形成薄層的裝置和用其製造有機發光二極體顯示器的方法
2023-06-02 20:34:01
形成薄層的裝置和用其製造有機發光二極體顯示器的方法
【專利摘要】提供了可應用於大規模生產的用於形成薄層的裝置以及使用該裝置製造顯示器的方法。用於形成薄層的裝置包括容器、多噴嘴部分以及脈衝發生器，其中，容器具有用於形成薄層的材料，多噴嘴部分位於襯底上並連接至容器以接收用於形成薄層的材料，多噴嘴部分包括彼此以一定距離平行設置的多個噴嘴，脈衝發生器向襯底和多噴嘴部分之一施加開關電壓，以便在多個噴嘴的至少之一與襯底之間提供瞬時電勢差，並使得用於形成薄層的材料的排放受到控制。
【專利說明】形成薄層的裝置和用其製造有機發光二極體顯示器的方法
【技術領域】
[0001]本申請涉及用於形成薄層的裝置和使用該裝置製造有機發光二極體顯示器的方法。
【背景技術】
[0002]與液晶顯示器相比較，有機發光二極體顯示器的優勢在於，可在無需使用單獨光源的情況下實現寬視角、良好對比度以及快速反應速度。
【發明內容】
[0003]本申請實施方式可通過提供一種用於形成薄層的裝置實現，該裝置包括容器、多噴嘴部分以及脈衝發生器。其中，容器具有用於形成薄層的材料。多噴嘴部分位於襯底上並連接至容器以接收用於形成薄層的材料，多噴嘴部分包括彼此以一定距離平行地設置的多個噴嘴。脈衝發生器向襯底和多噴嘴部分之一施加開關電壓，以便在多個噴嘴的至少其中之一與襯底之間提供瞬時電勢差，從而控制用於形成薄層的材料的排放。
[0004]多個噴嘴可沿第一方向平行地設置，多噴嘴部分和襯底中的至少一個可沿第二方向可移動地設置，第二方向與第一方向相交。
[0005]容器為可存儲用於形成薄層的材料的單個容器，多個噴嘴可連接至容器以接收用於形成薄層的材料。用於形成薄層的材料可為用於形成紅色發光層、綠色發光層、藍色發光層、空穴注入層、空穴傳輸層、電子傳輸層以及電子注入層中的任一個的材料。
[0006]容器可配置為包含用於形成薄層的不同材料的多個容器，多個噴嘴中的每個可連接至多個容器中的任一個。容器可包括第一容器、第二容器以及第三容器，其中第一容器包含用於形成紅色發光層的材料，第二容器包含用於形成綠色發光層的材料，以及第三容器包含用於形成藍色發光層的材料。
[0007]脈衝發生器可將開關電壓相繼地或隨機地施加到多個噴嘴。多個噴嘴可被分成多個組，開關電壓可被同時施加到多個組。脈衝發生器可將開關電壓相繼地或隨機地分別施加到多個組中的多個噴嘴。
[0008]脈衝發生器可電連接至襯底的子像素區以將開關電壓施加到子像素區。
[0009]襯底可設置有彼此相交的掃描線和數據線，子像素區可沿平行於掃描線的第一方向被分成多個組，多個焊盤部分分別連接至多個組的子像素區中的至少一個。脈衝發生器可分別電連接至多個焊盤部分。
[0010]脈衝發生器可將開關電壓相繼或隨機地分別施加到每個組中的多個焊盤部分。
[0011]實施方式還可通過提供製造有機發光二極體顯示器的方法實現，該方法包括:在襯底上提供包括多個噴嘴的多噴嘴部分；向多噴嘴部分提供用於形成薄層的材料，用於形成薄層的材料被存儲在容器中；從脈衝發生器產生開關電壓並將開關電壓施加到襯底和多噴嘴部分中的一個，從而在多個噴嘴中的至少一個與襯底之間產生瞬時電勢差。至少一個噴嘴因電勢差排放用於形成薄層的材料以形成薄層。[0012]脈衝發生器可將開關電壓相繼地或隨機地施加到多個噴嘴。多個噴嘴可被分成多個組，脈衝發生器可將開關電壓相繼地或隨機地分別施加到多個組中的多個噴嘴。脈衝發生器可電連接至襯底的子像素區以向子像素區施加開關電壓。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0013]圖1是示意性示出根據一個示例性實施方式的用於形成薄層的裝置的示意圖；
