塗有金剛石cvd的超聲切割工具的製作方法
2023-05-28 11:28:06 3
專利名稱：塗有金剛石cvd的超聲切割工具的製作方法
技術領域：
本發明涉及一種切割工具和使用化學氣相沉積(CVD)金剛石(在後文稱CVD金剛石)生長的技術形成上述工具的方法，以及更具體地說，涉及一種工具和它的形成方法，這種工具使用於這種類型的超聲設備，這類設備通常使用於各種材料製成的任何種類表面的切割，鑽孔，研磨和修整，比如陶瓷，玻璃，骨質，牙質，氮化物，碳化物，大理石，花崗巖等，以及尤其是使用於切割硬質材料。
背景技術：
超聲使用於一些用途，比如切割，鑽孔，研磨，修整和清洗久已為人們所知。它的優點也是人們熟知的，主要是在難以達到的區域內機加工材料的能力，在這些區域使用轉動的機加工方法，或者要求高的位移幅度的方法是不可能的。
藉助使用低的幅度和較高頻率的機械振動，超聲方法，比如超聲切割，鑽孔，研磨，修整和清洗方法的一個重要的特徵是僅加工在工具的直接作用下的材料，對相鄰的區域產生最小的影響，導致高的精密度。由於超聲在金屬材料內傳播，有可能使工具帶有不同的形狀和進入角，從而允許不僅按照工具給出的形狀加工，而且能夠在難以到達的區域內進行加工(見SU 1456098；US 4330278；US4505676)。超聲工具具有一個專門的設計，其可以考慮在工具材料中超聲的傳播，以及確定機械振動的一個駐波花樣。通常，一個工具設計為在它的作用區具有最大的振動，以及在柄部具有最小的振動(WO200029178)。至於工具材料，重要的是所說的材料應是一個良好的超聲傳輸器和具有對超聲高的極限強度。工具材料的後一種特性是非常重要的，因為加工的速度取決於超聲強度和使用的最大強度可能受到工具材料對超聲的最大強度限制。超聲工具的作用區取決於被加工的材料。然而，在大多數的用途中，使用由工具的基體材料本身製造的金屬端部是足夠的。在清洗加工中，人們可以用樹脂或塑料基的材料製造端部。對於切割，鑽孔，研磨和修整加工，工具的工作的端部的材料要求比被加工的材料更硬或更耐磨。因此，使用的工作的端部的材料不同於工具主體的材料，或者帶有一種較硬材料的塗層在工具體的材料上是非常重要的發展。但是，這些代替的方法受到一個事實的限制，連接硬質材料至工具主體的界面必須能承受超聲的作用而不被破壞。
尤其是對於加工非常硬的材料，或者那些要求特別仔細的材料，比如石塊，陶瓷，玻璃，骨質，牙質，氮化物，碳化物等，通常指出用超聲加工，比如超聲切割，超聲鑽孔，超聲研磨和修整，但是在獲得帶有適合於這些用途的硬度和強度的工作端部的工具仍有一個限制。代替的方案是，如果有可能，可以使用在不太硬的工具作用下的研磨粉末以及金剛石塗覆的工具。然而，普通的金剛石塗覆方法不適合使用於超聲工具。藉助製造普通的工具廣泛使用的電化學沉積鎳，金剛石-金屬和金剛石-樹脂複合材料使帶有不同晶粒尺寸的金剛石粉末粘接，不適合於超聲工具，因為在工作時金剛石晶粒容易脫離所說的工具迅速地把所說的工具的金屬暴露在被加工的材料的表面。為了克服這些限制，發展了使用不同金屬的專門的合金，以允許金剛石晶粒的更好的潤溼性，以及隨後提供更耐超聲的金剛石粉末的粘接(SU 563280；SU837610)。使用這些改進，它有可能延長對某些用途中這些工具的壽命，但並沒有達到希望的適當的水平。
