一種光刻機同步觸發在線診斷方法及系統的製作方法

2023-07-30 21:11:51

專利名稱：一種光刻機同步觸發在線診斷方法及系統的製作方法
技術領域：
本發明涉及掃描光刻機技術領域，尤其涉及掃描光刻機的同步控 制技術領域。
背景技術：
光刻機一般可分為步進光刻機和掃描光刻機兩種，其中，步進光 刻機採用一次成像技術，為了增大像場，需要更大直徑的透鏡系統作 為支撐。由於現有技術方面和經濟成本方面的雙重製約，限制了步進 光刻機的應用場合，已經不能滿足如今晶片加工工藝向更高精度、更 大尺寸的發展方向。
於是，產生了一種新型的掃描光刻機，掃描光刻機最大特點在於 同步掃描功能。掃描光刻機的曝光過程與步進光刻機有所不同。光束 通過一個狹縫並透過照明系統投影到掩膜面上，掩膜以設定的勻速通 過光束。同時，矽片在透鏡的下方以與掩膜相反方向的運動。在掃描 期間，涉及的子系統模塊，掃描必須在相同的時間段內完成，掃描的 起始時刻和結束時刻必須相同。也就是對於掃描，要求所有涉及的子 系統模塊必須在掃描時序上取得嚴格一致。在曝光掃描過程中對涉及 的子系統有嚴格的同步時序要求，同時其它的掃描比如對準掃描等，
同樣對所有涉及的子系統模塊有嚴格的同步時序要求。
光刻機系統是個複雜的系統，同時又是一個對設備可靠性要求很 高的昂貴的設備， 一旦設備出現故障，必須儘快地發現並解決錯誤。 為此，在光刻機系統中的各個分系統中，往往都會有相應的數據診斷 模塊，用來診斷分系統出現的問題。
但是，對於目前這種基於各分系統的數據診斷方式，存在嚴重的 不足，尤其是對於掃描光刻機同步時序相關的診斷無能為力。當整個 系統出現同步時序相關問題時，會出現各個分系統的診斷模塊都報告 各自分系統工作正常。各分系統的診斷系統在任何一個時刻，都僅僅 只能處理其本身的診斷數據，而無法獲取涉及其它分系統的對應精確
時刻的診斷數據。這些不足概括如下
1. 通常的數據診斷系統都是各個分系統獨立地，不能系統地定位 問題。
2. 不能定位一些同步時序問題，比如不同分系統模塊間數據時序 不同步的問題。
3. 不同分系統的診斷數據，不能夠嚴格地按照精確的時間——對 應起來。
這些不足，導致目前的一般診斷系統無法定位整系統的同步時序 相關問題，無法快速地定位光刻機在集成或者在線運行時出現的問 題，從而導致無法快速解決問題，造成不必要的成本損耗。

發明內容
本發明需要解決的技術問題是，為掃描光刻機提供整機系統的同
步i貪斷系統，及時定位並解決分系統之間的同步時序相關問題，提供 一種掃描光刻機的同步診斷方法與系統，解決掃描光刻機的整體系統 及各個分系統的同步診斷技術問題。
本發明通過以下技術方案來實現解決上述技術問題
一種光刻機同步觸發診斷系統，其特徵在於包括一個主控制器， 至少兩個分系統其中所述分系統均包括一個分系統控制器，所述分 系統均包括一個觸發診斷緩衝板，所述分系統均包括至少一個分系統 控制子卡；所述主控制器分別與所述分系統中的每個分系統控制器相 連接，所述分系統中的每個分系統控制控器分別與所述分系統中的每 個分系統控制子卡均保持連接，所述分系統中的每個分系統控器分別 與所述分系統中的每個觸發診斷緩衝板均保持相連，所述分系統中的 每個觸發診斷緩沖板分別與所述分系統中的每個分系統控制子卡均 保持連接；所述分系統的每個觸發診斷緩沖板之間均保持相互連接。