[0014]圖2是示意性示出圖1的襯底的單個子像素區的截面圖；
[0015]圖3是示意性示出在圖1所示的用於形成薄層的裝置中的多噴嘴部分和脈衝發生器的構造，並示出脈衝發生器施加到多個噴嘴的開關電壓的示意圖；
[0016]圖4是示意性示出在根據一個示例性實施方式的用於形成薄層的裝置中的多噴嘴部分和脈衝發生器的構造，並示出脈衝發生器施加到多個噴嘴的開關電壓的示意圖；
[0017]圖5是示意性示出在根據一個示例性實施方式的用於形成薄層的裝置中的多噴嘴部分和脈衝發生器的構造，並示出脈衝發生器施加到多個噴嘴的開關電壓的示意圖；
[0018]圖6是示意性示出在根據一個示例性實施方式的用於形成薄層的裝置中的多噴嘴部分和脈衝發生器的構造，並示出脈衝發生器施加到多個噴嘴的開關電壓的示意圖；
[0019]圖7是示意性示出根據一個示例性實施方式的用於形成薄層的裝置的示意圖；
[0020]圖8是示意性示出根據一個示例性實施方式的在用於形成薄層的裝置中的襯底上的脈衝發生器和子像素區；
[0021]圖9是示意性示出圖8所示的脈衝發生器施加到多個焊盤部分的開關電壓的視圖。
【具體實施方式】
[0022]將在下文參照示出本發明的示例性實施方式的附圖更全面地描述各實施方式。本領域技術人員應該理解，所描述的實施方式可以以各種不同的方式修改，而不偏離示例性實施方案的精神或範圍。
[0023]圖1是示意性示出根據第一示例性實施方式的用於形成薄層的裝置的示意圖。
[0024]參見圖1，根據第一示例性實施方式的用於形成薄層的裝置100包括容器10、多噴嘴部分20以及脈衝發生器30，其中，容器10包含用於形成薄層的材料，多噴嘴部分20被配置具有多個噴嘴21，脈衝發生器30分別電連接至多個噴嘴21。為了方便起見，圖1示意性地示出了脈衝發生器30電連接至一個噴嘴21。
[0025]為單個容器的容器10存儲一種薄層形成材料。例如，容器10可存儲用於形成紅色、綠色和藍色中的任一種顏色的發光層的材料，以及用於形成諸如空穴注入層(HIL)、空穴傳輸層(HTL)、電子傳輸層(ETL)、電子注入層(EIL)等中間層中的任一個的材料。
[0026]在襯底40上設置多噴嘴部分20，多噴嘴部分20連接至容器10以被供給用於形成薄層的材料。多噴嘴部分20設置在容器10的一部分處或者被設置成與容器分開，並且可通過軟管(未示出)連接至容器。通過示例的方式，圖1示出了一種殼體，其中多噴嘴部分20被安裝在容器10的一部分處。多個噴嘴21沿第一方向(圖1的y軸方向)以一定的距離並行設置。
[0027]多噴嘴部分20和襯底40中的至少一個沿第二方向(圖1的X軸方向)可移動地安裝，第二方向與第一方向相交。例如，第二方向可垂直於第一方向。多噴嘴部分20和襯底40中的至少一個可設置有臺。通過示例的方式，圖1示出了襯底40被安裝在臺90上以沿第二方向移動的情況。
[0028]多噴嘴部分20將用於形成薄層的材料朝向襯底40排出以在襯底40上形成薄層。薄層可以為紅色、綠色和藍色中的任一種顏色的發光層，可以為諸如空穴注入層、空穴傳輸層、電子傳輸層、電子注入層等中間層中的任一個。通過使用噴嘴21 (用於形成薄層的材料由此經過)與襯底40之間的電勢差的電荷構圖方法形成薄層。下面將詳細描述用於形成薄層的具體方法。
[0029]圖2是示意性示出圖1所示的襯底的截面圖，其示出了單個子像素區。