雖然化學氣相沉積(CVD)金剛石塗層已使用於製造工具，但沒有涉及在超聲工具中使用(US5232568；US5142785；US5376444；US5139372；US4707384；US5022801；WO0962303；BR9500117)。
在一種超聲切割工具的專門結構中，希望具有鉬制的所說工具的基本的主體，因為鉬是這樣一種材料，超聲在其中傳播很好以及具有對超聲高的極限強度。還有，鉬是在一定的條件下允許優質的和較粘附的金剛石生長的一種材料。然而，在金剛石生長的環境中，鉬強烈地碳化和轉變為對超聲作用的斷裂有高度的敏感的碳化鉬。再者，藉助普通的方法在金剛石薄膜和鉬之間獲得的粘附，其界面不足以耐中等強度的超聲作用而不被破壞。
發明內容
因此，本發明的一個目的是提供一類切割工具，這類切割工具可以使用於高硬度的材料，這種切割工具允許以CVD金剛石來形成至少一個工作的端部，產生高的抗力和耐久性，以便，例如耐超聲作用。
本發明的另一個目的是提供上述類型的切割工具，這種切割工具允許至少在其工作的端部生長一個CVD金剛石層，與形成所說的工具的材料無關，所說的CVD金剛石層產生一個實質上與形成所說的工具的材料的粘附。
本發明的另一個目的是提供一種形成上述的類型的切割工具的方法，這類切割工具使用於高硬度材料。
這些和其它的目的是藉助一個切割工具實現，所述的切割工具包括一個基本的主體，具有一個工作的端部，所述工作的端部用一種藉助CVD生長技術獲得的金剛石薄膜塗覆，所述的工作的端部具有表面的印痕，其排列和尺寸用於產生一個實質上金剛石薄膜用的位置區的增加，以及與金剛石薄膜幹涉程度的一個增加。
上述的切割工具的獲取是藉助形成切割工具的方法，所述的方法包括下列步驟a.提供一個帶有表面印痕的工作的端部，其排列和尺寸用於產生一個實質上金剛石薄膜用的位置區的增加，以及與金剛石薄膜幹涉程度的一個增加；b.使用物理法和化學法清洗工作的端部的表面；以及c.提供工作的端部用於金剛石薄膜的成核。
以下本發明將根據附圖予以說明，附圖中圖1是一個工具的一個工具的端部的示意圖，該工具端部帶有圓柱形以及是按照現有的技術製造的；圖2是圖1所示的工作的端部的放大示意圖；
圖3是一個工具的一個工作的端部的示意圖，該工具端部帶有圓柱形以及是按照本發明的方法用CVD金剛石形成的；圖4是圖3所示的工作的端部一部分的放大的示意圖；圖5是一個環形的工作的端部的示意圖，它是按照本發明用CVD金剛石形成的；圖6是圖5所示的工作的端部的一部分的放大的示意圖；圖7是一個工作的端部的縱剖面示意圖，該工具端部具有一個CVD金剛石層是按照本發明的方法在上述的工作的端部上生長的；圖8是一個前視的示意圖，示出一種類型的CVD金剛石生長反應器的示意圖，它使用於形成本發明的切割工具；圖9是按照本發明的一個切割工具的一個基本的主體的一個工作的端部的放大的示意圖。
具體實施例方式
下面就有關的一種切割工具來說明本發明，這種工具具體是與超聲一起使用的，以及其類型是使用於切割，研磨和其它有關硬質材料的加工，上述的工具包括一個基本的主體1，具有一個工作的端部2，該端部使用一種藉助CVD生長技術獲得的(薄的或厚的)金剛石薄膜塗覆，以及它在工作的端部2上生長之後限定一個整體的金剛石層。
