感光樹脂組合物和彩色濾光片的製備方法

2023-06-13 10:02:01 2

專利名稱：：感光樹脂組合物和彩色濾光片的製備方法
技術領域：
：本發明涉及一種感光樹脂組合物和彩色濾光片的製備方法，尤其涉及一種製造黑矩陣的感光樹脂組合物和利用上述感光樹脂組合物製備彩色濾光片的方法，屬於液晶顯示器製造領域。
背景技術：
：彩色濾光片是液晶顯示器實現彩色顯示的關鍵部件，近年來彩色液晶顯示器在市場上迅速普及，對顯示器色彩顯示的要求也在不斷提高，由於黑矩陣直接決定彩色濾光片的解析度、色彩飽和度等畫質要求，而且依據彩色濾光片的工藝要求，所形成的遮光膜(黑矩陣)必須具有耐熱、耐酸鹼、塗布均勻和圖案邊緣平整精度高等特點。目前，彩色濾光片中的黑矩陣主要由鉻及其氧化物蒸鍍膜經過刻蝕形成，這種方式不僅工藝複雜，而且設備、材料費用昂貴，針對環境保護、能效、工藝安全性以及成本等方面存在的問題，提出用著色感光性樹脂組合物形成黑矩陣來製造彩色濾光片。上述著色感光性樹脂組合物，含有不飽和羧酸或羧酸酐、乙烯性不飽和雙鍵以及環氧基團的樹脂，顏料，分散劑，光引發劑和溶劑，但該種組合物存在後增稠現象及固化不充分等問題，因而嚴重影響了黑矩陣的質量，進而影響了彩色濾光片的質量。
發明內容本發明提供一種感光樹脂組合物和彩色濾光片的製備方法，以使該感光樹脂組合物粘度穩定、顯像效果優異；同時利用上述感光樹脂組合物製造的黑矩陣質量較好，進而提高包含該黑矩陣的彩色濾光片的質量。本發明提供了一種感光樹脂組合物，具體包括羧酸與苯乙烯的共聚物及所述共聚物的衍生化合物，重量百分比為5.4%~45%;含乙烯性不飽和雙鍵或環氧基團的感光性樹脂，重量百分比為0.5%~18%;顏料，重量百分比為4%~15%;光起始劑，重量百分比為0.1%~3%;溶劑，重量百分比為40%~85%;助劑，重量百分比為0,1%~1%。上述感光樹脂組合物，由於包含不同配比的多種成份使其粘度穩定、顯像效果優異。本發明提供了一種彩色濾光片的製備方法，該方法包括將所述感光樹脂組合物塗布在玻璃基板上；將塗布後的玻璃基板進行曝光；將曝光後的玻璃基^1顯影和烘烤，形成黑矩陣。上述彩色濾光片的製備方法，由於採用上述感光樹脂組合物，較好地提高了製備的黑矩陣的質量，進而提高了彩色濾光片的質量。下面通過附圖和實施例，對本發明的技術方案做進一步的詳細描述。圖1為本發明實施例彩色濾光片製備方法的流程圖。具體實施例方式6本發明感光樹脂組合物包括::rr夕T^f/入上《^"恭fw、"'j工'i"U^rf"人個《包-羧酸與苯乙烯的共聚物及上述共聚物的衍生化合物，重量百分比為5.4%~45%;含乙烯性不飽和雙鍵或環氧基團的感光性樹脂，重量百分比為0.5%~18%;顏料，重量百分比為4%~15%;光起始劑，重量百分比為0.1%~3%;溶劑，重量百分比為40%~85%;助劑，重量百分比為0.1%~1%。其中，上述不飽和酸酐與苯乙烯的共聚物及上述共聚物的衍生化合物包括第一結構單元樹脂和第二結構單元樹脂，第一結構單元樹脂的通式為o=cc=oH~CH2j^~("CH~CH2>)p~("CH~CH20=CC=0R其中，R表示碌u醇取代基或醇取代基，x的取值為1或2,y的取值為0或1，z的取值為0或l，n的取值為725;第二結構單元樹脂的通式為o=cc=oR1Jdh其中，R,表示丙烯酸酯或氫原子，xl的取值為1~2,yl的取值為2~8，nl的取值為25~200。另外，上述第一結構單元樹脂作為顏料表面活性劑，其重量百分比為0.4%~15%;上述第二結構單元樹脂作為鹼可溶性樹脂，其重量百分比為5%~30%。上述各組份優選為顏料表面活性劑的重量百分比為0.4%~7.5%;鹼可溶性樹脂的重量百分比為5%~15%，含乙烯性不飽和雙鍵或環氧基團的感光性樹脂的重量百分比為0.04%-6%;顏料的重量百分比為10%~15%;光起始劑的重量百分比為0.2%~1%;溶劑的重量百分比為40%~80%;助劑的重量百分比為0.2%~0.8%。