一種製作等離子顯示面板時層疊幹膜抗蝕劑的裝置的製作方法

2023-07-06 12:58:56 1

專利名稱：一種製作等離子顯示面板時層疊幹膜抗蝕劑的裝置的製作方法
技術領域：
本實用新型屬於等離子體顯示屏製造技術領域，具體涉及一種在製作等離子顯示面板時，在玻璃基板上層疊幹膜抗蝕劑來製作障壁圖形的裝置。
背景技術：
彩色交流等離子體顯示面板(以下簡稱AC-PDP)的製作過程中，層疊(laminate)是一種很重要的工藝方法。例如，製作後面板的障壁圖形的噴砂法中，就藉助了層疊工藝，其工藝流程為在後玻璃基板上塗敷障壁的漿料——在障壁層上層疊幹膜抗蝕劑膜(Dry Film Resist，簡稱為DFR)——採用掩模板photo mask對幹膜抗蝕劑膜進行曝光——顯像——噴砂——把幹膜抗蝕劑膜剝掉，燒成，即完成了障壁層的加工。
在障壁層上層疊幹膜抗蝕劑膜的工藝步驟中，幹膜抗蝕劑膜與基板之間經常會殘存空氣泡，導致局部DFR膜與基板貼合出現缺陷。在後續的噴砂過程中，缺陷處的障壁層失去DFR膜的保護，很容易被研磨材刻蝕掉，造成這部分障壁圖形的缺陷。

發明內容
本實用新型的目的是提供一種製作等離子顯示面板時層疊幹膜抗蝕劑的裝置，解決了現有層疊幹膜抗蝕劑膜工藝中，由於幹膜抗蝕劑膜與基板之間殘存空氣泡而導致障壁圖形缺陷的問題。
本實用新型所採用的技術方案是，一種製作等離子顯示面板時層疊幹膜抗蝕劑的裝置，包括卷有幹膜抗蝕劑膜的供給輥、傳送輥、層疊輥以及設置於後玻璃基板下面的搬送輥，還包括一設置於層疊輥前方的水霧噴嘴，該水霧噴嘴與一超聲霧化器相連接。
本實用新型的特點還在於；上述超聲霧化器包括霧室，霧室底部嵌有諧振片，諧振片與一超聲控制單元相連接，霧室靠近上部的兩端處分別設置有分機和出霧口，出霧口與水霧噴嘴相連接，霧室的底部設置有排水管。
霧室內還伸入有由雙蠕動泵控制的進水管和水平管，且進水管與水平管在霧室內的水平埠平齊。
水平管為毛細管。
諧振片為壓電晶體或壓電陶瓷，其兩側面覆蓋有金屬膜層。
諧振片的金屬膜層外還覆蓋有耐腐蝕保護片。
本實用新型的層疊裝置通過在現有層疊裝置加裝壓電陶瓷超聲霧化器，並通過噴嘴在基板上噴覆一層稀薄的水，再層疊幹膜抗蝕劑膜，幹膜抗蝕劑DFR膜吸收了基板表面的水分後，就緊密的貼合在基板表面，不會出現空氣殘留在DFR膜和基板之間，從而解決了由於幹膜抗蝕劑膜與基板之間殘存的空氣泡而導致障壁圖形缺陷的問題。