為了製造用CVD金剛石層塗覆的超聲工具，應該考慮下列的因素工具材料應該是一個良好的超聲傳輸器和具有對超聲高的極限強度；它應該是適合於CVD金剛石沉積，能夠承受極嚴酷的沉積環境條件，以及允許優質的和良好粘附性的金剛石薄膜的生長；在沉積CVD金剛石薄膜之後，材料應該保持其有關超聲用途的性能，在CVD金剛石塗膜與工具的基本的主體1的材料之間的粘附應該足夠高，以便能承受界面上的超聲的作用，而不使塗層產生分層。
按照本發明，切割工具至少在其工作的端部2上具有表面的印痕10，其排列和尺寸用於產生實質上CVD金剛石薄膜用的位置區的增加以及與後者的機械幹涉程度的增加。
本發明的工具的形成方法包括下列的步驟提供一個基本的主體1的工作的端部2，它是由一種適合於切割硬質材料的金屬材料製造的並且帶有表面的印痕10；使用物理法和化學法(例如使用一個帶有除油劑的超聲槽)清洗上述的工作的端部的表面，以便從上述的表面清除在製造和搬運時產生的碎屑；以及提交工作的端部2用於成核，例如，在一個CVD金剛石薄膜生長的反應器內(圖8)，以形成一個整體的金剛石塗膜。
在實現本發明的一種方式中，物理清洗是獨立於化學清洗的，其中例如工作的端部是經受一個除油操作，最好是在帶有除油劑的槽中進行。在本實施例中，上述的物理的和化學的清洗步驟是藉助把工作的端部2放至一個帶有除油劑的超聲槽內。
提供表面印痕10是藉助在工作端部2的表面進行機械加工，制出緻密的壓花或劃痕，促進生長的CVD金剛石薄膜的相互接合以及增加薄的或厚的金剛石膜將要生長的區域。
在提供表面印痕10之後的製備步驟是藉助在超聲槽內處理表面的方法獲得的，超聲槽帶有溶劑，離子亞植入的功率範圍例如為由10ev至約2000ev，並帶有至少一個氮和/或碳，氧和氫的原子團的原子，它們有可能根據基本的主體1的材料形成不同的化合物。
在實現本發明的一種方式中，在金剛石薄膜成核步驟之前，還有一個附加的步驟是使工作的端部分2進行從所說的工作的端部2清除氧化物的工序，例如將其放置在一個富原子氫的環境中進行清洗操作。這樣的氧化物的清除允許增加在工作的端部2上生長的金剛石薄膜的粘附性。
緻密的壓花和/或劃痕的機械加工能夠是對於任何類型的基本的主體1是相同的，而清洗操作和在一個氫環境中的清洗過程根據所說的基本的主體1的材料可以是不同的。
在本發明的一個實施例中，當工作的端部2的材料不允許金剛石薄膜適當的生長時，本發明的切割工具的形成方法在上述的物理的和化學的清洗步驟之後提供一個附加的步驟，其中上述的工作的端部2經受使用離子轟擊的一個表面處理，並且該處理的強度和時間計算成化學上轉化工作的端部2的表面，使其適合於成核，上述的轟擊實現的方式是例如通過使用離子浸入法或藉助直接的電流放電進行離子亞植入。
在使用離子浸入法的離子亞植入的製備步驟中，後者產生在一個功率範圍內，例如，由約0.2kev至100kev。進行這個步驟是由於需要增強粘附性和使用例如氮和/或碳和/或氫的離子，並且有可能形成複合材料。這種處理增加CVD金剛石塗層和工具的基本的主體1的材料之間的粘附性，阻止碳和氫擴散至上述的基本的主體1的內部，保護材料使其在CVD金剛石沉積過程中超聲傳播特徵和對超聲的極限強度不會損失，這是由於當上述的材料例如是鋼或其合金，鉬或其合金，鈮或其合金，以及鈦或其合金時，阻止大範圍的碳化物或氫層的形成。
在離子亞植入的步驟中，工作的端部2的表面以及緊接上述的表面下的一層集聚一個改性層，優先地是氮，碳和氫離子，其改進將在工作的端部2上生長的金剛石薄膜的粘附性。