所述的主控制器與所述分系統內的所述分系統控制器之間通過 標準乙太網連接。所述分系統控制器與所述分系統控制子卡之間通過 標準的VME總線相連。所述觸發診斷緩沖板與所述分系統控制器之間 通過標準VME總線相連。所述觸發診斷緩衝板與所述分系統控制子卡 之間通過標準VME總線相連。所述觸發診斷緩沖板之間通過硬體同步 信號線相互連接，用於同時接收觸發診斷請求信號和觸發診斷信號。
所述的主控制器上運行上位機作業系統、光刻機應用軟體和觸發 診斷系統的上位機處理程序；其中，觸發診斷系統的上位機處理程序 對每個分系統的診斷數據進行記錄、排序、整理。
所述的分系統控制器為嵌入式^L處理器，其上運行嵌入式實時操 作系統，分系統控制器上同時運行觸發診斷處理軟體。
所述觸發診斷處理軟體包括診斷觸發接口程序庫，分系統控制器 和分系統控制子卡分別通過調用觸發診斷接口程序庫，將需要診斷的 數據寫入觸發診斷緩衝板。診斷觸發接口程序庫，包括嵌入式實時操 作系統中的庫程序和數位訊號處理器固件上的庫程序。分系統控制子 卡為數位訊號處理器控制板卡。所述的分系統控制子卡上運行數字信 號處理器固件程序。
所述觸發診斷緩衝板均設置有環形緩衝區，用於存放每個分系統 控制器及每個分系統控制子卡的診斷數據。
所述觸發診斷緩衝板的環形緩衝區，其數據更新時間間隔不小於 同步系統中的最小對準周期。在光刻機正常掃描期間，所述觸發診斷 緩衝板，持續刷新觸發診斷緩衝板的環形緩衝區的診斷數據。所述觸 發診斷緩衝板內部設有定時器，用於設定環形緩沖區的鎖定時間。
所述的光刻機同步觸發診斷系統，還包括可攜式PC機，與每個 觸發緩衝板均可單獨相連，可攜式PC機上可運行觸發診斷上位機程 序，用於對診斷數據進行記錄、排序、整理。可攜式PC機與每個觸 發診斷緩衝板通過標準乙太網相連接。主控制器可在任意時刻觸發各 分系統之間的同步診斷。
一種光刻機同步觸發診斷方法，其特徵在於包括以下步驟
A)、在光刻機正常掃描期間，主控制器與分系統控制器向觸發診
斷緩衝板的環形緩衝區寫入診斷數據，並保持不斷更新；
B) 、當主控制器檢測到系統錯誤，或檢測滿足用戶設定的診斷觸 發條件時，啟動同步診斷程序；
C) 、用戶程序直接調用觸發診斷特定接口程序，觸發診斷控制中 心直接響應用戶程序的請求，向觸發診斷控制中心發送觸發診斷請求 信號；
D) 、觸發診斷控制中心接收到觸發診斷請求信號後，檢測滿足觸 發條件後，向觸發診斷緩衝板發送觸發診斷信號；
E) 、觸發診斷緩沖板在同一時刻接收到觸發診斷信號，啟動其內 部的定時器；
F) 、觸發診斷緩衝板在到達定時器設定的鎖定時間時，鎖定其環 形緩衝區，停止寫入診斷數據；
G) 、當觸發診斷緩衝板的環形緩衝區都鎖定後，通過主控制器上 的觸發診斷上位機程序下發收集診斷數據的命令，通過分系統控制器 將觸發診斷緩沖板內的診斷數據上傳到主控制器；
H) 主控制器對接收到的診斷數據通過觸發診斷上位機程序對所 有數據進行排序、整理，用戶可以查看任意時刻每個系統的同步診斷 數據。
所述的步驟B中的檢測到系統錯誤而觸發同步診斷，其中系統錯 誤包括分系統控制器上的軟體和分系統控制子卡上的固件程序發現 錯誤。