上述第一結構單元樹脂的重均分子量為3000~10000,最佳重均分子量為4000-6000;上述第二結構單元樹脂中不飽和酸酐與苯乙烯的摩爾比例為0.2-1.0，最佳比例為0.2-0.4，重均分子量為6000-40000,最佳重均分子量為6000~20000。其中，不飽和酸或酸肝可以為丙烯酸、曱基丙烯酸、巴豆酸、馬來酸、富馬酸、檸康酸、中康酸、衣康酸、馬來酸酐、衣康酸酐等。含乙烯性不飽和雙鍵或環氧基團的感光性樹脂是由丙烯酸類化合物與多元醇以及含不飽和雙鍵和環氧基團的化合物反應製得的化合物；其中上述丙烯酸類化合物為曱基丙蜂酸曱酯、曱基丙烯酸正丁酯、曱基丙烯酸異丁酯、曱基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸異辛酯、曱基丙烯酸羥丙酯、曱基丙烯酸羥乙酯、曱基丙烯酸、丙烯酸曱酯、丙烯酸丁酯、丙烯酸乙酯、丙烯酸羥丙酯、丙烯酸羥乙酯、丙烯酸異辛酯、二丙烯酸乙二醇酯、二丙烯酸二乙醇酯、二曱基丙烯酸乙二醇酯、二丙烯酸三乙二醇酯、二丙烯酸四乙二醇酯、二曱基丙烯酸四乙二醇酯、二曱基丙烯酸丁二醇酯、二丙烯酸丁二醇酯、二丙烯酸丙二醇酯、二(聚)季戊四醇五丙烯酸酯、乙氧基-(15)-三羥曱基丙(烷)基三丙烯酸酯、丙氧基辛戊(烷)基乙二醇二丙烯酸酯其中之一或任意組合，其中，含有不飽和雙鍵和環氧基團的化合物為檸檬烯環氧、丁二烯雙環氧、二戊烯單環氧、二戊烯雙環氧、曱基丙烯酸縮水甘油酯其中之一或任意組合。顏料是一種或者多種顏色顏料的混合物，要求具有耐熱、耐溶劑性，8可以列舉的黑色顏料如，由卡博特公司提供的顏料(Monarch)120、Monarch280、Monarch430、Monarch460、Monarch800、Monarch1300、Monarch900、Monarch717、Monarch5701;由德固薩^>司提供的一種顏料(SpecialBlack)4、SpecialBlack250、SpecialBlack350、SpecialBlack100、Printex90,由德固薩公司提供的另一種顏料(Printex)95、Printex85、Printex75、Printex55、Printex30、Printex40、Printex45、Printex3、PrintexA、PrintexG。紅色顏料例如顏料標號(C.I.)顏料紅123、177、179、190、202、210、224、254、255、264、270、272、122。黃色顏料如偶氮型、偶氮縮合型以及雜環類如C.I.顏料黃l、3，12、13，83，93，94，95,109，126，127，138，139,139，147，150，174,180。橙色顏料例如CI.顏料橙5、13、16、34、0.36、48、49、71、73。藍色顏料例如C.I.顏料藍1，19，22,60，64等。綠色顏料如C.1.顏料綠2、8、10等。光起始劑即光引發劑，它可以是自由基型光引發劑，也可以是陽離子型光引發劑，也可以是自由基型光引發劑的一種或一種以上與上述陽離子型光引發劑的一種或一種以上組合使用。例如，苯曱醯，苯曱醯基曱醚，苯曱醯基乙醚，苯曱醯基異丙醚，苯曱醯基異丁醚等苯醯系光聚合引發劑。2，4，6-三曱基苯曱醯二苯膦氧化物，2，2，-二(o-氯苯)-4，4，，5，5，-四苯基-1,2，-聯咪唑、2-乙基蒽醌，聯苯醯，莰醌，苯基乙醛酸曱酯等活性基引發劑。4-羥基苯二曱基鋶p-曱苯磺酸鹽，三苯鋶六氟銻酸鹽，二苯碘鑰六氟銻酸鹽，苯曱醯曱苯磺酸酯等酸發生劑化合物。2-羥基-2-曱基-l-苯丙基-l-酮，二乙氧基乙醯苯酚，2-曱基-2-嗎啉代-1-(4-曱基苯疏基)，2-羥基H2-曱基-l-[4-(曱基乙稀)苯基]丙基-l-酮等乙醯苯酚系化合物。2，4-二(三氯曱烷基)-6-(四-曱氧基苯)-1，3，5-三。秦，2,4-二(三氯曱基)-6-胡椒基1，3，5-三嗪，2,4-二(三氯曱烷)-6-[2-(5-曱基呋喃)-乙烯基]-l,3，5三嗪等三溱系化合物。