本發明的切割工具的形成的方法產生在，例如，一個適當的CVD生長反應器內(圖8)，在其中在一組基本的主體1之間放置細絲3，每個基本的主體1被位於底板5上的相應的基底託盤4支承，底板5例如可以垂直地移動(或者在圖6所示的環形工具的情況下可以旋轉地運動)以便允許基本的主體1相對於細絲3作相對的位移。
圖9示出一個基本的主體1的工作的端部2，它具有表面的印痕10，在其上面將按照本發明實現CVD金剛石的生長。
金剛石晶粒的生長的控制涉及到，例如，均勻地貫穿每個基本的主體1的工作的端部2的延伸部，這一控制是藉助控制某些參數，比如細絲3和基本的主體1之間的距離來達到。
生長參數對保證一個粗糙的表面，並且帶有優先獲取的結晶學結構(111)，該結構完全聚集的晶粒有可用於藉助超聲的能量作用的研磨用途的合適的尺寸是重要的。
按照本發明製備的工具不需要任何類型的專門的焊接，因為金剛石已經以希望的尺寸保持在基本的主體1的工作的端部2的材料上。
本發明的解決方案產生一種工具，其工作的端部2具有高的耐久性，比現有技術獲得的工作的端部2的耐久性高約30倍，現有技術如圖1和圖2所示，其中工作的端部2接收藉助電鍍金剛石晶粒形成的一個金剛石塗層，限定的一個結構帶有如上所述的缺點。
本解決方案允許獲得不同形狀的工作的端部2，可用於不允許使用轉動工具的地方，或者至少是不適當的地方，例如，在帶有反向裝置的牙科處理方面(US3956826)和/或接近用於其中至轉動系統(US5875896)或接近要求移動以清除研磨過程產生的材料的那些系統不可能的場所。
此外，按照本發明獲得的切割工具可以使用於代替現在已有的轉動工具，因為除了保證無論材料是否處於超聲器件的作用下被加工的材料減少損傷，該工具切割速度也相當高，以及它具有比轉動裝置有關的更好的表面光潔度的加工。
藉助超聲進行鑽孔和/或修整的這些工具可以具有直線的或傾斜的形狀(圓柱形，錐形，倒錐形，球形，火焰形，環形等)，在難到達區域內提供一個研磨或鑽孔幹涉，使用於任何的用途，或者在牙科和/或外科手術，或者在工業加工中。
本發明的工具具有下列的優點它實質上在幹涉下較少損傷材料，因為它比旋轉運動產生的衝擊小；它對研磨或鑽孔產生更好的最終的表面光潔度，因為藉助對超聲振動幅度，工作的端部2的製備和CVD金剛石的晶粒尺寸的控制，使藉助表面印痕對工作的端部2限定的粗糙度被控制；在牙科領域中使用的情況下，它避免了金屬與人體組織或任何被修整的材料的接觸；它不產生類似於高速電動機產生的強烈的噪聲；它產生表面處理的較好的表面光潔度，也就是帶有較小的粗糙度；在使用後較容易清洗，以及與使用旋轉器件的鑽孔和/或修整加工比較產生較小的衝擊，它對被處理的組織引起較小的損傷，因為切割或打孔或簡單的修整是更精確和更少侵蝕，導致圍繞處理區沒有裂縫。在用於切割和/或修整主要是玻璃，陶瓷，石料等的環形的器件的情況下，全部的這些優點同樣地存在。
在使用CVD金剛石環形磨盤的情況下(圖5和6)，與使用超聲的鑽孔技術相結合，應該指出，在本解決方案中，不需要像普通的技術那樣把任何附加的研磨材料的粉末用於修整，它使得過程絕對清潔，也不引入任何其它的鑽孔劑。
