一種板式pecvd設備上下料系統的矽片進料升降臺的製作方法
2023-06-01 12:53:46
專利名稱：一種板式pecvd設備上下料系統的矽片進料升降臺的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及板式PECVD設備的矽片上下料工裝技術領域，具體為一種板式PECVD設備自動上下料系統的進料升降臺。
背景技術：
以往板式PECVD設備的矽片上料多是人工直接從矽片盒中將未經PECVD處理的矽片取出，其不僅取片上料效率慢，而且在上料過程中矽片的碎片率高，為了提高上料效率並降低碎片率，目前開始採用自動上下料系統來取代以往純人工上下料，其中在矽片上料時由進盒輸送線將裝滿未經PECVD處理的矽片運往上料工位，自動取片機構從上料工位的矽 片盒中將矽片逐片取出，待矽片全部取出後由出盒輸送線將空矽片盒運離，由於出盒輸送線位於進盒輸送線的正上方，且由於自動出片機構在垂直方向不能移動，因此必須通過調整矽片盒在豎向的位置來保證出片機構能夠精確地取出每一片矽片並保證不破壞矽片。
發明內容針對上述問題，本實用新型提供了一種板式PECVD設備上下料系統的矽片進料升降臺，其能帶動娃片盒在垂直方向的自由升降，從而保證出片機構能夠精確地抽取每一片娃片。其技術方案是這樣的，其特徵在於其包括安裝支架、豎向升降機構和水平輸送機構，所述水平輸送機構安裝於升降底板，所述升降底板通過連接板安裝於所述豎向升降機構，所述豎向升降機構通過所述安裝支架固定於自動上下料系統的矽片盒運輸線與出片機構之間。其進一步特徵在於所述豎向升降機構包括豎向直線模組和伺服電機，所述豎向直線模組固定於所述安裝支架、並通過聯軸器連接所述伺服電機；所述升降底板通過連接板安裝於所述豎向直線模組；所述水平輸送機包括電機，所述電機安裝於所述升降底板底部，所述電機輸出軸連接傳動同步帶輪，所述傳動同步帶輪通過傳動同步帶與輸送同步帶輪連接，所述輸送同步帶輪通過輸送同步帶與輸送從動帶輪連接；所述連接板上端固定有壓緊氣動滑臺，所述壓緊氣動滑臺外側端安裝有壓緊裝置；所述升降底板的矽片出片側端安裝有定位擋塊。採用本實用新型進料升降臺，其有益效果在於水平輸送機構可以保證進料臺與進盒輸送線、出盒輸送線之間矽片盒的水平輸送傳遞，同時其豎向升降機構帶動矽片盒做豎直方向的升降運動既可以完成矽片盒在進盒輸送線與出盒輸送線之間的垂直傳遞輸送，也保證了矽片盒中每一片矽片能夠精確到達出片機構的工作位置，從而保證矽片的可靠出片。
圖I為本實用新型矽片進料升降臺結構示意圖；[0008]圖2為本實用新型矽片進料升降臺系統布置圖。
具體實施方式
見圖I和圖2，本實用新型包括安裝支架3、豎向升降機構和水平輸送機構，水平輸送機構安裝於升降底板5，升降底板5通過連接板4安裝於豎向升降機構，豎向升降機構通過安裝支架3固定於自動上下料系統的矽片盒運輸線與出片機構之間。豎向升降機構包括豎向直線模組2和伺服電機1，豎向直線模組2固定於安裝支架3、並通過聯軸器連接伺服 電機I ;升降底板5通過連接板4安裝於豎向直線模組2 ;水平輸送機構包括電機8,電機8安裝於升降底板5底部，電機輸出軸連接傳動同步帶輪7,傳動同步帶輪7通過傳動同步帶6與輸送同步帶輪9連接,輸送同步帶輪9通過輸送同步帶10與輸送從動帶輪12連接；連接板4上端固定有壓緊氣動滑臺14，壓緊氣動滑臺14外側端安裝有壓緊裝置13 ;升降底板5的矽片出片側端安裝有定位擋塊11。