離子束傳輸控制系統的製作方法
2023-06-14 08:20:06 2
專利名稱：離子束傳輸控制系統的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種控制系統，尤其涉及一種用於半導體製造離子注入機中所用的自動啟弧、離子束流引出、自動調整及優化離子束流的控制系統，屬於半導體器件製造領域。
背景技術：
現有半導體集成電路製造技術中，離子注入機作為半導體離子摻雜工藝線的關鍵設備之一，也提出了很高的要求，要求離子注入機具有快速、準確的獲得所需的離子束流，同時對獲得的束流進行調整、優化。高品質、高穩定性、高傳輸率的離子束流對注入的工藝有著至關重要的意義。
離子束傳輸控制優化是離子注入機控制系統中精度要求比較高，並且難以掌握的控制技術之一，離子束流直接影響晶園的注入品質，並關係到晶園的注入工藝質量和離子注入機的生產率。
發明內容
為了解決上述存在的問題，本實用新型的目的是提供了自動啟弧、離子束流引出、自動調整及優化離子束的離子束傳輸控制系統。
本實用新型的技術方案是這樣實現的，離子束傳輸控制系統，由離子束產生裝置、離子束分析裝置、測束杯離子束檢測裝置、離子束調整裝置、靶室離子束檢測裝置、計算機控制系統組成，其特徵在於計算機控制系統的一端與離子束產生裝置、離子束分析裝置、測束杯離子束檢測裝置、離子束調整裝置、靶室離子束檢測裝置依次連接，靶室離子束檢測裝置又與計算機控制系統的另一端相連接，離子束分析裝置、測束杯離子束檢測裝置、離子束調整裝置又分別與計算機控制系統相連接。
所述的離子束產生裝置用於產生離子束流I0，設定的元素參數為A(質量數)，即表明所使用的注入元素B(11)或Ar(40)或P(31)或As(75)，同時獲得的能量參數為V；所述的離子束分析裝置用於分析出需要的工藝注入離子束流I1，調整的參數為If；所述的測束杯離子束檢測裝置用於檢測分析後的離子束流的大小，檢測的參數為I1；所述的離子束調整裝置對分析後的束流I1進行品質優化，調整的參數為IQ1、IQ2、ILENS、Vdef，優化後的束流為I2；所述的靶室離子束檢測裝置檢測最終獲得束流的大小，檢測的參數為I2；所述的計算機控制系統通過既定的流程控制，對上述各個裝置功能進行控制和參數調整；技術原理技術原理1、首先計算機控制系統根據設定的工藝菜單，經過計算，向各個裝置輸出具體的參數，各個裝置參數快速確定，減少了調整時間，同時可使束流品質得以優化。
上述的參數數學關係如下注入元素A(質量數)與離子束分析裝置的If、能量參數V的關係If＝K0*((A*V)/q))1/2IQ1＝k1*IfIQ2＝k2*IfILENS＝k3*IfVdef＝K4*Vq電荷數(+，++，+++)A＝11，31，40，75k0、k1、k2、k3、k4通過模擬計算後的參數2、控制離子束產生裝置進行一定的放電過程，使其產生穩定的離子束流I0，所有引出的束流進入離子束分析裝置，計算機控制系統輸出預設的參數If給離子束分析裝置，將所需的離子束流I1從該裝置輸出端輸出，其他類型的離子束流被截止，在測束杯離子束檢測裝置上獲得所需的離子束流的大小，通過微小調整分析裝置的參數If，即可獲得最大的離子束流I1。離子束調整裝置將分析後的束流進行束品質的調整與優化，在靶室離子束檢測裝置上獲得符合注入工藝上的離子束流I3。
與現有技術相比，本實用新型的有益效果是結構簡單，能有效的對產生的離子束進行分析、檢測、調整，達到優化的目的。
圖1為本實用新型結構框圖；圖2為本實用新型對離子束進行優化控制的流程圖。
具體實施方式
以下結合附圖和具體實施例對本實用新型作進一步詳細描述，但不作為對本實用新型的限定。
一種離子束傳輸控制系統，由離子束產生裝置1、離子束分析裝置2、測束杯離子束檢測裝置3、離子束調整裝置4、靶室離子束檢測裝置5、計算機控制系統6組成，離子束產生裝置1將產生的離子束流I0傳輸給離子束分析裝置2，離子束分析裝置2分析出需要的工藝注入離子束流I1；離子束流I1進入測束杯離子束檢測裝置3，檢測分析離子束流的大小；經檢測分析後的離子束流I1進入離子束調整裝置4對離子束流I1進行品質優化，優化後的束流為I2進入靶室離子束檢測裝置5，檢測最終獲得的束流的大小，計算機控制系統6與離子束產生裝置1、離子束分析裝置2、測束杯離子束檢測裝置3、離子束調整裝置4、靶室離子束檢測裝置5同時分別連接，對離子束流進行控制和參數調整。
權利要求1.離子束傳輸控制系統，由離子束產生裝置、離子束分析裝置、測束杯離子束檢測裝置、離子束調整裝置、靶室離子束檢測裝置、計算機控制系統組成，其特徵在於計算機控制系統的一端與離子束產生裝置、離子束分析裝置、測束杯離子束檢測裝置、離子束調整裝置、靶室離子束檢測裝置依次連接，靶室離子束檢測裝置又與計算機控制系統的另一端相連接，離子束分析裝置、測束杯離子束檢測裝置、離子束調整裝置又分別與計算機控制系統相連接。
專利摘要本實用新型公開了一種離子束傳輸控制系統，由離子束產生裝置、離子束分析裝置、測束杯離子束檢測裝置、離子束調整裝置、靶室離子束檢測裝置、計算機控制系統組成，離子束產生裝置產生的離子束流I
文檔編號H01L21/265GK2913386SQ20062000818
公開日2007年6月20日 申請日期2006年3月17日 優先權日2006年3月17日
發明者王迪平, 羅宏洋, 郭健輝, 田小海, 文超 申請人:北京中科信電子裝備有限公司