在普通的解決方案中，使用於相同目的的工具，無論是在牙科和醫學領域使用的，以及在玻璃，陶瓷等的工業穿孔中使用的，它們是用金剛石粉末製造的(比如圖1和2所示的，用電鍍焊接，或用其它方法連接至一種支承材料)這些工具使金剛石粉末較容易地釋放，導致被處理的表面與支承的金屬接觸，造成極短的使用壽命。
本發明的切割工具(圖3-6)，其中藉助CVD技術生長的金剛石層是在上述的工具的基本的主體1的工作的端部2上形成的一個整體件，與普通方法獲得的不同，提供一個長的使用壽命，沒有金剛石的釋放以及不允許被處理的表面暴露到支承材料。以一個整體件金剛石層形成的工作的端部2的特點是完全連續的，以及同時又是粗糙的，並且帶有的晶粒尺寸足夠小，以保證鑽孔和修整時希望的表面光潔度和希望的精確性。形成一個整體件和帶有實質上均勻的晶粒尺寸的這種特點示於圖3-6。
藉助正確地控制CVD金剛石的生長參數，而獲得粗糙的表面，由於晶粒的尺寸可以控制地生長，這種參數例如，在一個工作的端部2上提供的為介於20至100μm，例如，帶有表面印痕10是在一個CVD金剛石薄膜層沉積之前產生在其上的，該薄膜層複製了上述的表面印痕或者當基本的主體1的材料(如鋼)與金剛石的生長不相容時，以及當把工作的端部2提供至上述的離子亞植入的步驟不進行時，它也可以產生在，例如一個中間層30上，該中間層是由一種具有傳輸特性和強度以及還可與金剛石生長相容的材料製造的和設置在基本的主體1中。提供上述的中間層30允許工作的端部2的表面能夠在其上面接收金剛石薄膜的成核。
雖然鉬及其合金(以及其它的材料)具有使用超聲加工的性能，它們不適合於金剛石沉積和/或如在現有的CVD金剛石生長技術的一個含有高濃度的氫和碳的環境中當經受高的金剛石生長溫度時它們的性能改變。在金剛石生長環境中，鉬大量地碳化，轉變為碳化鉬，它對超聲作用的斷裂非常敏感。還有，通常藉助普通的方法獲得的在金剛石薄膜和鉬之間的粘附性不足以用於界面以承受中等強度的超聲作用而不引起斷裂。
綜上所述，本發明提供一種解決方案，加入允許CVD金剛石薄膜的粘附的沉積的一個中間層30，以及在上述的沉積之後一個性能恢復的方法。
按照本發明，中間層30具有外部的表面印痕10，它產生一個實質上金剛石薄膜的位置區的增加，以及與後者機械幹涉程度的增加。
在一個可能的實施例中，中間層30複製了工作的端部2的表面印痕10，上述的中間層30例如是一個薄膜，它沉積在工作的端部2上。在另一個實施例中，中間層30是在工作的端部2上沉積之後，以一種方式處理過的，以便具有外部的表面印痕10，以及它是用一種適當的技術獲得的，以及設計以產生一個實質上金剛石薄膜的位置區的增加，以及與後者機械幹涉程度的一個增加。
按照本發明以及在使用超聲的這種類型的工具上，基本的主體1是用金屬材料製造的，具有良好的超聲傳輸性，對超聲高的極限強度，保持上述的性能的能力，以及CVD金剛石生長的適宜性。
在基本的主體1是用所選的一種材料製造的情況下，中間層30可以是一個碳化矽薄膜。
在工具與超聲一起使用的情況下，其振幅和頻率根據特定的用途計算，基本的主體1的材料也是特定的作為超聲頻率和功率的一個函數。
按照本發明，本切割工具的基本的主體1的材料可以進一步選自下列組中之一，包括鋼及其合金，鉬及其合金，鈮及其合金和鈦及其合金。
為了獲得希望的研磨和切割特性，例如，本發明控制在工作的端部2上產生的表面的印痕10的特性以及它是藉助壓花和/或劃痕，和/或藉助噴砂，噴玻璃顆粒材料等，和/或藉助修整上述的工作的端部2的表面而獲得的。
