X射線定向儀粘膠機的製作方法

2023-05-31 14:25:21 2

專利名稱：X射線定向儀粘膠機的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及檢測設備領域，特別是一種用於晶棒在粘膠前對晶棒進行 角度及角差調整的儀器。
背景技術：
晶棒需經切割成晶片後再應用於電聲元器件，而由於晶體的各向異性，切 割成晶片時必須要對晶棒的物理反射角進行調整，調整後將若干晶棒按調整角 度粘膠固定，再按照某一確定的與基準面的角度對晶棒進行切割。現有技術中
的晶棒切割前的粘膠，是先在x射線定向儀測量出晶棒的z面的角度偏差，再 將晶棒在調角器上調整角度和晶棒的角差，用膠水固定後再上機切割。此種方 式缺點是效率差，晶棒粘膠精度有誤差使晶片切割精度不高。
發明內容
本實用新的目的在於提供一種能解決上述不足的x射線定向儀粘膠機。
本實用新型的目的是這樣實現的X射線定向儀粘膠機，包括一工作檯， 工作檯上固定有用於測試晶棒的基準邊，還設置有可發射X射線的X射線儀以 及可接收x射線的探測器，工作檯上還安裝有可調整晶棒角度及角度差的調角
器，調角器的一側固定有限制晶棒的支點。
本實用新型x射線定向儀粘膠機是將X射線定向儀與調角器的有效結合， 同時也有區別，X射線定向儀粘膠機測量的是同晶片平行的r面角度，通過調節 旋鈕，使測量面同切割面角度一致，再用膠水固定晶棒，完成晶棒粘膠。
本實用新型的優點是直接在同一檢測設備上矯正晶棒角度及角差，並直接在工作檯上將晶棒粘膠，提高了工效，提高了粘膠精度；本實用新型測量與 晶片切割基本平行的r面角度，使測量角度更加接近於晶片角度，減少了Z面角 度調整至r面角度的誤差。


圖1為本實用新型的結構示意圖中，l為工作檯，2為基準邊，3為X射線儀，4為探測器，5為調角器， 6為支點，7為晶棒。
具體實施方式
以下結合附圖說明本實用新型的具體實施方式
參照圖1， X射線定向儀粘膠機，包括一工作檯1，工作檯1上固定有用於
測試晶棒7的基準邊2，還設置有可發射X射線的X射線儀3以及可接收X射 線的探測器4，工作檯l上還安裝有可調整晶棒角度及角度差的調角器5，調角 器5的一側固定有限制晶棒7的支點6。
工作時，參照基準邊放置晶棒，使支點抵住晶棒一端，另一端靠在調角器 的頂部，由X射線儀發出的X射線射向晶棒上與晶片切割角度基本平行的r面， 經反射後的X射線被探測器接收，探測器並測出此時晶棒位置與標準角度間的 偏差，通過調整調解器上的旋鈕使晶棒以支點為圓心旋轉一定角度以消除探測 器檢測到的角度偏差，即可將此時位置的晶棒相對基準邊用膠水粘膠。
權利要求1、X射線定向儀粘膠機，包括一工作檯，其特徵在於工作檯上固定有用於測試晶棒的基準邊，還設置有可發射X射線的X射線儀以及可接收X射線的探測器，工作檯上還安裝有可調整晶棒角度及角度差的的調角器，調角器的一側固定有限制晶棒的支點。
專利摘要X射線定向儀粘膠機，涉及檢測設備領域，特別是一種用於晶棒在粘膠前對晶棒進行角度及角差調整的儀器。包括一工作檯，工作檯上固定有用於測試晶棒的基準邊，還設置有可發射X射線的X射線儀以及可接收X射線的探測器，工作檯上還安裝有可調整晶棒角度及角度差的調角器，調角器的一側固定有限制晶棒的支點。本實用新型的優點是提高了工效，提高了粘膠精度。
文檔編號B28D7/04GK201257719SQ20082004114
公開日2009年6月17日 申請日期2008年7月30日 優先權日2008年7月30日
發明者任先林, 宋秦川 申請人:常州松晶電子有限公司