所述的步驟C中觸發條件可以由用戶通過診斷觸發系統的上位
機軟體進行設置，可以設置接收到觸發診斷請求信號後請求立刻就響
應，或者設置接收到超過特定次數之後再進行響應；或者設置接收到 特定的觸發診斷請求信號就立刻響應，而其他情況的觸發診斷請求信 號則需要超過一定次數後才允許響應；當滿足設定的觸發條件，觸發 診斷中心發送觸發診斷信號。
所述的步驟H診斷數據上傳到直接與觸發診斷緩衝板相連的便 攜式PC機上，可攜式PC機上的觸發診斷上位機程序再對診斷數據進 行排序整理。所述的步驟H中所有的診斷數據記錄時間戳，並通過觸 發診斷信號發生的時刻將所有的診斷數據的在精確時序上進行排列。
本發明通過專用的觸發診斷緩衝板將診斷數據保存到其環形緩 衝區，各觸發診斷緩沖板之間通過硬體同步觸發信號線相連，保證各 個診斷觸發緩衝板可以同時接收到觸發診斷信號，接收到觸發診斷信 號一定時間之後診斷數據不再往環形緩衝區刷新，再通過專用的診斷 處理程序對所有的診斷數據進行排序整理。這樣所有分系統的診斷數 據都統一起來，可以精確定位到某一個時刻所有分系統診斷數據的 值，可以快速定位問題，尤其是可以快速定位同步時序相關的問題， 從而節約集成及技術支持的時間。


圖1本發明提供的一種包括兩個分系統的光刻機同步觸發診斷系統 的結構示意圖2本發明提供的一種光刻機同步觸發診斷方法的觸發過程示意圖3本發明提供的一種包括三個分系統的光刻機同步觸發診斷系統 的結構示意圖。
具體實施例方式
以下根據圖1~圖3，具體說明本發明的較佳實施方式
如圖1所示，本發明提供的一種包括二個分系統的光刻機同步觸 發診斷系統，包含 一個主控制器1; 二個分系統控制器2; 二個觸 發診斷緩衝板4;三個分系統控制子卡3。
如圖1所示的系統中，觸發診斷緩沖板4存在於光刻機系統的每 一個分系統內，觸發診斷緩衝板4與分系統控制器2以及分系統控制 子卡3、分系統控制子卡3之間通過標準的VME總線相連。觸發診斷 緩衝板4之間通過硬體同步信號線進行連接。這些觸發診斷緩沖板提 供專門的環形緩衝用於存放分系統控制器2及分系統控制子卡3上的 診斷數據。主控制器1與分系統控制器2之間通過標準乙太網連接。
主控制器1運行上位機作業系統，其上運行光刻機應用軟體以及 觸發診斷系統的上位機處理程序；分系統控制器2為嵌入式微處理 器，運行嵌入式實時作業系統，同時運行觸發診斷的下位機處理程序； 分系統控制子卡3為數位訊號處理器控制板卡，運4亍^t字信號處理器 固件程序。相應的觸發診斷處理軟體提供專門的往觸發診斷緩衝板寫 入診斷數據的接口程序庫，包括嵌入式實時作業系統上的接口庫程序 與數位訊號處理器固件上的接口庫程序。
光刻機系統正常運行期間，分系統控制器2及分系統控制子卡3
上的軟體及固件調用觸發診斷接口庫程序，將需要診斷的數據寫到觸
發診斷緩沖板4的特定環形緩沖區，更新頻率根據^^斷的數據特點來 定，最小間隔為同步系統中的最小對準周期，即50us。診斷系統會 每50us作為一個計數，給所有的診斷數據打上時間戳。由於是環形 緩衝區，診斷數據會不停地進行刷新，以最新數據替換最老的數據。 在正常的掃描期間，診斷數據不停地往環形緩沖區裡進行刷新，不會 影響正常的掃描進行。
