糾偏裝置及等離子設備的製作方法
2023-07-16 07:22:11
糾偏裝置及等離子設備的製作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種糾偏裝置及等離子設備，所述糾偏裝置包括糾偏傳感器、信號接收器和包覆有保護層的電纜，所述糾偏傳感器通過所述電纜與所述信號接收器連接；所述糾偏傳感器包括第一耐腐蝕性材料製作的支架以及固定於所述支架上的紅外受光鏡頭，所述紅外受光鏡頭覆蓋有第二耐腐蝕性材料製作的耐腐蝕層。在使用時，信號接收器位於常壓環境中，糾偏傳感器位於真空離子環境中，糾偏傳感器的支架和紅外受光鏡頭均由耐腐蝕性材料製成，可以保護支架和紅外鏡頭不被等離子蝕刻的酸性氣體腐蝕。而位於常壓環境中的信號接收器，其內部電路板不受等離子蝕刻環境的影響，可長期使用。採用上述糾偏裝置的等離子設備，性能穩定，使用壽命長。
【專利說明】糾偏裝置及等離子設備
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及等離子處理領域，特別是涉及糾偏裝置及等離子設備。
【背景技術】
[0002]等離子處理設備廣泛應用於等離子清洗、刻蝕、等離子鍍、等離子塗覆、等離子灰化和表面活化、改性等場合。通過其處理，能夠改善材料的潤溼能力，使多種材料能夠進行塗覆、鍍等操作，增強粘合力、鍵合力，同時去除有機汙染物、油汙或油脂。卷性等離子處理設備是用來處理柔性卷式電路板和卷性電子材料，如聚醯亞胺(Polyimide，PI)，電路板覆
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[0003]一般地，卷性等離子處理設備中設有糾偏裝置，其糾偏裝置包括糾偏傳感器和信號接收器，糾偏傳感器和信號接收器均置於卷性等離子設備的真空端。當等離子設備工作時，糾偏裝置處於等離子蝕刻環境中，此時，信號接收器內部的電路板以及糾偏傳感器的紅外受光鏡頭在等離子蝕刻環境中容易被腐蝕，影響糾偏裝置的性能。
實用新型內容
[0004]基於此，有必要提供一種信號接收器內部的電路板以及糾偏傳感器的紅外受光鏡頭不易被腐蝕的糾偏裝置及等離子設備。
[0005]一種糾偏裝置，包括糾偏傳感器和信號接收器，所述糾偏裝置還包括包覆有保護層的電纜，所述糾偏傳感器通過所述電纜與所述信號接收器連接；
[0006]所述糾偏傳感器包括第一耐腐性性材料製作的支架以及固定於所述支架上的紅外受光鏡頭，所述紅外受光鏡頭覆蓋有第二耐腐蝕性材料製作的耐腐蝕層。
[0007]在其中一個實施例中，所述保護層的厚度為所述電纜直徑的0.5倍?3倍。
[0008]在其中一個實施例中，所述紅外受光鏡頭包括發射端和接收端，所述發射端與所述接收端相對設置。
[0009]在其中一個實施例中，所述保護層的材質為聚四氟乙烯、氯化聚氯乙烯或丁基橡膠。聚四氟乙烯具有較好的耐酸鹼性，採用聚四氟乙烯作為保護層的材質可以保護電纜免遭等離子環境的腐蝕。
[0010]在其中一個實施例中，所述第一耐腐蝕性材料為鋁合金或鈦。鋁合金不僅具有耐腐蝕性能，而且還具有密度小的優點，採用鋁合金製作支架，可以減輕糾偏裝置的重量。
[0011]在其中一個實施例中，所述第二耐腐蝕性材料為玻璃、聚碳酸酯或丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物。
[0012]一種等離子設備，包括真空腔室以及設置在所述真空腔室內的放料軸和收料軸，所述放料軸和所述收料軸分別由伺服電機驅動，所述真空腔室內設有等離子區域，所述等離子設備還設有糾偏裝置，所述糾偏裝置包括糾偏傳感器、信號接收器和包覆有保護層的電纜，所述糾偏傳感器位於所述等離子區域內，所述電纜穿出所述真空腔室，所述電纜一端與所述糾偏傳感器連接，另一端與所述信號接收器連接；[0013]所述糾偏傳感器包括第一耐腐蝕性材料製作的支架以及固定於所述支架上的紅外受光鏡頭，所述紅外受光鏡頭覆蓋有第二耐腐性材料製作的耐腐蝕層。
[0014]在其中一個實施例中，所述保護層的厚度為所述電纜直徑的0.5倍?3倍。
[0015]在其中一個實施例中，所述紅外受光鏡頭包括發射端和接收端，所述發射端與所述接收端相對設置。