[0030]參見圖2，襯底40包括基底襯底41以及形成在基底襯底41上的薄層電晶體(TFT)和像素電極61。基底襯底41可由例如玻璃襯底或塑料襯底形成。在基底襯底41上可設置緩衝層42。
[0031]在緩衝層42上可設置有源層43，有源層43包括溝道區43a、源極區43b和漏極區43c。在有源層43上可設置柵極絕緣層44。在溝道區43a上的柵極絕緣層44上可形成柵電極45。柵電極45可被層間絕緣層46覆蓋。在層間絕緣層46上設置源電極47和漏電極48，源電極47和漏電極48穿過層間絕緣層46中的通孔各自連接至源極區43b和漏極區43c。
[0032]在源電極47和漏電極48上可設置鈍化層49。在鈍化層49上可形成平坦化層50。鈍化層49可由諸如Si02、SiNx等的無機物質形成，平坦化層50可由諸如聚醯亞胺、苯並環丁烯等的有機材料形成。在平坦化層50上可形成像素電極61。像素電極61可穿過平坦化層50和鈍化層49中的孔連接至漏電極48。
[0033]在像素電極61和平坦化層50上可設置像素限定層51。像素電極61的一部分或全部可通過像素限定層51的開口暴露。像素電極61可以是注入空穴的陽極或者是注入電子的陰極。
[0034]根據示例性實施方式，從多噴嘴部分20朝向被暴露的像素電極61排放用於形成紅色、綠色和藍色的發光層中的任一個的材料，由此形成發光層62。根據其他示例性實施方式，從多噴嘴部分20可排放用於形成諸如空穴注入層、空穴傳輸層、電子傳輸層、電子注入層等的中間層中的任一個的材料，以形成中間層。
[0035]根據示例性實施方式，可在形成發光層62之前形成空穴注入層和空穴傳輸層，可在形成發光層62之後形成電子傳輸層和電子注入層。可替換地，可在形成發光層62之前形成電子注入層和電子傳輸層，可在形成發光層62之後形成空穴傳輸層和空穴注入層。
[0036]發光層62和像素限定層51可被公共電極63覆蓋。公共電極63可形成在整個襯底40上，並且可在通過例如圖1所示的裝置100或其它裝置形成薄層後的工序中形成。像素電極61、發光層62和公共電極63可配置或構成有機發光二極體(0LED)。當像素電極61為陽極時，公共電極63成為陰極。當像素電極61是陰極時，公共電極63成為陽極。
[0037]圖3是示意性示出在圖1所示的用於形成薄層的裝置中的多噴嘴部分和脈衝發生器的構造以及從脈衝發生器施加到多個噴嘴的開關電壓的示意圖。
[0038]參見圖1和圖3，脈衝發生器30電連接至多個噴嘴21a至21 j，以產生開關電壓並將開關電壓以一定時間差分別施加到多個噴嘴21a至21j。通過該配置，在多個噴嘴21a至21j中的任一個與襯底40之間存在瞬時電勢差，用於形成薄層的材料通過噴嘴排出。S卩，開關電壓沒有同時施加到噴嘴21a至21 j的全部。例如，多個噴嘴21a至21 j中的每個在不同的時間被施加開關電壓，使得在不同的時間排出用於形成薄層的材料。
[0039]當多個噴嘴21a至21 j被同時施加同一電壓時，在相鄰的噴嘴之間存在電場幹擾，使得從噴嘴排放的用於形成薄層的材料的移動路徑改變。因此，不能在所需位置精確地印刷用於形成薄層的材料。然而，根據第一示例性實施方式，噴嘴21a至21 j以其間存在一定的時間的情況下被施加開關電壓，從而可使相鄰噴嘴之間的電場幹擾效應最小化。
[0040]開關電壓可相繼施加到多個噴嘴21a至21 j。即，開關電壓可從設置在多噴嘴部分20的一部分的噴嘴21a相繼施加到設置在與其相對部分處的噴嘴21 j。在這種情況下，襯底40保持相對低於多個噴嘴21a至21 j的電勢。因此，在第一噴嘴21a與襯底40之間直至最後的噴嘴21 j與襯底40之間相繼存在電勢差，以便相繼排放用於形成薄層的材料。