較好用2-曱基-2-嗎啉代-1-(4-曱基苯硫基)，2，4-二(三氯甲基)-6-胡椒基1，3，5-三。秦，2-苯基千-2-二曱基胺-l-(4-嗎啉節苯基)丁酮。其中溶劑可以為曱酸、乙酸、氯仿，丙酮，丁酮，脂肪醇、乙二醇單曱醚、乙二醇單乙醚、乙二醇單丙醚、乙二醇單丁醚、二乙二醇二乙醚乙酸乙酯、曱乙酮、曱基異丁基酮、單曱基醚乙二醇酯、Y-丁內酯、丙酸-3-乙醚乙酯、丁基卡必醇、丁基卡必醇醋酸酯、丙二醇單曱基醚、丙二醇單曱基醚醋酸酯、環己烷、二曱苯、異丙醇。其中優選為丙二醇單曱基醚、丙二醇單曱基醚醋酸酯、環己烷、丁基卡必醇、丁基卡必醇醋酸酯和y-丁內酯其中之一或者任意組合。其中，助劑含有粘合促進劑、抗氧劑、紫外線吸收劑、抗絮凝劑和流平劑等。作為粘合促進劑可例舉Y-(2，3-環氧丙氧)丙基三曱氧基矽烷，P-(3,4-環氧環己烷)乙基三曱氧基矽烷，y-氨丙基三乙氧基矽烷，長鏈烷基三曱氧基矽烷，乙烯基三乙氧基矽烷，乙烯基三曱氧基矽烷，Y-氯丙基三乙氧基矽烷，雙-(Y-三乙氧基矽基丙基)四硫化物，苯胺曱基三乙氧基矽烷，N-P(氨乙基)-y-氨丙基三曱氧基矽烷，N-(P-氨乙基)氨丙基三乙氧基矽烷，N-P(氨乙基)-Y-氨丙基曱基二曱氧基矽烷，y-(2，3-環氧丙氧)丙基三曱氧基矽烷，y-(曱基丙烯醯氧)丙基三曱基矽烷，Y-巰基丙基三曱氧基矽烷，Y-巰基丙基三乙氧基矽烷等。作為抗氧劑如2.6-二叔丁基對曱酚，p-(4-羥基苯基-3，5-二叔丁基)丙酸正十八碳醇酯，四(|3-(3，5-二叔丁基-4-羥基苯基)丙酸)季戊四醇酯，N，N'-雙[3-(3，5-二叔丁基-4-羥基苯基)丙醯]肼，疏代二丙酸二(十八)酯，4，4，-硫二(6-叔丁基-3-甲基苯酚)等。作為紫外線吸收劑如2-羥基-4-曱氧基二苯曱酮，2，4-二羥基二苯曱酮，2-羥基-4-正辛氧基二苯曱酮，2羥基4正辛氧基二苯曱酮，2-(2'-羥基-5'-曱基苯基)-苯並三氮唑，2-(2'-羥基-3'-叔丁基-5'-曱基苯基)-5-氯代苯並三唑，2-(2'-羥基-3',5'-二叔丁基苯基)-5-氯代苯並三唑，2-(2'-羥基-3'，5'-二戊基苯基)苯並三唑等。作為抗絮凝劑可例舉聚曱基丙烯酸鈉，聚丙烯酸鈉等。作為流平劑可例舉商業化產品Coat-0-Sil1211，Coat-0-Sil2810，EFKA3777，EFKA2022,HX-3010,HX-3110，HX-3310，HX-3020，HX-3320，HX-3040、HX-3140,HX-3070,HX-3080,HX-3180,HX-3181,HX-3380,BYK310，BYK323,BYK333,BYK358N，BYK06，MFPX5Q等。作為抗氧劑可例舉2，6-二-叔丁基苯酚等。作為紫外線吸收劑可例舉2-羥基-4-辛氧基二苯曱酮等。上述感光性樹脂組合物經揮發後剩餘的固形份相對於100重量份著色感光性樹脂組合物含量為10-30重量份，最佳為10-25重量份。上述著色感光性樹脂組合物25。C條件下其粘度範圍一般為1.2-6.0釐泊(cps)，較佳為1.2-5.5cps，更佳為1.2-3.5cps。上述感光性樹脂可根據感光性樹脂各組分含量及種類來調整。為了描述方便，將不飽和酸酐與苯乙烯的共聚物及上述共聚物的衍生A，其中A進一步包括第一結構單元樹脂Al和第二結構單元樹脂A2，將含乙烯性不飽和雙鍵或環氧基團的感光性樹脂稱為B,將顏料成為C，將光起始劑稱為D，將溶劑稱為E，將助劑稱為F。第一實施例本實施例的感光樹脂組合物的組分見表1中實施例l對應的行，具體為Al:3.3%,A2:5.6%，B:2.4%，C:16.6%,D:1.0%,E:70.9%，F:0.19%,其中，DPHA表示五官能團丙烯酸酯，Irgacure369表示引發劑，PMA表示溶劑。包含上述不同配比組分的感光樹脂組合物製備的黑矩陣針孔較少，面塗布均勻性、耐熱性、邊緣整齊性、存儲穩定性和解析度都很好。