光致抗蝕劑用聚合性化合物、其聚合物以及含有該聚合物的光致抗蝕劑組合物的製作方法

2023-06-13 23:21:46 2

/>式中，Y、Y1和Y2表示氫原子、碳數為1～10的烷基、滷素原子、羥基、巰基、甲基氰基或兩個Y、兩個Y1和兩個Y2分別一起形成的＝O或＝S，多個Y、多個Y1和多個Y2分別相同或不同，m和n表示0～15的整數；Z表示選自式(17)和(18)所示基團的末端基團，多個Z相同或不同，*-X3*-R7(17)(18)式中，R7表示碳數為1～30的烷基或碳數為5～30的環烷基，其部分結構上可以包含下述基團雜原子、羥基、巰基、醚基、硫醚基、氰基、酮基、硫酮基、酮縮醇基、酮縮硫醇基、縮醛基、硫縮醛基、內酯基、硫代內酯基、碳酸酯基、硫代碳酸酯基、胺基、醯胺基、烷基磺醯基、酯基、硫代酯基，X3表示氫原子、羥基、巰基、氨基、PO3、硝基、OSO2CH3、SSO2CH3、NHSO2CH3，α表示1以上的整數，β和γ表示0以上的整數，δ表示1～16的整數，條件是結構中含有一個以上的A和Z。2.權利要求1的聚合性化合物，其中通式(l)中，L為式(lO)或(ll)所示的基團。3.權利要求1的聚合性化合物，其中通式(l)中，至少一個K為選自式(5)和(7)所示的基團。4.通式(19)所示的聚合性化合物，其特徵在於具有脂環式結構、聚合性基團和末端基團formulaseeoriginaldocumentpage4(19)式中，A表示選自式(2)、(3)和(4)所示基團的聚合性基團，多個A相同或不同，formulaseeoriginaldocumentpage4(2)(3)式中，RQ表示氫原子、氟原子、曱基、乙基或三氟曱基；K'和P表示選自式(5)、(6)、(7)、(8)和(9)所示基團的連接基團，多個K"和I^相同或不同，formulaseeoriginaldocumentpage5式中，R1、R2、R3、114和Rs表示氫原子、可以包含雜原子的碳數為1~]0的烷基或卣素原子，k和l表示010的整數，x^口xz表示氧原子、硫原子和NH基，*表示聚合性基團一側或末端基團一側，**表示脂環式基團一側；L表示選自通式(IO)、(11)、(12)、(13)、(14)、(15)和(16)所示基團的脂環式基團，(formulaseeoriginaldocumentpage5式中，Y、Y'和YZ表示氫原子、碳數為110的烷基、自素原子、羥基、巰基、甲基氰基或兩個Y、兩個Y'和兩個丫2分別一起形成的=0或-S，多個Y、多個Y'和多個Ys分別相同或不同，m和n表示015的整數；Z表示選自式(17)和(18)所示基團的末端基團，多個Z相同或不同，(17)(18)式中，W表示碳數為1~30的烷基或碳數為5~30的環烷基，其部分結構上可以包含下述基團雜原子、羥基、巰基、醚基、硫醚基、氰基、酮基、硫酮基、酮縮醇基、酮縮硫醇基、縮醛基、硫縮醛基、內酯基、硫代內酯基、碳酸酯基、硫代碳酸酯基、胺基、醯胺基、烷基磺醯基、酯基、硫代酯基，Xs表示氫原子、羥基、巰基、氨基、P03、硝基、OS02CH3、SS02CH3、NHS02CH3,a和b表示l以上的整數，c和d表示1~15的整數，c+d^16。5.權利要求4的聚合性化合物，其中通式(19)中，A為式(2)所示的基團；至少一個K'為式(5)所示的基團，條件是k為0。6.權利要求4的聚合性化合物，其中通式(19)中，A為式(2)所示的基團；至少一個K1為式(5)所示的基團，條件是k為0;至少一個K^為式(7)所示的基團，條件是1為0。7.權利要求6的聚合性化合物，其中通式(19)中，A為式(2)所示的基團；至少一個K1為式(5)所示的基團，條件是X'和XS表示氧原子、k為0;至少一個P為式(7)所示的基團。8.權利要求7的聚合性化合物，其中通式(19)中，A為式(2)所示的基團；至少一個K'為式(S)所示的基團，條件是X)和XS表示氧原子、k為0;至少一個P為式(7)所示的基團，條件是f表示氧原子、l為0。9.權利要求4的聚合性化合物，其中通式(19)中，A為式(2)所示的基團；至少一個K'為式(5)所示的基團，k為0;Z為具有硫代內酯基或硫代酯基的末端基團。10.權利要求4的聚合性化合物，其中通式(19)中，A為式(2)所示的基團；至少一個Ki為式(5)所示的基團，條件是X'和XS表示氧原子、k為0;至少一個P為式(7)所示的基團，條件是1為0;Z為具有硫代內酯基或硫代酯基的末端基團。