防止酸液噴濺的擋板的製作方法
2023-06-25 23:19:01 1
專利名稱：防止酸液噴濺的擋板的製作方法
技術領域：
本實用新型設計半導體製造領域，且特別涉及一種設置於機臺腔室之間防止酸液 噴濺的擋板。
背景技術：
在集成電路中，製造銅導線的方法是以化學電鍍(Electro-Chemical Plating)設 備在已沉積銅晶種層上電鍍一層銅薄膜。電鍍後，晶圓上銅薄膜的周圍一圈總是產生剝落 的情形，以至於造成後續工藝粒子汙染或合格率低的情況。因此在化學電鍍工藝後，增加一 道工藝以洗去晶圓上周圍一圈的銅薄膜，以避免銅薄膜剝落所產生的後續問題。在已知的化學電鍍設備中，設備商已經設計了一個洗邊組件用來洗去晶圓上周圍 一圈的銅薄膜。已知洗邊工藝藉助洗邊組件在電鍍後晶圓的周圍一圈噴灑用來溶解銅薄膜 的溶液，以去除周圍的銅薄膜。常用來溶解銅薄膜的溶液包含硫酸、過氧化氫和去離子水的 混合物。然而，同一機臺內相鄰腔室在對晶圓進行洗邊處理的過程中，由於晶圓在腔室內 旋轉，有可能造成其中的酸液飛濺到腔室之外，從而滴在鄰近的腔室已經處理完畢的晶圓 表面，形成隨機的坑狀缺陷。由於這類坑狀缺陷容易造成晶圓報廢，因此其降低了產品的良率。
實用新型內容本實用新型提出一種防止酸液噴濺的擋板，設置於機臺腔室之間，可有效避免坑 狀缺陷的發生，從而提高產品良率。為了達到上述目的，本實用新型提出一種防止酸液噴濺的擋板，設置於機臺腔室 之間，所述擋板包括擋板部和固定部，其中擋板部的形狀與機臺腔室相配合，固定部設置在 腔室之間的機臺上，擋板部裝設於固定部上。進一步的，所述固定部包括底座，以及底座上部的兩個卡合板，所述擋板部卡入兩 個卡合板中固定。進一步的，所述底座具有螺栓將底座固定於機臺上。進一步的，所述擋板部為周邊具有第一長方形缺口、第二長方形缺口和凸字形缺 口的多邊形擋板。進一步的，所述擋板部為周邊具有第三長方形缺口和第四長方形缺口的多邊形擋 板。本實用新型提出的防止酸液噴濺的擋板，設置於機臺腔室之間，其中擋板部的高 度和寬度用於足以防止酸液噴濺至其他相鄰腔室的情況發生，可有效避免坑狀缺陷的發 生，從而提高產品良率。同時擋板部的形狀與機臺腔室相配合，不會影響機臺腔室的正常使 用，擋板部可拆卸地裝設於固定部的兩個卡合板之間，便於清洗或替換。
圖1所示為本實用新型較佳實施例的防止酸液噴濺的擋板結構示意圖。圖2所示為本實用新型較佳實施例的擋板部的示意圖。圖3所示為本實用新型較佳實施例的固定部的側視圖。圖4所示為本實用新型較佳實施例的固定部的俯視圖。圖5所示為本實用新型又一較佳實施例的擋板部的示意圖。圖6所示為本實用新型又一較佳實施例的固定部的側視圖。圖7所示為本實用新型又一較佳實施例的固定部的俯視圖。
具體實施方式
為了更了解本實用新型的技術內容，特舉具體實施例並配合所附圖說明如下。本實用新型提出一種防止酸液噴濺的擋板，設置於機臺腔室之間，可有效避免坑 狀缺陷的發生，從而提高產品良率。請參考圖1，圖1所示為本實用新型較佳實施例的防止酸液噴濺的擋板結構示意 圖。本實用新型提出一種防止酸液噴濺的擋板，設置於機臺腔室之間，所述擋板包括擋板部 100和固定部200，其中擋板部100的形狀與機臺腔室相配合，固定部200設置在腔室之間 的機臺上，擋板部100裝設於固定部200上。請參考圖2，圖2所示為本實用新型較佳實施例的擋板部的示意圖。所述擋板部 100為周邊具有第一長方形缺口 110、第二長方形缺口 120和凸字形缺口 130的多邊形擋 板。其中擋板部100的多邊形形狀與機臺腔室相配合，用戶選擇擋板部100的任一邊裝設 於固定部200上，具體要求按照不會影響機臺腔室的正常使用裝設，例如不會影響腔室蓋 子的升降，本實施例選擇具有凸字形缺口 130的一邊裝設。