[0041]通過前述方法，可在襯底40的一列子像素區中形成發光層或中間層。此後，襯底40和多噴嘴部分20中的任一個沿第二方向移動，並且開關電壓被相繼施加到多個噴嘴21a至21 j，從而可在下一列子像素區中形成發光層或中間層。通過該工序，可在整個襯底40上形成發射層或中間層。
[0042]這樣，根據第一示例性實施方式的用於形成薄層的裝置100使用脈衝發生器30將開關電壓相繼施加到多個噴嘴21a至21 j。因此，能夠通過最小化和/或阻止相鄰噴嘴之間的電場幹擾而在所需位置精確地印刷用於形成薄層的材料。此外，與根據相關技術使用單個噴嘴相比較，能夠有效地縮短印刷時間並減少預印刷區域與後印刷區域之間的乾燥，從而增加發光均勻性。
[0043]圖4是示意性示出在根據第二示例性實施方式的用於形成薄層的裝置中的多噴嘴部分和脈衝發生器的構造以及從脈衝發生器施加到多個噴嘴的開關電壓的示意圖。
[0044]參見圖4，除了脈衝發生器30將開關電壓隨機施加到多個噴嘴21a至21 j之外，根據第二示例性實施方式的用於形成薄層的裝置具有與上述第一示例性實施方式相同的配置。在第一不例性實施方式中描述的部件由相同的參考標號指不。
[0045]開關電壓被隨機施加到多個噴嘴21a至21 j。以此方式，在被施加開關電壓的任一個噴嘴與襯底40之間出現瞬時電勢差的情況下，從多噴嘴部分隨機排放用於形成薄層的材料。即使在這種情況下，也能夠通過最小化和/或阻止相鄰噴嘴之間的電場幹擾而在所需位置精確地印刷用於形成薄層的材料。
[0046]圖5是示意性示出在根據第三示例性實施方式的用於形成薄層的裝置中的多噴嘴部分和脈衝發生器的構造以及從脈衝發生器施加到多個噴嘴的開關電壓的示意圖。
[0047]參見圖5，除了多個噴嘴21a至21 j被劃分為至少兩組(例如分為兩組22A和22B)，並且開關電壓被相繼施加到至少兩組噴嘴中的每組噴嘴中的多個噴嘴之外，根據第三示例性實施方式的用於形成薄層的裝置具有與上述第一示例性實施方式相同的配置。在第一示例性實施方式中描述的部件由相同的參考標號指不。
[0048]例如，組22A和22B可分別包括被設置為彼此相鄰的多個噴嘴21a至21e和21f至21 j。例如，多個噴嘴21a至21 j可被分成第一組22A和第二組22B，第一組22A對應於多噴嘴部分20的左側，第二組22B對應於第一組22A的右側。而且，開關電壓相繼施加到第二組22B的噴嘴21f至21 j，並同時相繼施加到第一組22A的噴嘴21a至21e。例如，開關電壓可相繼施加到第一組22A中的噴嘴21a至21e，並且同時開關電壓可相繼施加到第二組22B中的噴嘴21f至21j。
[0049]因此，在特定時間從第一組22A的噴嘴21a至21e和第二組22B的噴嘴21f至21 j同時排放用於形成薄層的材料。在這種情況下，在特定時機被施加開關電壓的第一組22A的噴嘴21a至21e和第二組22B的噴嘴21f至21 j可彼此間隔儘可能較大距離，以便不受電場影響。
[0050]根據第三示例性實施方式的用於形成薄層的裝置可在所需位置處精確地印刷用於形成薄層的材料，並且與上述第一示例性實施方式相比較，可將在位於一列的子像素區中形成發光層或中間層所花費的時間減少一半。
[0051]圖6是示意性示出在根據第四示例性實施方式的用於形成薄層的裝置中的多噴嘴部分和脈衝發生器的構造以及從脈衝發生器施加到多個噴嘴的開關電壓的示意圖。
[0052]參見圖6，除了開關電壓隨機施加到組22A和22B的多個噴嘴21a至21e和21f至21j之外，根據第四示例性實施方式的用於形成薄層的裝置具有與上述第三示例性實施方式相同的配置。在第三示例性實施方式中描述的部件由相同的參考標號指示。