當進行觸發診斷的時候，其中的一塊觸發診斷緩衝板發起觸發診 斷信號，由於各觸發診斷緩沖板4之間通過硬體同步信號線相連，因 此所有的觸發診斷緩沖板4會在同一時刻接收到觸發診斷信號，啟動 內部的定時器，過了一定的時間間隔後，將環形緩衝區進行鎖定。一 旦環形緩衝區鎖定後，調用觸發診斷接口庫程序的時候，判斷出緩衝 區被鎖住後就會直接返回，不再往環形緩衝區寫診斷數據。這樣，環 形緩衝區裡保存的診斷數據就包括了在觸發診斷信號發起之前一段 時間和發起觸發信號之後一段時間內的診斷數據。考慮一般掃描光刻 機進行掃描的情況，環形緩衝區只要能保存1秒內所有的診斷數據， 即可將整個掃描期間的所有^^斷數據都完整保存。
之後，當用戶需要將診斷數據上傳的時候，可以在主控制器l上 的觸發診斷上位機程序裡下發命令給所有分系統控制器2裡的觸發 診斷下位機程序，分系統控制器2通過VME總線獲取觸發診斷緩存板 4上保存的所有環形緩衝區裡的診斷數據。當主控制器1上獲取了所 有的診斷數據後，觸發診斷上位機程序將所有的數據按照時間戳進行
整理排序等工作。
觸發診斷緩衝板4本身帶有乙太網接口 ，在使j夷式PC機7上也 附帶觸發診斷上位機處理程序，可以將可攜式PC機7直接與各個觸 發診斷緩衝板通過標準乙太網相連，將觸發診斷緩衝板4上的診斷數 據上傳到可攜式PC機7上，再通過可攜式PC機7上的觸發診斷上位 機程序對診斷數據進行排序整理。
之後用戶就可以查看記錄的任何一個時刻各個分系統的診斷數 據在某一個瞬間的值，從而可以快速判斷出哪裡有問題，以及是否有 同步時序上的問題。
同時，如圖3所示的光刻機同步觸發診斷系統，是將圖1中的實 施例擴展至包含兩個以上的分系統控制器2，圖3所示的實施例包括 一個主控制器1;三個分系統控制器2;三個觸發診斷緩沖板4;三 個分系統控制子卡3;三個分系統控制器2都通過乙太網與主控制器 相連。
下面根據圖2,描述光刻機同步觸發診斷方法。圖2中的21表 示用戶程序，22表示觸發診斷控制中心程序，4表示觸發診斷緩衝板， 3表示分系統控制子卡，5表示觸發診斷請求信號，6表示觸發診斷 信號。
觸發診斷行為的發生包括兩種情況， 一種為檢測到錯誤而觸發診 斷系統，另一種為用戶根據需要觸發診斷系統。
分系統控制器上的軟體或分系統控制子卡3上的固件程序發現 了錯誤，比如某些監測的傳感器數值超出範圍，這時就可以調用觸發
診斷系統的特定接口程序，向觸發診斷控制中心22發送觸發診斷請 求信號5,觸發診斷控制中心22接收到觸發診斷請求信號5後，根 據一定的條件進行判斷，當滿足進行觸發診斷的條件後，就向觸發診 斷緩沖板4發送觸發診斷信號6。是否允許進行-〖t斷觸發的條件，可 以由用戶通過診斷觸發系統的上位機軟體進行設置，比如可以設置一 旦接收到觸發診斷請求信號5請求立刻就響應，也可以設置接收到超 過幾次之後再進行響應，還可以設置接收到某些特定的比較重要的觸 發診斷請求信號5就立刻響應而一般的則需要超過一定數目後才允 許響應。觸發診斷控制中心22如果判斷不需要進行觸發診斷，就會 忽略此診斷觸發請求信號5。如果滿足條件，觸發診斷控制中心22 將發送觸發診斷信號6。
