一種用於取單晶的支架保護裝置的製作方法

2023-07-06 23:50:56

專利名稱：一種用於取單晶的支架保護裝置的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種用於取單晶的支架保護裝置，該支架保護裝置適用於各種型 號的單晶爐。
背景技術：
隨著半導體用單晶的不斷發展，用切克勞斯基(Czochralski)法拉制的矽單晶尺 寸越來越大，相應的單晶爐的爐筒直徑也越來越大，這就導致了單晶拉制完成後取單晶越 來越複雜，越來越有不安全性。取大直徑單晶時，首先要把單晶降到足夠低的位置，升起上爐室，然後作業人員手 臂伸進爐筒，剪斷籽晶，最後移開上爐室，用起重設備提起單晶棒。在這個過程中，人手臂伸 進爐筒時，如果由於設備故障等原因上爐室突然掉下，不但損壞單晶，更重要的是砸傷作業 人員，釀成安全事故。所以需要發明一個取單晶的保護裝置。
發明內容本實用新型的目的是提供一種用於取單晶的支架保護裝置，使用本裝置可保證作 業的安全。為達到上述的目的，本實用新型採用以下技術方案；這種用於取單晶的支架保護裝置，其特徵在於它包括支架、支塊、把手，所述的 支架為一弧形板，板的一側設有上平臺及下平臺，上平臺的下平面設凹槽I，其下平臺設螺 紋孔II，支架與支塊連接，把手與支架相連接。其中支架是用不鏽鋼焊接而成，支塊採用有一定的強度和彈性材料製成，例如木頭等。支架和支塊用兩個長螺栓連接，支架與把手用兩個螺栓連接，使用時將支架用緊頂螺釘頂緊在爐筒上。弧形板的弧度視爐筒的直徑而定，其弧 度在15度至20度之間，所述的支塊的長度決定於本裝置使用時採用幾個保護裝置，一般用 3個本裝置即可。本實用新型的優點是大大提升了取單晶的安全性。
圖1工作狀態剖面圖圖2工作狀態右視圖圖3支架剖視圖圖4支架右視圖圖5支架俯視圖圖6支塊正視圖圖7工作布置圖具體實施方式
如圖1和圖2所示整個保護裝置包括支架1、支塊2、緊頂螺釘5、螺栓6和把手7
等組成。如圖3所示，整個支架由不鏽鋼焊接而成，支架上平臺的下平面設凹槽I，其下平 臺設螺紋孔II，凹槽I是為了在使用時不損壞爐筒上沿的密封圈3，下平臺的螺紋孔是為了 與緊頂螺釘配合使用，支架的上半部分有四個螺紋孔al、a2、bl、b2，其中al、a2是與支塊連 接使用的，bl,b2是用來安裝把手用的。圖4是支架的右視圖，圖5是支架的俯視圖。圖6是支塊視圖，它採用有一定的強度和彈性材料製成，例如木頭、四氟等，支塊 中有兩個通孔Cl、C2，它與支架用兩個長螺釘連接。如圖2所示，為了便於取用和安裝設計了把手7，把手7與支架1用兩個螺栓8連接。圖7是工作布置圖，其中3套保護裝置沿圓周均勻布置，其它數量的保護裝置布置 方式視需要而定。
權利要求1.一種用於取單晶的支架保護裝置，其特徵在於它包括支架、支塊、把手，所述的支 架為一弧形板，板的一側設有上平臺及下平臺，上平臺的下平面設凹槽I，其下平臺設螺紋 孔II，支架與支塊連接，把手與支架相連接。
2.根據權利要求1所述的一種用於取單晶的支架保護裝置，其特徵在於弧形板的弧 度在15度至20度之間。
3.根據權利要求1所述的一種用於取單晶的支架保護裝置，其特徵在於支架與支塊 連接方式是通過螺栓連接。
4.根據權利要求1或2所述的一種取單晶的支架保護裝置，其特徵在於把手與支架 通過螺栓連接。
5.根據權利要求1所述的一種取單晶的支架保護裝置，其特徵在於支塊是用木頭製成。
專利摘要一種用於取單晶的支架保護裝置，它包括支架、支塊、把手，所述的支架為一弧形板，板的一側設有上平臺及下平臺，上平臺的下平面設凹槽I，其下平臺設螺紋孔II，支架與支塊連接，把手與支架相連接。弧形板的弧度視爐筒的直徑而定，其弧度在15度至20度之間，所述的支塊的長度決定於本裝置使用時採用幾個保護裝置，一般用3個本裝置即可。本實用新型的優點是在取大直徑單晶前，首先把此裝置安裝在爐蓋和爐筒之間，在手伸進爐筒時保證安全性。
文檔編號C30B15/00GK201864793SQ20102067084
公開日2011年6月15日 申請日期2010年12月10日 優先權日2010年12月10日
發明者劉紅豔, 崔彬, 李晨, 杜娟, 田玉濤, 趙晶 申請人:北京有色金屬研究總院, 有研半導體材料股份有限公司