第二實施例本實施例的感光樹脂組合物的組分見表1中實施例2對應的行，具體ii為Al:6.2%,A2:6.6%，B:2.2%,C:13.2%,D:0.9%，E:70.7%,F:0.18%，其中，DPHA表示五官能團丙烯酸酯，Irgacure369表示引發劑，PMA表示溶劑。包含上述不同配比組分的感光樹脂組合物製備的黑矩陣針孔較少，面塗布均勻性、耐熱性、邊緣整齊性、存儲穩定性和解析度都很好。第三實施例本實施例的感光樹脂組合物的組分見表1中實施例3對應的行，具體為Al:10.6%,A2:5.3%,B:1.6%,C:10.6%,D:0.7%,E:70.8%,F:0.14%,其中，DPHA表示五官能團丙烯酸酯,Irgacure369表示引發劑，PMA表示溶劑。包含上述不同配比組分的感光樹脂組合物製備的黑矩陣針孔較少，面塗布均勻性、耐熱性、邊緣整齊性、存儲穩定性和解析度都很好。第四實施例本實施例的感光樹脂組合物的組分見表1中實施例4對應的列，具體為Al:3.4%,A2:5.8%，B:2.4%,C:15.4%，D:0.9%,E:72.0%,F:0.2%,其中，DPHA表示五官能團丙烯酸酯,Irgacure369表示引發劑，PMA表示溶劑。包含上述不同配比組分的感光樹脂組合物製備的黑矩陣針孔較少，面塗布均勻性、耐熱性、邊緣整齊性、存儲穩定性和解析度都很好。第五實施例本實施例的感光樹脂組合物的組分見表1中實施例5對應的列，具體為Al:11.4%,A2:5.7%，B:1.9%,C:11.4%,D:0.8%,E:68.60/0，F:0.20%,其中，DPHA表示五官能團丙烯酸酯，Irgacure369表示引發劑，PMA表示溶劑。包含上述不同配比組分的感光樹脂組合物製備的黑矩陣針孔較少，面塗布均勻性、耐熱性、邊緣整齊性、存儲穩定性和解析度都很好。第六實施例本實施例的感光樹脂組合物的組分見表1中實施例6對應的列，具體為Al:6.20/o,A2:5.3%，B:2.3%，C:13.5%,D:0.5%，E:77.0%，F:0.2%,其中，DPHA表示五官能團丙烯酸酯，Irgacure369表示引發劑，PMA表示溶劑。包含上述不同配比組分的感光樹脂組合物製備的黑矩陣針孔較少，面塗布均勻性、耐熱性、邊緣整齊性、存儲穩定性和解析度都很好。序號ABcDEF固形份含量粘度實施例lAlA2DPHA環氧樹脂Monarch460Irgacure369PMA環己酮Coat-O-Sil281020,33.21241352100500.4重量百分比3,3%5.6%1.9%0,5%16.6%1.0%47,3%23.6%0.19%實施例2AlA2DPHA環氧樹脂Monarch460Irgacure369PMA環己酮Coat-O"Sil281021.23.1141541302100600.4重量百分比6.2%6.6%1.8%O.4%13,2%0.9%44,2%26.5%0.18%實施例3AlA2DPHA環氧樹脂Monarch460Irgaciire369PMA環己酮Co3t-0~Sil281018.35,1301540,5302120800.4重量百分比10,6%5.3%1.4%0.2%10.6%0.7%42.6%28.4%0.14%實施例4AlA2DPHA環氧樹脂MA-100Irgacure369PMA環己酮Coat-O-Sil281019.94.271241322100500.4重量百分比3.4%5.8%1.9%0.5%15.4%0.9%48.0%24.0%0.2%實施例5AlA2DPHA環氧樹脂MA-100Irgacure369PMA環己酮Coat-O"SU281020,64.6301541302100800.4重量百分比11.4%5.7%1.5%0.4%11.4%0.8%38.1%30.5%0.2%實施例6AlA2DPHA環氧樹脂MA-100Irgacure379PMA環己酮Coat-0~Sil281017.13.4141241301100600.4重量百分比6.2%5.3%1.8%0,5%13.5%0.5%45.027,0%0.2%表1本發明實施例的感光樹脂組合物，由於包含不同配比的不同組份，使得使用該感光樹脂組合物製備的黑矩陣針孔少，面塗布均勻性、耐熱性、邊緣整齊性、存儲穩定性和解析度都很好。