[0053]當多個噴嘴21a至21 j被分成第一組22A和第二組22B時，開關電壓可隨機施加到第二組22B的噴嘴21f至21 j，並同時隨機施加到第一組22A的噴嘴21a至21e。因此，在特定時間從第一組22A的噴嘴21a至21e和第二組22B的噴嘴21f至21 j同時排放用於形成薄層的材料。在特定時機被施加開關電壓的第一組22A的噴嘴21a至21e和第二組22B的噴嘴21f至21 j可彼此間隔儘可能較大距離，以便不受電場影響。
[0054]圖7是示意性示出根據第五示例性實施方式的用於形成薄層的裝置的示意圖。
[0055]參見圖7，除了提供包含用於形成薄層的不同材料的多個容器101以及多個噴嘴21均連接至多個容器101中的任一個之外，根據第五示例性實施方式的用於形成薄層的裝置具有根據上述第一至第四示例性實施方式中的任一個示例性實施方式的用於形成薄層的裝置相同的配置。
[0056]例如，多個容器101可包括第一容器11、第二容器12以及第三容器13，其中，第一容器11中包含用於形成紅色發光層的材料，第二容器12中包含用於形成綠色發光層的材料，第三容器13中包含用於形成藍色發光層的材料。一個接一個地設置第一至第三容器，並且多個噴嘴可通過軟管(未示出)連接至第一至第三容器中的任一個。另一方面，第一至第三容器11、12和13可設置成與噴嘴21的數量對應的多個。通過示例的方式，圖7示出了第二種情況。
[0057]從脈衝發生器30產生的開關電壓可相繼或隨機施加到多個噴嘴21。另一方面，多個噴嘴21可分成至少兩組，開關電壓可相繼或隨機施加到每組中的噴嘴。
[0058]當形成根據第五示例性實施方式的用於形成薄層的裝置200時，可在一個步驟中同時形成紅色、綠色和藍色發光層，並且不為每種顏色的發光層單獨提供多噴嘴部分，從而
簡化裝置配置。
[0059]圖8是示意性示出根據第六示例性實施方式的在用於形成薄層的裝置中的襯底上的脈衝發生器和子像素區，圖9是示意性示出圖8所示的脈衝發生器施加到多個焊盤部分的開關電壓的視圖。
[0060]參見圖8和圖9，除了脈衝發生器30電連接至襯底上的子像素區70以將開關電壓施加到子像素區70之外，根據第六示例性實施方式的用於形成薄層的裝置具有與上述第一示例性實施方式相同的配置。
[0061]掃描線71和數據線72形成在襯底上以彼此相交，子像素區70設置在掃描線71與數據線72的每個相交部分上。每個子像素區70電連接至掃描線71和數據線72。多個像素區70可沿平行於掃描線71的方向分成多個組。通過示例的方式，圖8示出了多個組中的第一組70A和第二組70B。
[0062]第一組70A和第二組70B均設置有多個焊盤部分73。在第一組70A和第二組70B的每個中，子像素區70的彼此不相鄰的數據線72連接至焊盤部分73中的任一個。
[0063]在圖8中，第一組70A和第二組70B均可分別設置三個焊盤部分73&1至73Cl和73a2至73c2。通過示例的方式，圖8示出了這樣的情況，即，子像素區70彼此分隔，在第一組70A和第二組70B的每個中設置的兩個子像素區連接至焊盤部分73?至73Cl和73a2至73c2的同一焊盤部分。焊盤部分73的數量不限於所示的實施例。例如，當存在均包含三個焊盤部分的第一組至第m組時，焊盤部分73可包括焊盤部分73?至73am、焊盤部分731^至73bm、以及焊盤部分73Cl至73cm。
[0064]脈衝發生器30例如通過探針板(未示出)電連接至多個焊盤部分73?至73Cl和73a2至73c2中的每個。而且，用於焊盤部分73&1至73Cl和73a2至73c2的特定焊盤部分的開關電壓可相繼或隨機地施加到全部多個組。