圖1是製作後面板障壁圖形採用的噴砂法工作流程圖；圖2是形成障壁圖形缺陷的噴砂流程示意圖；圖3是現有層疊幹膜抗蝕劑膜裝置的結構示意圖；圖4是本實用新型層疊裝置的結構示意圖；圖5是本實用新型的超聲霧化器結構示意圖。
圖中，11後玻璃基板，12漿料，13幹膜抗蝕劑膜，14掩模板，15研磨材，16氣泡，21供給輥，22傳送輥，23層疊輥，24搬送輥，25水霧噴嘴，31霧室，32風機，33諧振片，34超聲控制單元，35出霧口，36水，37排水管，38雙蠕動泵，381進水管，382水平管。
具體實施方式
以下結合附圖和具體實施方式
對本實用新型進行詳細說明。
從圖1噴砂法工作流程圖可以看出，製作後面板障壁圖形的步驟為第一步，把障壁的漿料12塗敷在後玻璃基板11上，乾燥；第二步，在障壁層上層疊感光性幹膜抗蝕劑膜(Dry Film Resist，以下簡稱為DFR)13，這層DFR膜具有經光硬化後可以抵抗噴砂加工時研磨材刻蝕的特性；第三步，通過掩模板photo mask14對幹膜抗蝕劑DFR膜13進行曝光；第四步，顯像，幹膜抗蝕劑DFR膜13隻有光硬化的部分覆蓋在障壁層上；第五步，噴砂，有幹膜抗蝕劑DFR膜13覆蓋的障壁層保存下來，其餘部分被研磨材15刻蝕掉，得到圖形化的障壁；最後，把幹膜抗蝕劑DFR膜13剝掉，經燒成，即完成障壁層的加工。
在障壁層上層疊幹膜抗蝕劑膜的工藝步驟中，幹膜抗蝕劑膜13與後玻璃基板11之間經常會殘存空氣泡，圖2描述了形成障壁圖形缺陷的噴砂過程，由於該氣泡16導致局部幹膜抗蝕劑DFR膜13與後玻璃基板11貼合出現缺陷，在後續的噴砂過程中，缺陷處的障壁層失去幹膜抗蝕劑DFR膜13的保護，很容易被研磨材15刻蝕掉，造成這部分障壁圖形的缺陷。
目前層疊幹膜抗蝕劑膜裝置的結構如圖3所示。幹膜抗蝕劑DFR膜13卷在供給輥21上，通過傳送輥22，由層疊輥23壓在後玻璃基板11上，後玻璃基板11在搬送輥24的傳動作用下向右行進。
本實用新型的層疊幹膜抗蝕劑的裝置如圖4所示，包括卷有幹膜抗蝕劑膜13的供給輥21、傳送輥22、層疊輥23以及設置於後玻璃基板11下面的搬送輥24，還包括一設置於層疊輥23前方的水霧噴嘴25，該水霧噴嘴25與一超聲霧化器相連接。
圖5給出了一種超聲霧化器的實例，包括霧室31，霧室31底部嵌有諧振片33，諧振片33為壓電晶體或壓電陶瓷，其兩側面覆蓋有金屬膜層，由於諧振片33長期在水中浸泡，容易被腐蝕，金屬膜層外還覆蓋有耐腐蝕保護片。諧振片33與一超聲控制單元34相連接，霧室31靠近上部的兩端處分別設置有分機32和出霧口35，出霧口35與水霧噴嘴25相連接，霧室31的底部設置有排水管37，用以把霧室31內的水排空。超聲控制單元34電路包括超聲發生電路，超聲發生電路與超聲穩頻電路和超聲反饋電路相連接，超聲穩頻電路的加裝起到了使超聲波頻率穩定的目的。為了使霧室31內的水36容量穩定，霧室31內還伸入有由雙蠕動泵38控制的進水管381和水平管382，且進水管381與水平管382在霧室31內的水平埠平齊，進水管381和水平管382分別與雙蠕動泵38的泵入和吸出兩個通道相連通，水平管382選用毛細管。
霧室31內先存儲一定量的水36，為了不產生雜質，最好採用純淨水。超聲霧化器工作時，首先由超聲控制單元34把超聲信號傳輸到諧振片33上，諧振片的機械振動傳給霧室31裡的水36，使水面產生隆起，並在隆起的周圍發生空化作用，由這種空化作用產生的衝擊波將以諧振片33的振動頻率不斷反覆振動，就在水面上產生有限振幅的表面張力波，這種波的波頭飛散，使水霧化，霧化的水粒子在風機32的吹送下從出霧口35送出，出霧口35與設置於層疊輥23前方的水霧噴嘴25連接，水霧從水霧噴嘴25噴灑到待加工的後玻璃基板11的表面，後玻璃基板11被水潤溼後，再經過層疊輥23貼合幹膜抗蝕劑膜13。隨著霧室31內的水36被霧化排出而減少，進水管381會向霧室31內補充水36，當水36的水面超過了水平管382，水平管382由於毛細作用，並在雙蠕動泵38的協助下，會把多餘的水36吸出霧室31。這樣霧室31內的水面始終保持恆定，從而霧化器的霧化效率基本不變。
採用該超聲霧化器，無需對液體加熱，就能直接把液體霧化成1--3μm的微粒。由於本實用新型的層疊裝置通過在現有層疊裝置加裝壓電陶瓷超聲霧化器，並通過噴嘴在基板上噴覆一層稀薄的水，再層疊幹膜抗蝕劑膜，幹膜抗蝕劑DFR膜吸收了基板表面的水分後，就緊密的貼合在基板表面，並且不會再有空氣殘留在DFR膜和基板之間，從而解決了障壁圖形缺陷的問題。
權利要求1.一種製作等離子顯示面板時層疊幹膜抗蝕劑的裝置，包括卷有幹膜抗蝕劑膜(13)的供給輥(21)、傳送輥(22)、層疊輥(23)以及設置於後玻璃基板(11)下面的搬送輥(24)，其特徵在於，還包括一設置於層疊輥(23)前方的水霧噴嘴(25)，該水霧噴嘴(25)與一超聲霧化器相連接。
2.按照權利要求1所述的裝置，其特徵在於，所述超聲霧化器包括霧室(31)，霧室(31)底部嵌有諧振片(33)，諧振片(33)與一超聲控制單元(34)相連接，霧室(31)靠近上部的兩端處分別設置有分機(32)和出霧口(35)，出霧口(35)與所述水霧噴嘴(25)相連接，霧室(31)的底部設置有排水管(37)。
3.按照權利要求2所述的裝置，其特徵在於，所述霧室(31)內還伸入有由雙蠕動泵(38)控制的進水管(381)和水平管(382)，且進水管(381)與水平管(382)在霧室(31)內的水平埠平齊。
4.按照權利要求3所述的裝置，其特徵在於，所述水平管(382)為毛細管。
5.按照權利要求2所述的裝置，其特徵在於，所述諧振片(33)為壓電晶體或壓電陶瓷，其兩側面覆蓋有金屬膜層。
6.按照權利要求5所述的裝置，其特徵在於，所述諧振片(33)的金屬膜層外還覆蓋有耐腐蝕保護片。
專利摘要本實用新型公開的一種製作等離子顯示面板時層疊幹膜抗蝕劑的裝置，包括卷有幹膜抗蝕劑膜的供給輥、傳送輥、層疊輥以及設置於後玻璃基板下面的搬送輥，還包括一設置於層疊輥前方的水霧噴嘴，該水霧噴嘴與一超聲霧化器相連接。本實用新型通過在現有層疊裝置加裝壓電陶瓷超聲霧化器，並通過噴嘴在基板上噴覆一層稀薄的水，再層疊幹膜抗蝕劑膜，就不會出現空氣殘留在DFR膜和基板之間，從而解決了由於幹膜抗蝕劑膜與基板之間殘存的空氣泡而導致障壁圖形缺陷的問題。
文檔編號G03F7/20GK2919302SQ200620079298
公開日2007年7月4日 申請日期2006年6月29日 優先權日2006年6月29日
發明者許彥旗, 陸康寧 申請人:彩虹集團電子股份有限公司