一種單晶矽棒粘接的製造方法
2023-07-18 18:40:01 3
一種單晶矽棒粘接的製造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種單晶矽棒粘接機，包括底座，在底座的一端通過晶託支撐座固定連接晶託固定裝置，晶託固定裝置包括電磁鐵，電磁鐵的一端與晶託支撐座固定連接，電磁鐵的另一端與晶託固定盤固定連接，晶託固定盤的盤面設有與晶託上的螺栓連接孔相適配的晶託定位柱，電磁鐵的電磁線圈通過常閉按鈕和電感式接近開關與電源串聯；晶託固定盤設有垂直於晶託固定盤盤面的電感式接近開關安裝孔，電感式接近開關安裝於電感式接近開關安裝孔內，電感式接近開關的位置檢測端位於晶託固定盤盤面的一側。本實用新型具有製作成本低、自動化程度高、晶託安裝定位準確、工作效率高等特點。
【專利說明】
一種單晶矽棒粘接機
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種單晶娃棒粘接機。
【背景技術】
[0002]單晶粘接工裝固定晶託一直以來使用螺栓固定，螺栓上有螺紋，晶託上有螺紋孔。晶託通過螺栓固定和拆卸均需要在螺紋上旋緊和旋出，費時費力，且長時間使用，螺栓上的螺紋和晶託上的螺紋孔易磨損，隨著磨損的嚴重程度增加，螺栓固定晶託時需要膠裝墊片，根據磨損程度不同，加裝的墊片數量、厚度也不一樣，在加裝墊片和調換厚度時更是浪費時間、且定位出現偏差。使用到一定壽命時還需要更換固定螺栓和批量修復螺紋孔，費用較聞。
實用新型內容
[0003]本實用新型要解決的技術問題是提供一種單晶矽棒粘接機，它具有製作成本低、自動化程度高、晶託安裝定位準確、工作效率高等特點。
[0004]為解決上述技術問題，本實用新型所採取的技術方案是:
[0005]—種單晶娃棒粘接機，包括底座，在底座的一端通過晶託支撐座固定連接晶託固定裝置，晶託固定裝置包括電磁鐵，電磁鐵的一端與晶託支撐座固定連接，電磁鐵的另一端與晶託固定盤固定連接，晶託固定盤的盤面設有與晶託上的螺栓連接孔相適配的晶託定位柱，電磁鐵的電磁線圈通過常閉按鈕和電感式接近開關與電源串聯；晶託固定盤設有垂直於晶託固定盤盤面的電感式接近開關安裝孔，電感式接近開關安裝於電感式接近開關安裝孔內，電感式接近開關的位置檢測端位於晶託固定盤盤面的一側。
[0006]本實用新型進一步改進在於:
[0007]電感式接近開關安裝孔位於晶託固定盤的中部。
[0008]電源採用24V直流電源。
[0009]採用上述技術方案所產生的有益效果在於:
[0010]本實用新型包括底座，在底座的一端通過晶託支撐座固定連接晶託固定裝置，晶託固定裝置包括電磁鐵，電磁鐵的一端與晶託支撐座固定連接，電磁鐵的另一端與晶託固定盤固定連接，通過電磁鐵所產生的電磁力對晶託進行固定安裝，較之前螺栓固定相比，自動化程度有了很大的提高，提高了工作效率，且避免了在長期使用中螺紋的磨損產生的維修費用；晶託固定盤的盤面設有與晶託上的螺栓連接孔相適配的晶託定位柱，晶託安裝定位準確，提高了產品質量；電磁鐵的電磁線圈通過常閉按鈕和電感式接近開關與電源串聯；晶託固定盤設有垂直於晶託固定盤盤面的電感式接近開關安裝孔，電感式接近開關安裝於電感式接近開關安裝孔內，電感式接近開關的位置檢測端位於晶託固定盤盤面的一側。當位於晶託固定盤盤面的電感式接近開關檢測到晶託就位後，自動閉合，使電磁線圈形成通路，將晶託牢牢吸附在晶託固定盤盤面上，避免了因為人為控制開關造成的安裝晶託時定位不便，提高了自動化程度。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0011]圖1是本實用新型的結構示意圖；