13如圖1所示，為本發明實施例彩色濾光片製備方法的流程圖，該方法具體包括步驟IOI、將感光樹脂組合物塗布在玻璃基板上；將上述將感光樹脂組合物以旋塗或流延的方式塗布在玻璃基板上；步驟102、將塗布後的玻璃基板進行烘烤後直接曝光；將塗布後的玻璃基板在80°C~120。C溫度下烘烤3分鐘~5分鐘後，採用照度15mJ/cm2的紫外線以5秒~13秒的曝光時間對上述感光樹脂組合物進行曝光；步驟1G3、將曝光後的玻璃基板顯影和烘烤，形成黑矩陣；將曝光後的玻璃基板在濃度為0.02-0.1%的鹼性顯影液中顯影后，在200°C~250。C溫度下烘烤40分鐘~80分鐘，形成黑矩陣；通過上述步驟101-103，製備了針孔少、面塗布均勻性、耐熱性、邊緣整齊性、存儲穩定性和解析度都很好的黑矩陣；步驟104、在玻璃基板上形成紅、綠、藍像素圖案並將上述黑矩陣設置在圖案縫隙中。製備完黑矩陣後，在玻璃基板上形成紅、綠、藍像素圖案，並將黑矩陣設置在圖案縫隙中，形成彩色濾光片。將上述感光樹脂組合物採用旋圖的方式，將其均勻塗布在370毫米*470毫米的玻璃基板上，在8(TC下烘烤3分鐘，用顯微鏡觀察是否有微小孔洞；然後將上述預烘烤膜進行曝光、顯影、用Tencor觸針輪廓儀測試不同位置像素膜厚並取多組悽t據，判斷面塗布均勻性，面塗布均勻性可通過以下公式判斷(Hmax-Hmin)x100%/Havg其中，Hmax為膜厚測量最大值，Hmin為膜厚測量最小值，Havg為膜厚平均值。接著，採用照度15mJ/cm2的紫外線以8秒的曝光時間對上述感光樹脂組合物進行曝光;將曝光後的玻璃基板在濃度為0.05%的鹼性顯影液中顯影后，將顯影后的樹脂膜層在25(TC下烘烤1小時，用Tencor觸針輪廓儀測試烘烤前後像素膜厚並取多組數據，耐熱性可通過如下公式判斷(Hb-Ha)x100%/Hb其中，Hb為後烘前膜厚測量值，Ha為後烘後膜厚測量值。同時，在200倍顯微鏡下觀察邊緣平整性；最後，將感光樹脂組合物放置6周後，在相同的工藝條件下對比曝光時間變化；將感光樹脂組合物曝光後，掩模板線寬分另'J為20線15線12線10"m、8線6nm、3線2iim、lum,在0.05。/。Na0H溶液中顯影，邊緣整齊的最小線寬即為解析度。採用表1中的各實施例感光樹脂組合物製備感光樹脂層，對製備的著色感光樹脂層的面塗布均勻性、耐熱性、邊緣整齊性、存儲穩定性和解析度等進行測試，具體測試結果如下第一實施例將表l中實施例1的感光樹脂組合物塗布在玻璃基板上，將塗布後的玻璃基板在80。C溫度下烘烤3分鐘，在顯微鏡下觀察該膜層有非常少的微小孔洞；將上述預烘烤膜進行曝光、顯影、用Tencor觸針輪廓儀測試不同位置像素膜厚並取多組數據，判斷出該膜層的面塗布均勻性較差；同時，採用照度15mJ/cm2的紫外線以8秒的曝光時間對上述感光樹脂組合物進行曝光；將曝光後的玻璃基板在濃度為0.05%的鹼性顯影液中顯影后，將顯影后的樹脂膜層在250。C下烘烤1小時，用Tencor觸針輪廓儀測試烘烤前後像素膜厚並取多組數據，發現該膜層耐熱性好；同時，在200倍顯微鏡下觀察其邊緣略有毛刺；最後，將感光樹脂組合物放置6周後，在相同的工藝條件下對比曝光時間變化，從表2中可以看出其存儲穩定性一般；將感光樹脂組合物曝光後，掩模板線寬分另'J為20um、15um、12線10線8ym、6線3nm、2線lum，在0.05。/。NaOH溶液中顯影，邊緣整齊的最小線寬即解析度為10um。其中，對於針孔A表示無微小孔洞，B表示微小孔洞非常少，C表示微小孔洞很多；對於面塗布均勻性A表示不均勻性小於l。/。，B表示不均勻性大於1°/。小於2.5°/，C表示不均勻性大於2.5%;對於耐熱性A表示烘烤前後15膜厚變化率小於1%，B表示烘烤前後膜厚變化率大於1%小於2.5%,C表示烘烤前後膜厚變化率大於2.5%;對於邊緣平整性A表示邊緣整齊，B表示略有毛刺，C表示邊緣不整齊。