11.權利要求10的聚合性化合物，其中通式(19)中，A為式(2)所示的基團；至少一個！^為式(5)所示的基團，條件是X'和XS表示氧原子、k為0;至少一個P為式(7)所示的基團，條件是乂2表示氧原子、l為0;Z為具有硫代內酯基或硫代酯基的末端基團。12.權利要求4的聚合性化合物，其中通式(19)中，A為式(2)所示的基團；至少一個K1為式(5)所示的基團，條件是乂1和乂2表示氧原子、k為0;至少一個P為式(7)所示的基團，條件是乂2表示氧原子、1為0;L為式(10)或(11)所示的基團；Z為具有硫代內酯基或硫代酯基的末端基團。13.權利要求12的聚合性化合物，其中通式(19)中，A為式(2)所示的基團；至少一個K'為式(5)所示的基團，條件是乂1和乂2表示氧原子、k為0;至少一個P為式(7)所示的基團，條件是父2表示氧原子、l為0;L為式(10)所示的基團；Z為具有硫代內酯基或硫代酯基的末端基團。14.權利要求4的聚合性化合物，其中通式(19)中，A為式(2)所示的基團；至少一個K'為式(5)所示的基團，條件是Xi和XS表示氧原子、k為0;至少一個P為式(7)所示的基團，條件是乂2表示氧原子、l為0;Z為具有內酯基或酯基的末端基團。15.權利要求4的聚合性化合物，其中通式(19)中，A為式(2)所示的基團；至少一個P為式(5)所示的基團，條件是Xi和XS表示氧原子、k為0;至少一個P為式(7)所示的基團，條件是乂2表示氧原子、1為0;L為式(10)或(11)所示的基團；Z為具有內酯基或酯基的末端基團。16.權利要求15的聚合性化合物，其中通式(19)中，A為式(2)所示的基團；至少一個W為式(5)所示的基團，條件是乂1和乂2表示氧原子、k為0;至少一個KS為式("所示的基團，條件是X匸表示氧原子、l為0;L為式(10)所示的基團；Z為具有內酯基或酯基的末端基團。17.通式(19a)所示的具有脂環式結構和末端基團的聚合性化合物的製備方法，其特徵在於使通式(20)所示的化合物與通式(21)所示的化合物反應，formulaseeoriginaldocumentpage8式中，當乂4表示選自氫原子、面素原子、烷基磺醯基氧基、全氟烷基磺醯基氧基、烷基取代的苯基磺醯基氧基的基團時，《表示選自氫原子、羥基、巰基、NH2基的基團；當乂4表示選自氫原子、羥基、疏基、NH2基的基團時，f表示選自氫原子、滷素原子、烷基磺醯基氧基、全氟烷基磺醯基氧基、烷基取代的苯基磺醯基氧基的基團；Di表示X44乂5反應所產生的結合基團；KS和IC表示連接基團；A、K1、L、Z、a、b、c和d與上述相同；e表示0~10的整數，f表示0以上的整數。18.通式(19b)所示的具有脂環式結構和末端基團的聚合性化合物的製備方法，其特徵在於^使通式(22)所示的化合物與通式(23)所示的化合物反應，formulaseeoriginaldocumentpage9(22)formulaseeoriginaldocumentpage9(23)formulaseeoriginaldocumentpage9(19b)式中，當乂4表示選自氬原子、卣素原子、烷基磺醯基氧基、全氟烷基磺醯基氧基、烷基取代的苯基磺醯基氧基的基團時，XS表示選自氫原子、羥基、巰基、NH2基的基團；當乂4表示選自氫原子、羥基、巰基、冊2基的基團時，XS表示選自氫原子、卣素原子、烷基磺醯基氧基、全氟烷基磺醯基氧基、烷基取代的苯基磺醯基氧基的基團；DS表示X44XS反應所產生的結合基團；KS和I^表示連接基團；A、K2、L、Z、a、b、c和d與上述相同；e表示010的整數，f表示0以上的整數。19.聚合物，其特徵在於以通式(l)所示的具有脂環式結構和聚合性基團的聚合性化合物作為構成成分。20.光致抗蝕劑組合物，其特徵在於含有以通式(l)所示的具物。全文摘要本發明提供由通式(1)或(19)所示的具有脂環式結構和聚合性基團的聚合性化合物、其聚合物和該聚合性化合物的製備方法以及含有該聚合物的光致抗蝕劑組合物，所述聚合性化合物顯示高的基板粘合性、顯影時的膨脹降低、且在水中曝光時的吸水量低、抗幹蝕性高。文檔編號C08F20/28GK101180324SQ20068001725公開日2008年5月14日申請日期2006年5月15日優先權日2005年5月20日發明者伊藤克樹,大野英俊,松本信昭,畠山直良申請人:出光興產株式會社