感溫線總承接頭的製作方法
2023-08-03 23:35:36 2
專利名稱：感溫線總承接頭的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種總承接頭，尤其是一種將感溫線集成連接的總承接頭。
背景技術：
真空接頭是一種快速連接真空管道的可攜式接頭，一般採用先進的數控工具機精密加工而成。真空接頭尺寸精準、外觀美觀，為保證真空焊接、材質各項要素達標，尤其是和軟態波紋管焊接，材質更是要求嚴格，稍有異樣就可以能導致真空檢測時達不到理想的真空效果。在晶體製造的過程中，需要利用感溫線及時地測量真空容器中的溫度，並將感溫線測量的數據導出到真空容器之外。由於真空容器中存在若干感溫線，為了避免單獨將引出感溫線造成感溫線的浪費從而增加製造成本，需要將真空容器中的感溫線集結在一起後通過一總承接頭集中引出。由於總承接頭需要將感溫線從真空容器引出，因此不僅要求該總承接頭具有良好的密封性能，而且要求該總承接頭連接方便，對接準確。
實用新型內容針對現有技術的不足，本實用新型的目的是要提供一種方便將感溫線集中引出的感溫線總承接頭。為實現上述目的，本實用新型採用的技術方案如下一種感溫線總承接頭，所述接頭包括均為管狀的第一部件和第二部件，所述第一部件的右端設有內螺紋，所述第二部件左端外側設有與所述內螺紋對應的外螺紋，所述第一部件通過所述內螺紋與所述外螺紋配合與所述第二部件連接。進一步，還包括一管狀的密封部件，所述密封部件設於所述第二部件內部。進一步，所述密封部件外徑與所述第二部件的內徑相同。進一步，所述密封部件側壁上設有一凸起，所述第二部件內壁設有一與所述凸起配合的凹槽。進一步，所述第二部件右端還設有一延伸段，所述延伸段內徑與所述密封部件的內徑相同。進一步，所述延伸段外側設有連接螺紋。進一步，所述第一部件左端的內徑與所述延伸段內徑相同。具體的，所述第一部件外側橫截面為正六邊形。優選的，所述第二部件外側的外螺紋與延伸段之間部分的橫截面為正六邊形。相對於現有技術，本實用新型所述的真空接頭結構簡單，使用方便，並且，由於在第一部件和第二部件中採用了密封部件，有效的提高了感溫線總承接頭的密封程度，適合用於半導體製造中將感溫線集中引出。為了充分地了解本實用新型的目的、特徵和效果，以下將結合附圖對本實用新型的構思、具體結構及產生的技術效果作進一步說明。
圖I是本實用新型所述感溫線總承接頭的結構示意圖；圖2是圖I中A-A處的剖面示意圖；圖3是圖I中B-B處的剖面示意圖；圖4是圖I中C-C處的剖面示意圖；圖5是圖I中D-D處的剖面示意圖。圖中I一第一部件；11 一內螺紋；2—第二部件；21—外螺紋；22—延伸段；221—連接螺紋；23—凹槽；3—密封部件；31—凸起。
具體實施方式
如圖I至圖5所示，一種感溫線總承接頭，包括管狀的第一部件I和第二部件2，第一部件I右端設有內螺紋11，第二部件2的左端設有外螺紋21，第一部件I和第二部件2通過內螺紋11和外螺紋12的配合連接在一起。第一部件I右端內壁設有內螺紋11，其側壁的橫截面為正六邊形，方便使用工具進行拆卸等操作。第二部件2左端外徑與第一部件I右端的內徑相同，其左端外側設有與所述第一部件I右端的內螺紋11對應的外螺紋21。為了提高第一部件I和第二部件2配合後的真空密封度，在第二部件2的內部還設有一管狀的密封部件3，密封部件3的外徑與第二部件2的內徑相同。為了方便與其他部件的連接配合，所述第二部件2的右端還設有一延伸段22,延伸段22的內徑與所述密封部件3的內徑相同，其外側還設有一連接螺紋221。在第二部件2的延伸段22和外螺紋21之間部分還設置了正六邊形的凸起，其參閱圖5，方便使用者使用工具將接頭安裝或者拆卸。密封部件3設於第二部件2中，由於其外徑與第二部件2的內徑相同，因此密封部件3的外壁緊密能夠安裝在第二部件2中。為了防止密封部件2在第二部件2中隨意的轉動以及方便平時的安裝和使用，在密封部件3的側面設置有一凸起31，第二部件2的內壁設有一對應的凹槽，使安裝密封部件3時可以通過凸起31和凹槽23的配合將密封部件3套接入第二部件2中。為了進一步加強總承接頭的密封性能，可以設置第一部件I左端的內徑與密封部件3的內徑一致。以下詳細描述該感溫線總承接頭的安裝和拆卸過程安裝感溫線總承接頭時，首先將密封部件3的凸起31沿第二部件2的凹槽23中滑動，直到整個密封部件3都完全容納與所述第二部件2中後，即可通過第一部件I的內螺紋I和第二部件2左端的外螺紋21相互配合將第一部件I和第二部件2連接。相對於現有技術，由於在第一部件I和第二部件2中採用了密封部件3，有效的提高了真空連接頭得密封程度。以上詳細描述了本實用新型的較佳具體實施例，應當理解，本領域的普通技術無需創造性勞動就可以根據本實用新型的構思做出諸多修改和變化。因此，凡本技術領域中技術人員依本實用新型構思在現有技術基礎上通過邏輯分析、推理或者根據有限的實驗可以得到的技術方案，均應該在由本權利要求書所確定的保護範圍之中 。
權利要求1.一種感溫線總承接頭，其特徵在於，所述接頭包括均為管狀的第一部件和第二部件，所述第一部件的右端設有內螺紋，所述第二部件左端外側設有與所述內螺紋對應的外螺紋，所述第一部件通過所述內螺紋與所述外螺紋配合與所述第二部件連接。
2.如權利要求I所述的接頭，其特徵在於，還包括一管狀的密封部件，所述密封部件設於所述第二部件內部。
3.如權利要求2所述的接頭，其特徵在於，所述密封部件外徑與所述第二部件的內徑相同。
4.如權利要求2或3所述的接頭，其特徵在於，所述密封部件側壁上設有一凸起，所述第二部件內壁設有一與所述凸起配合的凹槽。
5.如權利要求4所述的接頭，其特徵在於，所述第二部件右端還設有一延伸段，所述延伸段內徑與所述密封部件的內徑相同。
6.如權利要求5所述的接頭，其特徵在於，所述延伸段外側設有連接螺紋。
7.如權利要求6所述的接頭，其特徵在於，所述第一部件左端的內徑與所述延伸段內徑相同。
8.如權利要求7所述的接頭，其特徵在於，所述第一部件外側橫截面為正六邊形。
9.如權利要求8所述的接頭，其特徵在於，所述第二部件外側的外螺紋與延伸段之間部分的橫截面為正六邊形。
專利摘要本實用新型公開了一種感溫線總承接頭，包括均為管狀的第一部件和第二部件，所述第一部件的右端設有內螺紋，所述第二部件左端外側設有與所述內螺紋對應的外螺紋，所述第一部件通過所述內螺紋與所述外螺紋配合與所述第二部件連接。相對現有技術，本實用新型所述的感溫線總承接頭結構簡單，使用方便，而且能夠有效的節省了感溫線，提高了感溫線總承接頭的密封性能。
文檔編號F16L15/04GK202469287SQ20112048776
公開日2012年10月3日 申請日期2011年11月29日 優先權日2011年11月29日
發明者關活明 申請人:臺山市華興光電科技有限公司