[0065]例如，通過將掃描電壓施加到面對多個噴嘴的一列子像素區70中的掃描線71來選擇子像素區70。而且，在將開關電壓施加到第一焊盤部分73?以產生對應的噴嘴(未示出)的電勢差時，連接至第一組70A中的第一焊盤部分73?的子像素區70同時接收開關電壓。以此方式，從噴嘴同 時排放用於形成薄層的材料，從而在子像素區上形成薄層。開關電壓相繼或隨機地施加到第一焊盤部分73a1;73a2，...0
[0066]接下來，開關電壓相繼或隨機地施加到第二焊盤部分73b1;73b2，...，並且在連接至第二焊盤部分73b1;73b2，...的子像素區70中形成薄層。接下來，開關電壓相繼或隨機地施加到第三焊盤部分73c1; 73c2，...，並且在連接至第三焊盤部分73c1; 73c2，...的子像素區70中形成薄層。以此方式，可在位於一列的子像素區70中形成發光層或中間層。
[0067]在形成薄層後，從襯底移除用於形成薄層的焊盤部分73。即，在形成薄層的工序後，將襯底切割，因此焊盤部分73所處的襯底的一部分可從形成有子像素區70的襯底分開。
[0068]通過總結和回顧，有機發光二極體(OLED)包括電極(例如陽極和陰極)，和設置在電極之間的發射層。例如，從陽極和陰極注入的空穴和電子在發射層上結合以產生激子，激子釋放能量從而發出光。為了高效率地發光，可在電極與發光層之間選擇性地額外設置中間層(諸如，空穴注入層、空穴傳輸層、電子傳輸層、電子注入層等)。
[0069]形成諸如發光層、中間層等的薄層的示例可包括使用電荷構圖技術。電荷構圖技術是通過將高電壓施加到噴嘴以及將襯底保持在相對較低電勢，以使用溶液與襯底之間的電勢差來排放溶液，從而印刷用於形成薄層的材料。
[0070]噴嘴可配置為單個噴嘴，襯底和噴嘴可被設置為相對於彼此能夠相對移動，使得可實現在襯底上相繼印刷薄層形成材料。然而，在這種情況下，在印刷大襯底時的工序時間增加，並且預印刷區域和後印刷區域之間的乾燥因工序時間而不同，使得發光可能不均勻。[0071]相反地，本申請實施方式涉及一種用於形成薄層的裝置，其可容易地應用於大襯底的大規模生產，並且還涉及有機發光二極體顯示器和使用用於形成薄層的裝置製造有機發光二極體顯示器的方法。例如，實施方式涉及作出努力提供一種用於形成薄層的裝置，其能夠改進印刷區域之間的乾燥均勻性、增加發光均勻性並同時減少印刷時間，還作出努力提供使用該裝置製造有機發光二極體(OLED)顯示器的方法。
[0072]根據實施方式，能夠通過在具有包括多個噴嘴的結構的情況下使相鄰噴嘴之間的電場幹擾最小化，在所需位置精確地印刷用於形成薄膜的材料。而且，與單個噴嘴結構相比較，能夠有效地縮短印刷時間，並通過減少預印刷區域與後印刷區域之間的乾燥而增加發光均勻性。
[0073]雖然所描述的本發明與目前視為實際的示例性實施方式有關，應該知道，本發明不限於所公開的實施方式，然而相反，本發明將覆蓋包括在所附的權利要求的精神和範圍之內的各種修改和等同設置。
【權利要求】
1.一種用於形成薄層的裝置，所述裝置包括: 容器，具有用於形成薄層的材料； 多噴嘴部分，位於襯底上並連接至所述容器以接收所述用於形成薄層的材料，所述多噴嘴部分包括以一定距離彼此平行設置的多個噴嘴；以及 脈衝發生器，向所述襯底和所述多噴嘴部分之一施加開關電壓，以便在所述多個噴嘴的至少其中之一與所述襯底之間提供瞬時電勢差，並使得所述用於形成薄層的材料的排放受到控制。
2.如權利要求1所述的用於形成薄層的裝置，其中， 所述多個噴嘴沿第一方向平行地設置，以及 所述多噴嘴部分和所述襯底中的至少一個沿第二方向可移動地設置，所述第二方向與所述第一方向相交。
