直徑大於或等於所述鍵合卡盤的直徑，所述工裝夾具上與所述壓柄對應位置處開設有缺口，所述工裝夾具上設置有供所述壓柄穿過並與所述缺口相通的通孔。優選的，所述壓頭上端還設置有配重塊。優選的，所述壓頭轉動設置於所述推桿上，所述推桿與所述鍵合卡盤螺紋旋接。優選的，所述壓頭的下端面上還設置有緩衝墊。[0012]與現有技術相比，本實用新型所述的鍵合用組件的優點是:通過在鍵合卡盤的下方設置工裝夾具，對鍵合卡盤進行有效的支撐，並使得壓柄與操作平臺間形成壓柄操作空間，這樣便於操作人員的手伸入該空間內操作壓柄上下移動與轉動，僅需一人就可對鍵合卡盤內的圓片進行調整固定，節省了操作人員的數量，而且，只需將工裝夾具與鍵合卡盤依次設置於操作平臺上，無需將鍵合卡盤託起操作，因此，也就避免了圓片的漂移，保證了鍵合的準確性，避免出現誤差，在提高工作效率的同時，減少了操作人員的數量與誤差率，降低了生產加工成本。
為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對於本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。圖1為本實用新型公開的一種鍵合用組件實施例1的結構示意圖。圖2為本實用新型公開的一種鍵合用組件實施例2中工裝夾具的結構示意圖。圖3為本實用新型公開的一種鍵合用組件實施例2的局部示意圖。圖4為本實用新型公開的一種鍵合用組件中壓柄的結構示意圖。圖中的數字或字母所代表的相應部件的名稱:1、操作平臺2、鍵合卡盤3、工裝夾具4、壓柄5、推桿6、缺口 7、通孔8、配重塊9、緩衝墊10、壓頭
具體實施方式
現有的半導體鍵合方式主要是將鍵合卡盤放置於操作平臺上，需要將鍵合卡盤託起才能推動壓柄固定待鍵合工件，導致現有的鍵合方式存在工作效率較低，易出現誤差，生產成本較高等諸多問題。本實用新型針對現有技術中的不足，提出的一種鍵合用組件，通過在鍵合卡盤的下方設置工裝夾具，對鍵合卡盤進行有效的支撐，並使得壓柄與操作平臺間形成壓柄操作空間，這樣便於操作人員的手伸入該空間內操作壓柄上下移動與轉動，僅需一人就可對鍵合卡盤內的圓片進行調整固定，節省了操作人員的數量，而且，只需將工裝夾具與鍵合卡盤依次設置於操作平臺上，無需將鍵合卡盤託起操作，因此，也就避免了圓片的漂移，保證了鍵合的準確性，避免出現誤差。下面將通過具體實施方式
對本實用新型的技術方案進行清楚、完整地描述。顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基於本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有作出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬於本實用新型保護的範圍。實施例1參見圖1，圖1為本實施例公開的鍵合用組件的結構示意圖，如圖所示，鍵合用組件放置於操作平臺I上，該鍵合用組件包括用於放置待鍵合工件的鍵合卡盤2，與設置於鍵合卡盤2上對待鍵合工件壓緊固定的壓柄4，壓柄4包括壓頭10以及與壓頭10相連接並貫穿鍵合卡盤2且能夠上下滑動的推桿5。將待鍵合工件-圓片放置於鍵合卡盤2上，通過向上推動推桿5並轉動壓柄一定角度，後下壓壓柄，壓柄下移，壓柄將圓片壓住固定。推桿5與鍵合卡盤2間主要是通過推桿與鍵合卡盤上對應的孔間滑動摩擦作用上下移動並固定。壓柄為2個，兩個壓柄對稱設置於鍵合卡盤的兩側，便於有效固定圓片，其中，壓柄數量還可為均勻設置的3、4、5或多個等，具體數量不做限制。鍵合卡盤2的下方還設置有支撐鍵合卡盤2使得壓柄4與操作平臺I間形成壓柄操作空間的工裝夾具3，鍵合卡盤2水平設置於工裝夾具3上。工裝夾具3的直徑小於鍵合卡盤2的直徑，壓柄4位於工裝夾具3的外側。通過使得壓柄4位於工裝夾具3的外側，則工裝夾具支撐鍵合卡盤與操作平臺間形成一定的空間，操作人員可將手伸入該空間內去推動壓柄上移，後轉動壓柄，之後下壓壓柄將圓片定位固定。該方式便於對壓柄進行操作，僅需一人就可完成圓片的固定，節省了操作人員的數量，無需將鍵合卡盤託起，避免漂移誤差，提高工作效率，降低生產成本。其中，工裝夾具3可為筒狀結構等，具體結構形狀不做限制。實施例2其餘與實施例1相同，不同之處在於，工裝夾具3的直徑大於或等於鍵合卡盤2的直徑，工裝夾具3上與壓柄4對應位置處開設有缺口 6，工裝夾具3上設置有供壓柄4穿過並與缺口 6相通的通孔7。