第二實施例將表1中實施例2的感光樹脂組合物塗布在玻璃基板上，將塗布後的玻璃基板在80。C溫度下烘烤3分鐘，在顯微鏡下觀察該膜層無微小孔洞；將上述預烘烤膜進行曝光、顯影、用Tencor觸針輪廓儀測試不同位置像素膜厚並取多組數據，判斷出該膜層的面塗布均勻性較好；同時，採用照度15mJ/cm2的紫外線以8秒的曝光時間對上述感光樹脂組合物進行曝光；將曝光後的玻璃基板在濃度為0.05%的鹼性顯影液中顯影后，將顯影后的樹脂膜層在25(TC下烘烤1小時，用Tencor觸針輪廓儀測試烘烤前後像素膜厚並取多組數據，發現該膜層耐熱性好；同時，在200倍顯微鏡下觀察其邊緣整齊；最後，將感光樹脂組合物放置6周後，在相同的工藝條件下對比曝光時間變化，從表2中可以看出其存儲穩定性較好；將感光樹脂組合物曝光後，掩模板線寬分另'J為20um、15iim、12ym、10pm、8um、6pm、3txm、2um、1um,在0.05%NaOH溶液中顯影，邊緣整齊的最小線寬即解析度為6um。其中，對於針孔A表示無微小孔洞，B表示微小孔洞非常少，C表示微小孔洞很多；對於面塗布均勻性A表示不均勻性小於l。/。，B表示不均勻性大於1%小於2.5%,C表示不均勻性大於2.5%;對於耐熱性A表示烘烤前後膜厚變化率小於1%，B表示烘烤前後膜厚變化率大於l。/。小於2.5%，C表示烘烤前後膜厚變化率大於2.5%;對於邊緣平整性A表示邊緣整齊，B表示略有毛刺，C表示邊緣不整齊。第三實施例將表1中實施例3的感光樹脂組合物塗布在玻璃基板上，將塗布後的玻璃基板在80。C溫度下烘烤3分鐘，在顯微鏡下觀察該膜層無微小孔洞；將上述預烘烤膜進行曝光、顯影、用Tencor觸針輪廓儀測試不同位置像素膜厚並取多組數據，判斷出該膜層的面塗布均勻性較好；同時，採用照度15mJ/cm2的紫外線以8秒的曝光時間對上述感光樹脂組合物進行曝光；將曝光後的玻璃基板在濃度為0.05%的鹼性顯影液中顯影后，將顯影后的樹脂膜層在250。C下烘烤1小時，用Tencor觸針輪廓儀測試烘烤前後像素膜厚並取多組數據，發現該膜層耐熱性好；同時，在200倍顯微鏡下觀察其邊緣整齊；最後，將感光樹脂組合物放置6周後，在相同的工藝條件下對比曝光時間變化，從表2中可以看出其存儲穩定性一般；將感光樹脂組合物曝光後，掩模板線寬分另'J為20tim、15pm、12iim、10nm、8tim、6ym、3tim、2tim、1um，在0.05%NaOH溶液中顯影，邊^^整齊的最小線寬即解析度為6um。其中，對於針孔A表示無微小孔洞，B表示糹鼓小孔洞非常少，C表示微小孔洞很多；對於面塗布均勻性A表示不均勻性小於"/。，B表示不均勻性大於1°/。小於2.5%，C表示不均勻性大於2.5%;對於耐熱性A表示烘烤前後膜厚變化率小於1%，B表示烘烤前後膜厚變化率大於r/。小於2.5%,C表示烘烤前後膜厚變化率大於2.5%;對於邊緣平整性A表示邊緣整齊，B表示略有毛刺，C表示邊緣不整齊。第四實施例將表l中實施例4的感光樹脂組合物塗布在玻璃基板上，將塗布後的玻璃基板在80。C溫度下烘烤3分鐘，在顯微鏡下觀察該膜層無微小孔洞；將上述預烘烤膜進行曝光、顯影、用Tencor觸針輪廓儀測試不同位置像素膜厚並取多組數據，判斷出該膜層的面塗布均勻性較差；同時，採用照度15mJ/cm2的紫外線以8秒的曝光時間對上述感光樹脂組合物進行曝光；將曝光後的玻璃基板在濃度為0.05%的鹼性顯影液中顯影后，將顯影后的樹脂膜層在250。C下烘烤1小時，用Tencor觸針輪廓儀測試烘烤前後像素膜厚並取多組數據，發現該膜層耐熱性好；同時，在200倍顯微鏡下觀察其邊緣不整齊；最後，將感光樹脂組合物放置6周後，在相同的工藝條件下對比曝光時間變化，從表2中可以看出其存儲穩定性較差；將感光樹脂組合物曝光後，掩模板線寬分另'J為20um、15tim、12nm、10um、8um、6iim、3iim、2um、1um，在0.05Wa0H溶液中顯影，邊緣整齊的最小線寬即解析度為12um。