適用於多晶矽坩堝燒結爐的電熱場裝置的製作方法
2023-08-08 02:49:21 1
專利名稱：適用於多晶矽坩堝燒結爐的電熱場裝置的製作方法
技術領域：
本發明涉及一種坩堝燒結爐的電熱場裝置，尤其涉及一種適用於多晶矽坩堝燒結 爐的電熱場裝置。
背景技術：
多晶矽坩堝燒結爐工作時，爐內溫度高達1250度左右，固定在爐壁上的電熱元件 支承座上的工作彎鉤部直接與高溫電加熱元件(如高溫電熱絲)接觸，長時間工作，容易導 致工作彎鉤部的斷裂。斷裂後，需要大面積破壞爐壁上的保溫層，然後再修復保溫層和更換 電熱元件支承座。維修更換工程大，消耗的時間長，且可能破壞原本完好的保溫層，增加了 維修成本。
發明內容
本發明的目的在於提供一種適用於多晶矽坩堝燒結爐的電熱場裝置，電熱元件支 承座通過連接組件與爐壁可更換式裝配，若電熱元件支承座上的工作部斷裂，通過拆卸連 接組件，方便的拆下電熱元件支承座更換，不需要額外破壞完整的保溫層，維修更換極其方 便，而維修工程小、成本低，解決現有技術存在的維修不便，維修工程大，以及維修成本高等 問題。本發明的上述技術目的主要是通過以下技術方案解決的適用於多晶矽坩堝燒 結爐的電熱場裝置，包括爐壁，設置在爐壁上的電熱元件支承座，通過剛玉管支撐的電熱元 件，所述剛玉管的兩端分別支承在橫向相臨的電熱元件支承座上，其特徵在於電熱元件支 承座的連接部通過連接組件與爐壁可更換式裝配。電熱元件支承座通過連接組件與爐壁呈 鑲嵌式可拆卸配合，若電熱元件支承座的工作部斷裂，通過拆卸連接組件，方便的拆下電熱 元件支承座進行更換，不需要額外破壞完整的保溫層，維修更換極其方便，且維修工程小、 成本低。作為對上述技術方案的進一步完善和補充，本發明採用如下技術措施所述連接 組件包括通過連接件固定在爐壁上的連接座，一端鉤掛在連接座上、另一端鉤掛在電熱元 件支承座連接部上的連接掛鈎，所述電熱元件支承座的連接部上設有與連接掛鈎的鉤接部 相適應的掛鈎槽。每個電熱元件支承座上至少對應的設置兩個連接掛鈎，分別設置在電熱元件支承 座的頂部和底部，或者分別設置在電熱元件支承座相對的兩側面。每個電熱元件支承座僅頂部配合一個連接掛鈎。上下相臨的電熱元件支承座的分別設於陰陽配合部，即相臨的上電熱元件支承座 和相臨的下電熱元件支承座上分別設置相配合的凹部和凸部。所述的連接座橫截面為半包圍的框型，連接座的開口端設有掛鈎橫杆；所述電熱 元件支承座上設置掛鈎槽開口平面與所述的掛鈎槽成直角；所述連接掛鈎兩端為直角形掛 鉤部，該連接掛鈎的一端鉤掛在掛鈎橫杆上，另一端鉤掛在掛鈎槽內。
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所述的電熱元件支承座的連接部與連接座之間充填陶瓷纖維板、或矽鈣板、或其 結合；或納米保溫板與陶瓷纖維板、矽鈣板的組合。所述電熱元件支承座的工作部為彎鉤支承部，該彎鉤支承部的中部設有軸向的加 強板。所述加強板上部開設電熱元件走線孔，所述彎鉤支承部被加強板分割成相對的兩 個承接部。本發明具有突出的實質性特點電熱元件支承座通過連接組件與爐壁呈鑲嵌式可 拆卸配合，通過拆卸連接組件，可方便的拆下電熱元件支承座進行更換，不再額外破壞原本 完好的保溫層，使得維修更換更為方便，且維修工程小、成本低。
圖1是本發明的第一種剖視結構示意圖。圖2是本發明的第二種剖視結構示意圖。圖3是本發明的第三種剖視結構示意圖。圖4是本發明的第四種剖視結構示意圖。圖5是圖1-圖4中A-A向剖視結構示意圖。圖6是本發明的第五種剖視結構示意圖。圖7是本發明的第六種剖視結構示意圖。圖8是本發明的第七種剖視結構示意圖。圖9是本發明的第八種剖視結構示意圖。圖10是圖6-圖9中A-A向剖視結構示意圖。