[0016]在其中一個實施例中，所述保護層的材質為聚四氟乙烯、氯化聚氯乙烯或丁基橡膠，所述第一耐腐蝕性材料為鋁合金或鈦，所述第二耐腐蝕性材料為玻璃、聚碳酸酯或丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物。
[0017]上述糾偏裝置，採用包覆有保護層的電纜將糾偏傳感器和信號接收器連接起來，糾偏傳感器和信號接收器分體式設置，糾偏傳感器和信號接收器可以在不同的工作環境運行。在使用時，信號接收器位於常壓環境中，糾偏傳感器位於真空離子環境中，糾偏傳感器的支架和紅外鏡頭均由防腐蝕性材料製成，可以保護支架和紅外鏡頭不被等離子蝕刻的酸性氣體腐蝕。而位於常壓環境中的信號接收器，其內部電路板不受等離子蝕刻環境的影響，不容易被腐蝕，可長期使用。採用上述糾偏裝置的等離子設備，性能穩定，使用壽命長。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0018]圖1為一實施方式的糾偏裝置的結構示意圖；
[0019]圖2為一實施方式的糾偏裝置的立體結構示意圖。
【具體實施方式】
[0020]為使本實用新型的上述目的、特徵和優點能夠更加明顯易懂，下面結合附圖對本實用新型的【具體實施方式】做詳細的說明。在下面的描述中闡述了很多具體細節以便於充分理解本實用新型。但是本實用新型能夠以很多不同於在此描述的其它方式來實施，本領域技術人員可以在不違背本實用新型內涵的情況下做類似改進，因此本實用新型不受下面公開的具體實施的限制。
[0021]請參閱圖1和圖2，一實施方式的糾偏裝置，包括糾偏傳感器10、信號接收器20和包覆有保護層30的電纜40，糾偏傳感器10通過電纜40與信號接收器20連接。將糾偏傳感器10和信號接收器20採用具有一定長度的電纜40連接，可以靈活設置糾偏傳感器10和信號接收器20的安裝位置。電纜40的長度可以根據等離子區的大小以及糾偏裝置的大小進行選擇，其長度只要可以實現信號接收器20位於常壓環境中即可。保護層30的材質為耐腐蝕性材料，可以在等離子蝕刻的酸性氣體環境中保持性能不變。保護層30既可以是包覆整個電纜40，也可以是僅僅包覆暴露在等離子區部分的電纜40。在本實施方式，保護層30包覆整個電纜40。
[0022]糾偏傳感器10包括第一耐腐蝕性材料製作的支架12以及固定於支架12上的紅外受光鏡頭14，紅外受光鏡頭14覆蓋有第二耐腐蝕性材料製作的耐腐蝕層(圖未示)。第一耐腐蝕性材料與第二耐腐蝕性材料均可以保護糾偏傳感器10不被等離子蝕刻的酸性氣體腐蝕。紅外受光鏡頭14的材料可以為玻璃或者其他透明材料，其耐腐蝕層可以採用噴塗工藝進行製作。
[0023]上述糾偏裝置，通過電纜40將糾偏傳感器10和信號接收器20連接起來，可以使得糾偏傳感器10和信號接收器20位於不同的工作環境中。在使用時，信號接收器20位於常壓環境中，糾偏傳感器10位於真空離子環境中，糾偏傳感器10的支架12和紅外受光鏡頭14均由耐腐蝕性材料製成，可以保護支架12和紅外鏡頭不被等離子蝕刻的酸性氣體腐蝕，而位於常壓環境中的信號接收器20，其內部電路板不受等離子蝕刻環境的影響，不容易被腐蝕，可長期使用。
[0024]在一實施方式中，保護層30的材質為聚四氟乙烯、氯化聚氯乙烯或丁基橡膠。在其他實施方式中，保護層30的材質也可以為其他耐腐蝕性材料，如丁腈橡膠等。
[0025]在一實施方式中，保護層30的厚度為電纜40直徑的0.5倍?3倍。保護層30的厚度如果太厚會增加製作成本，如果太薄，又會達不到理想的耐腐蝕效果。當保護層30的厚度為電纜40直徑的0.5倍?3倍時，既可以實現電纜40的耐腐蝕功能，又能節約製作成本。
[0026]在一實施方式中，紅外受光鏡頭14包括接收端140和發射端142，接收端140與發射端142相對設置。接收端140位於發射端142的正上方，當發射端142與接收端140檢測到偏移信號時，偏移信號被發送至信號接收器20，然後對偏移信號進行處理。
[0027]在一實施方式中，第一耐腐蝕性材料為鋁合金或鈦。鋁合金不僅具有較好的耐腐性，而且密度小，使用鋁合金製作支架12，可以減輕糾偏裝置的重量。在其他實施方式中，第一耐腐蝕性材料也可以為鈦。