所有的觸發診斷緩衝板4都通過同步硬體信號線相連，這樣所有 的觸發診斷緩衝板都會在同一時刻接收到觸發診斷信號6，觸發診斷 緩衝板4,接收到觸發診斷信號6後，就啟動其內部定時器，過了一 段預定義的時間後，將其環形緩衝區進行鎖定。 一旦環形緩衝區鎖定 後，分系統控制子卡3在調用觸發診斷接口庫程序的時候，觸發診斷 接口庫判斷出緩衝區被鎖住後就會直接返回，不再往環形緩衝區寫診 斷數據。這樣，環形緩衝區裡保存的診斷數據就包括了在觸發診斷信 號發起之前一段時間以及發起之後一段時間的診斷數據。
另一種情況為用戶根據需要進行診斷觸發。用戶程序21直接調 用觸發診斷特定接口程序，向觸發診斷控制中心22發送觸發診斷請 求信號5。觸發診斷控制中心22直接響應用戶程序21的請求，發送
觸發診斷信號6給觸發診斷緩衝板4。所有觸發診斷緩沖板同時接收 到觸發診斷信號6後，啟動其內部定時器，過了一段預定義的時間後， 將其內部的所有環形緩沖區進行鎖定。這種情況主要用於系統沒有檢 測到錯誤，但用戶需要查看系統內的診斷數據信息。
當觸發診斷緩衝板的環形緩衝區都鎖定後，用戶就可以通過主控 制器上的觸發診斷上位機程序下發收集診斷數據的命令。通過分系統 控制器將觸發診斷緩衝板內的診斷數據上傳到主控制器後，主控制器 上的觸發診斷上位機程序再將所有數據根據時間戳進行排序整理工 作。之後用戶就可以查看任何一個時刻所有分系統的診斷數據在某一 個瞬間的值，從而可以快速判斷出哪裡有問題，以及是否有同步時序 上的問題。
可攜式PC機7可以直接與觸發診斷緩衝板4相連，直接通過以 太網將診斷數據上傳到可攜式PC機7上，將所有的觸發診斷緩衝板 4上的診斷數據都上傳後，可攜式PC機7上的觸發診斷上位機程序 再根據時間戳對診斷數據進行排序整理的工作。這樣用戶就可以直接 在可攜式PC機7上進行查看診斷數據，方便調試。
本發明通過觸發診斷緩衝板4的環形緩沖區不停刷新診斷數據， 各觸發診斷板之間通過硬體同步信號線連接，同時接收到觸發診斷信 號6後，所有的觸發診斷板啟動定時器經過一定的時間間隔後將環形 緩衝區鎖定。所有的診斷數據記錄時間戳，並通過觸發診斷信號6發 生的時刻將所有的診斷數據的在精確時序上進行排列。從而可以快速 發現光刻機系統集成及運行期間的問題，尤其是可以快速診斷是否有
同步時序上的問題。
以上介紹的僅僅是基於本發明的較佳實施例，並不能以此來限定 本發明的範圍。任何對本發明的機製作本技術領域內熟知的部件的替 換、組合、分立，以及對本發明實施步驟作本技術領域內熟知的等同 改變或替換均不超出本發明的揭露以及保護範圍。
權利要求
1、一種光刻機同步觸發診斷系統，其特徵在於包括一個主控制器(1)，至少兩個分系統其中所述分系統均包括一個分系統控制器(2)，所述分系統均包括一個觸發診斷緩衝板(4)，所述分系統均包括至少一個分系統控制子卡(3)；所述主控制器(1)分別與所述分系統中的每個分系統控制器(2)相連接，所述分系統中的每個分系統控制控器(2)分別與所述分系統中的每個分系統控制子卡(3)均保持連接，所述分系統中的每個分系統控器(2)分別與所述分系統中的每個觸發診斷緩衝板(4)均保持相連，所述分系統中的每個觸發診斷緩衝板(4)分別與所述分系統中的每個分系統控制子卡(3)均保持連接；所述分系統的每個觸發診斷緩衝板(4)之間均保持相互連接。
2、 如權利要求1所述的光刻機同步觸發診斷系統，其特徵在於 所述的主控制器(1)與所述分系統內的所述分系統控制器(2 )之間 通過標準乙太網連接。