具體實施例方式下面通過實施例，並結合附圖，對本發明的技術方案作進一步具體的說明。實施例1 適用於多晶矽坩堝燒結爐的電熱場裝置，如圖1和圖5所示，包括爐壁 1，設置在爐壁1上的電熱元件支承座2，通過剛玉管支撐的電熱元件，剛玉管的兩端分別支 承在橫向相臨的電熱元件支承座2上。電熱元件支承座2的工作部為彎鉤支承部，該彎鉤支承部的中部設有軸向的加強 板10。加強板10上部開設電熱元件走線孔11，彎鉤支承部被加強板10分割成相對的兩個 承接部12。剛玉管的兩端分別支承在橫向相鄰的兩個電熱元件支承座上相對的兩個彎鉤支 承部上。電熱元件支承座2的連接部通過連接組件與爐壁可更換式裝配。連接組件包括通 過連接件7 (連接件7通常為螺栓、或螺釘等。)固定在爐壁1上的連接座3，一端鉤掛在連 接座3上、另一端鉤掛在電熱元件支承座2連接部上的連接掛鈎4，電熱元件支承座2的連 接部上設有與連接掛鈎4的鉤接部相適應的掛鈎槽5。連接座3橫截面為半包圍的框型，連 接座3的開口端設有掛鈎橫杆6。電熱元件支承座上設置掛鈎槽開口平面與掛鈎槽5成直 角。連接掛鈎4兩端為直角形掛鈎部，該連接掛鈎4的一端鉤掛在掛鈎橫杆6上，另一端鉤 掛在掛鈎槽5內。每個電熱元件支承座2的頂部和底部對應的設置兩個連接掛鈎4。如圖1所示。
此外，為了使電熱元件支承座2之間也具有足夠的保溫性能，電熱元件支承座2 的連接部與連接座3之間充填陶瓷纖維板、或矽鈣板、或其結合；或納米保溫板與陶瓷纖維 板、矽鈣板的組合。使用時，拆下連接件，則連接組件即可與爐壁分離，也就使得電熱元件支承座2與 爐壁相分離，然後，再拆下連接組件，更換好的電熱元件支承座2，將連接組件安裝到好的電 熱元件支承座2上，最後通過連接件固定到爐壁上，更換非常方便，不需要破壞保溫層，即 可完成。實施例2 適用於多晶矽坩堝燒結爐的電熱場裝置，每個電熱元件支承座2僅頂部 配合一個連接掛鈎4。且，上下相臨的電熱元件支承座2的分別設於陰陽配合部，即相臨的 上電熱元件支承座2和相臨的下電熱元件支承座2上分別設置相配合的凹部8和凸部9。 如圖2所示，電熱元件支承座2的頂部設有方形凸起，與帶方形凸起電熱元件支承座2相鄰 的上方的電熱元件支承座2上設有與該方形凸起配合的方形凹槽。其餘結構同實施例1。實施例3 適用於多晶矽坩堝燒結爐的電熱場裝置，如圖3所示，電熱元件支承座2 的頂部設有圓弧形凸起，與帶圓弧形凸起電熱元件支承座2相鄰的上方的電熱元件支承座 2上設有與該圓弧形凸起配合的圓弧形凹槽。其餘結構同實施例2。實施例4 適用於多晶矽坩堝燒結爐的電熱場裝置，如圖4所示，電熱元件支承座2 的頂部設有三角形凸起，與帶三角形凸起電熱元件支承座2相鄰的上方的電熱元件支承座 2上設有與該三角形凸起配合的三角形凹槽。其餘結構同實施例2。實施例5 適用於多晶矽坩堝燒結爐的電熱場裝置，如圖6和圖10所示，每個電熱 元件支承座2的兩側面上設置兩個連接掛鈎4，其餘同實施例1。實施例6 適用於多晶矽坩堝燒結爐的電熱場裝置，上下相臨的電熱元件支承座2 的分別設於陰陽配合部，即相臨的上電熱元件支承座2和相臨的下電熱元件支承座2上分 別設置相配合的凹部8和凸部9。如圖7所示，電熱元件支承座2的頂部設有方形凸起，與 帶方形凸起電熱元件支承座2相鄰的上方的電熱元件支承座2上設有與該方形凸起配合的 方形凹槽。其餘結構同實施例5。實施例7 適用於多晶矽坩堝燒結爐的電熱場裝置，如圖8所示，電熱元件支承座2 的頂部設有圓弧形凸起，與帶圓弧形凸起電熱元件支承座2相鄰的上方的電熱元件支承座 2上設有與該圓弧形凸起配合的圓弧形凹槽。其餘結構同實施例5。實施例8 適用於多晶矽坩堝燒結爐的電熱場裝置，如圖9所示，電熱元件支承座2 的頂部設有三角形凸起，與帶三角形凸起電熱元件支承座2相鄰的上方的電熱元件支承座 2上設有與該三角形凸起配合的三角形凹槽。其餘結構同實施例5。