擋板部100的高度和寬度用於 足以防止酸液噴濺至其他相鄰腔室的情況發生，可有效避免坑狀缺陷的發生，從而提高產 品良率。再請參考圖3和圖4，圖3所示為本實用新型較佳實施例的固定部的側視圖，圖4 所示為本實用新型較佳實施例的固定部的俯視圖。所述固定部200包括底座210，以及底 座210上部的兩個卡合板220，所述擋板部100卡入兩個卡合板220中固定。其中，兩個卡 合板220的寬度小於底座210的寬度，擋板部100可拆卸地裝設於固定部200的兩個卡合 板220之間，便於清洗或替換，例如在做機臺保養或者維修的時候，進行拆卸操作，將擋板 部100清理乾淨，擋板部100的縱向高度大於所述卡合板220。所述底座210具有螺栓230 將底座210固定於機臺上，在機臺保養或者維修的時候也可將固定部200拆卸清洗。再請參考圖5，圖5所示為本實用新型又一較佳實施例的擋板部的示意圖。所述擋 板部300為周邊具有第三長方形缺口 310和第四長方形缺口 320的多邊形擋板。其與圖2 所示的第一較佳實施例的擋板部300可分別裝設於不同的腔室之間，具體形狀和高度按照 機臺腔室確定。擋板部300的高度和寬度用於足以防止酸液噴濺至其他相鄰腔室的情況發 生，可有效避免坑狀缺陷的發生，從而提高產品良率。再請參考圖6和圖7，圖6所示為本實用新型又一較佳實施例的固定部的側視圖， 圖7所示為本實用新型又一較佳實施例的固定部的俯視圖。固定部400的底座410上的兩 個卡合板420的寬度等於底座的寬度，底座410具有螺栓430將底座410固定於機臺上，在機臺保養或者維修的時候也可將固定部400拆卸清洗。其他技術特徵與圖3和圖4所示為第一較佳實施例相同，這裡不再重述。綜上所述，本實用新型提出的防止酸液噴濺的擋板，設置於機臺腔室之間，其中擋 板部的高度和寬度用於足以防止酸液噴濺至其他相鄰腔室的情況發生，可有效避免坑狀缺 陷的發生，從而提高產品良率。同時擋板部的形狀與機臺腔室相配合，不會影響機臺腔室的 正常使用，擋板部可拆卸地裝設於固定部的兩個卡合板之間，便於清洗或替換。雖然本實用新型已以較佳實施例揭露如上，然其並非用以限定本實用新型。本實 用新型所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本實用新型的精神和範圍內，當可作各 種的更動與潤飾。因此，本實用新型的保護範圍當視權利要求書所界定者為準。
權利要求一種防止酸液噴濺的擋板，設置於機臺腔室之間，其特徵在於，所述擋板包括擋板部和固定部，其中擋板部的形狀與機臺腔室相配合，固定部設置在腔室之間的機臺上，擋板部裝設於固定部上。
2.根據權利要求1所述的防止酸液噴濺的擋板，其特徵在於，所述固定部包括底座，以 及底座上部的兩個卡合板，所述擋板部卡入兩個卡合板中固定。
3.根據權利要求1所述的防止酸液噴濺的擋板，其特徵在於，所述底座具有螺栓將底 座固定於機臺上。
4.根據權利要求1所述的防止酸液噴濺的擋板，其特徵在於，所述擋板部為周邊具有 第一長方形缺口、第二長方形缺口和凸字形缺口的多邊形擋板。
5.根據權利要求1所述的防止酸液噴濺的擋板，其特徵在於，所述擋板部為周邊具有 第三長方形缺口和第四長方形缺口的多邊形擋板。
專利摘要本實用新型提出一種防止酸液噴濺的擋板，設置於機臺腔室之間，所述擋板包括擋板部和固定部，其中擋板部的形狀與機臺腔室相配合，固定部設置在腔室之間的機臺上，擋板部裝設於固定部上。本實用新型提出的防止酸液噴濺的擋板，設置於機臺腔室之間，可有效避免坑狀缺陷的發生，從而提高產品良率。
文檔編號H01L21/00GK201562669SQ200920209618
公開日2010年8月25日 申請日期2009年9月11日 優先權日2009年9月11日
發明者曾玉帆, 李廣寧 申請人:中芯國際集成電路製造(上海)有限公司