3、 如權利要求1所述的光刻機同步觸發診斷系統，其特徵在於 所述分系統控制器(2 )與所述分系統控制子卡(3 )之間通過標準的VME總線相連。
4、 如權利要求l所述的光刻機同步觸發診斷系統，其特徵在於 所述觸發診斷緩衝板(4)與所述分系統控制器(2)之間通過標準 VME總線相連。
5、 如權利要求1所述的光刻機同步觸發診斷系統，其特徵在於 所述觸發診斷緩沖板(4 )與所述分系統控制子卡(3 )之間通過標準 VME總線相連。
6、 如權利要求1所述的光刻機同步觸發診斷系統，其特徵在於 所述觸發診斷緩衝板(4)之間通過硬體同步信號線相互連接，用於 同時接收觸發診斷請求信號(5 )和觸發診斷信號(6 )。
7、 如權利要求l所述的光刻機同步觸發診斷系統，其特徵在於 所述的主控制器(1)上運行上位機作業系統、光刻機應用軟體和觸 發診斷系統的上位機處理程序；其中，觸發診斷系統的上位機處理程 序對每個分系統的診斷數據進行記錄、排序、整理。
8、 如權利要求l所述的光刻機同步觸發診斷系統，其特徵在於 所述的分系統控制器(2)為嵌入式微處理器，其上運行嵌入式實時 作業系統，分系統控制器上同時運行觸發診斷處理軟體。
9、 如權利要求8所述的光刻機同步觸發診斷系統，其特徵在於 所述觸發診斷處理軟體包括診斷觸發接口程序庫，分系統控制器(2、) 和分系統控制子卡(3)分別通過調用觸發診斷接口程序庫，將需要 診斷的數據寫入觸發診斷緩沖板(4 )。
10、 如權利要求9所述的光刻機同步觸發診斷系統，其特徵在於所述診斷觸發接口程序庫，包括嵌入式實時作業系統中的庫程序和數 字信號處理器固件上的庫程序。
11、 如權利要求1所述的光刻機同步觸發診斷系統，其特徵在於 所述分系統控制子卡(3)為數位訊號處理器控制板卡。
12、 如權利要求1或11所述的光刻機同步觸發診斷系統，其特 徵在於所述的分系統控制子卡(3)上運行數位訊號處理器固件程 序。
13、 如權利要求1或5所述的光刻機同步觸發診斷系統，其特徵 在於所述觸發診斷緩衝板(4)均設置有環形緩衝區，用於存放每 個分系統控制器(2)及每個分系統控制子卡(3)的診斷數據。
14、 如權利要求13所述的光刻機同步觸發診斷系統，其特徵在 於所述觸發診斷緩衝板(4)的環形緩衝區，其數據更新時間間隔 不小於同步系統中的最小對準周期。
15、 如權利要求14所述的光刻機同步觸發診斷系統，其特徵在 於在光刻機正常掃描期間，所述觸發診斷緩沖板(4 )持續刷新觸 發診斷緩衝板(4)的環形緩衝區的診斷數據。
16、 如權利要求1所述的光刻機同步觸發診斷系統，其特徵在於 所述觸發診斷緩衝板(4)內部設有定時器，用於設定環形緩衝區的 鎖定時間。
17、 如權利要求1所述的光刻機同步觸發診斷系統，其特徵在於 還包括可攜式PC機(7 )，與每個觸發緩沖板(4 )均可單獨相連，便 攜式PC機上可運行觸發診斷上位機程序，用於對診斷數據進行記錄、排序、整理。
18、 如權利要求17所述的光刻機同步觸發診斷系統，其特徵在 於可攜式PC機(7 )與每個觸發診斷緩衝板(4 )通過標準乙太網 相連接。
19、 如權利要求1所述的光刻機同步觸發診斷系統，其特徵在於 主控制器(1)可在任意時刻觸發各分系統之間的同步診斷。
