一種石英舟的製作方法

2023-07-27 11:41:16 1

一種石英舟的製作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種石英舟，包括兩個固定框架及連接於所述兩個固定框架之間的兩個底部支撐杆和兩個側部支撐杆，底部支撐杆和側部支撐杆平行設置，其特徵在於：側部支撐杆的內側壁上沿其長度方向間隔設有若干個垂直貫通的第一插槽，底部支撐杆的上壁上沿其長度方向間隔設有若干個水平貫通的第二插槽，第二插槽與第一插槽一一對應並構成固定太陽能電池片的限位機構；第二插槽包括第二U型槽和兩個第二傾斜面，兩個所述第二傾斜面向外傾斜地對稱設置在第二U型槽的槽口兩側兩個第二傾斜面所在的平面間的夾角α為55°～65°，相鄰第二U型槽的對稱面的間距l1為3～3.5mm。本石英舟採用雙面擴散，適用於工藝衛生條件不足的環境。
【專利說明】一種石英舟

【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種載具，具體涉及一種石英舟，屬於晶體矽太陽能電池【技術領域】，用於太陽能電池製作過程中的擴散工序。

【背景技術】
[0002]石英舟是擴散工藝的必備工具，無論是半導體器件的擴散，還是太陽能工藝的擴散都大量使用石英器件做為載體，石英舟耐高溫不變形，不汙染器件而且能重複使用，尤其是近幾年來由於太陽能產業的迅速發展，人們使用石英舟的式樣也越來越多。
[0003]石英舟是一種用於承載太陽能電池片的夾具，太陽能電池插放於石英舟上後，將承載太陽能電池片的石英舟放入擴散爐的反應腔中進行擴散製造。因此，石英舟是擴散時的常用用具，擴散是製造太陽能電池光電轉換核心部件-PN結的工藝環節，是太陽能電池製造的關鍵技術。目前產線擴散工段使用三氯氧磷的磷原子向矽片表面進行擴散，現在產線使用的正常石英舟擁有100個卡槽，進行的是單面擴散，每個卡槽裡插入兩片矽片，也就是一個石英舟能插入200片矽片。但是單面擴散對於產線的潔淨度要求非常高，這就要求生產車間具有嚴格的工藝衛生條件，從而致使現有石英舟的使用具有限制性，不能適用於所用工藝衛生條件的生產車間。
實用新型內容
[0004]本實用新型所要解決的技術問題是針對技術現狀提供一種對工作衛生條件無苛刻要求的使用雙面擴散的石英舟，該石英舟在較差的工藝衛生條件下同樣具有理想的轉化效率。
[0005]本實用新型解決上述技術問題所採用的技術方案為:一種石英舟，包括兩個固定框架及連接於所述兩個固定框架之間的兩根底部支撐杆和兩根側部支撐杆，所述底部支撐杆與側部支撐杆平行設置，其特徵在於:所述側部支撐杆的內側壁上沿其長度方向間隔設有若干個垂直貫通的第一插槽，所底部支撐杆的上壁上沿其長度方向間隔設有若干個水平貫通的第二插槽，所述第二插槽與第一插槽一一對應並構成固定太陽能電池片的限位機構；