3.如權利要求1所述的用於形成薄層的裝置，其中， 所述容器為存儲所述用於形成薄層的材料的單個容器，以及 所述多個噴嘴連接至所述容器以接收所述用於形成薄層的材料。
4.如權利要求3所述的用於形成薄層的裝置，其中，所述用於形成薄層的材料為用於形成紅色發光層、綠色發光層、藍色發光層、空穴注入層、空穴傳輸層、電子傳輸層以及電子注入層中的任一個的材料。
5.如權利要求1所述的用於形成薄層的裝置，其中， 所述容器為包含用於形成薄層的不同材料的多個容器，以及 所述多個噴嘴中的每個連接至所述多個容器中的任一個。
6.如權利要求5所述的用於形成薄層的裝置，其中，所述多個容器包括: 第一容器，包含用於形成紅色發光層的材料， 第二容器，包含用於形成綠色發光層的材料，以及 第三容器，包含用於形成藍色發光層的材料。
7.如權利要求1所述的用於形成薄層的裝置，其中，所述脈衝發生器將所述開關電壓相繼施加到所述多個噴嘴。
8.如權利要求1所述的用於形成薄層的裝置，其中，所述脈衝發生器將所述開關電壓隨機施加到所述多個噴嘴。
9.如權利要求1所述的用於形成薄層的裝置，其中， 所述多個噴嘴被劃分為多個組，以及 所述開關電壓被同時施加到所述多個組。
10.如權利要求9所述的用於形成薄層的裝置，其中，所述脈衝發生器將所述開關電壓相繼施加到所述多個組的每個組中的多個噴嘴。
11.如權利要求9所述的用於形成薄層的裝置，其中，所述脈衝發生器將所述開關電壓隨機施加到所述多個組的每個組中的多個噴嘴。
12.如權利要求1所述的用於形成薄層的裝置，其中，所述脈衝發生器電連接至所述襯底的子像素區以將所述開關電壓施加到所述子像素區。
13.如權利要求12所述的用於形成薄層的裝置，其中， 所述襯底包括彼此相交的掃描線和數據線；所述子像素區沿平行於所述掃描線的第一方向被劃分為多個組，多個焊盤部分分別連接至所述多個組的子像素區中的至少一個；以及所述脈衝發生器電連接至所述多個焊盤部分。
14.如權利要求13所述的用於形成薄層的裝置，其中，所述脈衝發生器將所述開關電壓相繼施加到所述多個組的每個組中的多個焊盤部分。
15.如權利要求13所述的用於形成薄層的裝置，其中，所述脈衝發生器將所述開關電壓隨機施加到所述多個組的每個組中的多個焊盤部分。
16.製造有機發光二極體顯示器的方法，所述方法包括: 在襯底上提供包括多個噴嘴的多噴嘴部分； 向所述多噴嘴部分提供用於形成薄層的材料，所述用於形成薄層的材料被存儲在容器中； 從脈衝發生器產生開關電壓並將所 述開關電壓施加到所述襯底和所述多噴嘴部分中的一個，從而在所述多個噴嘴中的至少一個與所述襯底之間產生瞬時電勢差； 其中，至少一個噴嘴因所述電勢差而排放所述用於形成薄層的材料，以在所述襯底上形成薄層。
17.如權利要求16所述的製造有機發光二極體顯示器的方法，其中，所述脈衝發生器將所述開關電壓相繼地或隨機地施加到所述多個噴嘴。
18.如權利要求16所述的製造有機發光二極體顯示器的方法，其中， 所述多個噴嘴被劃分為多個組，以及 所述脈衝發生器將所述開關電壓相繼地或隨機地施加到所述多個組的每個組中的多個噴嘴。
19.如權利要求16所述的製造有機發光二極體顯示器的方法，其中，所述脈衝發生器電連接至所述襯底的子像素區以向所述子像素區施加所述開關電壓。
【文檔編號】H01L27/32GK103579292SQ201310332028
【公開日】2014年2月12日 申請日期:2013年8月1日 優先權日:2012年8月6日
【發明者】李相祚, 趙晟煥 申請人:三星顯示有限公司