單晶矽製備爐石英堝增容加料裝置的製作方法

2023-06-02 01:38:06

專利名稱：單晶矽製備爐石英堝增容加料裝置的製作方法
技術領域：
本發明涉及一種單晶矽製備爐石英堝增容加料裝置，屬單晶爐配件技術領域。
背景技術：
國內優質石英砂供應緊張，而石英堝是單晶矽行業的高耗產品，充分利用 石英堝的空間無疑對產量會產生極大的提升，生產成本會有明顯的下降，由於 裝滿原料的石英堝在原料熔化後體積的縮小會使石英堝剩餘較大空間，影響其 利用率，如果裝料太多，原料堆積在導流筒內，原料熔化時，容易粘附在導流 筒壁影響導流筒的使用壽命，目前業內尚無安全可靠的加料裝置，實現石英堝 容積的充分利用。

發明內容
本發明需要解決的技術問題是提供一種單晶矽製備爐石英堝增容加料裝 置，可在滿足生產工藝的同時，最大限度的利用石英堝的容積，提高產量，降 低成本。
為解決上述技術問題，本發明所採用的技術方案是
單晶矽製備爐石英堝增容加料裝置，其結構包括，可放置在單晶爐導流筒 內的筒狀加料器，加料器頂端固定吊架，吊架中心連接吊繩、吊繩通過繩輪連 接一重量可維持加料器直立的重錘。
本發明的進一步改進在於吊架兩端水平開設螺孔，加料器頂端側壁設置與 吊架的螺孔位置對應的銷孔，吊架螺孔配合一螺紋銷，螺紋銷前端與加料器銷 孔配合；吊架設計為十字形結構；加料器設計為圓柱筒形或圓錐筒形結構。
由於採用了上述技術方案，本發明取得的技術進步是
應用本發明產品，當原料緩慢熔化時，加料器內的料將慢慢下滑進入石英
堝的矽液中、片刻即可熔完，對成晶沒有任何影響，不會造成石英堝變型，不 外濺矽，防止了矽液浪費及損壞石墨件，提高了石英堝的利用價值，從而節約 資源，降低生產成本，加料器可反覆利用，不會增加成本。
本發明提供的加料器採用石英材質，可耐高溫，在溫度變化大的情況下，
不易發生裂紋；透明石英可以隨時觀察內部液體熔化情況，及時發現漏矽、跳 矽等情況。
該發明的應用，平均每爐可多增加10Kg產量、成品率明顯提高，且使用比 較簡便，容易掌握。如果將本新型產品用於拉大直徑單晶時，將更加明顯，首 先爐子的內部空間決定了熱場的大小，決定了其投料量的多少，如果用上大尺 寸的加料器增加投料量，也就是說相當於62的爐子能當80爐使用。


圖1單晶矽製備爐石英堝增容加料裝置結構剖視示意圖。 其中1、繩輪，2、重錘，3、吊繩，4、吊架，5、加料器，6、導流筒， 7、螺玟銷。
具體實施例方式
下面結合附圖對本發明做進一步詳細說明
圖1所示，本發明結構包括，可放置在單晶爐導流筒6內的筒狀加料器5, 加料器5頂端設置吊架4，吊架4兩端水平開設螺孔，加料器頂端側壁設置與吊 架4的螺孔位置對應的銷孔，吊架螺孔配合一螺紋銷7，螺紋銷7前端與加料器 5的銷孔配合；吊架4設計為十字形結構，吊架4中心連接吊繩3、吊繩3通過 繩輪1連接一重量可維持加料器5直立的重錘2。
加料器5可設計為圓柱筒形或圓錐筒形結構。
本發明產品的使用過程如下
在單晶爐的石英堝裝完料後將本發明的加料器5》丈入導流筒6繼續向加料 器5內力口料，裝料完成後，用吊架4將加料器5通過吊繩3連接重錘2，由重錘 2牽引加料器5、可自由上下，避免引起砸堝、濺矽現象的發生；當原料緩慢熔
化時，加料器5內的料將慢慢下滑，進入矽液中、片刻即可熔完，拖動吊繩3 將加料器5慢慢提升至付室取出， 一次高溫過程，對成晶沒有任何影響，化料
時間只增加3-5分鐘。
權利要求
1、單晶矽製備爐石英堝增容加料裝置，其特徵在於結構中包括，可放置在單晶爐導流筒內的筒狀加料器，加料器頂端固定吊架，吊架中心連接吊繩，吊繩通過繩輪連接一重量可維持加料器直立的重錘。
2、 根據權利要求1所述的單晶矽製備爐石英堝增容加料裝置，其特徵在於 所述吊架兩端水平開設螺孔，加料器頂端側壁設置與吊架的螺孔位置對應的銷 孔，吊架螺孔配合一螺紋銷，螺紋銷前端與加料器銷孔配合。
3、 根據權利要求2所述的單晶矽製備爐石英堝增容加料裝置，其特徵在於 所述吊架設計為十字形結構。
4、 根據權利要求1、 2或3所述的單晶矽製備爐石英堝增容加料裝置，其 特徵在於所述加料器設計為圓柱筒形或圓錐筒形結構。
全文摘要
本發明公開了一種單晶矽製備爐石英堝增容加料裝置，屬單晶爐配件技術領域；其結構包括，可放置在單晶爐導流筒內的筒狀加料器，加料器頂端固定吊架，吊架中心連接吊繩、吊繩通過繩輪連接一重量可維持加料器直立的重錘；應用本產品，可在滿足生產工藝的同時，最大限度的利用石英堝的容積，提高石英堝的利用價值，節約資源，提高產量，降低生產成本，加料器可反覆利用。
文檔編號C30B15/00GK101343775SQ20081007925
公開日2009年1月14日 申請日期2008年8月22日 優先權日2008年8月22日
發明者何景輝, 劉軍波, 劉彬國, 張呈沛, 張學強 申請人:寧晉晶興電子材料有限公司