[0006]所述第二插槽包括第二 U型槽和兩個第二傾斜面，兩個所述第二傾斜面設置在所述第二 U型槽的槽口兩側並向外傾斜，兩個所述第二傾斜面以所述第二 U型槽的中心縱截面為對稱面對稱設置，兩個所述第二傾斜面間的夾角α為55°?65°，相鄰第二 U型槽的對稱面之間的距離11為3?3.5mm。
[0007]優選的，兩個所述第二傾斜面間的夾角α為60°，相鄰兩個第二 U型槽的對稱面之間的距離11為3.34mm。
[0008]優選的，所述第二 U型槽的寬度dl為0.8mm。
[0009]優選的，所述第二傾斜面頂端到第二 U型槽的底部之間的距離，即第二插槽的槽深12為3_。
[0010]優選的，所述側部支撐杆為圓柱體，所述第一插槽包括第一 U型槽和兩個第一傾斜面，兩個所述第一傾斜面設置在所述第一 U型槽的槽口兩側並向外傾斜，兩個所述第一傾斜面以所述第一 U型槽的中心縱截面為對稱面對稱設置，兩個所述第一傾斜面的外廓線所在圓弧的延長線的交點與第一傾斜面的外廓線的中點之間的連線間的夾角β為3°
[0011]優選的，所述第一 U型槽的寬度d2為0.8mm。
[0012]優選的，所述側部支撐杆和底部支撐杆分別為直徑為14mm的圓柱體。
[0013]優選的，所述底部支撐杆為兩根，並且，兩根所述底部支撐杆的中心軸線間的距離13 為 31.8mm ?32.2mm。
[0014]優選的，所述側部支撐杆為兩根，並且，兩根側部支撐杆的中心軸線間的距離14為 165.9mm ?166.1mnin
[0015]優選的，所述第一插槽和第二插槽的個數分別為150個，可以增大擴散產量。
[0016]與現有技術相比，本實用新型的優點在於:本石英舟調整了了用於限定太陽能電池片位置的插槽(包括第一插槽和第二插槽)的寬度和相鄰插槽間的距離，沒對限位機構(即一一對應的第一插槽和第二插槽)內只插放一片太陽能電池片，從而將現有的單面擴散變為雙面擴散，本採用雙面擴散的石英舟可適用於工藝衛生條件較差的生產車間，而且在同等工藝衛生條件下，本石英舟的轉化效率要比採用單面擴散的傳統石英舟高出0.2%左右，同時還可保持擴散方塊電阻的穩定性。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0017]圖1為本實用新型實施例石英舟的結構示意圖；
[0018]圖2為本實用新型實施例石英舟的側視圖；
[0019]圖3為本實用新型實施例石英舟從固定框架方向看去的縱向剖視圖；
[0020]圖4為圖2中A的放大示意圖；
[0021]圖5為圖2中B的放大示意圖；
[0022]圖6為圖2中A的結構示意圖；
[0023]圖7為圖2中B的結構示意圖。