權利要求
1.適用於多晶矽坩堝燒結爐的電熱場裝置，包括爐壁(1)，設置在爐壁(1)上的電熱元 件支承座(2)，通過剛玉管支撐的電熱元件，所述剛玉管的兩端分別支承在橫向相臨的電熱 元件支承座(2)上，其特徵在於電熱元件支承座(2)的連接部通過連接組件與爐壁可更換 式裝配。
2.根據權利要求1所述的適用於多晶矽坩堝燒結爐的電熱場裝置，其特徵在於所述連 接組件包括通過連接件(7 )固定在爐壁(1)上的連接座(3 )，一端鉤掛在連接座(3 )上、另一 端鉤掛在電熱元件支承座(2 )連接部上的連接掛鈎(4 )，所述電熱元件支承座(2 )的連接部 上設有與連接掛鈎(4)的鉤接部相適應的掛鈎槽(5)。
3.根據權利要求2所述的適用於多晶矽坩堝燒結爐的電熱場裝置，其特徵在於每個電 熱元件支承座(2 )上至少對應的設置兩個連接掛鈎(4 )，分別設置在電熱元件支承座(2 )的 頂部和底部，或者分別設置在電熱元件支承座(2)相對的兩側面。
4.根據權利要求3所述的適用於多晶矽坩堝燒結爐的電熱場裝置，其特徵在於相臨上 下電熱元件支承座(2)的分別設於陰陽配合部，即相臨的上電熱元件支承座(2)和相臨的 下電熱元件支承座(2)上分別設置相配合的凹部(8)和凸部(9)。
5.根據權利要求2所述的適用於多晶矽坩堝燒結爐的電熱場裝置，其特徵在於每個電 熱元件支承座(2)僅頂部配合一個連接掛鈎(4)。
6.根據權利要求3所述的適用於多晶矽坩堝燒結爐的電熱場裝置，其特徵在於上下相 臨的電熱元件支承座(2)的分別設於陰陽配合部，即相臨的上電熱元件支承座(2)和相臨 的下電熱元件支承座(2)上分別設置相配合的凹部(8)和凸部(9)。
7.根據權利要求2所述的適用於多晶矽坩堝燒結爐的電熱場裝置，其特徵在於所述的 連接座(3)橫截面為半包圍的框型，連接座(3)的開口端設有掛鈎橫杆(6)；所述電熱元件 支承座上設置掛鈎槽開口平面與所述的掛鈎槽(5)成直角；所述連接掛鈎(4)兩端為直角 形掛鈎部，該連接掛鈎(4)的一端鉤掛在掛鈎橫杆(6)上，另一端鉤掛在掛鈎槽(5)內。
8.根據權利要求2所述的適用於多晶矽坩堝燒結爐的電熱場裝置，其特徵在於所述的 電熱元件支承座(2)的連接部與連接座(3)之間充填陶瓷纖維板、或矽鈣板、或其結合；或 納米保溫板與陶瓷纖維板、矽鈣板的組合。
9.根據權利要求1所述的適用於多晶矽坩堝燒結爐的電熱場裝置，其特徵在於所述電 熱元件支承座(2)的工作部為彎鉤支承部，該彎鉤支承部的中部設有軸向的加強板(10)。
10.根據權利要求9所述的適用於多晶矽坩堝燒結爐的電熱場裝置，其特徵在於所述 加強板(10)上部開設電熱元件走線孔(11)，所述彎鉤支承部被加強板(10)分割成相對的 兩個承接部(12)。
全文摘要
本發明涉及一種適用於多晶矽坩堝燒結爐的電熱場裝置。它包括爐壁，設置在爐壁上的電熱元件支承座，通過剛玉管支撐的電熱元件，所述剛玉管的兩端分別支承在橫向相臨的電熱元件支承座上，其特徵在於電熱元件支承座的連接部通過連接組件與爐壁可更換式裝配。本發明具有突出的實質性特點電熱元件支承座通過連接組件與爐壁呈鑲嵌式可拆卸配合，通過拆卸連接組件，可方便的拆下電熱元件支承座進行更換，不再額外破壞原本完好的保溫層，使得維修更換更為方便，且維修工程小、成本低。
文檔編號C30B35/00GK102080266SQ20101061453
公開日2011年6月1日 申請日期2010年12月30日 優先權日2010年12月30日
發明者吳建飛, 孫國飛, 張瑋, 張鵬銘, 徐飛, 朱鑫峰, 陳輝 申請人:紹興精功機電有限公司