17其中，對於針孔A表示無微小孔洞，B表示微小孔洞非常少，C表示微小孔洞很多；對於面塗布均勻性A表示不均勻性小於l。/。，B表示不均勻性大於1%小於2.5%,C表示不均勻性大於2.5%;對於耐熱性A表示烘烤前後膜厚變化率小於1%，B表示烘烤前後膜厚變化率大於1%小於2.5%,C表示烘烤前後膜厚變化率大於2.5%;對於邊緣平整性A表示邊緣整齊，B表示略有毛刺，C表示邊緣不整齊。第五實施例將表1中實施例5的感光樹脂組合物塗布在玻璃基板上，將塗布後的玻璃基板在80。C溫度下烘烤3分鐘，在顯微鏡下觀察該膜層無微小孔洞；將上述預烘烤膜進行曝光、顯影、用Tencor觸針輪廓儀測試不同位置像素膜厚並取多組數據，判斷出該膜層的面塗布均勻性較好；同時，採用照度15mJ/cm2的紫外線以8秒的曝光時間對上述感光樹脂組合物進行曝光；將曝光後的玻璃基板在濃度為0.05%的鹼性顯影液中顯影后，將顯影后的樹脂膜層在25(TC下烘烤1小時，用Tencor觸針輪廓儀測試烘烤前後像素膜厚並取多組數據，發現該膜層耐熱性好；同時，在200倍顯微鏡下觀察其邊緣整齊；最後，將感光樹脂組合物放置6周後，在相同的工藝條件下對比曝光時間變化，從表2中可以看出其存儲穩定性較好；將感光樹脂組合物曝光後，掩模板線寬分另'J為20um、15lim、12um、lOiim、8ym、6um、3um、2um、1tim，在0.05%NaOH溶液中顯影，邊緣整齊的最小線寬即解析度為6nm。其中，對於針孔A表示無微小孔洞，B表示糹效小孔洞非常少，C表示微小孔洞很多；對於面塗布均勻性A表示不均勻性小於l。/。，B表示不均勻性大於1°/。小於2.5%，C表示不均勻性大於2.5%;對於耐熱性A表示烘烤前後膜厚變化率小於1%，B表示烘烤前後膜厚變化率大於1%小於2.5%，C表示烘烤前後膜厚變化率大於2.5%;對於邊緣平整性A表示邊緣整齊，B表示略有毛刺，C表示邊緣不整齊。第六實施例將表l中實施例6的感光樹脂組合物塗布在玻璃基板上，將塗布後的玻璃基板在80。C溫度下烘烤3分鐘，在顯微鏡下觀察該膜層無微小孔洞；將上述預烘烤膜進行曝光、顯影、用Tencor觸針輪廓儀測試不同位置像素膜厚並取多組數據，判斷出該膜層的面塗布均勻性較好；同時，採用照度15mJ/cm2的紫外線以8秒的曝光時間對上述感光樹脂組合物進^f亍曝光；將曝光後的玻璃基板在濃度為0.05%的鹼性顯影液中顯影后，將顯影后的樹脂膜層在250'C下烘烤1小時，用Tencor觸針輪廓儀測試烘烤前後像素膜厚並取多組數據，發現該膜層耐熱性好；同時，在200倍顯;f效鏡下觀察其邊緣整齊；最後，將感光樹脂組合物放置6周後，在相同的工藝條件下對比曝光時間變化，從表2中可以看出其存儲穩定性較好；將感光樹脂組合物曝光後，掩模板線寬分另'J為20um、15um、12um、10um、8um、6tim、3tim、2um、1pm,在0.05%NaOH溶液中顯影，邊緣整齊的最小線寬即解析度為6um。其中，對於針孔A表示無微小孔洞，B表示;f鼓小孔洞非常少，C表示微小孔洞很多；對於面塗布均勻性A表示不均勻性小於r/。，B表示不均勻性大於1%小於2.5%,C表示不均勻性大於2.5%;對於耐熱性A表示烘烤前後膜厚變化率小於1%，B表示烘烤前後膜厚變化率大於iy。小於2.5%,C表示烘烤前後膜厚變化率大於2.5%;對於邊緣平整性A表示邊緣整齊，B表示略有毛刺，C表示邊緣不整齊。序tableseeoriginaldocumentpage19表2由此可見，採用上述感光樹脂組合物製備的黑矩陣無微小孔洞，面塗布均勻性、耐熱性、邊緣整齊性、存儲穩定性和解析度都很好。上述彩色濾光片的製備方法，較好地提高了黑矩陣的面塗布均勻性、耐熱性、邊緣整齊性、存儲穩定性和解析度，進而大大提供了包含上述黑矩陣的彩色濾光片的質量。