通過使得壓柄穿過通孔並與缺口相通，在操作壓柄時，可以將手伸入缺口內對壓杆進行推動及轉動等操作，該方式便於對壓柄進行操作，僅需一人就可完成圓片的固定，節省了操作人員的數量，無需將鍵合卡盤託起，避免漂移誤差，提高工作效率，降低生產成本。實施例3其餘與實施例1相同，不同之處在於，壓頭10上端還設置有配重塊8。在壓柄下壓固定圓片時，由於推桿與鍵合卡盤間是通過滑動摩擦定位的，在壓頭壓住圓片時，壓頭的壓力大部分來自於壓頭自身的重力，為了增加壓力有效定位圓片，因此在壓頭上設置配重塊以提高壓力，保證圓片的有效固定。實施例4其餘與實施例1相同，不同之處在於，壓頭10轉動設置於推桿5上，推桿5與鍵合卡盤2螺紋旋接。通過螺紋旋接方式將壓柄與鍵合卡盤固定，通過轉動推桿可調節推桿與鍵合卡盤間的相對位置，調節壓頭10的相對高度，而且，壓頭轉動設置於推桿5上，在推桿上移時將壓柄轉動至一側，後放置好圓片，先將壓頭轉動至圓片上方，後下移推桿，對圓片進行固定。通過螺紋旋接調節精度準確，可實現對圓片的有效固定，且對不同厚度的工件均可有效定位，調節精度較高。其中除採用螺紋旋接方式固定外，還可採用卡接方式固定等，具體不做限制。實施例5其餘與實施例1相同，不同之處在於，壓頭10的下端面上還設置有緩衝墊9。通過設置緩衝墊9避免壓頭壓壞工件。本實用新型所述的鍵合用組件通過在鍵合卡盤的下方設置工裝夾具，對鍵合卡盤進行有效的支撐，並使得壓柄與操作平臺間形成壓柄操作空間，這樣便於操作人員的手伸入該空間內操作壓柄上下移動與轉動，僅需一人就可對鍵合卡盤內的圓片進行調整固定，節省了操作人員的數量，而且，只需將工裝夾具與鍵合卡盤依次設置於操作平臺上，無需將鍵合卡盤託起操作，因此，也就避免了圓片的漂移，保證了鍵合的準確性，避免出現誤差，在提高工作效率的同時，減少了操作人員的數量與誤差率，降低了生產成本。對所公開的實施例的上述說明，使本領域專業技術人員能夠實現或使用本實用新型。對這些實施例的多種修改對本領域的專業技術人員來說將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本實用新型的精神或範圍的情況下，在其它實施例中實現。因此，本實用新型將不會被限制於本文所示的這些實施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點相一致的最寬的範圍。
權利要求1.一種鍵合用組件，放置於操作平臺上，該鍵合用組件包括用於放置待鍵合工件的鍵合卡盤，與設置於所述鍵合卡盤上對待鍵合工件壓緊固定的壓柄，所述壓柄包括壓頭以及與所述壓頭相連接並貫穿所述鍵合卡盤且能夠上下滑動的推桿，其特徵在於，所述壓柄為至少2個，所述鍵合卡盤的下方還設置有支撐所述鍵合卡盤使得所述壓柄與所述操作平臺間形成壓柄操作空間的工裝夾具，所述鍵合卡盤水平設置於所述工裝夾具上。
2.如權利要求1所述的鍵合用組件，其特徵在於，所述工裝夾具的直徑小於所述鍵合卡盤的直徑，所述壓柄位於所述工裝夾具的外側。
3.如權利要求1所述的鍵合用組件，其特徵在於，所述工裝夾具的直徑大於或等於所述鍵合卡盤的直徑，所述工裝夾具上與所述壓柄對應位置處開設有缺口，所述工裝夾具上設置有供所述壓柄穿過並與所述缺口相通的通孔。
4.如權利要求1-3任一項所述的鍵合用組件，其特徵在於，所述壓頭上端還設置有配重塊。
5.如權利要求1-3任一項所述的鍵合用組件，其特徵在於，所述壓頭轉動設置於所述推桿上，所述推桿與所述鍵合卡盤螺紋旋接。
6.如權利要求1-3任一項所述的鍵合用組件，其特徵在於，所述壓頭的下端面上還設置有緩衝墊。
專利摘要本實用新型所述的鍵合用組件通過在鍵合卡盤的下方設置工裝夾具，對鍵合卡盤進行有效的支撐，並使得壓柄與操作平臺間形成壓柄操作空間，這樣便於操作人員的手伸入該空間內操作壓柄上下移動與轉動，僅需一人就可對鍵合卡盤內的圓片進行調整固定，節省了操作人員的數量，而且，只需將工裝夾具與鍵合卡盤依次設置於操作平臺上，無需將鍵合卡盤託起操作，因此，也就避免了圓片的漂移，保證了鍵合的準確性，避免出現誤差，在提高工作效率的同時，減少了操作人員的數量與誤差率，降低了生產加工成本。
文檔編號H01L21/60GK202996791SQ201220600738
公開日2013年6月12日 申請日期2012年11月14日 優先權日2012年11月14日
發明者徐春雲 申請人:無錫華潤上華半導體有限公司