按照本發明，工作的端部2的製備不僅允許增加金剛石沉積的界面區，還可以增加機械幹涉區，它保持在上述的工作的端部2上生長的CVD金剛石層。
應該指出，所獲得的在CVD金剛石薄膜和本工具的基本的主體1的材料之間的粘附水平使得允許進行以前是無法使用普通的超聲工具進行的切割，鑽孔，研磨和修整操作。
權利要求
1.一種切割工具，包括一個基本的主體(1)，具有一個工作的端部(2)，所述的工作的端部用一種藉助CVD生長技術獲得的金剛石薄膜塗覆，其特徵在於，所述的主體(1)還包括表面印痕(10)，其排列和尺寸用於產生一個實質上金剛石薄膜用的位置區的增加，以及與金剛石薄膜的機械幹涉程度的增加。
2.如權利要求1所述的切割工具，其特徵在於，表面印痕(10)是藉助壓花和劃痕限定的至少一種形式獲得的。
3.如權利要求1所述的切割工具，其特徵在於，表面印痕(10)是藉助修整和噴射限定的至少一種形式獲得的。
4.如權利要求1，2和3任何一項所述的切割工具，使用在一個超聲設備上，其特徵在於，基本的主體(1)是用一種金屬材料製造的，具有良好的超聲傳輸性，對超聲高的極限強度，保持上述的性能的能力以及對金剛石薄膜生長的適宜性。
5.如權利要求4所述的切割工具，其特徵在於，基本的主體(1)的材料是選自下列組中之一，該組包括鋼及其合金，鉬及其合金，鈮及其合金和鈦及其合金。
6.如權利要求1所述的切割工具，其特徵在於，基本的主體(1)的材料對金剛石生長的適宜性是藉助提供一個中間層(30)獲得的，該中間層是由一種具有傳輸特性和強度的材料製造的，以及還能夠與金剛石生長相容，上述的中間層(30)還包括外部的表面的印痕(10)，產生一個實質上金剛石薄膜用的位置區的增加，以及與金剛石薄膜機械幹涉程度的增加。
7.如權利要求6所述的切割工具，其特徵在於，中間層(30)複製了工作的端部(2)的表面的印痕(10)。
8.如權利要求7所述的切割工具，其特徵在於，中間層(30)是以一個薄膜的形式沉積在工作的端部(2)上。
9.如權利要求8所述的切割工具，其特徵在於，薄膜是用碳化矽製造的。
10.如以上的權利要求中任何一項所述的切割工具，其特徵在於，工作的端部(2)具有一個環形的橫截面。
11.一種形成切割工具的方法，所述的切割工具包括一個基本的主體(1)，具有一個工作的端部(2)，用一種藉助CVD生長技術獲得的金剛石薄膜塗覆，其特徵在於，所述的方法包括下列步驟a.提供一個帶有表面印痕(10)的工作的端部，其排列和尺寸用於產生一個實質上金剛石薄膜用的位置區的增加，以及與金剛石薄膜幹涉程度的一個增加；b.使用物理法和化學法清洗工作的端部(2)的表面；以及c.提供工作的端部(2)用於金剛石薄膜的成核。
12.如權利要求11所述的方法，其特徵在於，在步驟a中使工作的端部(2)經受壓花和劃痕過程之一。
13.如權利要求11和12中任何一項所述的方法，其特徵在於，在步驟a中使工作的端部(2)經受修整和噴射過程之一。
14.如權利要求11所述的方法，其特徵在於，步驟b包括一個把工作的端部(2)提供至一個超聲槽的步驟。
15.如權利要求11和14中任何一項所述的方法，其特徵在於，步驟b包括把工作的端部(2)提供至一個除油操作的步驟。
16.如權利要求15所述的方法，其特徵在於，在除油操作中，工作的端部(2)被提供至一個帶有除油溶劑的槽。