[0028]在一實施方式中，第二耐腐蝕性材料為玻璃、聚碳酸酯或丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物。在製作紅外受光鏡頭14時，採用噴塗工藝在紅外受光鏡頭14上塗覆一層耐腐蝕層。可以理解的是，耐腐蝕層應該是透明的，即耐腐蝕層並不影響紅外受光鏡頭14的透光性。在其他實施方式中，也可以直接採用透明的耐腐蝕性材料製作紅外受光鏡頭14。
[0029]上述糾偏裝置可以用於等離子設備中，特別是卷性等離子設備，用於解決卷性材料在等離子處理過程中的偏移問題。下面以一具體的等離子設備進行舉例。
[0030]一實施方式的等離子設備，包括上述糾偏裝置，真空腔室以及設置在真空腔室內的放料軸和收料軸，放料軸和收料軸分別由伺服電機驅動，真空腔室內設有等離子區域，其中，等離子區域是由正電極和負電極構成的。
[0031]糾偏傳感器位於等離子區域內，電纜穿出真空腔室，一端與糾偏傳感器連接，另一端與信號接收器連接。
[0032]上述等離子設備，糾偏傳感器置於真空腔室內的等離子區，而信號接收器位於真空腔室外部，糾偏傳感器與信號接收器通過包覆有保護層的電纜連接。位於等離子區的糾偏傳感器由於受到耐腐蝕層的保護，可以不被等離子蝕刻的酸性氣體腐蝕，而位於常壓環境中的信號接收器，不受等離子環境的影響，避免了被腐蝕。上述等離子設備性能穩定，使用壽命長。
[0033]以上所述實施例僅表達了本實用新型的幾種實施方式，其描述較為具體和詳細，但並不能因此而理解為對本實用新型專利範圍的限制。應當指出的是，對於本領域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型構思的前提下，還可以做出若干變形和改進，這些都屬於本實用新型的保護範圍。因此，本實用新型專利的保護範圍應以所附權利要求為準。
【權利要求】
1.一種糾偏裝置，包括糾偏傳感器和信號接收器，其特徵在於，所述糾偏裝置還包括包覆有保護層的電纜，所述糾偏傳感器通過所述電纜與所述信號接收器連接； 所述糾偏傳感器包括第一耐腐蝕性材料製作的支架以及固定於所述支架上的紅外受光鏡頭，所述紅外受光鏡頭覆蓋有第二耐腐蝕性材料製作的耐腐蝕層。
2.根據權利要求1所述的糾偏裝置，其特徵在於，所述保護層的厚度為所述電纜直徑的0.5倍?3倍。
3.根據權利要求1所述的糾偏裝置，其特徵在於，所述紅外受光鏡頭包括發射端和接收端，所述發射端與所述接收端相對設置。
4.根據權利要求1所述的糾偏裝置，其特徵在於，所述保護層的材質為聚四氟乙烯、氯化聚氯乙烯或丁基橡膠。
5.根據權利要求1所述的糾偏裝置，其特徵在於，所述第一耐腐蝕性材料為鋁合金或鈦。
6.根據權利要求1-5任一項所述的糾偏裝置，其特徵在於，所述第二耐腐蝕性材料為玻璃、聚碳酸酯或丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物。
7.一種等離子設備，包括真空腔室以及設置在所述真空腔室內的放料軸和收料軸，所述放料軸和所述收料軸分別由伺服電機驅動，所述真空腔室內設有等離子區域，其特徵在於，所述等離子設備還設有糾偏裝置，所述糾偏裝置包括糾偏傳感器、信號接收器和包覆有保護層的電纜，所述糾偏傳感器位於所述等離子區域內，所述電纜穿出所述真空腔室，所述電纜一端與所述糾偏傳感器連接，另一端與所述信號接收器連接； 所述糾偏傳感器包括第一耐腐蝕性材料製作的支架以及固定於所述支架上的紅外受光鏡頭，所述紅外受光鏡頭覆蓋有第二耐腐蝕性材料製作的耐腐蝕層。
8.根據權利要求7所述的等離子設備，其特徵在於，所述保護層的厚度為所述電纜直徑的0.5倍?3倍。
9.根據權利要求7所述的等離子設備，其特徵在於，所述紅外受光鏡頭包括發射端和接收端，所述發射端與接收端相對設置。
10.根據權利要求7-9任一項所述的等離子設備，其特徵在於，所述保護層的材質為聚四氟乙烯、氯化聚氯乙烯或丁基橡膠，所述第一耐腐蝕性材料為鋁合金或鎳，所述第二耐腐蝕性材料為玻璃、聚碳酸酯或丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物。
【文檔編號】G01V8/10GK203595821SQ201320708594
【公開日】2014年5月14日 申請日期:2013年11月11日 優先權日:2013年11月11日
【發明者】趙公魄, 趙芝強, 梁冠雄, 丁雪苗, 劉玉平 申請人:珠海寶豐堂電子科技有限公司