20、 一種光刻機同步觸發診斷方法，其特徵在於包括以下步驟 A )、在光刻機正常掃描期間，主控制器(1)與分系統控制器(2、)向觸發診斷緩衝板(4)的環形緩衝區寫入診斷數據，並保持不斷更 新；B )、當主控制器(1 )檢測到系統錯誤，或檢測滿足用戶設定的 診斷觸發條件時，啟動同步診斷程序；C)、用戶程序(21)直接調用觸發診斷特定接口程序，觸發診斷 控制中心(22)直接響應用戶程序(21)的請求，向觸發診斷控制中 心(22 )發送觸發"^斷請求信號(5 );D )、觸發診斷控制中心(22 )接收到觸發診斷請求信號(5 )後， 檢測滿足觸發條件後，向觸發診斷緩衝板(4 )發送觸發診斷信號(6 );E )、觸發診斷緩沖板(4 )在同一時刻接收到觸發診斷信號(6 ), 啟動其內部的定時器；F) 、觸發診斷緩衝板(4)在到達定時器設定的鎖定時間時，鎖 定其環形緩衝區，停止寫入診斷數據；G) 、當觸發診斷緩沖板(4)的環形緩衝區都鎖定後，通過主控制器(1)上的觸發診斷上位機程序下發收集診斷數據的命令，通過分系統控制器(2 )將觸發診斷緩沖板(4 )內的診斷數據上傳到主控 制器(1);H)主控制器(1)對接收到的診斷數據通過觸發診斷上位機程序 對所有數據進行排序、整理，用戶可以查看任意時刻每個系統的同步 診斷數據。
21、 如權利要求20所述的一種光刻機同步觸發診斷方法，其特 徵在於所述的步驟B中的檢測到系統錯誤而觸發同步診斷，其中系 統錯誤包括分系統控制器上的軟體和分系統控制子卡(3)上的固件 程序發現錯誤。
22、 如權利要求20所述的一種光刻機同步觸發診斷方法，其特 徵在於所述的步驟C中觸發條件可以由用戶通過診斷觸發系統的上 位機軟體進行設置，可以設置接收到觸發診斷請求信號(5)後請求 立刻就響應，或者設置接收到超過特定次數之後再進行響應；或者設 置接收到特定的觸發診斷請求信號(5)就立刻響應，而其他情況的 觸發診斷請求信號(5)則需要超過一定次數後才允許響應；當滿足 設定的觸發條件，觸發診斷中心發送觸發診斷信號(6)。
23、 如權利要求20所述的一種光刻機同步觸發診斷方法，其特 徵在於所述的步驟H診斷數據上傳到直接與觸發診斷緩沖板(4 ) 相連的可攜式PC機(7 )上，可攜式PC機(7 )上的觸發診斷上位機 程序再對診斷數據進行排序整理。
24、 如權利要求20或22所述的一種光刻機同步觸發診斷方法， 其特徵在於所述的步驟H中所有的診斷數據記錄時間戳，並通過觸 發診斷信號(6)發生的時刻將所有的診斷數據的在精確時序上進行 排列。
全文摘要
一種光刻機同步觸發在線診斷方法及系統，由主控制器，分系統控制器，可攜式PC機，觸發診斷緩衝板，分系統控制子卡，以及相應的處理軟體組成。觸發診斷緩衝板提供環形緩衝區用於保存各分系統所有的診斷數據，各觸發診斷緩衝板之間通過硬體同步信號線進行連接。觸發診斷系統收集所有分系統的精確時序的診斷數據，同時不影響系統正常的運行操作，幫助快速定位問題，減少集成以及現場技術支持的時間。
文檔編號G03F7/20GK101359187SQ20081020008
公開日2009年2月4日 申請日期2008年9月18日 優先權日2008年9月18日
發明者周金明, 峰 池, 芳 黃 申請人:上海微電子裝備有限公司