最後應說明的是以上實施例僅用以說明本發明的技術方案，而非對其限制；儘管參照前述實施例對本發明進行了詳細的說明，本領域的普通技術人員應當理解其依然可以對前述各實施例所記載的技術方案進行修改，或者對其中部分技術特徵進行等同替換；而這些修改或者替換，並不使相應技術方案的本質脫離本發明各實施例技術方案的精神和範圍。權利要求1、一種感光樹脂組合物，其特徵在於包括不飽和酸酐與苯乙烯的共聚物及所述共聚物的衍生化合物或不飽和羧酸與苯乙烯的共聚物及所述共聚物的衍生化合物，重量百分比為5.4％～45％；含乙烯性不飽和雙鍵或環氧基團的感光性樹脂，重量百分比為0.5％～18％；顏料，重量百分比為4％～15％；光起始劑，重量百分比為0.1％～3％；溶劑，重量百分比為40％～85％；助劑，重量百分比為0.1％～1％。2、根據權利要求1所述的感光樹脂組合物，其特徵在於所述不飽和酸酐與苯乙烯的共聚物及所述共聚物的衍生化合物或不飽和羧酸與苯乙烯的共聚物及所述共聚物的衍生化合物包括第一結構單元樹脂和第二結構單元樹脂，第一結構單元樹脂的通式為Na+CTo=cc=o~CH2)^;~~fcH~CH2VCH~CH,o=cc=o其中，R表示硫醇取代基或醇取代基，x的取值為1或2,y的取值為0或1,z的取值為0或1,n的取值為7~25;第二結構單元樹脂的通式為—cH2j^ro=cc=oR1l)Hni其中，R^表示丙烯酸酯或氬原子，xl的取值為1~2,yl的取值為2(8，nl的取值為25~200。3、根據權利要求2所述的感光樹脂組合物，其特徵在於所述第一結構單元樹脂為顏料表面活性劑，所述第二結構單元樹脂為鹼可溶性樹脂，所述顏料表面活性劑的重量百分比為0.4%~15%;所述石威可溶性樹脂的重量百分比為5%~30%。4、根據權利要求3所述的感光樹脂組合物，其特徵在於所述顏料表面活性劑的重量百分比為0.4%~7.5%;所述鹼可溶性樹脂的重量百分比為5%~15%,含乙烯性不飽和雙鍵或環氧基團的感光性樹脂的重量百分比為0.04%-6%;顏^F的重量百分比為10%~15%;光起始劑的重量百分比為0.2%~1%;溶劑的重量百分比為40%~80%;助劑的重量百分比為0.2%~0.8%。5、根據權利要求2所述的感光樹脂組合物，其特徵在於所述第一結構單元樹脂的重均分子量為3000-10000。6、根據權利要求5所述的感光樹脂組合物，其特徵在於所述第一結構單元樹脂的重均分子量為4000~6000。7、根據權利要求2所述的感光樹脂組合物，其特徵在於所述第二結構單元樹脂中不飽和酸酐與苯乙烯的摩爾比例為0.2-1.0，重均分子量為6000-40000。8、根據權利要求7所述的感光樹脂組合物，其特徵在於所述第二結構單元樹脂中不飽和酸肝與苯乙烯的摩爾比例為0.8-1.0,重均分子量為6000~20000。9、一種應用權利要求1-8中任一所述感光樹脂組合物的彩色濾光片的製備方法，其特徵在於包括將所述感光樹脂組合物塗布在玻璃基板上；將塗布後的玻璃基板進行曝光；將曝光後的玻璃基板顯影和烘烤，形成黑矩陣。10、根據權利要求9所述的彩色濾光片的製備方法，其特徵在於還包括在玻璃基板上形成紅、綠、藍像素圖案並將所述黑矩陣設置在圖案縫隙中。全文摘要本發明涉及一種感光樹脂組合物和彩色濾光片的製備方法，其中，上述感光樹脂組合物包括不飽和酸酐與苯乙烯的共聚物及所述共聚物的衍生化合物或不飽和羧酸與苯乙烯的共聚物及所述共聚物的衍生化合物，重量百分比為5.4％～45％；含乙烯性不飽和雙鍵或環氧基團的感光性樹脂，重量百分比為0.5％～18％；顏料，重量百分比為4％～15％；光起始劑，重量百分比為0.1％～3％；溶劑，重量百分比為40％～85％；助劑，重量百分比為0.1％～1％。上述感光樹脂組合物包含不同配比的不同組份，粘度穩定、顯像效果優異；同時利用上述感光樹脂組合物製造的黑矩陣質量較好，進而提高了包含該黑矩陣的彩色濾光片的質量。文檔編號G03F7/028GK101655664SQ20081011863公開日2010年2月24日申請日期2008年8月20日優先權日2008年8月20日發明者璇何,琳李,楊久霞,趙吉生申請人:京東方科技集團股份有限公司