[0012]圖2是圖1中晶託固定裝置的結構示意圖；
[0013]圖3是圖1中晶託固定裝置的控制電路圖。
[0014]在附圖中:1、底座、2、晶託支撐座；3、電磁鐵；4、晶託固定盤；5、晶託定位柱；6、晶託；7、單晶矽棒校正盤；E、24V直流電源；JJ、電感式接近開關；0A、常閉按鈕；YA、電磁線圈。
【具體實施方式】
[0015]下面將結合附圖和具體實施例對本實用新型進行進一步詳細說明。
[0016]由圖1-3所示的實施例可知，本實施例包括底座1，在底座I的一端通過晶託支撐座2固定連接晶託固定裝置，晶託固定裝置包括電磁鐵3，電磁鐵3的一端與晶託支撐座2固定連接，電磁鐵3的另一端與晶託固定盤4固定連接，晶託固定盤4的盤面設有與晶託6上的螺栓連接孔相適配的晶託定位柱5，電磁鐵3的電磁線圈YA通過常閉按鈕OA和電感式接近開關JJ與24V直流電源E串聯；晶託固定盤4的中部設有垂直於晶託固定盤盤面的電感式接近開關安裝孔，電感式接近開關JJ安裝於電感式接近開關安裝孔內，電感式接近開關JJ的位置檢測端位於晶託固定盤4盤面的一側。
[0017]工作原理及使用方法:
[0018]將晶託安裝在晶託固定盤上，晶託上的螺孔套入晶託定位柱，即完成了晶託的定位，。當位於晶託固定盤盤面的電感式接近開關檢測到晶託就位後自動閉合，使電磁線圈形成通路，將晶託牢牢吸附在晶託固定盤盤面上，當加工完畢需要卸下時，按下常閉按鈕，使電磁線圈斷路，將晶託移開晶託固定盤盤面較小距離後，電感式接近開關斷路，此時即使鬆開常閉按鈕，電磁線圈仍然保持斷路狀態，可輕鬆取下晶託完成操作。
【權利要求】
1.一種單晶矽棒粘接機，包括底座(I)，在所述底座(I)的一端通過晶託支撐座(2)固定連接晶託固定裝置，其特徵在於:所述晶託固定裝置包括電磁鐵(3)，所述電磁鐵(3)的一端與晶託支撐座(2)固定連接，所述電磁鐵(3)的另一端與晶託固定盤(4)固定連接，所述晶託固定盤(4)的盤面設有與晶託(6)上的螺栓連接孔相適配的晶託定位柱(5)，所述電磁鐵⑶的電磁線圈(YA)通過常閉按鈕(OA)和電感式接近開關(JJ)與電源(E)串聯；所述晶託固定盤(4)設有垂直於晶託固定盤盤面的電感式接近開關安裝孔，所述電感式接近開關(JJ)安裝於電感式接近開關安裝孔內，所述電感式接近開關(JJ)的位置檢測端位於所述晶託固定盤(4)盤面的一側。
2.根據權利要求1所述的一種單晶矽棒粘接機，其特徵在於:所述電感式接近開關安裝孔位於所述晶託固定盤(4)的中部。
3.根據權利要求1或2所述的一種單晶矽棒粘接機，其特徵在於:所述電源(E)採用24V直流電源。
【文檔編號】C30B33/06GK204162836SQ201420587507
【公開日】2015年2月18日 申請日期:2014年10月11日 優先權日:2014年10月11日
【發明者】牛聚崗, 吳立濤, 張勇, 張迎昭, 李建, 吳計芳, 李永峰 申請人:寧晉松宮電子材料有限公司