【具體實施方式】
[0024]以下結合附圖實施例對本實用新型作進一步詳細描述。
[0025]本實施例的石英舟，如圖1至圖7所示，包括兩個固定框架I及連接於兩個固定框架I之間的兩根底部支撐杆3和兩根側部支撐杆2，底部支撐杆3與側部支撐杆2平行設置，側部支撐杆2的內側壁上沿其長度方向間隔設有若干個垂直貫通的第一插槽，底部支撐杆3的上壁上沿其長度方向間隔設有若干個水平貫通的第二插槽，第二插槽與第一插槽一一對應並構成固定太陽能電池片的限位機構；第二插槽包括第二 U型槽6和兩個第二傾斜面7，兩個第二傾斜面7設置在第二 U型槽6的槽口兩側並向外傾斜，兩個第二傾斜面7以第二 U型槽6的中心縱截面為對稱面對稱設置，兩個第二傾斜面7所在平面間的夾角α為55°?65°，優選為60°，相鄰兩個第二 U型槽6的間距11為3?3.5mm，優選為3.34mm，本實施例中，11指相鄰兩個第二 U型槽6的對稱面之間的距離。第一插槽和第二插槽的個數分別為150個。
[0026]第二 U型槽6的寬度dl為0.8mm,第二傾斜面7頂端到第二 U型槽6的底部之間的距離，即第二插槽的槽深12為3mm。
[0027]第一插槽包括第一 U型槽4和兩個第一傾斜面5，兩個第一傾斜面5設置在第一 U型槽4的槽口兩側並向外傾斜，兩個第一傾斜面5以第一 U型槽4的中心縱截面為對稱面對稱設置，兩個第一傾斜面5的外廓線所在圓弧的延長線的交點與第一傾斜面5的外廓線的中點之間的連線間的夾角β為3°，第一 U型槽4的寬度d2為0.8mm。
[0028]側部支撐杆2和底部支撐杆3分別為直徑為14mm的圓柱體，底部支撐杆3為兩根，並且，兩根底部支撐杆3的中心軸線間的距離13為31.8mm?32.2mm，本實施例優選為32mm0
[0029]側部支撐杆2為兩根，並且，兩根側部支撐杆2的中心軸線間的距離14為165.9mm?166.1mm，本實施例優選為166mm。
[0030]以上內容僅為本實用新型的較佳實施例，對於本領域的普通技術人員，依據本實用新型的思想，在【具體實施方式】及應用範圍上均會有改變之處，本說明書內容不應理解為對本實用新型的限制。
【權利要求】
1.一種石英舟，包括兩個固定框架(I)及連接於兩個所述固定框架(I)之間的兩根底部支撐杆(3)和兩根側部支撐杆(2)，所述底部支撐杆(3)與側部支撐杆(2)平行設置，其特徵在於:所述側部支撐杆(2)的內側壁上沿其長度方向間隔設有若干個垂直貫通的第一插槽，所述底部支撐杆(3)的上壁上沿其長度方向間隔設有若干個水平貫通的第二插槽，所述第二插槽與第一插槽 對應並構成固定太陽能電池片的限位機構； 所述第二插槽包括第二 U型槽(6)和兩個第二傾斜面(7)，兩個所述第二傾斜面(7)設置在所述第二 U型槽￠)的槽口兩側並向外傾斜，兩個所述第二傾斜面(7)以所述第二 U型槽出)的中心縱截面為對稱面對稱設置，兩個所述第二傾斜面(7)所在平面間的夾角α為55°?65°，相鄰所述第二 U型槽(6)的對稱面之間的距離11為3?3.5mm ; 所述側部支撐杆(2)為圓柱體，所述第一插槽包括第一 U型槽(4)和兩個第一傾斜面(5)，兩個所述第一傾斜面(5)設置在所述第一 U型槽(4)的槽口兩側並向外傾斜，兩個所述第一傾斜面(5)以所述第一 U型槽(4)的中心縱截面為對稱面對稱設置，兩個所述第一傾斜面(5)的外廓線所在圓弧的延長線的交點與第一傾斜面(5)的外廓線的中點之間的連線間的夾角β為3°。
2.根據權利要求1所述的石英舟，其特徵在於:兩個所述第二傾斜面(7)所在的平面間的夾角α為60°，相鄰所述第二 U型槽(6)的對稱面之間的距離11為3.34mm。
3.根據權利要求1所述的石英舟，其特徵在於:所述第二U型槽￠)的寬度dl為0.8mm η
4.根據權利要求1所述的石英舟，其特徵在於:所述第二插槽的槽深12為3mm。
5.根據權利要求1所述的石英舟，其特徵在於:所述第一U型槽(4)的寬度d2為0.8mm η
6.根據權利要求1至5任一項所述的石英舟，其特徵在於:所述側部支撐杆(2)和底部支撐杆(3)分別為直徑為14mm的圓柱體。
7.根據權利要求6所述的石英舟，其特徵在於:所述底部支撐杆(3)為兩根，並且，兩根所述底部支撐杆⑶的中心軸線間的距離13為31.8mm?32.2mm。
8.根據權利要求6所述的石英舟，其特徵在於:所述側部支撐杆(2)為兩根，並且，兩根所述側部支撐杆⑵的中心軸線間的距離14為165.9mm?166.1mm。
9.根據權利要求1所述的石英舟，其特徵在於:所述第一插槽和所述第二插槽的個數分別為150個。
【文檔編號】H01L21/673GK204155911SQ201420360483
【公開日】2015年2月11日 申請日期:2014年7月1日 優先權日:2014年7月1日
【發明者】沈少傑 申請人:蘇州矽美仕綠色新能源有限公司