圖2中，15為矽片運輸線的進盒輸送線，16為矽片運輸線的出盒輸送線，17為本實用新型進料升降臺。下面具體描述一下本實用新型的工作過程伺服電機I轉動，連接板4在豎向直線模組2的作用下帶動安裝於其上的壓緊裝置13、升降底板5、升降底板5上的水平輸送機構一起下降、直至升降底板5上的水平輸送機構與矽片盒運輸線的進盒輸送線15的同步帶處於同一水平位置時伺服電機I停止工作，電機8轉動通過傳動同步帶6帶動輸送同步帶輪9轉動，從而實現輸送同步帶10的水平移動，裝滿未經PECVD處理矽片的矽片盒即由進盒輸送線15輸送至進料升降臺的同步帶10上，此時電機8停止工作，矽片盒受定位擋塊11的阻擋停留在輸送同步帶10表面，隨後壓緊氣動滑臺14動作帶動壓緊裝置13向下壓緊矽片盒，伺服電機I與豎向直線模組2繼續工作、將矽片盒向上提升，直到矽片盒中最下層的矽片的高度到達預定出片位置，出片機構將矽片盒中的矽片自下往上一一取出，每取出一張矽片，伺服電機I控制豎向直線模組2帶動矽片盒下降一層矽片高度，直到矽片盒中的矽片被取空後，伺服電機I控制豎向直線模組2帶動空矽片盒上升至矽片盒運輸線的出盒輸送線16的高度，電機8轉動、通過傳動同步帶輪7和傳動同步帶6驅動輸送同步帶輪9轉動，從而使得輸送同步帶10帶動放置其表面的空矽片盒水平移動進入矽片盒運輸線的出盒輸送線16，由出盒輸送線16將空矽片盒運離。
權利要求1.一種板式PECVD設備上下料系統的矽片進料升降臺，其特徵在於其包括安裝支架、豎向升降機構和水平輸送機構，所述水平輸送機構安裝於升降底板，所述升降底板通過連接板安裝於所述豎向升降機構，所述豎向升降機構通過所述安裝支架固定於自動上下料系統的矽片盒運輸線與出片機構之間。
2.根據權利要求I所述的一種板式PECVD設備上下料系統的矽片進料升降臺，其特徵在於所述豎向升降機構包括豎向直線模組和伺服電機，所述豎向直線模組固定於所述安裝支架、並通過聯軸器連接所述伺服電機。
3.根據權利要求2所述的一種板式PECVD設備上下料系統的矽片進料升降臺，其特徵在於所述升降底板通過連接板安裝於所述豎向直線模組。
4.根據權利要求3所述的一種板式PECVD設備上下料系統的矽片進料升降臺，其特徵在於所述水平輸送機包括電機，所述電機安裝於所述升降底板底部，所述電機輸出軸連接傳動同步帶輪，所述傳動同步帶輪通過傳動同步帶與輸送同步帶輪連接，所述輸送同步帶輪通過輸送同步帶與輸送從動帶輪連接。
5.根據權利要求4所述的一種板式PECVD設備上下料系統的矽片進料升降臺，其特徵在於所述連接板上端固定有壓緊氣動滑臺，所述壓緊氣動滑臺外側端安裝有壓緊裝置。
6.根據權利要求5所述的一種板式PECVD設備上下料系統的矽片進料升降臺，其特徵在於所述升降底板的矽片出片側端安裝有定位擋塊。
專利摘要本實用新型提供了一種板式PECVD設備上下料系統的矽片進料升降臺，其能帶動矽片盒在垂直方向的自由升降，從而保證出片機構能夠精確地抽取每一片矽片。其特徵在於其包括安裝支架、豎向升降機構和水平輸送機構，水平輸送機構安裝於升降底板，升降底板通過連接板安裝於豎向升降機構，豎向升降機構通過安裝支架固定於自動上下料系統的矽片盒運輸線與出片機構之間。
文檔編號B65G59/06GK202414789SQ20112057259
公開日2012年9月5日 申請日期2011年12月31日 優先權日2011年12月31日
發明者陳世強, 陳平 申請人:無錫市奧曼特科技有限公司