17.如權利要求11，12，13，14和15中任何一項所述的方法，其中切割工具使用於一個超聲設備，其特徵在於，該方法在步驟a之前包括提供一個基本的主體(1)的步驟，所述的主體是用金屬材料製造的，具有良好的超聲傳輸性，對超聲高的極限強度，金剛石薄膜生長的適宜性，和在上述的生長之後保持上述性能的能力。
18.如權利要求17所述的方法，其特徵在於，基本的主體(1)的材料是選自下列組中之一，該組包括鈮及其合金以及鈦及其合金。
19.如權利要求18所述的方法，其特徵在於，所述的方法在步驟b之後包括一個使工作的端部(2)經受使用離子轟擊的一個表面處理的附加的步驟，並且其強度和時間是這樣計算的，使化學上轉化上述的表面和使它適合於生核。
20.如權利要求19所述的方法，其特徵在於，附加的步驟是使用離子亞植入的製備，其功率範圍由約10ev至約200ev。
21.如權利要求20所述的方法，其特徵在於，離子亞植入的附加的步驟是離子浸入，其功率範圍由約0.2ev至約100ev。
22.如權利要求20所述的方法，其特徵在於，離子浸入是使用下列至少一種元素的原子碳、氮、氧和氫。
23.如權利要求22所述的方法，其特徵在於，在離子亞植入的附加的步驟中，工作的端部(2)經受直流放電。
24.如權利要求23所述的方法，其特徵在於，直流放電是使用在氫氣氛中氮和碳限定的元素之一。
25.如權利要求17所述的方法，其特徵在於，所述的方法包括一個提供一個中間層(30)的附加的步驟，中間層使基本的主體(1)的材料適合於金剛石生長，以及中間層它是用一種材料製造的，該材料具有傳輸的特性和強度，以及還與金剛石生長相容，上述的中間層(30)還具有外部的表面印痕(10)，產生一個實質上金剛石薄膜的位置區的增加，以及與金剛石薄膜幹涉程度的增加。
26.如權利要求25所述的方法，其特徵在於，使用中間層(30)複製工作的端部(2)的表面印痕(10)。
27.如權利要求26所述的方法，其特徵在於，所述的方法包括在工作的端部(2)上沉積限定中間層(30)的薄膜一個附加的步驟。
28.如權利要求27所述的方法，其特徵在於，此薄膜是一個碳化矽薄膜。
29.如以上權利要求中任何一項所述的方法，其特徵在於，工作的端部(2)具有一個環形的橫截面。
30.如以上權利要求中任何一項所述的方法，其特徵在於，在成核的步驟之前它包括使工作的端部(2)經受一個從其表面清除氧化物的操作的附加的步驟。
31.如權利要求30所述的方法，其特徵在於，清除氧化物的步驟是使工作的端部(2)在帶有原子氫的環境中經受一個清洗操作。
全文摘要
一種切割工具及其形成的方法。切割工具包括一個基本的主體(1)，具有一個工作的端部(2)，該工作的端部用一種藉助CVD生長技術獲得的金剛石薄膜塗覆，和具有表面印痕(10)，該印痕的排列和尺寸用於產生一個實質上金剛石薄膜用的位置區的增加，以及與金剛石薄膜幹涉程度的增加。本發明涉及上述的切割工具和得到上述的工具的方法，上述工具一般地使用於切割、鑽孔、研磨和修整，以及尤其是與超聲系統相接合。
文檔編號B26D7/08GK1592672SQ02813853
公開日2005年3月9日 申請日期2002年6月7日 優先權日2001年6月8日
發明者弗拉迪米爾·J·T·艾羅爾迪, 埃瓦爾多·J·科拉特, 若昂·R·莫羅 申請人:聖保羅國情研究援助基金會